專(zhuān)利名稱(chēng)：固態(tài)成像裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)在基座上安裝成像元件(如CCD)構(gòu)成的固態(tài)成像裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
固態(tài)成像裝置廣泛地用于視頻攝像機(jī)和照相機(jī)等，并設(shè)置在外殼內(nèi)，其中在外殼中在由絕緣材料構(gòu)成的基座上安裝成像元件如CCD，并且用透明板覆蓋光接收區(qū)域。為了使該裝置最小化，利用保持的裸芯片狀態(tài)將成像元件安裝在基座上(例如參見(jiàn)JP2002-43554)。下面參照?qǐng)D9介紹這種固態(tài)成像裝置的常規(guī)例子。
圖9中的基座31其平面形狀為框架形，在其中心有孔32，并且從總體上來(lái)說(shuō)該基座的橫截面形狀具有均勻厚度?；?1的底表面設(shè)有由鍍金層構(gòu)成的布線(xiàn)33，該布線(xiàn)從孔32附近延伸到外周邊端面。在設(shè)有布線(xiàn)33的基座31的表面上，安裝成像元件4如CCD等，成像元件4的光接收區(qū)域4a面向孔部分32。在基座31的頂表面上，固定由玻璃制成的透明板5以便覆蓋孔32。成像元件4的周邊用密封樹(shù)脂6填充，以便氣密密封成像元件4的端部和基座31之間的間隙。如上所述，光接收區(qū)域4a放置在形成在孔32中的封閉空間中。
在與成像元件4的光接收區(qū)域相同的平面內(nèi)，設(shè)置連接到光接收區(qū)域4a的電路的電極焊盤(pán)(未示出)，在電極焊盤(pán)上設(shè)置凸塊(突起電極)7。與孔32相鄰的布線(xiàn)33的內(nèi)端部形成內(nèi)端子部分33a，它經(jīng)過(guò)凸塊7連接到成像元件4的電極焊盤(pán)。
這種固態(tài)成像裝置安裝在電路板上，并且透明板5的一面朝上，如圖所示。設(shè)置在基座31的外周邊端部的底表面上的一部分布線(xiàn)33形成外端子部分33b，其用于連接電路板上的電極。在每個(gè)布線(xiàn)33的外端子部分上設(shè)有焊料球8，其用于連接電路板上的電極。此外，焊料球8還具有保持基座31處于距離電路板的表面為適當(dāng)高度的功能。
在透明板5的上部將設(shè)有透鏡鏡筒(未示出)，其中成像光學(xué)系統(tǒng)按照以預(yù)定精度設(shè)定與光接收區(qū)域4a的相對(duì)位置關(guān)系的方式安裝在其中。通過(guò)安裝在透鏡鏡筒中的成像光學(xué)系統(tǒng)，來(lái)自要被成像的物體的光聚集到光接收區(qū)域4a上并進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換。
然而，利用上述常規(guī)固態(tài)成像裝置的結(jié)構(gòu)難以獲得基座31的足夠的平坦性。就是說(shuō)，由于基座31具有框架形狀并具有孔部分32，當(dāng)進(jìn)行樹(shù)脂模制時(shí)，可能在橫截面形狀中產(chǎn)生卷曲和彎曲。當(dāng)其上安裝成像元件4的表面的平坦性不夠時(shí)，成像元件4的位置不穩(wěn)定。結(jié)果是，不能精確地確定透鏡鏡筒相對(duì)于光接收區(qū)域4a的位置。
此外，雖然在JP 2002-43554A中沒(méi)有說(shuō)明，在常規(guī)例子中，由于布線(xiàn)33是通過(guò)鍍覆形成的，而給基座31施加鍍覆的工藝很復(fù)雜，這可能導(dǎo)致高成本，并且進(jìn)一步使形成的布線(xiàn)33的尺寸精度改變。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述說(shuō)明，本發(fā)明的目的是提供一種在其上安裝成像元件的基座的制造方法，該方法能一次有效地制造具有實(shí)際足夠的平坦性的多個(gè)基座。本發(fā)明的另一目的是提供一種固態(tài)成像裝置的制造方法，該方法能以低成本提供具有減少的尺寸精度變化的布線(xiàn)。
