專利名稱：固態圖像拾取裝置及包括其的照相機的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種使用電荷耦合器件的固態圖像拾取裝置。
背景技術：
需要一種安裝在數碼照相機等中的固態圖像拾取裝置來應付減小尺寸和重量、高可靠性、高靈敏度、高動態范圍以及進一步高分辨率的需求。
下面介紹一種在日本特許公開專利公報No.2004-180284和No.2005-166826中公開的常規固態圖像拾取裝置。
圖7A和7B是表示常規固態圖像拾取裝置的示意圖。更特別地，圖7A是示意結構圖，圖7B是表示柵極在具有多個驅動電極的分配傳送部件(distribution transfer section)20中的排列的結構圖，其中多個驅動電極獨立地設置在列方向上，用于控制信號電荷從圖像拾取區域30向水平傳送部件10的讀出。圖8是表示分配傳送部件中的布線的示意圖。
在圖7A中，常規固態圖像拾取裝置包括多個光電檢測部件50，它們按照兩維方式對應像素進行布置，并且在每個光電檢測部件50中，設置三種顏色如紅(R)、綠(G)和藍(B)的任意濾色器；和CCD(電荷耦合器件)，其包括驅動電極V1-V6、V3R、V3L、V5R和V5L。
常規固態圖像拾取裝置還包括用于沿垂直方向傳送信號電荷的多個垂直傳送部件40以及驅動電極H1和H2，所述信號電荷是根據驅動脈沖ΦV1-ΦV6、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5R和ΦV5L的施加由光電檢測部件50產生的。
常規固態圖像拾取裝置還包括用于根據驅動脈沖ΦH1和ΦH2將信號電荷沿水平方向傳送到輸出放大器60的水平傳送部件10；和分配傳送部件20，其布置在水平傳送部件10和圖像拾取區域30之間，該圖像拾取區域30具有布置在其中的多個光電檢測部件50和多個垂直傳送部件40。分配傳送部件20包括多個驅動電極，這些驅動電極獨立地設置在列方向上，用于控制信號電荷從圖像拾取區域30向水平傳送部件10的讀出。
在圖7B中，垂直傳送部件40和分配傳送部件20具有用于每2n+1(n是等于或大于1的整數)列的公共電極圖形(common pattern ofelectrodes)，并包括給其施加驅動脈沖ΦV1-ΦV6、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5R和ΦV5L的驅動電極V1-V6、V3R、V3L、V5R和V5L。
驅動電極V1、V2、V4和V6由所有列共享，驅動電極V3、V3R、V3L、V5R和V5L是獨立的電極，它們對于每列按照島狀的方式分開。分配傳送部件20獨立地為每列控制信號電荷從垂直傳送部件40向水平傳送部件10的讀出。
在圖8中，經過獨立的導線110向分配傳送部件20中的驅動電極V3、V3R、V3L、V5、V5R和V5L輸入驅動脈沖。
在這種情況下，為了給分配傳送部件20供給驅動脈沖，獨立的電極V3、V3R、V3L、V5、V5R和V5L總共需要六個獨立的導線110。三個獨立的導線110在圖像拾取區域30中的水平方向延伸，并連接到驅動電極V3、V3R和V3L，其它獨立導線在水平傳送部件10上橫過，并連接到驅動電極V5、V5R、和V5L。
在該常規固態圖像拾取裝置中，連接到驅動電極V5、V5R和V5L的獨立導線形成在鋁層中。在這種情況下，水平傳送部件被鎢層光屏蔽，導致不能獲得足夠的光屏蔽特性的問題。
發明內容
給定了常規固態圖像拾取裝置中的上述問題，本發明的目的是提供一種具有分配傳送部件的固態圖像拾取裝置，其中為了提高對水平傳送部件進行光屏蔽的性能，用具有高光屏蔽特性的金屬層(如鋁層)覆蓋水平傳送部件。
為了達到上述目的，本發明的第一方面旨在一種固態圖像拾取裝置，其包括用于產生信號電荷的多個光電檢測部件；用于沿垂直方向傳送信號電荷的多個垂直傳送部件；用于從垂直傳送部件接收信號電荷并沿水平方向傳送接收到的信號電荷的水平傳送部件；分配傳送部件，包括沿列方向獨立地設置的多個驅動電極，以便將信號電荷從垂直傳送部件傳送到水平傳送部件；和第一導線，其形成在水平傳送部件上并連接到驅動電極，用于光屏蔽水平傳送部件。
