超聲波傳感器的制造方法
【專利摘要】實現不經由殼體而將布線部件連接至壓電元件的電極，同時可實現壓電元件與殼體的高接合精度，還能獲得良好的振動特性、靈敏度特性這樣的構成的超聲波傳感器。超聲波傳感器(1)具備：有底筒狀的殼體(2)，其具有凹部(2B1)，該凹部具有作為振動區域的底面部；以及壓電元件(3)，其包括具有第1面及與第1面對置的第2面的壓電基板(3E)、設置于第1面的第1電極(3A)、設置于第2面的一部分的第2電極(3B)、及與第2電極(3B)隔開地設置于第2面的一部分且與第1電極(3A)連接的第3電極(3C)，第1電極(3A)與凹部(2B1)的底面接合，在俯視底面時該壓電元件自身的中心被配置在與振動區域的中心不同的位置。
【專利說明】超聲波傳感器
【技術領域】
[0001]本發明涉及構成為將壓電元件接合到殼體的超聲波傳感器，例如涉及汽車的角聲納或后聲納等所采用的超聲波傳感器。
【背景技術】
[0002]超聲波傳感器間歇地發送超聲波脈沖信號，并接收被發送的超聲波脈沖信號到達障礙物或目標后反射回來的反射波，由此感測障礙物或目標(例如參照專利文獻I。)。汽車的后聲納、角聲納、還有感測縱列泊車時的與側壁等障礙物的距離的停車位傳感器等都采用的是超聲波傳感器。
[0003]圖6(A)是表示現有的超聲波傳感器的構成例的剖視圖。超聲波傳感器101具備殼體102、壓電元件103、減振件104、基板105、發泡性樹脂106、管腳端子107AU07B和引線108AU08B。殼體102為有底筒狀，由金屬等具有導電性的材料構成。壓電元件103通過導電性粘接劑等而被接合于殼體102的開口內底面。圖6(B)是表示壓電元件103的構成例的立體圖。壓電元件103由壓電陶瓷構成，具有圓板形狀的壓電基板103C、以及分別設置于壓電基板103C的相互對置的主面上的電極103A、103B。壓電元件103按照電極103A與殼體102的開口內底面接觸的方式被接合于殼體102。
[0004]再有,如圖6 (A)所不，減振件104被設置成堵塞殼體102的開口。基板105被設置在減振件104上。在基板105及減振件104中設有貫通孔。發泡性樹脂106從一個貫通孔向殼體102的開口內注入，填充到殼體102的內部及貫通孔的內部。管腳端子107AU07B分別為直線棒狀且分別經由一個貫通孔而被插入殼體102的開口內。在殼體102的開口內，引線108A通過焊錫而被接合于管腳端子107A的前端和殼體102，將管腳端子107A與殼體102進行了電連接。因而，管腳端子107A經由引線108A及殼體102而與電極103A電連接。在殼體102的開口內，引線108B通過焊錫而被接合于管腳端子107B的前端與壓電元件103的電極103B，將管腳端子107B的前端與壓電元件103的電極103B進行了電連接。
[0005]在先技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:國際公開W02007 / 094184號公報
【發明內容】
[0008]發明所要解決的技術問題
[0009]在上述那樣的現有構成的超聲波傳感器中，俯視時，壓電元件以使自身的中心的位置和殼體的開口內底面的中心一致的方式被接合于殼體的開口內底面，但根據壓電元件的電極的形狀，超聲波傳感器中的壓電元件的振動效率與綜合靈敏度有時會下降。再有，在壓電元件的一個電極上直接連接有引線，在另一個電極上經由殼體而間接地連接有引線。因而，在制造時需要對壓電元件與殼體實施2次布線作業，故作業煩雜。
[0010]再有，殼體需要由具有良好導電性的材料構成，可以采用的材料有較大制約，進而在采用了易氧化的金屬的情況下需要進行防氧化的處理。
[0011]還有，雖然也能將2個引線分別不經由殼體而直接與壓電元件的電極連接，但為此在將引線連接到壓電元件的電極后需要將壓電元件與殼體接合。在該情況下，壓電元件與殼體的接合精度下降，存在難以獲得良好的振動效率、綜合靈敏度的問題。