本發(fā)明的方法是用于制造固態(tài)成像裝置，該成像裝置包括絕緣材料的基座，在平面形狀中具有框架形，在其內(nèi)部區(qū)域內(nèi)形成有一孔，并具有基本上均勻的厚度；設(shè)置在基座的一個(gè)表面上并從孔的周邊部分向外延伸的布線(xiàn)；和安裝在設(shè)有布線(xiàn)的基座表面上的成像元件，以便該元件的光接收區(qū)域面向所述孔，其中布線(xiàn)包括在孔一側(cè)的端部上的內(nèi)端子部分和在基座的外周邊一側(cè)的端部上的外端子部分，并且成像元件的電極和內(nèi)端子部分電連接。
為了解決上述問(wèn)題，在本發(fā)明的方法中，采用用于形成空腔的一對(duì)模具和支撐薄金屬板引線(xiàn)的帶狀部件，其中所述空腔是用于樹(shù)脂模制多個(gè)基座，所述薄金屬板引線(xiàn)是用于形成對(duì)應(yīng)于相應(yīng)基座的多組布線(xiàn)。模具設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)釘，用于在基座的厚度方向形成多個(gè)定位孔。帶狀部件被裝填一對(duì)模具之間，以便薄金屬板引線(xiàn)設(shè)置在空腔中的對(duì)應(yīng)多個(gè)基座的區(qū)域中。密封樹(shù)脂填充在空腔中并固化；從模具中取出其中埋置了薄金屬板引線(xiàn)的樹(shù)脂模制部件；和從樹(shù)脂模制部件除去帶狀部件。樹(shù)脂模制部件被分成多個(gè)部分，每個(gè)部分對(duì)應(yīng)設(shè)有布線(xiàn)的基座；并將成像元件安裝在設(shè)有布線(xiàn)的基座的一面上。
附圖簡(jiǎn)述
圖1是表示根據(jù)第一實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的剖面圖。
圖2A是構(gòu)成圖1的固態(tài)成像裝置的基座的從后面觀(guān)看的平面圖，圖2B是其側(cè)視圖。
圖3A-3F是示出制造圖1的固態(tài)成像裝置的工藝的剖面圖。
圖4是由圖3A-3F的工藝制造的基座的剖面圖。
圖5A-5F是示出根據(jù)第二實(shí)施例的制造固態(tài)成像裝置的方法的工藝的剖面圖。
圖6是根據(jù)第三實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的剖面圖。
圖7A-7F是示出用于制造圖6的固態(tài)成像裝置的工藝的剖面圖。
圖8是由圖7A-7F的工藝制造的基座的剖面圖。
圖9是表示常規(guī)例子的固態(tài)成像裝置的剖面圖。
優(yōu)選實(shí)施例的說(shuō)明在本發(fā)明的用于制造固態(tài)成像裝置的方法中，通過(guò)采用一對(duì)模具用于形成若干個(gè)空腔以便樹(shù)脂模制多個(gè)基座，和通過(guò)采用支撐薄金屬板引線(xiàn)的帶狀部件以便形成對(duì)應(yīng)各個(gè)基座的多組布線(xiàn)，在基座的模制工藝期間埋置薄金屬板引線(xiàn)。通過(guò)用于布線(xiàn)的薄金屬板引線(xiàn)提高了基座的剛性，并抑制了基座的卷曲和彎曲的產(chǎn)生。
可以將從模具中取出的樹(shù)脂模制部件壓在平板模具之間，在加熱條件下形成一對(duì)平行面，以便進(jìn)行修補(bǔ)固化。因此，可以進(jìn)一步提高基座的平坦性。由于通過(guò)所述方法制造的基座基本上不具有凸凹形狀，因此適于修補(bǔ)固化。
