專利名稱：集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板及其制造方法
技術領域：
本發明總體涉及一種印刷電路板。更為具體地，本發明涉及一種集成有雙軸磁門(fluxgate)傳感器的印刷電路板及其制造方法。
背景技術：
通過多種物理現象可以證明磁能的存在。例如，由于磁能不能被人體器官，如眼睛或耳朵，所感知，可通過磁門傳感器使人們直接感覺到磁能。至于磁門傳感器，傳統上使用的是采用軟磁線圈的磁傳感器。磁傳感器通過圍繞相對較大的桿形芯部或環形芯部纏繞線圈來制造，該芯部由軟磁條形成。此外，采用電子電路來獲得與所測得的磁場成比例的磁場。
但是，該傳統磁門傳感器具有如下問題，這些問題中的一些是由傳統磁門傳感器的結構造成的。在傳統磁門傳感器的結構中，繞軟磁條形成的較大的桿形芯部或環形芯部纏繞的線圈導致制造成本高和整個系統體積較大。
此外，由于激勵線圈和探測到的磁場，磁通變化中不可避免地出現了漏磁。因此，難于實現高靈敏度。
進一步，用以在兩個軸上探測磁能的傳統磁門傳感器包括兩個分離的、布置成彼此垂直的單軸磁門傳感器，這還造成裝置尺寸增大的另一個問題。
發明內容
本發明實施例的一個特征在于提供一種集成有能夠在兩個軸上以高精度探測磁場的小型雙軸磁門傳感器的印刷電路板。
本發明實施例的另一個特征在于防止當測得外磁場為零(0)時在磁通變化中出現感應波。
通過根據本發明實施例的集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板可以實現上述特征，該印刷電路板包括沿第一軸向的長度方向形成的第一軟磁芯；由金屬膜形成并繞第一軟磁芯纏繞的第一激勵線圈；由金屬膜形成并繞第一軟磁芯和第一激勵線圈纏繞的第一拾取線圈；沿第二軸向的長度方向形成的第二軟磁芯，該第二軸向垂直于第一軸向；由金屬膜形成并繞第二軟磁芯纏繞的第二激勵線圈；由金屬膜形成并繞第二軟磁芯和第二激勵線圈纏繞的第二拾取線圈；以及，用以在第一和第二激勵線圈與第一和第二拾取線圈以及外電路之間建立導電的焊盤。
優選地，第一和第二軟磁芯包括形成在同一平面上的兩個平行桿或一個矩形環。優選地，該第一和第二激勵線圈具有沿軸向分別纏繞兩個桿或纏繞矩形環兩側的結構。或者，第一和第二激勵線圈可以具有沿軸向交替纏繞兩個桿或矩形環的兩側并基本為數字8的形式的結構。優選地，第一和第二拾取線圈具有沿軸向一起纏繞兩個桿或矩形環兩側的結構，并基本為螺線管的形式。或者，第一和第二拾取線圈可具有分別沿軸向纏繞兩個桿或纏繞矩形環兩側的結構，并基本成螺線管的形式。
第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈可以以交替形式纏繞兩個桿或矩形環。盡管第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈的纏繞圈的數量沒有限制，但是優選的是，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈各纏繞一次。在第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈各纏繞一次的情況下，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈最好基本以Z形纏繞，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈彼此面對，且兩個桿或矩形環插入它們之間。
上述特征也由根據本發明的制造集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板的方法提出，該方法包括(a)在第一襯底的兩側面上形成激勵線圈和拾取線圈的下部圖案，其中，第一襯底通過在電介質的兩側面上疊壓金屬膜而形成；(b)在激勵線圈和拾取線圈的每個下部圖案上順序疊壓預浸料坯和軟磁物質膜；(c)在每個軟磁物質膜上形成軟磁芯，位于軟磁物質膜上的所述軟磁芯成垂直關系；(d)通過在軟磁芯的每個側面上順序疊壓預浸料坯和金屬膜形成第二襯底；(e)在疊壓于第二襯底兩側上的每個金屬膜上形成激勵線圈和拾取線圈的上部圖案，每個上部圖案對應于與上部圖案形成在同一側的下部圖案中的相應一個；(f)形成從上部圖案到下部圖案的通孔，所述圖案形成于第二襯底的兩側面上的每個金屬膜上；(g)鍍覆第二襯底兩側面形成通孔的地方；(h)蝕刻第二襯底的已鍍覆側面，從而在兩側面上形成具有各自纏繞結構的激勵線圈和拾取線圈；以及(i)形成用以在激勵線圈和拾取線圈以及外電路之間建立電連通的焊盤。