優選地，水平傳送部件只由第一導線進行光屏蔽。
優選地，第一導線形成在鋁層中。
優選地，該固態圖像拾取裝置還包括形成在水平傳送部件上方的第二光屏蔽層。
優選地，該固態圖像拾取裝置還包括形成在分配傳送部件上方的第二光屏蔽層。
優選地，該固態圖像拾取裝置還包括形成在水平傳送部件上方的第二導線。
優選地，第二導線形成在為鋁層的第二光屏蔽層的中。
優選地，分配傳送部件具有用于每n(n是等于或大于2的整數)列的公共電極圖形。
優選地，該固態圖像拾取裝置還包括在分配傳送部件上方的區域和水平傳送部件上方的區域中的至少一個區域中形成的黑色片上透鏡層。
優選地，該固態圖像拾取裝置還包括在分配傳送部件上方的區域和水平傳送部件上方的區域中的至少一個區域中形成的彩色片上透鏡。
本發明的第二方面旨在一種包括根據第一方面的固態圖像拾取裝置的照相機。
在根據本發明的固態圖像拾取裝置中，在混合像素信號和多個像素的每個像素的重力中心時，其中要在水平傳送部件中混合的輸出像素信號是規則的，不需要放棄信號電荷。因此，可以減少水平方向上的像素數量。此外，該固態圖像拾取裝置能夠以高速度輸出優良品質的圖像信號而不產生波紋和錯誤信號。
另外，由于用于驅動電極的所有獨立導線在圖像拾取區域中沿水平傳送方向形成，因此水平傳送部件可以被鋁層光屏蔽，實現了比常規固態圖像拾取裝置更優異的光屏蔽性能。
由于水平傳送部件可以被金屬層(如鋁層)光屏蔽，其中所述金屬層位于比常規水平傳送部件中的光屏蔽層更高的位置上，因此可以減小多晶硅柵電極的端子和光屏蔽層之間的電容，減少了取決于水平傳送部件的時間常數的脈沖的不銳利性，能夠以高速度驅動水平傳送部件并增加輸出信號的數據傳輸率的速度。
本發明的這些和其他目的、特點、方面和優點將從下面結合附圖對本發明的詳細說明中更明顯看出。
圖1A是表示根據本發明第一實施例的固態圖像拾取裝置的示意結構圖；圖1B是表示第一實施例的分配傳送部件的柵極的結構圖；圖2是第一實施例的時序圖；圖3是表示第一實施例的分配傳送部件中的布線的示意圖；圖4是表示第一實施例的水平傳送部件和多晶硅柵電極的由鋁制成的布線的詳細布局的示意圖；圖5是表示第一實施例的水平傳送部件的橫斷面視圖的示意圖；圖6是表示根據本發明第二實施例的照相機的方框圖；圖7A是表示常規固態圖像拾取裝置的示意結構圖；圖7B是表示常規分配傳送部件的柵極的結構8是表示常規分配傳送部件中的布線的示意圖；圖9是表示常規技術的水平傳送部件和多晶硅柵電極的由鋁制成的布線的詳細布局的示意圖；以及圖10是表示常規水平傳送部件的橫斷面視圖的示意圖。
具體實施例方式
(第一實施例)
下面將參照附圖介紹本發明的第一實施例。
圖1A是表示根據本發明第一實施例的固態圖像拾取裝置的示意圖。圖1B是表示分配傳送部件中的柵極的排列的示意圖。
在圖1A中，進入圖像拾取區域中的光由光電檢測部件50進行光電轉換，并產生信號電荷。信號電荷被讀出晶體管等(未示出)讀出到垂直傳送部件40。之后，信號電荷被垂直傳送部件40傳送并到達水平傳送部件10。
根據第一實施例的固態圖像拾取裝置包括多個光電檢測部件50和驅動電極V1-V6、V3R、V3L、V5R和V5L，其中多個光電檢測部件50按照對應像素的兩維方式進行布置，并且每個光電檢測部件中布置三種顏色如紅(R)、綠(G)和藍(B)的任意濾色器。
并且該固態圖像拾取裝置包括多個垂直傳送部件40和包括驅動電極H1和H2的水平傳送部件，其中垂直傳送部件40根據驅動脈沖ΦV1-ΦV6、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5R和ΦV5L的施加而將由光電檢測部件50產生的信號電荷沿垂直方向傳送。
根據第一實施例的固態圖像拾取裝置還包括分配傳送部件20，該分配傳送部件20包括用于根據驅動脈沖ΦH1和ΦH2的施加而沿水平方向傳送信號電荷的水平傳送部件10和獨立電極，該獨立電極沿列方向獨立地布置，并用于控制信號電荷從多個光電檢測部件50和多個垂直傳送部件40的讀出。