在上述制造方法中，可通過(guò)采用一對(duì)模具和設(shè)置在該對(duì)模具之間并用于形成基座的孔的若干塊件形成若干個(gè)空腔。將密封樹(shù)脂填充到空腔中和使其固化之后；從模具中取出樹(shù)脂模制部件，在樹(shù)脂模制部件中埋置有薄金屬板引線(xiàn)并固定塊件；和將樹(shù)脂模制部件分成多個(gè)部分，每一部分對(duì)應(yīng)設(shè)有布線(xiàn)的基座。優(yōu)選的是，在從模具中取出其中固定有塊件的樹(shù)脂模制部件之后，在加熱條件下將樹(shù)脂模制部件壓在一對(duì)平行平板模具之間，以便進(jìn)行修補(bǔ)固化。
在上述制造方法中，塊件以及薄金屬板引線(xiàn)可以被支撐在帶狀部件上，并且?guī)畈考粖A在該對(duì)模具之間以形成若干個(gè)空腔，并且薄金屬板引線(xiàn)設(shè)置在空腔內(nèi)。在這種情況下，優(yōu)選的是，塊件的端面傾斜，其傾斜方式使得由在帶狀部件一側(cè)上的塊件的該端面和底面形成的角度小于90度。這樣，在孔的一側(cè)上的基座的端面可以很容易傾斜，使得入射光到光接收區(qū)域的反射可以被調(diào)整，且在調(diào)整的范圍內(nèi)不會(huì)對(duì)成像功能有不利的影響。
在該制造方法中，優(yōu)選的是，當(dāng)從樹(shù)脂模制部件中取出帶狀部件時(shí)，樹(shù)脂模制部件的溢料(flash)以它們被附著在帶狀部件上的狀態(tài)與帶狀部件一起被除去。為此，優(yōu)選的是，該對(duì)模具、多個(gè)銷(xiāo)釘、塊件、帶狀部件的尺寸的設(shè)定，使得當(dāng)帶狀部件置于該對(duì)模具之間時(shí)，用于形成基座的孔的模具的突起的尖端部分和多個(gè)銷(xiāo)釘?shù)募舛瞬糠种辽僖粋€(gè)或塊件被擠入帶狀部件中。
下面將參照附圖具體介紹本發(fā)明的實(shí)施例。
(第一實(shí)施例)下面參照?qǐng)D1-3介紹根據(jù)第一實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的制造方法。本實(shí)施例的制造方法將適用于具有圖1所示結(jié)構(gòu)的固態(tài)成像裝置。圖1的固態(tài)成像裝置具有與圖9中所示的示意結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，并且相同的參考標(biāo)記用于表示相同元件，因此這里簡(jiǎn)化其說(shuō)明。
第一實(shí)施例的固態(tài)成像裝置不同于常規(guī)例子的地方在于設(shè)置在基座1上的布線(xiàn)3的結(jié)構(gòu)?；?由絕緣材料如塑料樹(shù)脂構(gòu)成，例如環(huán)氧樹(shù)脂等，并且在平面形狀中具有框架形，并在其中心部分設(shè)有矩形孔2?；?在橫截面形狀中為平板，并且總體上具有基本上均勻的厚度?；?的底表面設(shè)有多個(gè)布線(xiàn)3，它們由薄金屬板引線(xiàn)構(gòu)成并從孔2的周邊部分延伸到基座1的外周邊端部。作為薄金屬板引線(xiàn)，采用與標(biāo)準(zhǔn)引線(xiàn)框架所用材料相似的材料，例如銅合金、42合金(Fe-Ni42合金)等，并且其厚度約為2-3μm。
在其上形成布線(xiàn)3的基座1的表面上，固定成像元件4，如形成在Si基座上的CCD等，并且其電極4b連接到布線(xiàn)3。每個(gè)布線(xiàn)3的與孔2相鄰的內(nèi)端部形成內(nèi)端子部分3a，它經(jīng)過(guò)凸塊7連接到成像元件4的電極焊盤(pán)。每個(gè)布線(xiàn)3的外周邊端部形成外端子部分3b，它用于連接到電路板上的電極。
