專利名稱：硅基電容式麥克風的制作方法
技術領域：
硅基電容式麥克風
技術領域：
本實用新型涉及一種麥克風，尤其涉及一種硅基電容式麥克風。背景技術：
隨著無線通訊的發展，全球移動電話用戶越來越多，用戶對移動電 話的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質量的通話效果，尤其 是目前移動多媒體技術的發展，移動電話的通話質量更顯重要，移動電 話的麥克風作為移動電話的語音拾取裝置，其設計好壞直接影響通話質 量。
目前應用較多且性能較好的麥克風是微電機系統麥克風
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 簡稱MEMS),其封裝 體積比傳統的駐極體麥克風小。MEMS麥克風是基于硅基半導體材料制 成，故又稱硅基麥克風。近幾年，硅基MEMS麥克風已取得了很大的 進步。
如圖3所示，為相關結構的MEMS硅基麥克風1的立體示意圖， 其包括支撐層10和振膜11，振膜11包括振動主體110和與振動主體及 支撐層相連的連接部111。該類麥克風振膜在振動時，由于振膜通過連 接部支撐在支撐層上，振動主體的邊緣偏離的幅度會比較大，從而導致 產品阻尼大幅度下降、靈敏度降低。
實用新型內容
本實用新型需解決的技術問題是克服上述的不足，提供一種靈敏度 得到改善的硅基電容式麥克風。
根據上述需解決的技術問題，設計了一種硅基電容式麥克風，包括 背極板、內部設有空腔的支撐層、與背極板相對的振膜，振膜包括振動 主體和與振動主體相連的連接部，振膜通過連接部支撐在支撐層上，所述硅基電容式麥克風還包括一擋蓋，所述擋蓋包括定位于振膜連接部上 的固持部和與固持部相連且凸出固持部、位于振動主體邊緣之上的擋 塊。
作為本實用新型進一步改進，所述擋蓋的橫截面呈"「"狀。 作為本實用新型進一步改進，所述擋蓋與振動主體形狀相匹配。。 作為本實用新型進一步改進，所述擋蓋為圓環狀。
作為本實用新型進一步改進，所述連接部突出圓形振動主體邊緣。 作為本實用新型進一步改進，所述連接部呈"十"字形支撐在支撐層上。
本實用新型設有的擋蓋的擋塊能對振膜的振動主體邊緣進行限位， 防止振動主體邊緣振幅過大，克服了現有技術的不足，有利于提高產品 的靈敏度。
圖l是本實用新型硅基電容式麥克風的立體示意圖2是圖1中B-B方向的剖視示意圖3是相關結構硅基電容式麥克風的示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施方式對本實用新型作進一 步說明。
如圖1和圖2所示，本實用新型硅基電容式麥克風2包括支撐層20、 背極板21、與背極板相對的振膜22、擋蓋23。支撐層覆蓋在內部設有 空腔的基底24上，相應地，支撐層內也形成空腔。背極板21收容于基 底24的空腔內，其上設有聲孔210。背極板21與振膜相對，和振膜22 之間間隔支撐層20。
本實施方式振膜22包括圓形振動主體220和與振動主體相連、并 突出圓形振動主體的連接部221。該連接部數量為四個，呈"十，，字形均 等分布在振動主體的邊緣。振動主體通過連接部與支撐層相連而支撐在 支撐層上。本實用新型振膜的連接部不限于四個或圖中的形狀。
本實施方式擋蓋23與振動主體的形狀匹配，為圓環狀，其橫截面呈"r"狀，包括固持部231和與固持部相連且凸出固持部的擋塊230。 固持部231固定定位于連接部221上，可使連接部穩定地與支撐層相連。 擋塊230位于振動主體邊緣之上，相對振動主體邊纟彖間隔一定所需的距 離，它能對振動主體邊緣進行限位，防止振動主體邊緣振幅過大，克服 了現有技術的不足，提高了產品的靈敏度。
本實用新型硅基電容式麥克風的振動主體可相對背極板上下振動 并與背極板形成電容效應。當聲音氣流傳遞到振膜上時，振動主體上下 振動以產生位移，改變電容器的電容量，電容量的改變使電容器的輸出 端產生相應的交變電場，形成與聲波信號對應的電信號，從而完成聲電 轉換的功能。
以上所述的僅是本實用新型的實施方式，在此應當指出，對于本領 域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可 以做出改進，但這些均屬于本實用新型的保護范圍。
權利要求1、一種硅基電容式麥克風，包括背極板、內部設有空腔的支撐層、與背極板相對的振膜，振膜包括振動主體和與振動主體相連的連接部，振膜通過連接部支撐在支撐層上，其特征在于所述硅基電容式麥克風還包括一擋蓋，所述擋蓋包括定位于振膜連接部上的固持部和與固持部相連且凸出固持部、位于振動主體邊緣之上的擋塊。
2、 根據權利要求1所述的硅基電容式麥克風，其特征在于所述 擋蓋的橫截面呈"「"狀。
3、 根據權利要求1所述的硅基電容式麥克風，其特征在于所述 擋蓋與振動主體形狀相匹配。
4、 根據權利要求1所述的硅基電容式麥克風，其特征在于所述 擋蓋為圓環狀。
5、 根據權利要求1所述的硅基電容式麥克風，其特征在于所述 連接部突出圓形振動主體邊緣。
6、 根據權利要求5所述的硅基電容式麥克風，其特征在于所述 連接部呈"十"字形支撐在支撐層上。
專利摘要本實用新型提供了一種硅基電容式麥克風，包括背極板、內部設有空腔的支撐層、與背極板相對的振膜，振膜包括振動主體和與振動主體相連的連接部，振膜通過連接部支撐在支撐層上，所述硅基電容式麥克風還包括一擋蓋，所述擋蓋包括定位于振膜連接部上的固持部和與固持部相連且凸出固持部、位于振動主體邊緣之上的擋塊。該擋塊能對振膜的振動主體邊緣進行限位，防止振動主體邊緣振幅過大，克服了現有技術的不足，有利于提高產品的靈敏度。
文檔編號H04R19/00GK201355867SQ20082023572
公開日2009年12月2日 申請日期2008年12月26日 優先權日2008年12月26日
發明者孟珍奎, 睿 張, 舟 葛 申請人:瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學科技(常州)有限公司