專利名稱：固態(tài)圖像傳感器件及其操作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種固態(tài)圖像傳感器件，更具體地，涉及結合CCD(電荷耦合器件)的固態(tài)圖像傳感器件。
背景技術：
半導體技術的發(fā)展增進了固態(tài)圖像傳感器件的使用，其在光接收表面上接收來自目標主體的經(jīng)過一般包括透鏡等等的光學系統(tǒng)的光，并將接收的光的強度光電轉換成相應數(shù)量的電荷，以由此產(chǎn)生電信號。商用的固態(tài)圖像傳感器件通常包括CCD(電荷耦合器件)。半導體器件的精細加工技術的發(fā)展允許制造像素密度增加的固態(tài)圖像傳感器件，也就是，提高精細度的固態(tài)圖像傳感器件。
當固態(tài)圖像傳感器件將圖像轉換成電信號時，CCD用來將從光敏器件接收的電荷轉移到響應于電荷量產(chǎn)生電信號的電路。
設計固態(tài)圖像傳感器件內(nèi)的典型CCD，用來響應于從時鐘產(chǎn)生電路接收的一組時鐘信號來從光敏器件轉移電荷。通常，固態(tài)圖像傳感器件利用一對時鐘信號(在下文中，其可以通過φ1和φ2表示)來操作水平地轉移電荷的水平CCD，如在日本未決公開專利申請No.JP-P2001-68660A中公開的。
圖1公開了在該申請中公開的固態(tài)圖像傳感器件的結構。該公開的固態(tài)圖像傳感器件包括CCD，由數(shù)字100表示，其具有多個電荷轉移電極對110；分別向電荷轉移電極對110饋送第一和第二時鐘信號φ1和φ2的第一和第二時鐘信號線101和102；輸出級電極對113，第三時鐘信號線向輸出級電極對113饋送第三時鐘信號φ1L；一對輸出柵極104；浮置擴散區(qū)105；輸出電路106；和復位柵極107。應該注意，電荷轉移電極對110每個都由第一和第二多晶硅電極111和112構成。在CCD 100中，交替地排列接收第一時鐘信號φ1的電荷轉移電極對110和接收第二時鐘信號φ2的電荷轉移電極對110。
浮置擴散區(qū)105是用于電荷檢測的擴散層。在N阱上方轉移的信號電荷通過輸出柵極104被轉移到浮置擴散區(qū)105。輸出柵極104分別接收一對固定的輸出柵電壓(VOG1和VOG2)，如下文所述。復位柵極107用來周期地復位浮置擴散區(qū)105的電壓電平；復位柵極107響應于復位脈沖信號φR將浮置擴散區(qū)105的電壓電平復位到復位漏極的電壓電平。輸出電路106響應于浮置擴散區(qū)105的電壓電平產(chǎn)生輸出信號。如圖1所示，在CCD 100內(nèi)部，輸出級電極對113位于向浮置擴散區(qū)105轉移電荷的電荷轉移器件的末級。該輸出級電極對113響應于第三時鐘信號φ1L將轉移到此處的電荷轉送到輸出柵極104。
圖2是示出在圖1的C-C′截面上CCD 100的結構的截面圖。該CCD100具有形成在n型半導體襯底內(nèi)部的P阱和形成在P阱上的N阱。該N阱用來積聚和轉移電荷。存儲區(qū)(或非勢壘區(qū))隔著柵電介質位于第一多晶硅電極111下方，并且通過p型雜質(例如硼離子)的離子注入，勢壘(barrier)區(qū)隔著(across)柵電介質形成在第二多晶硅電極112的下方，以在相同電荷轉移電極對110下方的轉移溝道內(nèi)部提供電壓電平差。用于電荷檢測的浮置擴散區(qū)105包括了P阱和N阱之間的pn結，其位于輸出柵極104和復位柵極107之間。
如上所述，輸出級電極對113接收第三時鐘信號φ1L。輸出柵極104中的一個(在下文中，其稱為第一輸出柵電極)接收第一輸出柵電壓VOG1，而輸出柵極104中的另一個(在下文中，其稱為第二輸出柵電極)接收第二輸出柵電壓VOG2。復位柵極107接收復位脈沖信號φR，并且復位漏極108被偏置到復位漏電壓電平VRD。應該注意，第一輸出柵電壓VOG1、第二輸出柵電壓VOG2和復位漏電壓電平VRD是固定的電壓電平。
圖3是示出饋送到CCD 100的信號的波形的時序圖。第一到第三時鐘信號φ1、φ2和φ1L以及復位脈沖信號φR是信號電平根據(jù)時間尺度變化的電壓信號。圖3(a)到3(d)分別示出了第一、第二、第三時鐘信號φ1、φ2和φ1L以及復位脈沖信號φR的波形。第一時鐘信號φ1的“高”和“低”電平在圖3(a)中分別表示為“V1H”、“V1L”，并且第二時鐘信號φ2的“高”和“低”電平在圖3(b)中分別表示為“V2H”、“V2L”。相應地，第三時鐘信號φ1L的“高”和“低”電平在圖3(c)中分別表示為“V3H”、“V3L”，并且復位脈沖信號φR的“高”和“低”電平在圖3(d)中分別表示為“V4H”、“V4L”。
在從t1時刻到t4的時間段中，如圖3(a)所示，第一時鐘信號φ1從電壓電平V1H被下拉到電壓電平V1L，并且然后被上拉到電壓電平V1H。在該期間，第二時鐘信號φ2從電壓電平V2L被上拉到電壓電平V2H，并且然后被下拉到電壓電平V2L，而第三時鐘信號φ1L從電壓電平V3H被下拉到電壓電平V3L，并且然后被上拉到電壓電平V3H。復位脈沖信號φR在t3時刻被上拉。
圖4示出了在從t1時刻到t4的時間段中的電荷轉移。圖4(a)示出了t1時刻在N阱中積聚的電荷的狀態(tài)，而圖4(b)示出了t2時刻電荷的狀態(tài)。相應地，圖4(c)示出了t3時刻在N阱中積聚的電荷的狀態(tài)，而圖4(d)示出了t4時刻電荷的狀態(tài)。
在t1時刻，信號電荷Q1在輸出級電極對113下方的存儲區(qū)中積聚。在從輸出柵極104下面通過之后，在t2時刻信號電荷Q1被注入到浮置擴散區(qū)105中。在t2時刻，信號電荷Q1被檢測為電壓，然后在t3時刻，由于施加到復位柵極107的復位脈沖信號φR的上拉，通過復位漏極108被排到外部。在t3時刻，接下來的信號電荷Q2在輸出級電極對113下方的存儲區(qū)中積聚。