基座1是通過(guò)將構(gòu)成每個(gè)布線(xiàn)3的多個(gè)薄金屬板引線(xiàn)埋置到樹(shù)脂中形成的。下面將參照?qǐng)D2A和2B介紹其中埋置構(gòu)成布線(xiàn)3的薄金屬板引線(xiàn)的基座1的結(jié)構(gòu)。圖2A是表示當(dāng)從后側(cè)觀(guān)看圖1時(shí)、在其上安裝成像元件4之前的基座1的平面圖；圖2B是其側(cè)視圖。
如圖2A所示，露出了布線(xiàn)3的整個(gè)底表面。另一方面，如圖2B所示，布線(xiàn)3的側(cè)端面被埋置在構(gòu)成基座1的樹(shù)脂中。因此，通過(guò)薄金屬板引線(xiàn)加固了基座1的框架形狀，使得頂面和底面的平坦性非常好。就是說(shuō)，由于埋置了薄金屬板引線(xiàn)，因此提高了剛性，以便抵抗產(chǎn)生卷曲或彎曲的內(nèi)部應(yīng)力，并可以保持框架形狀的平坦性。結(jié)果是，安裝在基座1的表面上的成像元件4的位置變得穩(wěn)定，并且可以很容易地確定透鏡鏡筒相對(duì)于光接收區(qū)域4a的位置。不必埋置布線(xiàn)3的整個(gè)側(cè)端面，如圖所示。埋置的程度可以根據(jù)其它條件調(diào)整，只要埋置程度足以獲得上述效果即可。
此外，通過(guò)切割金屬板的工藝，可以以高尺寸精度和小變化以及以低成本制造薄金屬板引線(xiàn)。
在基座1上，形成多個(gè)定位孔9(圖中示出了兩個(gè)孔)。定位孔9包括在上面一側(cè)的大直徑部分9a和在下面一側(cè)的小直徑部分9b，二者同心地形成。如圖2A所示，定位孔9被設(shè)置成不與布線(xiàn)3重疊，并且小直徑部分9b暴露于后表面。通過(guò)圖像識(shí)別裝置等檢測(cè)這個(gè)小直徑部分9b的位置，然后在安裝成像元件4時(shí)，可以相對(duì)于小直徑部分9b的位置確定成像元件4的位置。此外，當(dāng)相對(duì)于成像元件確定透鏡鏡筒的平面位置時(shí)，可以在大直徑部分9a基礎(chǔ)上以高精度進(jìn)行定位。例如通過(guò)將設(shè)置在透鏡鏡筒下部的銷(xiāo)釘裝配在大直徑部分9a中，可以很容易確定透鏡鏡筒的位置。
如圖所示，多個(gè)定位孔9不對(duì)稱(chēng)地設(shè)置在基座1的平面形狀中。因此，定位孔可用于識(shí)別基座1的取向。此外，通過(guò)設(shè)置具有不同直徑的多個(gè)定位孔可以實(shí)現(xiàn)相同效果。
如上所述，通過(guò)使基座1變得平坦，除了容易進(jìn)行樹(shù)脂模制之外，還可獲得下列優(yōu)點(diǎn)。就是說(shuō)，在樹(shù)脂模制之后，可以很容易進(jìn)行用于使基座1的變形固化的工藝，以便提高基座1的平坦性。
根據(jù)本實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的制造方法包括在制造具有上述結(jié)構(gòu)的固態(tài)成像裝置中一次制造具有優(yōu)異平坦性的多個(gè)基座的工藝。下面將參照?qǐng)D3和4介紹這種制造方法。
首先，如圖3A所示，制備帶狀部件11，其上具有被支撐的薄金屬板引線(xiàn)10。薄金屬板引線(xiàn)10構(gòu)成在引線(xiàn)框架中。薄金屬板引線(xiàn)10的數(shù)量、尺寸和排列被設(shè)置而適用于構(gòu)成上述固態(tài)成像裝置的布線(xiàn)3。而且，多個(gè)薄金屬板引線(xiàn)10的布置，使得對(duì)應(yīng)用于構(gòu)成多個(gè)固態(tài)成像裝置的多個(gè)基座。