[0012]因而，本發明的目的在于實現一種超聲波傳感器，其構成為:不經由殼體而將布線部件連接至壓電元件的電極，同時可實現壓電元件與殼體的高接合精度，還能獲得良好的壓電元件的振動效率、綜合靈敏度。
[0013]用于解決技術問題的方案
[0014]本發明的超聲波傳感器具備殼體和壓電元件。殼體具有作為振動區域的底面部且為有底筒狀。壓電元件具有壓電基板、第I電極、第2電極和第3電極。壓電基板具有第I面及與第I面對置的第2面。第I電極設置于第I面。第2電極設置于第2面的一部分。第3電極與第2電極隔開地設置于第2面的一部分、且與第I電極連接。壓電元件的第I電極與底面部接合，在俯視底面部時壓電元件自身的中心被配置在與振動區域的中心不同的位置。
[0015]在上述的超聲波傳感器中，優選壓電基板的第2面中的設置有第2電極的區域的面積與設置有第3電極的區域的面積不同。
[0016]在上述的超聲波傳感器中，優選在俯視壓電元件時第2電極與第3電極被設置成非對稱。
[0017]在上述的超聲波傳感器中，優選在俯視底面部時振動區域是具有長邊方向和短邊方向的平面形狀，第2電極和第3電極被排列在短邊方向上。
[0018]發明效果
[0019]根據本發明，由于在俯視底面部時壓電元件自身的中心被配置在與振動區域的中心不同的位置，因此可提高超聲波傳感器中的壓電元件的振動效率與綜合靈敏度，能夠改善特性。再有，由于第2電極和第3電極被設置于壓電基板的第2面，因此能夠不經由殼體而直接連接撓性基板或引線等布線部，使得對作為殼體可利用的材料的制約減少。進而，即便將壓電元件接合到殼體后也能實現第2電極及第3電極與布線部的連接，從而可以提高壓電元件與殼體的接合精度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0020]圖1是表示本發明第I實施方式所涉及的超聲波傳感器的構成例的圖。
[0021]圖2是對壓電元件的構成與配置進行說明的圖。
[0022]圖3是對壓電元件的配置與機電耦合系數及綜合靈敏度的關系進行說明的圖。
[0023]圖4是表示本發明第2實施方式所涉及的超聲波傳感器的構成例的圖。
[0024]圖5是表示本發明的變形例所涉及的超聲波傳感器的構成例的圖。
[0025]圖6是表示現有的超聲波傳感器的構成例的剖視圖及表示現有的超聲波傳感器所具備的壓電元件的構成例的立體圖。
【具體實施方式】
[0026]《第I實施方式》[0027]圖1 (A)是本發明第I實施方式所涉及的超聲波傳感器I的剖視圖。圖1⑶是超聲波傳感器I的俯視圖。其中，圖1(A)表示在圖1(B)中以A-A’所示的位置處的剖面。圖1(B)表示超聲波傳感器I的背面。
[0028]超聲波傳感器I具備殼體2、壓電元件3、吸音部件4、加強部件5、支承部件6、緩沖部件7、減振部件8、撓性基板9、端子保持部件10和管腳端子11A、11B。
[0029]殼體2是圖UA)中的下端面(正面)堵塞而圖UA)中的上端面(背面)開口的有底筒狀，具備筒狀的側壁2A和圓板狀的底板2B。如圖1(B)所示，殼體2的開口俯視時呈圓形。殼體2例如是由彈性模量高且輕量的鋁構成的部件，通過鍛造而形成。另外，殼體2的材料并未限于鋁這種導電性材料，也可以是絕緣性材料。
[0030]在側壁2A中，背面側的部分為薄壁且開口部的內徑大，底板2B側的部分為厚壁且開口部的內徑小。底板2B具備凹部2B1與臺階部2B2。凹部2B1具有底面部與側壁部，且被設置成規定方向(圖1(B)中的橫向)為短邊方向、與短邊方向正交的方向為長邊方向。SP，凹部2B1被設置成長邊方向的兩端抵達至側壁2A。再有，臺階部2B2被設置于凹部2B1的短邊方向的兩肋。凹部2B1的底面部成為殼體2的主要的振動區域，超聲波傳感器I具有在凹部2B1的長邊方向窄而在短邊方向寬的指向性。