隨后復位脈沖信號φR在t4時刻被下拉到電壓電平VRL，以返回到t1時刻的狀態(tài)。重復這種操作允許連續(xù)檢測信號電荷Q1、Q2、Q3…，作為相應的輸出電壓。
本發(fā)明人現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)現(xiàn)常規(guī)CCD 100的一個問題是一些信號電荷可以保持不轉移。圖5示出了信號電荷保持不轉移的方式。在常規(guī)CCD 100中，電荷轉移電極對110被提供有第一和第二時鐘信號φ1和φ2。另外，鄰近輸出級電極對113的幾個電荷轉移電極對110經(jīng)常具有比遠離輸出級電極對113的其它轉移電極對110更長的電極長度。在這種情況下，轉移信號電荷通過鄰近輸出級電極對113的幾個電荷轉移電極對110所需的持續(xù)時間，比轉移信號電荷通過遠離輸出級電極對113的其它電荷轉移電極對110需要的持續(xù)時間長。另外，電極長度的增加會導致輸出柵極104的邊緣場效應減??；應該注意，邊緣場效應是在電極的邊緣的電場的無序效應。這會導致由圖5(b)中的符號ΔQ2表示的未轉移信號電荷。
另外，常規(guī)的CCD 100在其輸出上會遭受耦合噪聲。圖6是示出時鐘信號和輸出電壓的波形的時序圖。在從t4時刻到t6時刻的時間段期間，第一時鐘信號φ1被下拉，并且第二時鐘信號φ2被上拉。同時，在從t4時刻到t5時刻的時間段期間，第三時鐘信號φ1L被下拉。
與重復排列的電荷轉移電極對110連接的第一和第二時鐘信號線101和102(見圖2)的負載電容通常在幾百皮法級，而與輸出級電極對113連接的第三時鐘信號線103的負載電容通常在幾十皮法級或更小。因此，第三時鐘信號φ1L的傳輸中的CR時間常數(shù)大大地小于第一和第二時鐘信號φ1和φ2的傳輸中的CR時間常數(shù)。因此，時鐘信號φ1和φ2的邊沿比時鐘信號φ1L的邊沿更緩和。
結果，在從t4時刻到t5時刻的時間段中時鐘信號φ1L更快地下拉，而在從t4時刻到t5時刻的時間段中時鐘信號φ1和φ2更緩慢地切換。這不希望地導致了從饋送有第三時鐘信號φ1L的輸出級電極對113施加到浮置擴散區(qū)105的耦合噪聲，結果輸出電壓遭受耦合噪聲，如圖6(d)所示。由第三時鐘信號φ1L造成的耦合噪聲信號不希望地降低了允許的信號轉移時段，并且會導致信號穩(wěn)定時段縮短，尤其在CCD 100以高操作速度操作時。
發(fā)明內(nèi)容
在一個實施例中，一種電荷耦合器件具有輸出柵極；響應于一組時鐘信號來操作的主CCD區(qū)；和輸出區(qū)，其位于輸出柵極和主CCD區(qū)之間并且設計用來將從主CCD區(qū)接收的電荷轉移到輸出柵極。主CCD區(qū)包括第一和第二轉移電極。輸出區(qū)包括接收彼此反相的時鐘信號的第三和第四轉移電極。由主CCD區(qū)接收的該組時鐘信號和由輸出區(qū)接收的時鐘信號是從不同的驅動電路輸出的。
這種體系結構使得饋送到輸出區(qū)的時鐘信號的下降沿比饋送到主CCD區(qū)的時鐘信號的下降沿更陡峭。
在另一個實施例中，饋送到第三和第四轉移電極的時鐘信號具有關于電壓的對稱波形，例如，致使饋送到第三轉移電極的時鐘信號的上拉的持續(xù)時間與饋送到第四轉移電極的時鐘信號的下拉相同。這允許饋送到第三和第四轉移電極的時鐘信號相互消除電荷耦合器件的輸出上的耦合效應。
本發(fā)明有效地減少了電荷耦合器件的輸出電壓的耦合噪聲。另外，本發(fā)明有效地減少了電荷耦合器件的高速操作中的電荷轉移錯誤。
結合附圖，由下面的描述，本發(fā)明的上述和其它的優(yōu)點和特征將更加顯而易見，其中
圖1是示出常規(guī)CCD的結構的平面圖；圖2是示出圖1中所示的常規(guī)CCD的結構的截面圖；圖3是示出圖1中所示的常規(guī)CCD的操作的時序圖；圖4是示出跨過圖1中所示的常規(guī)CCD的電位分布的示意圖；圖5是說明存在未轉移的信號電荷的示意圖；圖6是示出常規(guī)CCD的輸出電壓的波形的時序圖；圖7是示出本發(fā)明的第一實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖；圖8是示出第一實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的截面圖；圖9是示出第一實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的操作的時序圖；圖10是示出在CCD上轉移信號電荷的方式的示意圖；圖11是示出由時鐘信號產(chǎn)生的輸出電壓的波形的時序圖；圖12示出在第一實施例中在輸出電壓上觀察到的耦合噪聲的放大波形圖；圖13是示出在第一實施例中的固態(tài)圖像傳感器件內(nèi)部形成的寄生電容的截面圖；圖14是示出高速操作中時鐘信號的波形的時序圖；圖15是示出跨過用于高速電荷傳輸?shù)腃CD的電位分布的示意圖；圖16是示出本發(fā)明的第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖；圖17是示出第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的截面圖；圖18是示出第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的操作的時序圖；圖19是示出跨過第二實施例中的CCD的電位分布的示意圖；圖20是示出第二實施例中輸出電壓的波形的時序圖；圖21是示出跨過用于高速電荷傳輸?shù)腃CD的電位分布的示意圖；圖22是示出本發(fā)明的第三實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖；圖23是示出本發(fā)明的第四實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖；和圖24是示出本發(fā)明的第五實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在將在這里參考示例性實施例描述本發(fā)明。本領域的技術人員應該認識到，利用本發(fā)明的講解可以實現(xiàn)許多可選的實施例，并且本發(fā)明并不限于以解釋為目的而示出的實施例。在下文中，對一個實例進行描述，其中固態(tài)圖像傳感器件包括離子注入勢壘型兩相CCD。