在圖1A和1B中，垂直傳送部件40和分配傳送部件20具有用于每2n+1(n是等于或大于1的整數)列的公共電極圖形并包括給其施加驅動脈沖ΦV1-ΦV6、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5R和ΦV5L的驅動電極V1-V6、V3R、V3L、V5R和V5L。
驅動電極V1、V2、V4和V6由所有列共享，驅動電極V3、V3R、V3L、V5、V5R和V5L對于每列來說按照島狀方式分開。分配傳送部件20獨立地為每個列控制信號電荷從垂直傳送部件40向水平傳送部件10的讀出。
根據本發明的第一實施例，通過采用上述結構，可以實現這樣一種固態圖像拾取裝置其中減少了水平方向的像素數量，能夠以優良品質和高速度輸出圖像信號而不會產生波紋和錯誤信號。
接下來，在圖2中，示出了用于驅動根據第一實施例的固態圖像拾取裝置的驅動脈沖的時序圖。
在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，當驅動脈沖ΦV1-ΦV6、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5R和ΦV5L處于高電平時，給其施加驅動脈沖的驅動電極用做存儲部件，當驅動脈沖ΦV1-ΦV6、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5R和ΦV5L處于低電平時，給其施加驅動脈沖的驅動電極用做阻擋部件(barrier section)。
首先，在每三列中，在圖2中的時刻A，驅動電極V5L和V6用做存儲部件，并且只有V5L線的電荷被傳送到水平傳送部件10。當完成從V5L線向水平傳送部件10傳送電荷時，通過驅動水平傳送部件10中的驅動電極H1和H2，被傳送的電荷對于兩個像素沿向前方向(朝向輸出放大器的方向)移動。
接著，在每三列中，在圖2中的時刻B，驅動電極V5和V6用做存儲部件，并且只有V5線中的電荷被傳送到水平傳送部件10。結果是，已經在時刻A被傳送到水平傳送部件的V5L線的電荷和V5線的電荷在水平傳送部件10中混合。通過混合電荷之后驅動水平傳送部件10中的驅動電極H1和H2，混合電荷對于兩個像素沿向前方向移動。
接著，在每三個列中，在圖2中的時刻C，驅動電極V5R和V6用做存儲部件，并且只有V5R線的電荷被傳送到水平傳送部件10。結果是，V5和V5L線的混合電荷在水平傳送部件10中進一步與V5R線的電荷混合。
換言之，通過分別給垂直傳送部件40、水平傳送部件10、和分配傳送部件20施加驅動脈沖來進行驅動操作，根據第一實施例的固態圖像拾取裝置能夠對于在水平方向相鄰的三個像素混合信號電荷。
接著，圖3是表示根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中的分配傳送部件20和水平傳送部件10的一部分、并示出布線結構的示意圖。
如圖3所示，在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，在分配傳送部件20上方形成用于給驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5R施加驅動脈沖的多個第一導線110，以便沿水平傳送方向延伸，并且只有第一導線100形成在水平傳送部件10上方，以便完全覆蓋水平傳送部件10。
此外，經過分別以獨立方式設置的多個第一導線110將驅動脈沖ΦV3、ΦV3R、ΦV3L、ΦV5和ΦV5R供應給設置在分配傳送部件20中的驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5R，其中分配傳送部件20靠近垂直傳送部件40和水平傳送部件10的連接部分設置，并對于每列來說獨立地控制讀出信號。
換言之，在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置的結構中，用于給驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5R供應驅動脈沖的多個第一導線110都在圖像拾取區域30中沿向分配傳送部件20的水平傳送方向布線。