[0031]壓電元件3為平板狀，若被施加驅動電壓則在面內方向擴展振動。壓電元件3被配置于殼體2的凹部2B1內部且與底板2B接合。具體而言，壓電元件3與凹部2B1的底面部接合。壓電元件3及底板2B相互接合而構成了雙壓電晶片振動器，通過壓電元件3的擴展振動而底板2B(凹部2B1)在圖1(A)中的上下方向上彎曲振動。
[0032]吸音部件4例如是由聚酯氈(polyesterfelt)等構成的平板狀部件，是為了吸收從壓電元件3向殼體2的開口側放出的不必要的超聲波而設置的。吸音部件4被配置于殼體2的凹部2B1內并被粘接于壓電元件3之上。
[0033]加強部件5是中央具有開口的環狀部件，具有較高的聲阻抗。加強部件5由不銹鋼或鋅那樣的、較之構成殼體2的材料而密度高且剛性高的材料構成，以便作為錘而起作用。其中，加強部件5也可以通過調整厚度等的尺寸而由與殼體2相同的材料(鋁)構成。再有，加強部件5與側壁2A的底板2B側的部分、即厚壁部分的內周面和臺階部2B2相接地被配置在殼體2的底板2B上。這樣，通過設置有加強部件5，從而殼體2的包圍凹部2B1的周圍部分的剛性高，可抑制殼體2的底板2B中的振動向殼體2的側壁2A傳播。
[0034]支承部件6是在中央具有開口的環狀部件，為了使緩沖部件7不與殼體2接觸地進行支承而設置于殼體2的側壁2A與緩沖部件7之間。通過設置有支承部件6，從而可抑制殼體2的底板2B中的振動經由側壁2A而向緩沖部件7傳播。
[0035]緩沖部件7是由硅酮橡膠或聚氨基甲酸乙酯樹脂等彈性體構成的杯狀的部件。緩沖部件7具有被設置在下部且與加強部件5的開口卡合的凸部以及被設置在上部且與端子保持部件10卡合的開口。通過設置有緩沖部件7，從而可抑制殼體2的底板2B中的振動經由側壁2A而向端子保持部件10傳播。
[0036]端子保持部件10是由聚對苯二甲酸丁二醇酯(PBT)等樹脂構成的L字狀的部件，在沿著通過殼體2的開口的中心的軸的狀態下保持管腳端子11A、11B。端子保持部件10的下部彎曲成與設置于緩沖部件7上部的開口卡合。端子保持部件10具有設置在底面的凸部。再有，在端子保持部件10的中央部設置有插通管腳端子IlAUlB的2個貫通孔。[0037]管腳端子IlAUlB是被施加壓電元件3的驅動電壓的金屬制的直線狀管腳，由端子保持部件10保持著。具體而言，管腳端子IlAUlB分別插入至端子保持部件10的貫通孔。管腳端子IlAUlB的下端部從端子保持部件10的貫通孔突出且被配置于殼體2的開口內。管腳端子IlAUlB的上端部從端子保持部件10的上端突出且被配置于殼體2的外部。
[0038]撓性基板9是寬幅的帶狀，是對管腳端子IlAUlB與壓電元件3進行電連接的布線部。撓性基板9彎曲配置于殼體2的開口內，一部分配置在支承部件6與緩沖部件7之間。撓性基板9具有第一端與第二端。第一端沿著與管腳端子IlAUlB的下端部相同的方向延伸且與管腳端子IlAUlB連接。第二端通過導電性粘接劑而與壓電元件3連接。撓性基板9通過導電性粘接劑而與壓電元件3連接，因此與如現有的超聲波傳感器那樣通過焊錫將引線與壓電元件連接的情況相比，可以減輕布線部的重量。由此，可以使壓電元件3的振動更接近理想的狀態。
[0039]減振部件8由硅酮樹脂或聚氨基甲酸乙酯樹脂等彈性體構成。減振部件8被填充在殼體2的內部，對配置于殼體2的開口內的管腳端子IlAUlB的下端部及撓性基板9進行密封。但是，因為利用支承部件6與緩沖部件7來覆蓋殼體2的底板2B側的空間，所以減振部件8僅被填充在殼體2的開口側的空間內。減振部件8具有抑制殼體2的側壁2A的振動的功能，并且還具有防止支承部件6、緩沖部件7自殼體2脫離的功能。
[0040]在這種構成的超聲波傳感器I中，殼體2的底板2B中的振動因吸音部件4、支承部件6、緩沖部件7而衰減，因此幾乎不會向端子保持部件10及管腳端子IlAUlB傳播。因此，能大幅地減輕將超聲波傳感器I安裝到外部基板之際產生的從管腳端子IlAUlB向外部基板的振動泄漏。