優選地，形成在第二襯底兩側面上的軟磁芯包括兩個形成在同一平面上的平行桿或形成在同一平面上的矩形環。優選地，激勵線圈具有沿軸向分別纏繞兩個桿或纏繞矩形環兩側的結構，并基本成螺線管形式。或者，激勵線圈可以具有沿軸向交替纏繞兩個桿或交替纏繞矩形環兩側的結構，并基本成數字8的形式。優選地，拾取線圈具有沿軸向一起纏繞兩個桿或纏繞矩形環兩側的結構，并基本成螺線管的形式。或者，拾取線圈可以具有沿軸向分別纏繞兩個桿或矩形環兩側的結構，并基本成螺線管的形式。
激勵線圈和拾取線圈可以以交替的方式纏繞兩個桿或矩形環。盡管激勵線圈和拾取線圈的纏繞圈數量不是限制，但是激勵線圈和拾取線圈最好各纏繞一次，并且激勵線圈和拾取線圈最好基本以Z形纏繞，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且在它們之間插入兩個桿或矩形環。
根據本發明的實施例，該方法還包括在形成激勵線圈和拾取線圈之前，蝕刻疊壓在第二襯底兩側面上的金屬膜到預定的厚度。
此外，該方法的每個階段還可以包括在預定表面上施加光敏劑；根據預定形狀曝光；以及，根據曝光蝕刻預定部位。
根據本發明，由于雙軸磁門傳感器被集成在印刷電路板上，可以使產品大大地小型化，同時，有助于在兩個軸上以高精度探測磁場。進一步，當測得外磁場為零(0)時，不會在拾取線圈中產生感應電壓。此外，根據本發明，通過和其他類型的傳感器和外電路集成在一起，還可以有各種不同的應用。
參照附圖，通過對本發明的優選實施例的詳細說明，將使本領域內的技術人員對本發明的上述特征和優點更加明了，附圖中圖1示出根據本發明一個優選實施例的磁門傳感器的示意圖；圖2A至2F是用以解釋圖1中磁門傳感器的操作的波形圖；圖3示出根據本發明優選實施例的、集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板的示意圖；圖4A至4L是剖視圖，示出印刷電路板制造過程的各個階段；圖5A至5F是俯視圖，示出根據本發明另一實施例的印刷電路板的各個層；以及圖6是剖視圖，示出形成為Z形的、每個軸的激勵線圈和磁通變化探測線圈。
具體實施例方式
于2002年7月30日提交的、名稱為“集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板及其制造方法”的韓國專利申請No.2002-45069，全文被本發明引用作為參考。
現在參照附圖更為詳細地說明本發明。相同的附圖標記通篇指代相同的元件。
圖1示出根據本發明優選實施例的、集成到印刷電路板上的磁門傳感器。該磁門傳感器具有第一和第二桿形軟磁芯1和2，激勵線圈3分別繞它們纏繞，拾取線圈4基本以螺線管的形式纏繞第一桿形軟磁芯1和第二桿形軟磁芯2。下文中，將激勵線圈3分別繞第一和第二桿形軟磁芯纏繞的纏繞結構稱為“分離式結構”。或者，磁門傳感器也可具有激勵線圈3交替纏繞兩個平行的桿形芯部的纏繞結構，即，第一和第二軟磁芯1和2被激勵線圈3基本以數字8的形式交替纏繞。該結構被稱為“聯合結構”。拾取線圈4可以以螺線管的形式或分離結構纏繞第一和第二軟磁芯1和2。進一步，可以用矩形環形式的磁芯代替第一和第二軟磁芯1和2。
圖2A到圖2F是波形圖，用以說明圖1的磁門傳感器的操作。圖2A是第一軟磁芯1產生的磁場H的波形圖。圖2B是第二軟磁芯2產生的磁場H的波形圖。圖2C是第一軟磁芯1產生的磁通密度的波形圖。圖2D是第二軟磁芯2產生的磁通密度的波形圖。圖2E是在拾取線圈4處感應產生的第一和第二電壓Vind1和Vind2的波形圖，而圖2F是第一和第二電壓的和(Vind1+Vind2)的波形圖。
對于激勵線圈3和拾取線圈4繞兩個桿形軟磁芯1和2纏繞，借助交流電流的激勵電流，第一桿1的內磁場H用“Hext(外磁場)+Hexc(激勵線圈產生的磁場)”表示。第二桿2的內磁場H用“Hext-Hexc”表示。第一桿1的磁通密度B表示為“Bext(外磁通的磁通密度)+Bexc(激勵線圈的磁通密度)”，第二桿2的磁通密度B表示為“Bext-Bexc”。所以，從圖2A到圖2D中可以看出，第一和第二桿1和2的磁場和磁通密度在相反方向上產生。
如圖2E所示，表示出分別在桿1和桿2處感應并在拾取線圈4處探測到的電壓Vind1和Vind2。由于拾取線圈4纏繞成獲得在兩個桿1和2處的磁通變化的和，所以在拾取線圈4處探測到的實際電壓如圖2F所示，其中，兩個電壓彼此抵消。換言之，從各個桿1和2的軸的方向，外磁通Hext相對兩個桿1和2施加在同一方向上。所以，借助激勵磁場Hexc，兩個桿1和2的內磁通分別表示為“Hext+Hexc”和“Hext-Hexc”。此外，利用各個桿1和2的內磁場，在拾取線圈4處感應出電壓Vind1和Vind2(參見圖2E)，因此，通過測量各電壓Vind1和Vind2得到外磁場Hext的大小。