接著，如圖3B所示，設(shè)置下模具12和上模具13互相面對(duì)，并且?guī)畈考?1夾在其間。上模具13設(shè)有凹槽13a，用于形成對(duì)應(yīng)多個(gè)基座1的空間。在凹槽13a中，設(shè)有多個(gè)突起部分13b，以便對(duì)應(yīng)基座1的孔2。因此，凹槽13a和突起13b形成一空腔，其對(duì)應(yīng)具有孔2的基座1的形狀。上模具13還設(shè)有銷(xiāo)釘14，用于在基座1中形成定位孔9。帶狀部件11所處的位置，使得支撐在其上的每個(gè)薄金屬板引線(xiàn)10適當(dāng)?shù)卦O(shè)置在每個(gè)空腔中。在這種狀態(tài)下，模具12和13、銷(xiāo)釘14和帶狀部件11的尺寸可設(shè)置成使得上模具13的突起13b和銷(xiāo)釘14的尖端部分?jǐn)D入帶狀部件11中。由此，當(dāng)在樹(shù)脂模制之后取出帶狀部件11時(shí)，可以以它們被附著于帶狀部件上的狀態(tài)除去在模制中形成的樹(shù)脂模制部件的溢料。
用樹(shù)脂填充在下模具12和上模具13之間形成的空腔，以便使其固化，接著打開(kāi)下模具12和上模具13，并由此取出樹(shù)脂模制部件15，如圖3C所示。將薄金屬板引線(xiàn)10埋置在樹(shù)脂模制部件15的底面中。
在這種狀態(tài)下，如圖3D所示，通過(guò)在加熱條件下采用一對(duì)平行的平板模具16和17壓制其中埋置了薄金屬板引線(xiàn)10的樹(shù)脂模制部件15。這樣，進(jìn)行修補(bǔ)固化，以減少樹(shù)脂模制部件15的彎曲。根據(jù)其它各種條件，在100-200℃的加熱溫度下和在1-30Kg的壓力下可以獲得非常好的結(jié)果。
接著，如圖3E所示，剝離帶狀部件11，并采用切割鋸18將樹(shù)脂模制部件15分成多個(gè)部分，如圖3F所示，并由此可以獲得圖4中所示的基座1。在這個(gè)基座1上，安裝成像元件4，如圖1所示，并固定透明板5。這樣，就制成了固態(tài)成像裝置。
在上述模制工藝中，通過(guò)將引線(xiàn)框架形式的薄金屬板引線(xiàn)10埋置到樹(shù)脂模制部件15中，可以抑制基座1的卷曲或彎曲的產(chǎn)生。通過(guò)如圖3D所示的修補(bǔ)固化，減少仍然保留的卷曲或彎曲，以便可以獲得具有進(jìn)一步改善的平坦性的基座1。如果模制的樹(shù)脂模制部件15具有較少的卷曲和彎曲，并且可以獲得實(shí)際上足夠的平坦度，則修補(bǔ)固化的工藝不是必要的。
(第二實(shí)施例)下面參照?qǐng)D5介紹根據(jù)第二實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的制造方法。本實(shí)施例的方法不同于第一實(shí)施例的方法的地方在于用于制造基座的模具的結(jié)構(gòu)。
首先，如圖5A所示，制備其上支撐有薄金屬板引線(xiàn)10的帶狀部件11。薄金屬板引線(xiàn)10被構(gòu)成在引線(xiàn)框架中。在本實(shí)施例中，塊件19以及薄金屬板引線(xiàn)10被支撐在帶狀部件11上。塊件19可以由銅基材料、鐵基材料、鋁基材料等制成，并用于形成基座1的孔2。
接著，如圖5B所示，下模具12和上模具13互相面對(duì)設(shè)置，并且?guī)畈考?1夾在其間。上模具13設(shè)有用于形成矩形空間的凹槽13c。在凹槽13c中，設(shè)置多個(gè)塊件19，由此在凹槽13c中形成多個(gè)空腔，這些空腔對(duì)應(yīng)包括孔2的基座1的形狀。帶狀部件11的位置設(shè)置，使得被支撐在其上的薄金屬板引線(xiàn)10適當(dāng)設(shè)置在空腔中。在帶狀部件11上確定相對(duì)于凹槽13c中的塊件19的薄金屬板引線(xiàn)10的位置。
用樹(shù)脂填充由凹槽13c和塊件19形成的空腔，以使其固化，接著拆除下模具12和上模具13，由此取出樹(shù)脂模制部件15，如圖5C所示。在樹(shù)脂模制部件15的底面上埋置薄金屬板引線(xiàn)10。在這個(gè)階段，設(shè)置在對(duì)應(yīng)孔2的位置中的塊件19的狀態(tài)保持不變。