[0041]另外，優選支承部件6、緩沖部件7是難以傳播振動的部件，減振部件8是抑制(減振)殼體2的側壁2A的振動的部件。優選支承部件6、緩沖部件7的彈性模量低于減振部件8。更詳細而言，優選彈性模量包括儲存彈性模量與損耗彈性模量，支承部件6、緩沖部件7的儲存彈性模量小而減振部件8的損耗彈性模量大。例如，優選支承部件6、緩沖部件7由硅酮樹脂(硅酮橡膠)構成，而減振部件8由聚氨基甲酸乙酯樹脂構成。
[0042]圖2㈧是用于說明壓電元件3的詳細構成的立體圖。圖2(B)是透視了壓電元件3被接合至殼體2的狀態下的超聲波傳感器I的俯視圖。
[0043]壓電元件3具備電極3A?3D和壓電基板3E。壓電基板3E由鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷構成，在俯視時為長方形的平板狀。電極3A相當于本實施方式中的第I電極，設置于壓電基板3E的第I面、即下表面的整個面上。電極3A與殼體2的底板2B接合。具體而言，電極3A與凹部2B1的底面部接合。電極3B相當于本實施方式中的第2電極,設置于壓電基板3E的第2面、即上表面的一部分。電極3C相當于本實施方式中的第3電極，設置于壓電基板3E的第2面、即上表面的一部分。電極3D設置于壓電基板3E的I個側面，且與電極3A及電極3C連接。因而，電極3A與電極3C被電連接在一起。在壓電基板3E的上表面中的設置有電極3B的區域與設置有電極3C的區域之間，設置著與壓電基板3E的長邊方向平行的直線狀的壓電基板露出區域。由此，電極3B與電極3C隔開規定的間隔，排列設置于壓電基板3E的上表面的短邊方向上,而且相互并未電連接。壓電基板3E的上表面中的設置有電極3B的區域與設置有電極3C的區域相互之間面積并不同，設置有電極3B的區域的面積要比設置有電極3C的區域的面積還大。即，電極3B的面積要比電極3C的面積還大。
[0044]這樣，通過將電極3B與電極3C隔開規定的間隔排列設置，從而電極3B與電極3C被直接連接至撓性基板9的第二端的連接區域9A。連接區域9A在壓電元件3的長邊方向的中心、且電極非形成區域的周邊區域中，與電極3B及電極3C連接。通過如上述那樣構成電極3A?3D，由此在將壓電元件3與殼體的底板2B接合后，撓性基板9的連接區域9A與壓電元件3連接。由此，可以提高壓電元件3與殼體2的接合精度。
[0045]這種構成的壓電元件3，通過在電極3A與電極3B之間施加驅動電壓而使壓電基板3E中的被電極3A與電極3B夾持的區域變形，由此進行振動。另一方面，由于壓電基板3E中的被電極3A與電極3C夾持的區域幾乎不變形，故幾乎無助于振動。壓電基板3E的第2面、即上表面中的設置有電極3B的區域的面積與設置有電極3C的區域的面積不同，在俯視壓電元件3時電極3B與電極3C被設置成非對稱，因此壓電元件3中有助于振動的區域是非對稱的。
[0046]壓電元件3按照在俯視凹部2B1時自身的長邊方向與凹部2B1的長邊方向一致而自身的短邊方向與凹部2B1的短邊方向一致的方式與凹部2B1接合。而且，壓電元件3被配置成:在俯視凹部2B1時自身的短邊方向的中心的位置與凹部2B1的短邊方向的中心的位置不同，即自身的短邊方向的中心自凹部2B1的短邊方向的中心起向臺階部2B2的一側偏置。另外，壓電元件3被配置成:自身的長邊方向的中心與凹部2B1的長邊方向的中心一致。
[0047]這樣，考慮到壓電元件3中對振動有效作用的區域是非對稱的，使壓電元件3的中心自凹部2B1的中心起偏置以使壓電元件3的中心的位置與凹部2B1的中心的位置不同，適當地確定壓電元件3的偏置尺寸、即壓電元件3的中心的位置與凹部2B1的中心的位置之間的距離，由此能提高超聲波傳感器I中的壓電元件3的振動效率與綜合靈敏度，能夠改善特性。
[0048]再有，通過使壓電元件3的短邊方向與凹部2B1的短邊方向一致，從而可以將幾乎無助于振動的壓電基板3E中的被電極3A和電極3C夾持的區域配置成接近殼體的底板2B中的成為振動的節點的臺階部2B2，因此能夠防止壓電元件3的振動被阻礙，可以使超聲波傳感器I的振動更接近理想的狀態。