(第一實施例)圖7是示出本發(fā)明的第一實施例的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖。第一實施例中的固態(tài)圖像傳感器件具有用于轉移電荷的CCD(電荷耦合器件)1，和向CCD 1饋送一組時鐘信號的時鐘產(chǎn)生器2。CCD 1包括第一轉移電極對4、第二轉移電極對3、第三轉移電極對6、第四轉移電極對5、輸出柵極7、浮置二極管9、復位柵極10和復位漏極11。第一轉移電極對4共同接收第一時鐘信號φ1，并且第二轉移電極對3共同接收第二時鐘信號φ2。第三轉移電極對6共同接收第三時鐘信號φ1L，并且第四轉移電極對5共同接收第四時鐘信號φ2L。第一和第三時鐘信號φ1和φ1L具有相同的相位，并且第二和第四時鐘信號φ2和φ2L具有相同的相位。第二和第四時鐘信號φ2和φ2L與第一和第三時鐘信號φ1和φ1L的相位相反。第一到第四轉移電極對3到6和輸出柵極7平行排列，并且N阱8形成在第一到第四轉移電極對3到6和輸出柵極7的下方。
該CCD 1包括主CCD區(qū)1-1和輸出區(qū)1-2。在主CCD區(qū)1-1中，N阱8具有恒定的寬度W，而在輸出區(qū)1-2內(nèi)部，N阱8的寬度向著輸出柵極7漸縮。
第一轉移電極對4和第二轉移電極對3位于主CCD區(qū)1-1中，而第三轉移電極對6、第四轉移電極對5和輸出柵極7位于輸出區(qū)1-2中。雖然僅分別示出了第一和第二轉移電極對3和4中的兩個，但是應該理解，第一和第二轉移電極對3和4的數(shù)目比第三和第四轉移電極對5和6的數(shù)目大。位于主CCD區(qū)1-1中的第一轉移電極對4每個都包括勢壘和存儲電極4-1和4-2，并且第二轉移電極對3每個都包括勢壘和存儲電極3-1和3-2。相應地，位于輸出區(qū)1-2中的第三轉移電極對6每個都包括勢壘和存儲電極6-1和6-2，并且第四轉移電極對5每個都包括勢壘和存儲電極5-1和5-2。最后，輸出柵極7包括第一和第二輸出柵極7-1和7-2。
浮置二極管9接收通過N阱8轉移到其上的信號電荷，并且保持該信號電荷直到該信號電荷被輸出電路12讀出。復位柵極10通過復位脈沖饋送線35接收復位脈沖信號φR。響應于復位脈沖信號φR，復位柵極10周期性地將保持在浮置二極管9中的信號電荷泄露到復位漏極11中。
輸出電路12包括MOS晶體管14和電阻器15。MOS晶體管14的柵極與浮置二極管9連接，并且MOS晶體管14的漏極偏置到電源電平VDD。MOS晶體管14的源極通過電阻15與地連接。由此設計的輸出電路12用作輸出前置放大器，其增強輸出端13上的輸出信號Vout。
時鐘產(chǎn)生器2具有時鐘產(chǎn)生電路21和一組反相器22。時鐘產(chǎn)生電路21由公共基準時鐘產(chǎn)生第一到第四時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L。反相器22每個都用作波形整形的驅動電路。由時鐘產(chǎn)生電路21產(chǎn)生的第一到第四時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L，在通過反相器22波形整形之后，分別被饋送到第一到第四時鐘信號線31到34。更具體地，第一時鐘信號φ1通過第一時鐘信號線32被饋送到第一轉移電極對4的勢壘和存儲電極4-1和4-2，并且第二時鐘信號φ2通過第二時鐘信號線31被饋送到第二轉移電極對3的勢壘和存儲電極3-1和3-2。相應地，第三時鐘信號φ1L通過第三時鐘信號線34被饋送到第三轉移電極對6的勢壘和存儲電極6-1和6-2，并且第四時鐘信號φ2L通過第四時鐘信號線33被饋送到第四轉移電極對5的勢壘和存儲電極5-1和5-2。應該注意，第三時鐘信號線34僅與第三轉移電極對6連接，并且第四時鐘信號線33僅與第四轉移電極對5連接。
圖8是示出在圖7的A-A′截面上的CCD 1的結構的截面圖。P阱16形成在N型半導體襯底17的內(nèi)部，并且N阱8形成在P阱16的表面部分中。轉移電極對3到6位于N阱8的上方。勢壘區(qū)18隔著柵電介質形成在各轉移電極對3到6的勢壘電極3-1、4-1、5-1和6-1的下方。通過離子注入P型雜質(例如B離子)形成勢壘區(qū)18，并在相同轉移電極對下方的轉移溝道中提供電壓電平差。位于各個轉移電極對3到6的存儲電極3-2、4-2、5-2和6-2下方的區(qū)域用作存儲區(qū)，用來在轉移溝道中積聚信號電荷。用于電荷檢測的浮置二極管9位于輸出柵極7和復位柵極10之間。浮置二極管9包括形成在N阱8和P阱16之間的pn結。
圖9是饋送到CCD 1的信號和偏置電壓的時序圖。圖9(a)示出了第一時鐘信號φ1的電壓波形。在圖9(a)中，第一時鐘信號φ1的“高”和“低”電平分別用符號“V1H”和“V1L”表示。圖9(b)示出了第二時鐘信號φ2的電壓波形。在圖9(b)中，第二時鐘信號φ2的“高”和“低”電平分別用符號“V2H”和“V2L”表示。