在上述磁門傳感器中的一個重要考慮是激勵線圈3和拾取線圈4的纏繞結構。因為通過在同一平面上交替纏繞激勵線圈3和拾取線圈4可以得到各桿1和2處的磁通變化的和，所以該結構非常重要。在不存在磁場Hext的情況下，上述結構的磁門傳感器抵消在第一和第二軟磁芯1和2處產生的磁場的感應波，且激勵線圈產生的磁通在桿形軟磁芯1和2處形成封閉磁路。優選地，激勵線圈3和拾取線圈4可以交替纏繞一次，但是纏繞數目可以變為若干次。
通過在單個軟磁芯上布置激勵線圈3和拾取線圈4，可以容易地探測到磁場。在這種情況下，即使由于激勵線圈3導致外磁場“Hext”不存在，也能在拾取線圈4處產生感應電壓，因此，需要對拾取線圈4的輸出信號進行復雜的信號處理，例如放大和濾波。因此，采用雙磁芯或矩形環型磁芯而不是單磁芯，在進行信號處理時會更為有利。
圖3是根據本發明的集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板(PCB)的分解透視圖。如圖3所示，雙軸磁門傳感器由以相互垂直的關系彼此疊置的兩個單軸磁門傳感器構成。激勵線圈3和拾取線圈4的上部和下部圖案40從第一層(即最底層)到第三層形成在環氧樹脂30上，由磁性材料20形成的兩個桿形軟磁芯沿x軸方向在第二層上延伸。激勵線圈3和拾取線圈4的下部和上部圖案50從第四層到第六層(最高層)形成在環氧樹脂30上，且磁性材料10形成的兩個軟磁芯沿y軸方向在第五層上延伸。本發明具有如下優點傳感器集成到PCB上后，尺寸緊湊。
圖4A到圖4L是剖視圖，示出集成在PCB中的雙軸磁門傳感器制造過程的各個階段。參照圖4A，為了制造根據本發明一實施例的雙軸磁門傳感器，首先在第一襯底的兩側面上施加光刻膠，第一襯底優選地為銅包疊層(CCL)(copper clad laminate)板110。該CCL板由疊壓在介電物質101上的金屬膜102和103構成。參照圖4B和圖4C，該CCL板隨后經受曝光和顯影處理，然后通過蝕刻和表面處理形成激勵線圈3和拾取線圈4的下部圖案104。結果，形成圖3的第三和第四層。接下來，參照圖4D，在CCL板110的兩側面上順序疊壓預浸料坯105和軟磁物質層106，并在其上形成激勵線圈3和拾取線圈4的下部圖案。然后，參照圖4E，對兩側面上的軟磁物質層106施加光刻膠107，并執行曝光和顯影。參照圖4F，通過蝕刻和表面處理形成位于不同層上的、相互垂直的軟磁芯。結果，形成如圖3所示的第二和第五層。接下來，參照圖4G，在軟磁芯的上側面上順序疊壓預浸料坯105和金屬膜108，形成第二襯底120。然后，參照圖4H，疊壓在第二襯底120兩側上的金屬膜108經受半蝕刻。接著，通過在金屬膜108上施加、曝光并顯影光刻膠，形成了對應于下部圖案的激勵線圈3和拾取線圈4的上部圖案。然后，參照圖4I和4J，形成通孔109，以便使形成在第二襯底120兩側上的金屬膜上的激勵線圈3和拾取線圈4的上部和下部圖案聯通，然后鍍覆第二襯底120的兩側面。接下來，參照圖4K，對已鍍覆的兩側面應用光刻膠，以便使激勵線圈3和拾取線圈4的上部圖案分別具有纏繞結構，執行曝光、顯影、蝕刻和表面處理過程。結果，形成第一和第六層。參照圖4L，通過常規處理形成用以和外電路建立電連通的焊盤111，并對外表面進行處理。
圖5A至圖5F是根據本發明另一實施例雙軸磁門傳感器的每一層的俯視圖，示出形成在同一平面上、用以在x軸方向上探測磁場的激勵線圈3和拾取線圈4的上部圖案。參照圖5A，在相鄰的兩條線中，短線1F-3代表以分離結構繞軟磁芯纏繞的激勵線圈3的上部圖案，而長線1F-4表示繞軟磁芯纏繞的拾取線圈4的上部圖案。圖5B是第二層的俯視圖，示出沿著x軸在長度方向上延伸的軟磁芯2F-1，其用以探測x軸方向上的磁場。區別在于，圖3示出桿形的各個軟磁芯10和20，而在該實施例中，示出的磁芯10和20為矩形環狀。圖5C是第三層的俯視圖，示出激勵線圈3F-3和拾取線圈3F-4的下部圖案，其對應于圖5A所示的上部圖案。圖5D是第四層的俯視圖，示出形成在同一平面上以探測y軸方向上的磁場的激勵線圈4F-3和拾取線圈4F-4的下部圖案。圖5E是第五層的俯視圖，示出沿著y軸在長度方向上延伸以探測y軸方向上磁場的矩形環形軟磁芯5F-3。圖5F是第六層的俯視圖，示出激勵線圈6F-3和拾取線圈6F-4的上部圖案，其對應于激勵線圈4F-3和拾取線圈4F-4的下部圖案。
如圖5A至5F所示，構造各個層，以便形成以高精度探測x軸和y軸方向上的磁場的雙軸磁門傳感器。
圖6是剖視圖，示出圖3中雙軸磁門傳感器的激勵線圈和拾取線圈在各個軸上的纏繞方式。如圖6所示，激勵線圈和拾取線圈分別以Z形繞軟磁芯纏繞一次，從而使激勵線圈和拾取線圈彼此面對，并且在它們之間插入軟磁芯。