[0049]再有，撓性基板9的第二端的連接區域9A，在壓電元件3的長邊方向的中心、且電極非形成區域的周邊區域中，通過與電極3B及電極3C連接，從而可以將連接區域9A配置成接近殼體的底板2B中的成為振動的節點的臺階部2B2，因此能夠防止壓電元件3的振動被阻礙，可以使超聲波傳感器I的振動更接近理想的狀態。另外，在此將撓性基板9(未圖示)從連接區域9A向電極3C側引出。由此，可以提高壓電元件3的振動的對稱性，使超聲波傳感器I的振動更接近理想的狀態。
[0050]其中，若對具體尺寸的設定例進行說明，則有凹部2B1的短邊方向的尺寸為
7.0_。壓電元件3的短邊方向的尺寸為5.2_、長邊方向的尺寸為6.5_。電極3C的短邊(寬度)方向的尺寸為0.9_。電極3C與電極3B的邊界的電極非形成區域的短邊(寬度)方向的尺寸為0.4mm。電極3B的短邊(寬度)方向的尺寸為3.9mm。而且，壓電元件3的中心與凹部2B1的中心的偏置尺寸為0.4mm。S卩，凹部2B1的中心位于距壓電元件3的電極3B側的端部為2.2mm且距電極3C側的端部為3.0mm的位置。[0051]在此，基于FEM解析結果對超聲波傳感器I的振動特性進行說明。圖3㈧是表示上述的尺寸設定例中的、由殼體2和壓電元件3構成的雙壓電晶片振動器中的機電耦合系數Kp / %與壓電元件3的偏置尺寸(元件偏離量)的關系的圖。
[0052]如圖3(A)所示，較之壓電元件3的中心與凹部2B1的中心一致、即壓電元件3的偏置尺寸為O的構成，在壓電元件3的偏置尺寸更大的構成中，機電耦合系數Kp / %較大。機電耦合系數Kp / %在壓電元件3的偏置尺寸為規定值(0.4_)時最大，在壓電元件3的偏置尺寸比該規定值還大的構成中，機電耦合系數Kp /%成為比最大值小的值。因此可知，至少在超聲波傳感器的振動效率方面，通過將壓電元件3設為規定的偏置尺寸，從而可使振動效率最大化。
[0053]接著，基于取樣試驗結果(n=3)對超聲波傳感器I的靈敏度特性進行說明。圖3 (B)是表示上述的尺寸設定例中的、超聲波傳感器I的綜合靈敏度Vpp與壓電元件3的偏置尺寸的關系的圖。
[0054]超聲波傳感器I的綜合靈敏度Vpp與壓電元件3的偏置尺寸之間具有正的相關關系，如果偏置尺寸大則綜合靈敏度Vpp高。因此可知，至少在超聲波傳感器I的綜合靈敏度Vpp方面，期望壓電元件3的偏置尺寸大(例如為0.5mm)。
[0055]其中，在現實中如果壓電元件3的偏置尺寸過大，則與壓電元件3連接的撓性基板9的配置也較大程度地偏置，撓性基板9易與殼體2的側壁2A發生干涉。若撓性基板9與殼體2的側壁2A發生干涉，則不必要的振動從撓性基板9向側壁2A傳播，存在特性劣化的擔憂。因此，為了在防止這種干涉的同時使振動特性與靈敏度特性良好，作為上述的壓電元件3的偏置尺寸的設定例而示出偏置尺寸設為0.4mm的設定例。
[0056]另外，如果將撓性基板9的引出方向設為壓電元件3的長邊方向，則撓性基板9與殼體2的側壁2A的干涉難以發生。在該情況下，也可以將偏置尺寸增大到界限值，能夠使超聲波傳感器I的綜合靈敏度更良好。
[0057]《第2實施方式》
[0058]接著，對本發明第2實施方式所涉及的超聲波傳感器21進行說明。
[0059]圖4是本實施方式所涉及的超聲波傳感器21的示意剖視圖。
[0060]超聲波傳感器21取代前述實施方式所涉及的超聲波傳感器I的撓性基板9而具備引線29A、29B。超聲波傳感器21的其他構成與前述實施方式所涉及的超聲波傳感器I相同。引線29A、29B分別與壓電元件3的電極3B、3C(未圖示)直接連接。這樣，也可以構成超聲波傳感器21。在該情況下，也不經由殼體2而將壓電元件3與管腳端子IlAUlB之間直接連接，并且通過偏置配置壓電元件3，從而可適當地實施本發明。
[0061]《變形例》