圖9(c)示出了第三時鐘信號φ1L的電壓波形。在圖9(c)中，第三時鐘信號φ1L的“高”和“低”電平分別用符號“V3H”和“V3L”表示。圖9(d)示出了第四時鐘信號φ2L的電壓波形。在圖9(d)中，第四時鐘信號φ2L的“高”和“低”電平分別用符號“V4H”和“V4L”表示。
圖9(e)示出了復位脈沖信號φR的電壓波形。復位脈沖信號φR的“高”和“低”電平分別用符號“VRH”和“VRL”表示。
圖9(f)示出了第一輸出柵電壓VOG1的波形，其被饋送到第一輸出柵電極7-1。優(yōu)選地，控制第一輸出柵電壓VOG1，以便在饋送到第三轉移電極對6的第三時鐘信號φ1L被下拉到“低”電平V3L的情況下，第一輸出柵電極7-1下方的電荷轉移溝道的電壓電平(在下文中，稱為溝道電壓電平v1)比第三轉移電極對6的第二電極6-2下方的存儲區(qū)內(nèi)部的電荷轉移溝道的電壓電平(在下文中，該電壓電平稱為溝道電壓電平vSL)高。另外，優(yōu)選地控制第一輸出柵極電壓VOG1，以便在第三時鐘信號φ1L被上拉到“高”電平V3H的情況下，溝道電壓電平v1低于第三轉移電極對6的第二電極6-2下方的存儲區(qū)內(nèi)部的電荷轉移溝道的電壓電平(下文中，該電壓電平被稱為溝道電壓電平vSH)。
圖9(g)示出了第二輸出柵電壓VOG2的波形。優(yōu)選地，控制第二輸出柵電壓VOG2，以便第二輸出柵電極7-2下方的電荷轉移溝道的電壓電平(在下文中，稱為溝道電壓電平v2)比第一輸出柵電極7-1下方的電荷轉移溝道的溝道電壓電平v1高。圖9(h)示出了復位漏電壓VRD的波形。優(yōu)選地，確定復位脈沖信號φR的“高”電平VRH，以便當復位脈沖信號φR被上拉到“高”電平時，復位柵極10下方的溝道的電壓電平高于施加到復位漏極11的復位漏電壓VRD。
在t01時刻，如圖9所示，第一時鐘信號φ1被設定為“高”電平V1H，并且第三時鐘信號φ1L被設定為“高”電平V3H。在t02時刻，第一時鐘信號φ1被下拉到“低”電平V1L，并且第二時鐘信號φ2被上拉到“高”電平V2H。在t03時刻，復位脈沖信號φR被上拉到“高”電平VRH。在t04時刻，與時刻t01的情況一樣，第一時鐘信號φ1被設定為“高”電平V1H。
圖10示出了CCD 1響應于上述時鐘信號來轉移信號電荷的方式。在t01時刻，信號電荷Q1在鄰近輸出柵極7的第三電荷轉移電極對6下方的存儲區(qū)(也就是，第三轉移電極對6的存儲電極6-2下方的擴散區(qū))中積聚。在t02時刻，信號電荷Q1在通過第一和第二輸出柵電極7-1和7-2下方之后，注入到浮置二極管9中。
隨后，饋送到復位柵極10的復位脈沖信號φR被上拉到“高”電平VRH，并由此將信號電荷Q1通過復位漏極11泄露到外部。在這時，接下來的信號電荷Q2在鄰近輸出柵極7的第三電荷轉移電極對6下方的存儲區(qū)(也就是，第三轉移電極對6的存儲電極6-2下方的擴散區(qū))中積聚。隨后將復位脈沖信號φR下拉到“低”電平VRL，以返回到與t01時刻相同的狀態(tài)。之后重復該操作，以檢測信號電荷Q3、Q4、Q5…，作為輸出電壓。
在下面，對響應于時鐘信號的輸出電壓的變化進行描述。圖11是示出時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L的波形和輸出電壓Vout的波形的時序圖。詳細地，圖11(a)示出了第一時鐘信號φ1的波形，并且圖11(b)示出了第二時鐘信號φ2的波形。另外，圖11(c)示出了第三時鐘信號φ1L的波形，并且圖11(d)示出了第四時鐘信號φ2L的波形。最后，圖11(e)示出了輸出電壓Vout的波形，其響應于上述時鐘信號而改變。
如圖11所示，在t11時刻和t13時刻之間、t14時刻和t16時刻之間、和t17時刻到t19之間的時間段期間，第一時鐘信號φ1被下拉，并且第二時鐘信號φ2被上拉。另一方面，在t11時刻和t12時刻之間、t14時刻和t15時刻之間、和t17時刻到t18時刻之間的時間段期間，第三時鐘信號φ1L被下拉，并且第四時鐘信號φ2L被上拉。
由圖11可以理解，第一和第二時鐘信號φ1和φ2呈現(xiàn)出比第三和第四時鐘信號φ1L和φ2L更緩和的下降沿。這是由時鐘信號線31到34中的負載電容差導致的。根據(jù)第一和第二轉移電極對3和4的數(shù)目，第一和第二時鐘信號線31和32的負載電容在幾百皮法級。另一方面，根據(jù)第三和第四轉移電極對5和6的減少的數(shù)目，第三和第四時鐘信號線33和34的負載電容為幾十皮法或更小。因此，在饋送到時鐘信號線31到34的時鐘信號的傳輸中，第三和第四時鐘信號線33和34的CR時間常數(shù)小于第一和第二時鐘信號線31和32的CR時間常數(shù)。
圖12示出了輸出電壓的放大波形，其呈現(xiàn)出由時鐘信號導致的噪聲。如上所述，在t11時刻和t13時刻之間的時間段期間，第一時鐘信號φ1被下拉，并且第二時鐘信號φ2被上拉。另一方面，在t11時刻和t12時刻之間的時間段期間，第三時鐘信號φ1L被下拉，并且第四時鐘信號φ2L被上拉。應該注意，因為更短的CR時間常數(shù)，下拉第三時鐘信號φ1L和上拉第四時鐘信號φ2L需要的持續(xù)時間比下拉第一時鐘信號φ1和上拉第二時鐘信號φ2需要的持續(xù)時間更短。
第三和第四時鐘信號φ1L和φ2L具有對稱的電壓波形，并且第三時鐘信號φ1L被上拉的持續(xù)時間與第四時鐘信號φ2L被下拉的持續(xù)時間相同。因此，在第三和第四時鐘信號φ1L和φ2L之間消除了與浮置二極管9耦合的效應，并且輸出電壓呈現(xiàn)出減小的耦合噪聲，如圖12中的實線指示的。
