專利名稱：可消除靜電的基板載具的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種承載基板的載具，特別是涉及一種可消除靜電的基板載具。
背景技術：
在半導體工藝之中，每一片基板(或晶片)都會經過數道不同的工藝，以制作出各式各樣的電子產品。舉例來說，以液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)的制作而言，玻璃基板亦需要經過曝光、顯影、沉積等等繁雜的流程，而這些繁雜的工藝步驟必須仰賴不同的機器完成之，因此，玻璃基板在制作的過程中，必須依據所進行的工藝，移動到不同的機器來進行不同的工藝步驟。
然而，玻璃基板放在無塵室中會產生帶電不良的情形，尤其在傳送的過程中，不論玻璃基板是放置于卡匣(cassette)中、移動的運送裝置上(譬如真空機械人)，或是正在作業的機器中，玻璃基板皆會與周遭的環境產生摩擦，而產生靜電放電(electrostatic discharge，ESD)效應。
在某些特定的機器，譬如ULVAC PVD機器，是先利用真空機械人手臂將玻璃基板傳送至濺射室(sputter chamber)，之后再進行物理氣相沉積，并于玻璃基板表面生成半導體以及保護層的薄膜。
請參閱圖1，圖1為現有機械人手臂(robot forklift)100的示意圖。如圖1所示，機械人手臂100包括支撐模塊110、120，以及一連接模塊130。連接模塊130與機械人的本體連接，而支撐模塊110、120與連接模塊130相互連接，以通過支撐模塊110、120與連接模塊130之間的連接力，來提供支撐模塊110、120一支撐力。因此，支撐模塊110、120便可以用來承載玻璃基板150，以將玻璃基板150運送至不同的機器。
此外，一般來說，支撐模塊110、120上亦設置有多個接觸墊140。當支撐模塊110、120運送玻璃基板150時，這些接觸墊140會提供玻璃基板150多個接觸面，以通過這些接觸面，提供玻璃基板150承載時所需的支撐力，并且同時提供一摩擦力，以防止玻璃基板150與接觸墊140之間發生 滑動。
然而，由于這些接觸墊140會與玻璃基板1 50相互摩擦，因此玻璃基板150與接觸墊140之間會開始累積靜電電荷，當電荷累積到一定程度后，接觸墊140與玻璃基板150之間便會發生前述的靜電效應，因此，圖1所示的區域160、170便會產生前述的靜電效應。由于靜電效應會改變區域160、170周遭的電場，如此便會使得玻璃基板150進行各項工藝時，因電場的不穩定而產生不必要的工藝誤差。
發明內容
有鑒于此，本發明的主要目的之一在于提供一種可消除靜電的基板載具，以解決現有技術中的問題。
本發明揭露一種用來承載一基板的載具，該載具包括一支撐模塊以及一導電媒介。其中，該支撐模塊具有至少一接觸區域與該基板接觸，以提供該基板一支撐力以承載該基板，因此上述的靜電放電效應可能發生于該接觸區域，一導電媒介電連接至該接觸區域與一電壓準位，以消除該接觸區域與該基板之間的靜電。
本發明另揭露一種使用一載具來承載一基板的方法，其包括使用該載具的一支撐模塊上的至少一接觸區域與該基板接觸，以提供該基板一支撐力來承載該基板；以及將該接觸區域電連接至一電壓準位，以經由該電壓準位消除該接觸區域與該基板之間的靜電。
本發明的機械人手臂具有導電媒介，以消除接觸墊與玻璃基板之間所產生的靜電，因此，原本工藝時所受到靜電干擾的情況便可大幅改善，也因此可以提升液晶顯示器的成品率。
圖1為現有機械人手臂(robot forklift)的示意圖。
圖2為本發明機械人手臂(robot forklift)的示意圖。
圖3為圖2所示的導電媒介的一實施例的示意圖。
簡單符號說明110、120、210、220支撐模塊 140、240 接觸墊150、250 玻璃基板 130、230 連接模塊
160、170、260、270區域100、200機械人手臂280 導電媒介具體實施方式
請參閱圖2，圖2為本發明機械人手臂(robot forklift)200的示意圖。如圖2所示，機械人手臂200亦包括支撐模塊210、220，以及一連接模塊230。連接模塊230與機械人的本體連接，而支撐模塊210、220與連接模塊230相互連接，以通過支撐模塊210、220與連接模塊230之間的連接力，來提供支撐模塊210、220一支撐力。因此，支撐模塊210、220便可以用來承載玻璃基板250，以將玻璃基板250運送至不同的機器。