如上所述的集成在PCB中的雙軸磁門傳感器可以應用在各種應用場合。例如但絕非限制性的，這樣的裝置可以應用于地磁探測的導航系統、地磁變化監視器(地震預測器)、生物電測試器械、或金屬探傷裝置。至于其間接應用，磁門傳感器還可應用于磁編碼器、無觸點電位計、電流傳感器、扭矩傳感器和位移傳感器。
根據本發明實施例的磁門傳感器可以和其他傳感器和電路一起被集成在PCB中，系統的整體尺寸得以大大縮小。進一步，可以使能耗最小化。
雖然雙軸磁門傳感器的尺寸制造得較小，但根據本發明的雙軸磁門傳感器具有很高的靈敏度，它可以通過激勵線圈和拾取線圈交替纏繞矩形環形或兩個桿形軟磁芯的纏繞結構探測微弱的外部磁場。
根據本發明的磁門傳感器的另一個優點是生產成本低于傳統的桿形或環形磁芯。此外，本發明的磁門傳感器已于實現大規模生產。
進一步，在外磁場為零(0)時，由于激勵線圈而在各磁芯中的磁通變化而產生的感應電壓可以被抵消并被探測到。結果，磁門傳感器對磁場有很高的靈敏度。
盡管通過具體說明對本發明的優選實施例進行了公開，但是它們用來解釋本發明的范圍，而不用以對本發明進行限制。因此，在不背離本發明后附權利要求的思想和范圍的前提下，本領域技術人員可對本發明的形式和細節進行各種修改。
權利要求
1.一種集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板，包括沿第一軸向的長度方向形成的第一軟磁芯；由金屬膜形成并繞第一軟磁芯纏繞的第一激勵線圈；由金屬膜形成并繞第一軟磁芯和第一激勵線圈纏繞的第一拾取線圈；沿第二軸向的長度方向形成的第二軟磁芯，該第二軸向與第一軸向垂直；由金屬膜形成并繞第二軟磁芯纏繞的第二激勵線圈；由金屬膜形成并繞第二軟磁芯和第二激勵線圈纏繞的第二拾取線圈；以及用以在第一和第二激勵線圈與第一和第二拾取線圈以及外電路之間建立電連通的焊盤。
2.如權利要求1所述的印刷電路板，其中，第一和第二軟磁芯包括位于同一平面上的兩個平行的桿。
3.如權利要求2所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈具有基本上以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
4.如權利要求3所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本上以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
5.如權利要求4所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈以交替方式纏繞兩個桿。
6.如權利要求5所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
7.如權利要求3所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
8.如權利要求7所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈以交替的形式纏繞兩個桿。
9.如權利要求8所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
10.如權利要求2所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈具有基本以數字8的形式交替纏繞兩個桿的結構。
11.如權利要求10所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管的形式一起纏繞兩個桿的結構。
12.如權利要求11所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈具有以交替形式纏繞兩個桿的結構。
13.如權利要求12所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
14.如權利要求10所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
15.如權利要求14所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈具有以交替的形式纏繞兩個桿的結構。
16.如權利要求15所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
17.如權利要求1所述的印刷電路板，其中，第一和第二軟磁芯包括形成在同一平面上的矩形環。
18.如權利要求17所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈具有基本以螺線管的形式沿軸向纏繞矩形環兩側的結構。