形成用于給驅動電極V5L施加驅動脈沖的第一導線100以便完全覆蓋水平傳送部件10。用于為驅動電極V5L布線的第一導線100形成在由具有高光屏蔽特性的金屬(如鋁)制成的層中。
為了便于詳細地理解本發明，下面將通過對比第一實施例和常規技術進行說明。
圖9是表示在常規技術的固態圖像拾取裝置中包括多晶硅柵電極和鋁層的水平傳送部件的詳細布線布局的示意圖。圖10是表示沿著圖9中的線N-N’截取的具有常規結構的水平傳送部件的橫斷面視圖的示意圖。
另一方面，圖4是表示在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中包括多晶硅柵電極210和220以及鋁層100和110的水平傳送部件10的詳細布線布局的示意圖。圖5是表示水平傳送部件10的沿著圖4中的線M-M’截取的橫斷面視圖的剖面圖。
在圖9和10中，常規技術的固態圖像拾取裝置包括硅基板600、形成在硅基板上的多個多晶硅電極210和220、為了覆蓋多晶硅電極210和220形成的第一光屏蔽層300、形成在第一光屏蔽層300上的層間膜400、形成在層間膜400上的阻擋金屬500、和形成在阻擋金屬500上的第一導線110。如上所述，在常規固態圖像拾取裝置中，水平傳送部件10被由鎢制成的第一光屏蔽層300和第一導線110的鋁層光屏蔽。
然而，如圖9中清楚看出的，由于第一導線110的鋁層是按照條狀方式形成的，因此增加了只由第一光屏蔽層300的鎢層光屏蔽的水平傳送部件10的一部分。因此，可能出現這樣的情況在只由鎢層進行光屏蔽的一部分水平傳送部件10中不能獲得足夠的光屏蔽特性的情況。
由于在水平傳送部件10上，第一光屏蔽層300的鎢層和多晶硅柵電極210和220的水平傳送電極在垂直于基板600的方向上彼此靠近，因此第一光屏蔽層300和多晶硅柵電極210或220之間的電容可能增加。
另一方面，如圖4和5所示，根據第一實施例的固態圖像拾取裝置包括硅基板600、形成在硅基板600上的多個多晶硅電極210和220、為了覆蓋多晶硅電極210和220形成的層間膜400、形成在層間膜400上的阻擋金屬500以及形成在阻擋金屬500上的第一導線100。如上所述，根據第一實施例的固態圖像拾取裝置具有其中水平傳送部件10被鋁層光屏蔽的結構。
換言之，由于水平傳送部件10可以被由具有高光屏蔽特性的金屬(如鋁)制成的層光屏蔽，因此根據第一實施例的固態圖像拾取裝置能夠達到比常規技術的固態圖像拾取裝置更好的光屏蔽性能。
而且，在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，形成用于給驅動電極V5L供應驅動脈沖的布線以便完全覆蓋水平傳送部件10，由此可以節省一個導線所需的空間，其中所述一個導線連接到圖像拾取區域30中的沿水平傳送方向的分配傳送部件20并給驅動電極供應驅動脈沖。
其他驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5R可以都在圖像拾取區域300中沿水平傳送方向布線。
此外，在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，如圖5所示，水平傳送部件10被形成在上層中的鋁層而不是其中形成鎢層的層光屏蔽，由此可以減少多晶硅柵電極和光屏蔽層之間的電容。
換言之，在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，通過減少多晶硅柵電極210或220和形成在鋁層中的第一導線100之間的電容，可以減少時間常數，由此減少水平傳送驅動脈沖的不銳利性(unsharpness)，其中所述時間常數可以從水平傳送部件10中的端子之間的電容和電阻獲得。
而且，所述端子之間的電容可以減小，由此允許比常規技術的更快地在水平傳送部件10中進行傳送。