應該注意，第一和第二時鐘信號φ1和φ2導致輸出電壓上的耦合噪聲減小。這是因為第一和第二時鐘信號φ1和φ2具有對稱的電壓波形，并且第一時鐘信號φ1被上拉的持續(xù)時間與第二時鐘信號φ2被下拉的持續(xù)時間相同；在第一和第二時鐘信號φ1和φ2之間也消除了與浮置二極管9耦合的效應。因此，本實施例中的CCD 1有效地抑制了輸出電壓的穩(wěn)定周期的減小，如圖12所示，而由于由第三時鐘信號φ1L導致的耦合噪聲，常規(guī)的CCD會遭受穩(wěn)定周期的減小。
如上所述，為了促進從主CCD區(qū)1-1向浮置二極管9傳輸信號電荷，N阱8的寬度從最后級轉移電極對4向輸出柵極7漸縮，而輸出區(qū)1-2內(nèi)部的存儲電極5-2和6-2的長度比主CCD區(qū)1-1內(nèi)部的存儲電極3-2和4-2的長度長。
圖13是示出形成在本實施例的固態(tài)圖像傳感器件內(nèi)部的寄生電容的截面圖。在本實施例的CCD 1內(nèi)部，形成下面的五個寄生電容(1)第一電容C1，其是浮置二極管9的結電容；(2)第二電容C2，其是浮置二極管9和復位柵極10之間的耦合電容；(3)第三電容C3，其是浮置二極管9和第二輸出柵電極7-2之間的耦合電容；(4)第四電容，其是浮置二極管9和輸出電路12之間連接的互連的互連電容；和(5)第五電容，其是輸出電路12的輸入電容。浮置二極管9的電壓電平的變化ΔV由下面的等式(1)表示ΔV＝Q1/(C1+C2+C3+C4+C5)。…(1)電壓電平變化ΔV是由輸出電路12檢測的，輸出電路12包括MOS晶體管14和電阻器15，并且輸出電壓Vout是響應于電壓電平變化ΔV而從輸出端13輸出的。
輸出電壓Vout由下面的等式(2)表示Vout＝ΔV·gm·R/(1+gm·R)，…(2)其中gm是MOS晶體管14的跨導，并且R是電阻器15的電阻。由等式(1)和(2)，通過以下等式(3)獲得輸出電壓VoutVout＝Q1·gm·R/{(1+gm·R)(C1+C2+C3+C4+C5)}…(3)由等式(3)可理解，對于給定的信號電荷Q1，輸出電壓Vout的增加需要降低第一到第五電容C1到C5?？梢酝ㄟ^減小浮置二極管9的結面積來減小第一到第五電容C1到C5。
最大信號電荷量QMAX表達為下面的等式(4)QMAX＝K·ΔvBS·W·L，…(4)其中ΔvBS是各個轉移電極對的勢壘區(qū)和存儲區(qū)之間溝道電壓電平的差，K是比例常數(shù)，W是存儲區(qū)的電荷轉移溝道寬度，并且L是存儲區(qū)的電荷轉移溝道長度。
存儲區(qū)的電荷轉移溝道長度L是以固態(tài)圖像傳感器件的尺寸和水平方向上排列的像素的數(shù)目為基礎而確定的。另外，考慮到允許的驅動電壓(例如，5V)，電壓電平差ΔvBS不能很容易地改變。因此，為了增大主CCD區(qū)1-1中的最大信號電荷量QMAX，增加了存儲區(qū)的電荷轉移溝道寬度W。
電荷轉移溝道寬度W向著輸出區(qū)1-2中的浮置二極管9漸縮，以促進電荷轉移到浮置二極管9。這優(yōu)選地伴隨著增加輸出區(qū)1-2中的存儲區(qū)的電荷轉移溝道長度。具體地，輸出區(qū)1-2中的電荷轉移電極對5和6的存儲電極5-2和6-2的長度L1、L2、L3和L4中的至少一個(也就是，電荷轉移電極對5和6下方的電荷轉移溝道長度)比主CCD區(qū)1-1中電荷轉移電極對3和4的存儲電極3-2和4-2的長度L長。在該實施例中，隨著電荷轉移溝道寬度W減小，輸出區(qū)1-2的中轉移電極對5和6的存儲電極5-2和6-2的長度增加，以提供具有與主CCD區(qū)1-1相同的最大信號電荷量QMAX的輸出區(qū)1-2。由上述的等式(4)將很容易理解增加輸出區(qū)1-2中的電荷轉移溝道長度的必要性。更具體地，如圖13所示，確定輸出區(qū)1-2中的存儲電極5-2和6-2的長度L1、L2、L3和L4，以便其滿足L4＞L3＞L2＞L1＞L，其中L是主CCD區(qū)1-1中存儲電極3-2和4-2的長度。
圖14是提供本實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的高速操作和正常速度操作之間的比較的時序圖。虛線指出了用于正常速度操作的時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L的波形，并且實線指出了用于高速操作的時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L的波形，在高速操作中，電荷轉移速度增加到正常速度操作的操作速度的三倍。如上所述，在正常速度操作中，第一時鐘信號φ1的“高”和“低”電平分別是V1H和V1L，并且第二時鐘信號φ2的“高”和“低”電平分別是V2H和V2L。相應地，第三時鐘信號φ1L的“高”和“低”電平分別是V3H和V3L，并且第四時鐘信號φ2L的“高”和“低”電平分別是V4H和V4L。在一個實施例中，第一到第四時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L具有相同的“高”電平和相同的“低”電平。換句話說，其滿足V1H＝V2H＝V3H＝V4H＝VH，和V1L＝V2L＝V3L＝V4L＝VL。
分別用來饋送第二和第一時鐘信號φ2和φ1的時鐘信號線31和32具有大的負載電容，因為增加了主CCD區(qū)1-1中第一和第二轉移電極對3和4的數(shù)目。因此，在高速操作中，在達到正常速度操作中實現(xiàn)的初始“高”和“低”電平VH和VL之前，因為時鐘信號線31和32的CR時間常數(shù)的增加，第一和第二時鐘信號φ1和φ2可以轉換。如圖14(a)所示，例如，與正常操作相比較，在高速操作中第一時鐘信號φ1在V1H′和V1L′之間呈現(xiàn)出降低的振幅。相應地，如圖14(b)所示，在高速操作中第二時鐘信號φ2在V2H′和V2L′之間呈現(xiàn)出降低的振幅。