與機械人手臂100相同，本發明機械人手臂200的支撐模塊210、220上亦設置有多個接觸墊240。當支撐模塊210、220運送玻璃基板250時，這些接觸墊240會提供玻璃基板250多個接觸面，以通過這些接觸面，提供玻璃基板250承載時所需的支撐力，并且同時提供一摩擦力，以防止玻璃基板250與接觸墊240之間發生滑動。
于本實施例之中，支撐模塊210、220上面另具有一導電媒介280，導電媒介280一端電連接至前述的接觸墊240，而另一端電連接至接地端；因此，于區域260、270中，原本由于接觸墊240與玻璃基板250相互摩擦而產生的靜電荷便會經由導電媒介280導流至接地端，如此便可以有效地消除前述的靜電效應。
請參閱圖3，圖3為圖2所示的導電媒介280的一實施例的示意圖。如圖3所示，導電媒介280為一樹枝狀的銅箔導線，其中每一個分叉接觸支撐模塊210、220上的接觸墊240，而銅箔導線的另一端電連接至接地端，因此，靜電荷便可以通過接地端的低電壓導出。而圖3所示的樹枝狀的銅箔導線280僅僅只為本發明的一優選實施例，換句話說，導電媒介280亦可具有不同的形狀，或是利用其它的導電物質制作而成，如此的相對應變化，亦屬本發明的范疇。
然而，為了確實地將接觸墊240與玻璃基板250之間的靜電荷導至接地端，于本發明的優選實施例中，本發明改良了一些元件，以達到消除靜電荷的最佳化，舉例來說，接觸墊240采用微導電材料制作而成，如此，區域260、270的靜電荷便可順利地通過可導電的接觸墊240以及導電媒介280導出；接觸墊240亦可采用其它的材料，前述的微導電材料僅僅作為本發明的優選實施例，而非本發明的限制。
此外，如圖2以及圖3所示，導電媒介280通過一背膠平貼于支撐模塊210、220上，因此，為了整體結構的最佳化，并且為了避免導電媒介280影響到原本欲進行的工藝，于本發明的優選實施例中，背膠采用耐高溫的背膠，以免背膠揮發出不必要的氣體而影響工藝；并且，銅箔的厚度也盡可能的薄，以使銅箔對工藝的影響達到最低，舉例來說，銅箔的厚度可為0.1mm；然而，前述的耐高溫背膠，0.1mm的銅箔厚度亦僅作為本發明的優選實施例，設計者可隨著欲進行的工藝以及成本的考慮而選擇不同的材料以及厚度，如此的相對應變化亦不違背本發明的精神。
上述皆利用液晶屏幕的工藝加以說明，然而，本發明亦可利用于各種不同電子產品的工藝；換句話說，本發明的機械人手臂不限于用來承載玻璃基板，本發明的機械人手臂實可利用來承載并且運送各種基板，或是晶片。
此外，本發明亦不限于實施于前述的機械人手臂；在實際應用上，所有用來承載基板的載具，皆可利用本發明的方法將附著于基板的靜電消除，如此的相對應變化亦屬本發明的范疇。
相較于現有技術，本發明的機械人手臂具有導電媒介，以消除接觸墊與玻璃基板之間所產生的靜電，因此，原本工藝時所受到靜電干擾的情況便可大幅改善，也因此可以提升液晶屏幕的成品率。
以上所述僅為本發明的優選實施例，凡依本發明權利要求所做的均等變化與修飾，皆應屬本發明的涵蓋范圍。
權利要求
1.一種用來承載基板的載具，其包括支撐模塊，其具有至少一接觸區域與該基板接觸，用來提供該基板支撐力以承載該基板；以及導電媒介，電連接至該接觸區域與電壓準位，以經由該電壓準位消除該接觸區域與該基板之間的靜電。
2.如權利要求1所述的載具，其中該支撐模塊包括多個接觸墊，每一接觸墊提供一接觸區域來與該基板接觸。
3.如權利要求2所述的載具，其中該多個接觸墊以微導電材料制作而成。
4.如權利要求1所述的載具，其中該導電媒介包含金屬薄膜，連接于該接觸區域。
5.如權利要求4所述的載具，其中該金屬薄膜為銅箔。
6.如權利要求5所述的載具，其中該銅箔平貼于該支撐模塊上。
7.如權利要求6所述的載具，其中該銅箔與該支撐模塊利用背膠相互黏接。
8.如權利要求7所述的載具，其中該背膠為耐高溫背膠。
9.如權利要求1所述的載具，其中該基板為玻璃基板。
10.如權利要求1所述的載具，其中該電壓準位為接地電位。
全文摘要
一種用來承載一基板的載具包括一支撐模塊，其具有至少一接觸區域與該基板接觸，用來提供該基板一支撐力以承載該基板；以及一導電媒介，電連接至該接觸區域與一電壓準位，以消除該接觸區域與該基板之間的靜電。
文檔編號H05F3/00GK101071785SQ200610080368
公開日2007年11月14日 申請日期2006年5月11日 優先權日2006年5月11日
發明者劉懿承, 王信雄, 黃銘崗 申請人:中華映管股份有限公司