另外，在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，由于用于光屏蔽水平傳送部件10的鋁層的光屏蔽層用做用于分配傳送部件20中的驅動電極V5L的導線，因此用于驅動電極的布線甚至可以形成在小型單元上方。
而且，在常規技術中，將要供應給驅動電極V5L的驅動脈沖施加于形成在水平傳送部件中的布線。因此，值得關注的是在水平傳送部件的驅動電極H1和H2以及連接到驅動電極V5L的導線之間產生耦合，并且施加于驅動電極V5L的脈沖可能對水平驅動脈沖有影響，導致水平傳送出現故障。相反，在本發明的固態圖像拾取裝置中，如圖2所示，在水平消隱時間(blanking period)(水平傳送部件保持靜止的時間)中包含給用做光屏蔽層的鋁層(第一導線100)施加驅動脈沖的時間。因此，不會產生通過給水平傳送部件10的光屏蔽層施加驅動脈沖引起的水平傳送故障。
而且，在常規固態圖像拾取裝置中，使用用于圖像拾取區域的鎢層對水平傳送部件10進行光屏蔽。然而，在本發明的固態圖像拾取裝置中，一部分鋁層用作用于驅動電極V5L和光屏蔽膜兩者的導線。因此，不需要新形成用于布線和光屏蔽的層。
盡管在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，水平傳送部件10由鋁層的第一導線100進行光屏蔽，但是在本發明的另一實施例中，水平傳送部件10可以通過在水平傳送部件10的上方形成包括第一和第二光屏蔽層的兩個鋁層并通過使用除了用作第一導線和光屏蔽膜的第一光屏蔽層以外的第二光屏蔽來進行光屏蔽。在由鋁制成的第一和第二光屏蔽層形成在水平傳送部件10的上方的情況下，連接到驅動電極V3、V3R、V3L、V5、V5R和V5L的導線可以分為兩組形成在第一光屏蔽層中的第一導線和形成在第二光屏蔽層中的第二導線。
盡管在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，形成在鋁層中的第一導線110連接到驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5L，但是在本發明的另一實施例中，具有兩層結構的鋁層可以形成在分配傳送部件20上方，并且連接到驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5L的導線可以分為兩組形成在第一鋁層上的第一導線和形成在第二鋁層上的第二導線。
在本發明的固態圖像拾取裝置中，可以在水平傳送部件10上方形成片上透鏡(on-chip lens)層，并且可以在分配傳送部件20上方形成黑色片上透鏡層。
在本發明的固態圖像拾取裝置中，作為黑色片上透鏡層，可以形成其中層疊多種顏色(例如顏色R和B)的層的透鏡層。
片上透鏡例如可以在光電檢測部件50上方形成濾色片的工藝中形成。因此，不用增加任何新的制造工藝，就可以防止光進入傳送部件，并可以很容易地防止圖像質量下降。
盡管已經介紹了根據第一實施例的固態圖像拾取裝置的例子，其中對于每2n+1列重復公共電極圖形，但是本發明的另一實施例也可適用于其中對于每2n(n是等于或大于1的整數)列重復公共電極圖形的固態圖像拾取裝置。
盡管在第一實施例的例子中，作為濾色片，介紹了三種顏色的濾色片，在本發明的另一實施例中，可以使用四種顏色(如青色、品紅色、黃色和綠色)的濾色片。
盡管在根據第一實施例的固態圖像拾取裝置中，驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5L從圖像拾取區域中的水平傳送方向的兩側進行布線，在本發明的另一實施例中，驅動電極V3、V3R、V3L、V5和V5L也可以從圖像拾取區域中的水平傳送方向的一側進行布線。
(第二實施例)接著，參照附圖介紹根據本發明第二實施例的包括固態圖像拾取裝置的照相機。
圖6是表示根據第二實施例的包括固態圖像拾取裝置的照相機的方框圖。
在圖6中，根據第二實施例的照相機包括透鏡1000、根據上述第一實施例的固態圖像拾取裝置1010、驅動電路1020、信號處理部件1030、外部接口1040。