[0062]接下來，對本發明變形例所涉及的超聲波傳感器31?51進行說明。
[0063]在壓電元件33中，電極3B與電極3C隔開規定的間隔而排列設置在壓電元件33的長邊方向上。壓電元件33在凹部2B1的長邊方向上偏置配置。這種構成中，在凹部2B1的短邊方向上可以提高指向性波束的對稱性。此外，幾乎無助于振動的壓電基板3E(未圖示)中的被電極3A (未圖示)和電極3C夾持的區域，不會與側壁2A、臺階部2B2發生干涉，可以增大壓電元件33的尺寸。
[0064]超聲波傳感器41取代前述實施方式的壓電元件3而具備壓電元件43。超聲波傳感器41的其他構成與前述實施方式所涉及的超聲波傳感器I相同。圖5(B)是透視了壓電元件43被接合到殼體2的狀態下的超聲波傳感器41的俯視圖。
[0065]在壓電元件43中，電極3B和電極3C隔開規定的間隔而排列設置在壓電元件43的短邊方向上。壓電元件43將自身的長邊方向作為凹部2B1的短邊方向且在凹部2B1的長邊方向上偏置配置。
[0066]超聲波傳感器51取代前述實施方式的壓電兀件3而具備壓電兀件53。超聲波傳感器51的其他構成與前述實施方式所涉及的超聲波傳感器I相同。圖5(C)是透視了壓電元件53被接合到殼體2的狀態下的超聲波傳感器51的俯視圖。
[0067]在壓電元件53中，電極3B和電極3C隔開規定的間隔而排列設置在壓電元件53的長邊方向上。壓電元件53將自身的長邊方向作為凹部2B1的短邊方向且在凹部2B1的短邊方向上偏置配置。
[0068]如以上的各實施方式所說明過的那樣，雖然可以實施本發明，但超聲波傳感器的具體構成并未限于上述內容。例如，緩沖部件、支承部件、加強部件、支承部件、吸音部件等的具體形狀或材料也可以是任意的，此外緩沖部件、支承部件、加強部件、支承部件、吸音部件分別可以并不一定非要設置。
[0069]符號說明
[0070]1、21、31、41、51...超聲波傳感器
[0071]2...殼體
[0072]2A...側壁
[0073]2B...底板
[0074]2B1...凹部
[0075]2B2...臺階部
[0076]3、33、43、53...壓電元件
[0077]3A?3D...驅動電極
[0078]3E...壓電基板
[0079]4...吸音部件
[0080]5...加強部件
[0081]6...支承部件
[0082]7...緩沖部件
[0083]8...減振部件
[0084]9...撓性基板
[0085]9A...連接區域
[0086]10...%5子保持部件
[0087]IlAUlB...管腳端子
[0088]29A、29B...引線
【權利要求】
1.一種超聲波傳感器,具備: 殼體，具有作為振動區域的底面部、且為有底筒狀；和 壓電元件，包括:具有第I面及與所述第I面對置的第2面的壓電基板；設置于所述第I面的第I電極；設置于所述第2面的一部分的第2電極；及與所述第2電極隔開地設置于所述第2面的一部分且與所述第I電極連接的第3電極，該壓電元件的所述第I電極與所述底面部接合，在俯視所述底面部時該壓電元件自身的中心被配置在與所述振動區域的中心不同的位置。
2.根據權利要求1所述的超聲波傳感器，其中， 所述壓電基板的所述第2面中的設置有所述第2電極的區域的面積與設置有所述第3電極的區域的面積不同。
3.根據權利要求1所述的超聲波傳感器，其中， 在俯視所述壓電元件時，所述第2電極與所述第3電極被設置成非對稱。
4.根據權利要求1?3中任一項所述的超聲波傳感器，其中， 在俯視所述底面部時，所述振動區域是具有長邊方向和短邊方向的平面形狀， 所述第2電極和所述第3電極被排列在所述短邊方向上。
【文檔編號】H04R17/00GK103828395SQ201280047255
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2012年9月26日 優先權日:2011年9月30日
【發明者】南部浩司 申請人:株式會社村田制作所