相反，分別用來饋送第四和第三時鐘信號φ2L和φ1L的時鐘信號線33和34具有小負載電容，因為減少了輸出區(qū)1-2中的第三和第四轉移電極對5和6的數(shù)目。因此，因為時鐘信號線31和32的CR時間常數(shù)的減小，與正常速度操作一樣，第三和第四時鐘信號φ1L和φ2L在高速操作中達到“高”和“低”電平VH和VL。
圖15示出了在第一實施例中在高速操作中的電荷轉移溝道的電位分布。虛線指示出了對于當?shù)谝坏降谒臅r鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L分別設定為V1H、V2L、V3H和V4L時的情形的溝道電壓電平，同時實線指示出了對于當?shù)谝坏降谒臅r鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L分別設定為V1L、V2H、V3L和V4H時的情形的溝道電壓電平。
在本實施例中，與第二和第一時鐘信號線31和32獨立地提供用來向輸出區(qū)1-2中的轉移電極對5和6饋送第四和第三時鐘信號φ2L和φ1L的第四和第三時鐘信號線33和34。因此，在高速操作中，第三和第四時鐘信號φ1L和φ2L呈現(xiàn)出|V1H-V1L|的振幅。
結果，如圖15所示，在輸出區(qū)1-2中第三和第四轉移電極對6和5下方的存儲區(qū)的溝道電壓電平比主CCD區(qū)1-1中的溝道電壓電平深ΔV1。這允許利用邊緣場效應，以由此抑制輸出區(qū)1-2中的電荷轉移失敗。
(第二實施例)在下面，進行描述本發(fā)明的第二實施例。在下面，相同的元件用與第一實施例相同的標號表示；由相同的標號表示的元件同樣設計來提供相同的功能。因此，省略了對由與第一實施例中相同的標號表示的元件的重復描述。
圖16是第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的平面圖。第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件具有CCD 1和時鐘產(chǎn)生器2。CCD 1另外包括第五轉移電極對6a。第二實施例中的固態(tài)圖像器件通過適當?shù)乜刂频谖鍟r鐘信號φ1L′的波形實現(xiàn)了兩個相鄰像素的信號電荷的求和。時鐘產(chǎn)生器2內(nèi)部的時鐘產(chǎn)生器電路23，除了產(chǎn)生第一到第四時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L之外，還產(chǎn)生第五時鐘信號φ1L′。第五轉移電極對6a包括勢壘電極6a-1和存儲電極6a-2，它們被饋送有第五時鐘信號φ1L′。
圖17是示出第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的截面圖。在輸出柵極7與第三和第四轉移電極對5和6之間，第五轉移電極對6a被定位于鄰近輸出柵極7。響應于第五時鐘信號φ1L′，第五轉移電極對6a將從相鄰的第四轉移電極對5接收的信號電荷通過輸出柵極7轉移到浮置二極管9。
圖18是示出第二實施例中的CCD 1的操作時序的時序圖。如圖18所示，第五時鐘信號φ1L′的一個循環(huán)周期是第三時鐘信號φ1L的循環(huán)周期的三倍長。第五時鐘信號φ1L′的“高”和“低”電平分別為V5H和V5L。在t21時刻，第一和第三時鐘信號φ1和φ1L設定為“高”電平，并且第二和第四時鐘信號φ2和φ2L設定為“低”電平。在這時，饋送到第五轉移電極對6a的第五時鐘信號φ1L′設定為“高”電平。在t22時刻，第一到第五時鐘信號φ1、φ2、φ1L、φ2L和φ1L′被反轉。在t23時刻，復位脈沖信號φR被上拉，以復位浮置二極管9。最終，在t24時刻，在浮置二極管9被復位之后，除第五時鐘信號φ1L′之外，時鐘信號φ1、φ2、φ1L和φ2L被反相反轉。
圖19示出了響應于上述時鐘信號，CCD 1內(nèi)部的電荷轉移操作。在t21時刻，信號電荷Q1在存儲電極6a-2下方的存儲區(qū)中積聚。在t22時刻，轉移除信號電荷Q1之外的由數(shù)字Q2到Q4表示的信號電荷，而信號電荷Q1完全留下。
在t23時刻，信號電荷Q2加入到存儲電極6a-2下方的存儲區(qū)中的信號電荷Q1。隨后通過輸出柵極7下方的溝道，加在一起的信號電荷Q1和Q2被注入到浮置二極管9。重復該操作，以響應于來自相鄰的兩個像素的信號電荷之和Q1+Q2、Q3+Q4…來產(chǎn)生輸出電壓。
圖20是示出第二實施例中的輸出電壓Vout的波形的時序圖。如圖20所示，與第一實施例的情況一樣，在第二實施例的CCD 1中降低了輸出電壓Vout的耦合噪聲。應該把耦合噪聲的降低歸功于第五時鐘信號φ1L′以與第三和第四時鐘信號φ1L和φ2L相同的延遲時序被轉變的事實。
另外，第二實施例中的固態(tài)圖像傳感器件有效地減低了高速操作中的電荷轉移失敗，與第一實施例的情況一樣。圖21示出了在第二實施例中高速操作中，跨過CCD 1的電位分布。
在圖21中，虛線指出了第一到第五時鐘信號φ1、φ2、φ1L、φ2L和φ1L′分別設定為V1H、V2L、V3H、V4L和V5H的情況下的溝道電壓電平，同時實線指示出第一到第五時鐘信號φ1、φ2、φ1L、φ2L和φ1L′分別設定為V1L、V2H、V3L、V4H和V5L的情況下的溝道電壓電平。如圖21所示，輸出區(qū)1-2中的第三和第四轉移電極對5和6下方的存儲區(qū)的溝道電壓電平比主CCD區(qū)1-1中的溝道電壓電平深ΔV1，如圖21所示。這有效地抑制了輸出區(qū)1-2中的電荷轉移失敗。