在照相機中，經過透鏡1000的光進入固態圖像拾取裝置1010。信號處理部件1030控制驅動電路1020驅動固態圖像拾取裝置1010，從固態圖像拾取裝置1010裝載輸出信號，并在裝載的輸出信號上進行各種處理。被信號處理部件1030處理過的信號經過外部接口1040向外部輸出。
根據第二實施例的具有上述結構的照相機能夠以高速度從固態圖像拾取裝置1010輸出數據。
由于固態圖像拾取裝置1010的光屏蔽性能是優異的，因此可以防止在光經過光屏蔽層時產生的如水平方向的涂抹(smear)的故障以及在涂抹成分進入空白傳送部件(vacant transfer section)時產生的箝位錯誤。
因此，根據第二實施例的照相機能夠拍攝具有優良品質的圖像而不會產生如特別是在拍攝高亮度物體時產生的箝位錯誤等故障。
本發明的固態圖像拾取裝置在需要高幀頻時是有用的。特別是，固態圖像拾取裝置對于在拍攝運動圖像中需要高分辨率和高幀頻的數碼照相機等是有用的。
已經詳細介紹了本發明，前面的描述在所有方面都是示意性的，并不起限制作用。應該理解，在不脫離本發明的范圍的情況下可以對本發明做大量其它修改和改變。
權利要求
1.一種固態圖像拾取裝置，包括多個光電檢測部件，用于產生信號電荷；多個垂直傳送部件，用于沿垂直方向傳送所述信號電荷；水平傳送部件，用于從所述垂直傳送部件接收所述信號電荷，并沿水平方向傳送所接收的信號電荷；分配傳送部件，包括沿列方向獨立地設置的多個驅動電極，以便將所述信號電荷從所述垂直傳送部件傳送到所述水平傳送部件；以及第一導線，其形成在所述水平傳送部件上并連接到所述驅動電極，用于光屏蔽所述水平傳送部件。
2.根據權利要求1所述的固態圖像拾取裝置，其中所述水平傳送部件只由所述第一導線光屏蔽。
3.根據權利要求2所述的固態圖像拾取裝置，其中所述第一導線形成在鋁層中。
4.根據權利要求1所述的固態圖像拾取裝置，還包括形成在所述水平傳送部件上方的第二光屏蔽層。
5.根據權利要求2所述的固態圖像拾取裝置，還包括形成在所述分配傳送部件上方的第二光屏蔽層。
6.根據權利要求1所述的固態圖像拾取裝置，還包括形成在所述水平傳送部件上方的第二導線。
7.根據權利要求6所述的固態圖像拾取裝置，其中所述第二導線形成在為鋁層的所述第二光屏蔽層中。
8.根據權利要求1所述的固態圖像拾取裝置，其中所述分配傳送部件具有用于每n(n是等于或大于2的整數)列的公共電極圖形。
9.根據權利要求1所述的固態圖像拾取裝置，還包括在所述分配傳送部件上方的區域和所述水平傳送部件上方的區域中的至少一個區域中形成的黑色片上透鏡層。
10.根據權利要求1所述的固態圖像拾取裝置，還包括在所述分配傳送部件上方的區域和所述水平傳送部件上方的區域中的至少一個區域中形成的彩色片上透鏡層。
11.一種包括固態圖像拾取裝置的照相機，其中所述固態圖像拾取裝置包括多個光電檢測部件，用于產生信號電荷；多個垂直傳送部件，用于沿垂直方向傳送所述信號電荷；水平傳送部件，用于從所述垂直傳送部件接收所述信號電荷，并沿水平方向傳送所接收的信號電荷；分配傳送部件，包括沿列方向獨立地設置的多個驅動電極，以便將所述信號電荷從所述垂直傳送部件傳送到所述水平傳送部件；以及第一導線，其形成在所述水平傳送部件上并連接到所述驅動電極，用于光屏蔽所述水平傳送部件。
全文摘要
提供一種固態圖像拾取裝置，其能夠以高速度輸出優良品質的圖像信號。垂直傳送部件(40)和分配傳送部件(20)具有用于每2n+1(n是等于或大于1的整數)列的公共電極圖形，并包括給其施加驅動脈沖ФV1－ФV6、ФV3R、ФV3L、ФV5R和ФV5L的驅動電極V1－V6、V3R、V3L、V5R和V5L。驅動電極V1、V2、V4和V6被所有列共享，驅動電極V3、V3R、V3L、V5R和V5L是以島狀方式分開的獨立電極。分配傳送部件(20)針對每列獨立地控制信號電荷從垂直傳送部件(40)向水平傳送部件(10)的讀出。
文檔編號H04N9/04GK1976050SQ200610163660
公開日2007年6月6日 申請日期2006年12月1日 優先權日2005年12月1日
發明者桑原崇, 清水靖之 申請人:松下電器產業株式會社