19.如權利要求18所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管的形式沿軸向一起纏繞矩形環兩側的結構。
20.如權利要求19所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈具有以交替的形式纏繞矩形環的結構。
21.如權利要求20所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
22.如權利要求18所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管形式纏繞矩形環兩側的結構。
23.如權利要求22所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈具有以交替方式纏繞矩形環的結構。
24.如權利要求23所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
25.如權利要求17所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈基本以數字8的形式沿軸向交替纏繞矩形環的兩側。
26.如權利要求25所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管的形式沿軸向纏繞矩形環的兩側的結構。
27.如權利要求26所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈具有以交替形式纏繞矩形環的結構。
28.如權利要求27所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
29.如權利要求25所述的印刷電路板，其中，第一和第二拾取線圈具有基本以螺線管形式沿軸向纏繞矩形環兩側的結構。
30.如權利要求29所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈具有以交替形式纏繞矩形環的結構。
31.如權利要求30所述的印刷電路板，其中，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，第一和第二激勵線圈以及第一和第二拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
32.一種制造集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板的方法，包括(a)在第一襯底的兩側面上形成激勵線圈和拾取線圈的下部圖案，其中，第一襯底是通過在介電物質的兩側面上疊壓金屬膜而形成；(b)在激勵線圈和拾取線圈的下部圖案每一個上順序疊壓預浸料坯和軟磁物質；(c)在各個軟磁物質膜上形成軟磁芯，位于軟磁物質膜上的軟磁芯成垂直關系；(d)通過在軟磁芯的每一側上順序疊壓預浸料坯和金屬膜而形成第二襯底；(e)在疊壓于第二襯底兩側面上的每一金屬膜上形成激勵線圈和拾取線圈的上部圖案；(f)形成從上部圖案到下部圖案的通孔，所述圖案形成在第二襯底兩側面上的每一金屬膜上；(g)鍍覆第二襯底兩側面的形成有通孔的地方；(h)蝕刻第二襯底的已鍍覆的側面，這樣，激勵線圈和拾取線圈可以以相應的纏繞結構分別形成在兩側面上；以及(i)形成用于在激勵線圈和拾取線圈以及外電路之間建立導電的焊盤。
33.如權利要求32所述的制造方法，其中，形成在第二襯底的兩側面上的軟磁芯包括形成在同一平面上的兩個平行桿。
34.如權利要求33所述的制造方法，其中，激勵線圈具有基本以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
35.如權利要求34所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管形式一起纏繞兩個桿的結構。
36.如權利要求35所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈以交替形式纏繞兩個桿。
37.如權利要求36所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
38.如權利要求34所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
39.如權利要求38所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈以交替的形式纏繞兩個桿。
40.如權利要求39所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