如此所述，第二實施例中檢測相鄰兩個像素的信號電荷總數(shù)的CCD 1的設計，通過用第五時鐘信號φ1L′驅動第五轉移電極對6a，有效地降低了耦合噪聲，同時有效地抑制了高速操作中輸出區(qū)1-2中的電荷轉移失敗。
(第三實施例)圖22是示出本發(fā)明的第三實施例的平面圖。第三實施例中的時鐘產(chǎn)生器2包括一組反相器22-1到22-4。第一和第三反相器22-1和22-3的輸入共同連接到第一節(jié)點N1，其中第一節(jié)點N1連接到時鐘產(chǎn)生器電路23的第一輸出。第二和第四反相器22-2和22-4的輸入共同連接到第二節(jié)點N2，其中第二節(jié)點N2連接到時鐘產(chǎn)生器電路23的第二輸出。時鐘產(chǎn)生器2的這種布置有效地減少了時鐘產(chǎn)生器電路23的輸出的數(shù)目。
(第四實施例)圖23是示出本發(fā)明的第四實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖。第四實施例中的固態(tài)圖像傳感器件包括第一和第二接觸焊盤43和44，其分別用于從與時序產(chǎn)生器40連接的第一和第二時鐘驅動電路41和42外接收時鐘信號。
在第四實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的操作中，第一時鐘驅動電路41向第一接觸焊盤43饋送時鐘信號，并且第二時鐘驅動電路42將另一個時鐘信號饋送到第二接觸焊盤44。饋送到第一和第二接觸焊盤43和44的時鐘信號的相位彼此相反。
第一接觸焊盤43與第二時鐘信號線31和第四時鐘信號線33連接。第二時鐘信號線31和第四時鐘信號線33的每個的一端與第一接觸焊盤43連接，使得它們的其它部分彼此分開。換句話說，第二時信號鐘線31和第四時鐘信號線33從第一接觸焊盤43分支。相應地，第一時鐘信號線32和第三時鐘信號線34的每個的一端與第二接觸焊盤44連接，使得它們的其它部分彼此分開。換句話說，第一時鐘信號線32和第三時鐘信號線34從第二接觸焊盤44分支。
與第一到第三實施例的情況一樣，第二時鐘信號線31用來將第二時鐘信號φ2饋送到主CCD區(qū)1-1中的第二轉移電極對3(每個包括勢壘和存儲電極3-1和3-2)，并且第四時鐘信號線33用來將第四時鐘信號φ2L饋送到輸出區(qū)1-2中的第四轉移電極對5(每個包括勢壘和存儲電極5-1和5-2)。相應地，第一時鐘信號線32用來將第一時鐘信號φ1饋送到主CCD區(qū)1-1中的第一轉移電極對4，并且第三時鐘信號線34用來將第三時鐘信號φ1L饋送到輸出區(qū)1-2中的第三轉移電極對6。
如圖23所示，與第四和第三時鐘信號線33和34連接的第四和第三轉移電極對5和6的數(shù)目比與第二和第一時鐘信號線31和32連接的第二和第一轉移電極對3和4的數(shù)目小。
因此，第四和第三時鐘信號線33和34的寄生電容比第二和第一時鐘信號線31和32的寄生電容小。與在CCD 1上用一對公共時鐘線來饋送一對時鐘信號的情形相比，這有效地抑制了饋送到輸出區(qū)1-2內(nèi)部的轉移電極對5和6的時鐘信號的波形失真。本實施例中的上述體系結構有效地實現(xiàn)了在減少時鐘緩沖器數(shù)目情況下的高速電荷傳輸。
(第五實施例)圖24是示出本發(fā)明的第五實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的結構的平面圖。第五實施例中的固態(tài)圖像傳感器件包括第一和第二接觸焊盤43和44，其分別用于從與時序產(chǎn)生器40連接的第一和第二時鐘驅動電路41和42外接收時鐘信號。
在第五實施例中的固態(tài)圖像傳感器件的操作中，第一時鐘驅動電路41向第一接觸焊盤43饋送時鐘信號，并且第二時鐘驅動電路42將另一個時鐘信號饋送到第二接觸焊盤44。饋送到第一和第二接觸焊盤43和44的時鐘信號的相位彼此相反。
第一接觸焊盤43與連接節(jié)點N3連接，其中節(jié)點N3與第二時鐘線31和第四時鐘信號線33連接。第二時鐘線31和第四時鐘信號線33的每個的一端與連接節(jié)點N3連接，并且它們的其它部分彼此分開。換句話說，第二時鐘線31和第四時鐘信號線33從連接節(jié)點N3分支。
相應地，第二接觸焊盤44與連接節(jié)點N4連接，其中節(jié)點N4與第一時鐘線32和第三時鐘信號線34連接。第一時鐘線32和第三時鐘信號線34的每個的一端與連接節(jié)點N4連接，并且它們的其它部分彼此分開。換句話說，第一時鐘線32和第三時鐘信號線34從連接節(jié)點N4分支。
與第一到第四實施例中的情況一樣，第二時鐘信號線31用來將第二時鐘信號φ2饋送到主CCD區(qū)1-1中的第二轉移電極對3，并且第一時鐘信號線32用來將第一時鐘信號φ1饋送到主CCD區(qū)1-1中的第一轉移電極對4。另外，第四時鐘信號線33用來將第四時鐘信號φ2L饋送到輸出區(qū)1-2中的第四轉移電極對5，并且第三時鐘信號線34用來將第三時鐘信號φ1L饋送到輸出區(qū)1-2中的第三轉移電極對6。
如圖24所示，與第四時鐘信號線33連接的第四移電極對5的數(shù)目比與第二時鐘信號線31連接的第二轉移電極對3的數(shù)目小。因此，第四時鐘信號線33的寄生電容比第二時鐘信號線31的寄生電容小。相應地，與第三時鐘信號線34連接的第三轉移電極對6的數(shù)目比與第一時鐘信號線32連接的第一轉移電極對4的數(shù)目小。因此，第三時鐘信號線34的寄生電容比第一時鐘信號線32的寄生電容小。這種體系結構可降低饋送到輸出區(qū)1-2中的轉移電極對5和6的時鐘信號的波形失真。
