專利名稱：有機電激發光元件結構制作方法及其固形保護層制作方法
技術領域：
本發明是有關于一種有機電激發光元件(OLED device)的制作方法，且特別是有關于一種具有固形保護層(solid passivation)的有機電激發光元件的制作方法。
背景技術：
通訊產業已成為現今的主流產業，特別是便攜式的各式通訊產品更是發展的重點，而平面顯示器為人與機器的溝通接口，因此顯得特別重要。現在應用在平面顯示器的技術主要有下列幾種等離子顯示器(Plasma Display Panel，PDP)、液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)、無機電激發光顯示器(Electro-luminescent Display)、發光二極管(Light Emitting Diode，LED)、真空熒光顯示器(Vacuum FluorescentDisplay)、場致發射顯示器(Field Emission Display，FED)以及電變色顯示器(Electro-chromic Display)等。然而，相較于其它平面顯示技術，有機電激發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)以其自發光、無視角依存、省電、工藝簡易、低成本、低操作溫度范圍、高應答速度以及全彩化等優點而具有極大的應用潛力，可望成為下一代的平面顯示器。
圖1為公知有機電激發光元件的結構示意圖。請參照圖1，公知有機電激發光單元112架構于一基材100上，此有機電激發光單元112主要由一陽極102、一有機電激發光層106以及一陰極110所構成。除了上述膜層之外，為了使得有機電激發光單元112的發光效率更高，在陽極102與有機電激發光層106之間可制作一電洞傳輸層104，而在有機電激發光層106與陰極110之間可制作一電子傳輸層108。其中，電洞傳輸層104與電子傳輸層108的功用在于增進有機電激發光層106中電子-電洞對(electron-hole pair)的再結合效率，以獲得更佳的元件發光效率。
同樣請參照圖1，在有機電激發光元件的制作方面，主要是于基材100上形成一保護層114，此保護層114的制作先形成一有機保護層114a，以覆蓋住基材100及其上的有機電激發光單元112，接著再形成一無機保護層114b于上述的有機保護層114a上。
圖2為公知另一種有機電激發光元件的結構示意圖。請參照圖2，此元件結構中，有機電激發光單元204架構于一基材上200，而在有機電激發光單元204的兩面上皆制作有保護層202、206。上述元件結構的制作方式是先提供基材200，接著形成聚合物層202a、陶瓷層202b以及聚合物層202c于基材200上，以構成保護層202。之后，制作有機電激發光單元204于上述的聚合物層202c上。最后再依序形成聚合物層202a、陶瓷層202b以及聚合物層202c于有機電激發光單元204上，以構成保護層206。
公知的有機電激發光元件中，由于保護層是屬于軟性保護層(flexible passivation)，故所能夠忍受外界沖擊的能力較差。此外，由于軟性保護層通常為有機材質或是聚合物材質，使得元件本身并無法有效防止化學物質的腐蝕。
發明內容
因此，本發明的目的是提出一種有機電激發光元件的制作方法及固形保護層的制作方法，其可有效增進元件本身的抗腐蝕(corrosionresist)能力。
本發明的另一目的在提出一種有機電激發光元件的制作方法及固形保護層的制作方法，其可有效增進元件本身抵抗沖擊(impactresist)的能力。
為達本發明的上述目的，提出一種有機電激發光元件的制作方法，包括下列步驟(a)提供一基材，該基材上配置有一有機電激發光單元；(b)于該基材上形成一保護層，以將該有機電激發光單元覆蓋；以及(c)提供一離子束，并通過該離子束對該保護層進行一表面處理。其中，步驟(b)至步驟(c)可重復進行至少一次，以增進元件的信賴性(reliability)。
為達本發明的上述目的，提出一種有機電激發光元件的制作方法，包括下列步驟(a)提供一基材，該基材上配置有一有機電激發光單元；(b)于該基材上形成一保護層，以將該有機電激發光單元覆蓋；(c)提供一離子束，并通過該離子束對該保護層進行一表面處理；以及(d)于該保護層上形成一塑料層。其中，步驟(b)至步驟(d)可重復進行至少一次，以增進元件的信賴性。