41.如權利要求32所述的制造方法，其中，激勵線圈具有基本以數字8的形式交替纏繞兩個軟磁芯的結構。
42.如權利要求41所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管的形式一起纏繞兩個桿的結構。
43.如權利要求42所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈以交替形式纏繞兩個桿。
44.如權利要求43所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且兩個桿插入它們之間。
45.如權利要求41所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管形式纏繞兩個桿的結構。
46.如權利要求45所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈具有以交替形式纏繞兩個桿的結構。
47.如權利要求46所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈以交替形式纏繞兩個桿。
48.如權利要求32所述的制造方法，其中，軟磁芯包括形成在同一平面上的矩形環。
49.如權利要求48所述的制造方法，其中，激勵線圈具有基本以螺線管形式沿軸向纏繞矩形環兩側的結構。
50.如權利要求49所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管形式沿軸向一起纏繞矩形環兩側的結構。
51.如權利要求50所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈具有以交替形式纏繞矩形環的結構。
52.如權利要求51所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
53.如權利要求49所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管形式纏繞矩形環兩側的結構。
54.如權利要求53所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈具有以交替形式交替纏繞矩形環的結構。
55.如權利要求54所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
56.如權利要求32所述的制造方法，其中，激勵線圈基本以數字8的形式沿軸向交替纏繞矩形環的兩側。
57.如權利要求56所述的制造方法，其中，拾取線圈具有基本以螺線管的形式沿軸向纏繞矩形環兩側的結構。
58.如權利要求57所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈具有以交替形式纏繞矩形環的結構。
59.如權利要求58所示的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
60.如權利要求56所述的制造方法，其中，拾取線圈具有以螺線管形式沿軸向纏繞矩形環兩側的結構。
61.如權利要求60所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈具有以交替形式纏繞矩形環的結構。
62.如權利要求61所述的制造方法，其中，激勵線圈和拾取線圈基本以Z字形纏繞一次，這樣，激勵線圈和拾取線圈互相面對，且矩形環插入它們之間。
63.如權利要求32所述的制造方法，其中，形成與激勵線圈和拾取線圈的下部圖案相對應的激勵線圈和拾取線圈的上部圖案的步驟還包括蝕刻疊壓于第二襯底的兩側面上的金屬膜到預定厚度。
64.如權利要求32所述的制造方法，其中，(a)到(i)的每個步驟還包括對預定表面施加光敏劑；根據預定形狀曝光；以及根據曝光蝕刻預定位置。
全文摘要
本發明公開一種集成有雙軸磁門傳感器的印刷電路板，包括沿第一軸向的長度方向形成的第一軟磁芯；由金屬膜形成并繞第一軟磁芯纏繞的第一激勵線圈；由金屬膜形成并繞第一軟磁芯和第一激勵線圈纏繞的第一拾取線圈；沿第二軸向的長度方向形成的第二軟磁芯，該第二軸向和第一軸向垂直；由金屬膜形成并繞第二軟磁芯纏繞的第二激勵線圈；由金屬膜形成并繞第二軟磁芯和第二激勵線圈纏繞的第二拾取線圈；以及，用以在第一和第二激勵線圈與第一和第二拾取線圈以及外電路之間建立電連通的焊盤。
文檔編號H05K3/46GK1495435SQ0313316
公開日2004年5月12日 申請日期2003年7月29日 優先權日2002年7月30日
發明者崔源悅, 崔相彥, 黃俊式, 姜明衫 申請人:三星電機株式會社