顯而易見，本發(fā)明并不限于上述實施例，在不偏離本發(fā)明的范圍的情況下，其可以被修改和變化。尤其應該注意，如果在結構或操作中沒有導致任何矛盾，可以組合上述的實施例。
權利要求
1.一種電荷耦合器件，包括輸出柵極；響應于一組時鐘信號來操作的主CCD區(qū)；和輸出區(qū)，其位于所述輸出柵極和所述主CCD區(qū)之間并且用于將從所述主CCD區(qū)接收的電荷轉移到所述輸出柵極；其中所述主CCD區(qū)包括接收所述一組時鐘信號的第一和第二轉移電極，并且所述輸出區(qū)包括接收相位彼此相反的時鐘信號的第三和第四轉移電極，其中由所述第一和第二轉移電極接收的所述一組時鐘信號和由所述第三和第四轉移電極接收的所述時鐘信號是從不同的驅動電路輸出的。
2.根據(jù)權利要求1的電荷耦合器件，其中由所述第一和第二轉移電極接收的所述一組時鐘信號包括第一時鐘信號；和與所述第一時鐘信號相位相反的第二時鐘信號，其中由所述第三和第四轉移電極接收的所述時鐘信號包括具有與所述第一時鐘信號相同循環(huán)周期的第三時鐘信號；和具有與所述第二時鐘信號相同循環(huán)周期的第四時鐘信號。
3.根據(jù)權利要求2的電荷耦合器件，進一步包括將所述第一時鐘信號饋送到所述主CCD區(qū)的第一時鐘信號線；將所述第二時鐘信號饋送到所述主CCD區(qū)的第二時鐘信號線；第三時鐘信號線，其與所述第一和第二時鐘信號線分離地設置，并將所述第三時鐘信號饋送到所述第四轉移電極；和第四時鐘信號線，其與所述第一和第二時鐘信號線分離地設置，并將所述第四時鐘信號饋送到所述第三轉移電極；其中所述第三時鐘信號線與所述第四轉移電極連接，而不與所述主CCD區(qū)連接，并且其中所述第四時鐘信號線與所述第三轉移電極連接，而不與所述主CCD區(qū)連接。
4.根據(jù)權利要求1的電荷耦合器件，其中所述第三和第四轉移電極彼此相鄰布置，并且其中所述第三和第四轉移電極中的一個與所述輸出柵極相鄰布置。
5.根據(jù)權利要求4的電荷耦合器件，進一步包括連接在所述輸出柵極與所述第三和第四轉移電極中的所述一個之間的第五轉移電極，其中所述第五轉移電極接收第五時鐘信號，該第五時鐘信號具有與所述第三時鐘信號的循環(huán)周期的整倍數(shù)相同的循環(huán)周期。
6.根據(jù)權利要求4的電荷耦合器件，其中所述第一至第四時鐘信號的頻率是可改變的。
7.根據(jù)權利要求1的電荷耦合器件，進一步包括電荷轉移擴散層，所述電荷通過該電荷轉移擴散層在所述主CCD區(qū)和所述輸出區(qū)內(nèi)轉移，其中在所述輸出區(qū)中，所述電荷轉移擴散層朝著所述輸出柵極漸縮，并且其中所述第三和第四轉移電極的長度隨著所述電荷轉移擴散層的寬度減小而增加。
8.一種固態(tài)圖像傳感器件，包括輸出柵極；主CCD區(qū)，其包括第一和第二轉移電極；輸出區(qū)，其位于所述輸出柵極和所述主CCD區(qū)之間，并且用于將從所述主CCD區(qū)接收的電荷轉移到所述輸出柵極，所述輸出區(qū)包括第三和第四轉移電極；第一接觸焊盤；第二接觸焊盤；與所述第一接觸焊盤連接的第二和第四時鐘信號線；和與所述第二接觸焊盤連接的第一和第三時鐘信號線，其中所述第一時鐘信號線將第一時鐘信號饋送到所述第一轉移電極；其中所述第二時鐘信號線將第二時鐘信號饋送到所述第二轉移電極；其中所述第三時鐘信號線將第三時鐘信號饋送到所述第三轉移電極；其中所述第四時鐘信號線將所述第四時鐘信號饋送到所述第四轉移電極。
9.根據(jù)權利要求8的固態(tài)圖像傳感器件，其中與所述第三時鐘信號線連接的所述第三轉移電極的數(shù)目少于與所述第一時鐘信號線連接的所述第一轉移電極的數(shù)目。
10.根據(jù)權利要求9的固態(tài)圖像傳感器件，其中與所述第四時鐘信號線連接的所述第四轉移電極的數(shù)目少于與所述第二時鐘信號線連接的所述第二轉移電極的數(shù)目。
11.根據(jù)權利要求8的固態(tài)圖像傳感器件，其中所述第二和第四時鐘信號線在除了所述第一接觸焊盤之外的部分彼此分離。
12.根據(jù)權利要求11的固態(tài)圖像傳感器件，其中所述第一和第三時鐘信號線在除了所述第二接觸焊盤之外的部分彼此分離。
13.根據(jù)權利要求8的固態(tài)圖像傳感器件，其中所述第二和第四時鐘信號線從所述第一接觸焊盤分支。
14.根據(jù)權利要求13的固態(tài)圖像傳感器件，其中所述第一和第三時鐘信號線從所述第二接觸焊盤分支。
15.根據(jù)權利要求8的固態(tài)圖像傳感器件，進一步包括與所述第一接觸焊盤連接的第一節(jié)點；和與所述第二接觸焊盤連接的第二節(jié)點，其中所述第二和第四時鐘信號線每個都具有與所述第一節(jié)點連接的端部，其中所述第一和第三時鐘信號線每個都具有與所述第二節(jié)點連接的端部。
全文摘要
一種電荷耦合器件具有輸出柵極(7)；響應于一組時鐘信號(φ1，φ2)來操作的主CCD區(qū)(1－1)；和輸出區(qū)(1－2)，其位于輸出柵極(7)和主CCD區(qū)(1－1)之間并用于將從主CCD區(qū)(1－1)接收的電荷轉移給輸出柵極(7)。主CCD區(qū)(1－1)包括第一和第二轉移電極(4，3)。輸出區(qū)(1－2)包括第三和第四轉移電極(6，5)，其接收相位彼此相反的時鐘信號(φ1L，φ2L)。由CCD區(qū)(1－1)接收的一組時鐘信號(φ1，φ2)和由輸出區(qū)(1－2)接收的時鐘信號(φ1L，φ2L)從不同的驅動電路輸出。
文檔編號H04N5/372GK101047197SQ20071009142
公開日2007年10月3日 申請日期2007年3月28日 優(yōu)先權日2006年3月28日
發(fā)明者松山英二 申請人:恩益禧電子股份有限公司