為達本發明的上述目的，提出一種固形保護層的制作方法，適于保護一基材上的一電子元件，此固形保護層的制作方法包括下列步驟(a)于該基材上形成一保護層，以將該有機電激發光單元覆蓋；以及(b)提供一離子束，通過該離子束對該保護層進行一表面處理。其中，步驟(a)至步驟(b)可重復進行至少一次，以增進固形保護層對電子元件的保護。
為達本發明的上述目的，提出一種固形保護層的制作方法，適于保護一基材上的一電子元件，此固形保護層的制作方法包括下列步驟(a)于該基材上形成一保護層，以將該有機電激發光單元覆蓋；(b)提供一離子束，通過該離子束對該保護層進行一表面處理；以及(c)于該保護層上形成一塑料層。其中，步驟(a)至步驟(c)可重復進行至少一次，以增進固形保護層對電子元件的保護。
本實施例中，保護層的材質例如為氮化硅或是氧化硅，而塑料層的材質例如為高分子量的聚乙稀(Ultra High Molecular WeightPolyethylene，UHMWPE)或是PMMA。
本實施例中，表面處理進行時例如是通過離子布植的方式提供上述的離子束或是通過濺鍍的方式提供上述的離子束。
圖1為公知有機電激發光元件的結構示意圖；圖2為公知另一種有機電激發光元件的結構示意圖；
圖3A至圖3D為依照本發明第一實施例有機電激發光元件的制作流程示意圖；以及圖4A 圖4F為依照本發明第二實施例有機電激發光元件的制作流程示意圖。
100、200基材102陽極104電洞傳輸層106有機電激發光層108電子傳輸層110陰極112、204有機電激發光單元114、202、206保護層114a有機保護層114b無機保護層202a、202c、206a、206c聚合物層202b、206b陶瓷層300、400基材302、402有機電激發光單元304、404、408保護層304’、408’固形保護層306、410離子束308、406、412塑料層
具體實施例方式
第一實施例圖3A至圖3D為依照本發明第一實施例有機電激發光元件的制作流程示意圖。請參照圖3A，提供一基材300，此基材300例如為一玻璃基材、塑料基材或是其它透明基材。接著于基材300上制作有機電激發光單元302，此有機電激發光單元302例如是由多層薄膜所構成，例如透明陽極、金屬陰極、有機電激發光層、電子傳輸層(ETL)、電洞傳輸層(HTL)、電子注入層(EIL)、電洞注入層(HIL)等。
請參照圖3B與圖3C，在有機電激發光單元302形成之后，接著形成一保護層304以將基材上的300有機電激發光單元302覆蓋住，此保護層304的材質例如為氧化硅或是氮化硅。緊接著對上述的保護層304進行表面處理的動作，其中表面處理例如是通過離子布植的方式或是通過濺鍍的方式提供一離子束306，通過上述的離子束306可將保護層304表面的鍵結強化以形成一固態保護層304’，此固態保護，層304’將具有較高的硬度表現以及較佳的抗腐蝕能力。
本實施例通過離子束306形成固態保護層304’之后，即完成了有機電激發光元件的制作。然而，本實施例中，為了更進一步加強有機電激發光元件本身抵抗沖擊的能力，可再對上述覆蓋有固態保護層304’的有機電激發光單元302作進一步的處理。
請參照圖3D，為了加強有機電激發光元件本身抵抗沖擊的能力，本實施例于固態保護層304’上形成一硬度較高的塑料層308，此塑料層308的材質例如為高分子量的聚乙稀(Ultra High Molecular WeightPolyethylene，UHMWPE)或是PMMA，然而，熟悉該項技術者應知，此塑料板308亦可以其它硬度較高的材質取代。
第二實施例圖4A至圖4F為依照本發明第二實施例有機電激發光元件的制作流程示意圖。請參照圖4A，提供一基材400，此基材400例如為一玻璃基材、塑料基材或是其它透明基材。接著于基材400上制作有機電激發光單元402，此有機電激發光單元402例如是由多層薄膜所構成，例如透明陽極、金屬陰極、有機電激發光層、電子傳輸層(ETL)、電洞傳輸層(HTL)、電子注入層(EIL)、電洞注入層(HIL)等。
請參照圖4B與圖4C，在有機電激發光單元402形成之后，接著形成一保護層404以將基材上的400有機電激發光單元402覆蓋住，此保護層404的材質例如為氧化硅或是氮化硅。緊接著于固態保護層404上形成一硬度較高的塑料層406，此塑料層406的材質例如為高分子量的聚乙稀或是PMMA，然而，熟悉該項技術者應知，此塑料板308亦可以其它硬度較高的材質取代。
請參照圖4D與圖4E，接著在于塑料層406上形成另一保護層408，此保護層408的材質例如為氧化硅或是氮化硅。緊接著對上述的保護層408進行表面處理的動作，其中表面處理例如是通過離子布植的方式或是通過濺鍍的方式提供一離子束410，通過上述的離子束410可將保護層408表面的鍵結強化以形成一固態保護層408’，此固態保護層408’將具有較高的硬度表現以及較佳的抗腐蝕能力。
本實施例通過離子束410形成固態保護層408’之后，即完成了有機電激發光元件的制作。然而，本實施例中，為了更進一步加強有機電激發光元件本身抵抗沖擊的能力，可再對上述覆蓋有固態保護層408’的有機電激發光單元402作進一步的處理。
請參照圖4F，為了加強有機電激發光元件本身抵抗沖擊的能力，本實施例于固態保護層408’上再形成一硬度較高的塑料層412，此塑料層412的材質例如為高分子量的聚乙稀或是PMMA，然而，熟悉該項技術者應知，此塑料板412亦可以其它硬度較高的材質取代。
本發明上述二實施例中，保護層的數目、塑料層的數目可視產品需求而作適當的變動，保護層進行表面處理的次數亦可有所變化，如每一層保護層皆進行表面處理，亦可以僅針對部分或最上層的保護層進行表面處理。
綜上所述，本發明有機電激發光元件的制作方法及固形保護層的制作方法至少具有下列優點1.本發明的有機電激發光元件的制作方法及其固形保護層的制作方法，將能夠有效增進元件本身的抗腐蝕能力。
2.本發明的有機電激發光元件的制作方法及其固形保護層的制作方法，將能夠有效增進元件本身抵抗沖擊的能力。
權利要求
1.一種有機電激發光元件的制作方法，其特征是，該方法包括(a)提供一基材，該基材上配置有一有機電激發光單元；(b)于該基材上形成一保護層，將該有機電激發光單元覆蓋；以及(c)提供一離子束，并通過該離子束對該保護層進行一表面處理。
2.如權利要求1所述的有機電激發光元件的制作方法，其特征是，該保護層的材質包括氮化硅、氧化硅其中之一。
3.如權利要求1所述的有機電激發光元件的制作方法，其特征是，該表面處理進行時是通過離子布植的方式提供該離子束。
4.如權利要求1所述的有機電激發光元件的制作方法，其特征是，該表面處理進行時是通過濺鍍的方式提供該離子束。
5.如權利要求1所述的有機電激發光元件的制作方法，其特征是，步驟(c)之后更包括下列步驟(d)于該保護層上形成一塑料層。
6.如權利要求5所述的有機電激發光元件的制作方法，其特征是，步驟(d)之后更包括重復步驟(b)至步驟(d)至少一次。
7.如權利要求5所述的有機電激發光元件的制作方法，其特征是，該塑料層的材質包括聚乙稀、PMMA其中之一。
8.一種固形保護層的制作方法，適于保護一基材上的一電子元件，其特征是，該固形保護層的制作方法包括(a)于該基材上形成一保護層，將該有機電激發光單元覆蓋；以及(b)提供一離子束，通過該離子束對該保護層進行一表面處理。
9.如權利要求8所述的固形保護層的制作方法，其特征是，該保護層的材質包括氮化硅、氧化硅其中之一。
10.如權利要求8所述的固形保護層的制作方法，其特征是，該表面處理進行時通過離子布植的方式提供該離子束。
11.如權利要求8所述的固形保護層的制作方法，其特征是，該表面處理進行時通過濺鍍的方式提供該離子束。
12.如權利要求8所述的固形保護層的制作方法，其特征是，步驟(b)之后更包括下列步驟(c)于該保護層上形成一塑料層。
13.如權利要求12所述的固形保護層的制作方法，其特征是，步驟(c)之后更包括重復步驟(a)至步驟(c)至少一次。
14.如權利要求12所述的固形保護層的制作方法，其特征是，該塑料層的材質包括聚乙稀、PMMA其中之一。
全文摘要
一種有機電激發光元件的制作方法，包括下列步驟(a)提供一基材，該基材上配置有一有機電激發光單元；(b)于該基材上形成一保護層，以將該有機電激發光單元覆蓋；(c)提供一離子束，并通過該離子束對該保護層進行一表面處理；以及(d)于該保護層上形成一塑料層。其中，步驟(b)至步驟(d)可重復進行至少一次，以增進元件的信賴性。此外，本發明亦提出一種固形保護層的制作方法，其是通過上述之步驟(b)至步驟(d)制作而成。
文檔編號H05B33/02GK1505444SQ0215382
公開日2004年6月16日 申請日期2002年11月28日 優先權日2002年11月28日
發明者蘇志鴻, 曹義昌 申請人:友達光電股份有限公司