在這種狀態(tài)下，如圖5D所示，通過(guò)一對(duì)平行的平板模具16和17在加熱條件下壓制其中埋置了薄金屬板引線(xiàn)10的樹(shù)脂模制部件15。這樣，進(jìn)行修補(bǔ)固化，以減少樹(shù)脂模制部件15的彎曲。
接著，如圖5E所示，剝離帶狀部件并拉出塊件19，接著采用切割鋸18將樹(shù)脂模制部件15分成若干個(gè)部分，如圖5F所示。由此，可以獲得如圖4中所示的基座1。在基座1上，安裝成像元件4，如圖1所示，并固定透明板5。這樣，完成了固態(tài)成像裝置。
在上述模制工藝中，通過(guò)將引線(xiàn)框架形式的薄金屬板引線(xiàn)10埋置在樹(shù)脂模制部件15中，可以抑制基座1的卷曲或彎曲的產(chǎn)生。通過(guò)圖5D中所示的修補(bǔ)固化工藝可減少其余的卷曲或彎曲，以便可以獲得具有進(jìn)一步改進(jìn)的平坦性的基座1。如果模制成的樹(shù)脂模制部件15具有較小的卷曲和彎曲并可以獲得實(shí)際上足夠程度的平坦性，則修補(bǔ)固化工藝不是必要的。
(第三實(shí)施例)現(xiàn)在參照?qǐng)D6-8介紹根據(jù)第三實(shí)施例的固態(tài)成像裝置的制造方法。本實(shí)施例的制造方法適用于具有圖6中所示結(jié)構(gòu)的固態(tài)成像裝置。這種結(jié)構(gòu)與圖1中所示的第一實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)基本相同。本實(shí)施例不同于第一實(shí)施例的地方在于面對(duì)孔22的襯底21的內(nèi)端面21a的橫截面形狀。內(nèi)端面21a不垂直于基座21的上表面和下表面，并以預(yù)定角度傾斜。具體地說(shuō)，內(nèi)端面21a是傾斜的，其傾斜方式使得內(nèi)端面21a相對(duì)于其上安裝成像元件4的基座21的表面所構(gòu)成的角度大于90度。由于內(nèi)端面21a具有這種傾斜形狀，減少了由于內(nèi)端面21a產(chǎn)生的入射光相對(duì)于光接收區(qū)域4a的不適當(dāng)反射。最好是上述角度在90-120度范圍內(nèi)。
下面參照?qǐng)D7介紹具有這種結(jié)構(gòu)的固態(tài)成像裝置的制造方法。在這種制造方法中，修改了第二實(shí)施例使用的塊件19的形狀。
首先，如圖7A所示，制備支撐薄金屬板引線(xiàn)10和塊件23的帶狀部件11。薄金屬板引線(xiàn)10被構(gòu)成在引線(xiàn)框架中。塊件23由與第一實(shí)施例相同的材料制成，并用于形成基座21的孔22。塊件23的端面是傾斜的，其傾斜方式使得在帶狀部件11一側(cè)的塊件的端面和底面之間的角度小于90度。
接著，如圖7B所示，設(shè)置下模具24和上模具25互相面對(duì)，并且?guī)畈考?1被夾于其間。上模具25設(shè)有用于形成矩形空間的凹槽25a。在凹槽25a中放置塊件23，由此在凹槽25a中，可以形成對(duì)應(yīng)于包括孔22的基座21的形狀的空腔。在帶狀部件11上確定每個(gè)薄金屬板引線(xiàn)10相對(duì)于凹槽25a中的塊件23的位置。
用樹(shù)脂填充由凹槽25a形成的空腔，使得其被固化，接著拆除下模具24和上模具25，并由此取出如圖3C所示的樹(shù)脂模制部件26。在樹(shù)脂模制部件26的底面中，埋置薄金屬板引線(xiàn)10。在這個(gè)階段，設(shè)置在對(duì)應(yīng)孔22的位置上的塊件23的狀態(tài)保持不變。
在這種狀態(tài)下，如圖7D所示，采用一對(duì)平行的平板模具27和28在加熱條件下對(duì)其中埋置了薄金屬板引線(xiàn)10的樹(shù)脂模制部件26施壓。因此，進(jìn)行修補(bǔ)固化，以減少樹(shù)脂模制部件26的彎曲。接著，如圖7E所示，剝離帶狀部件11，并拉出塊件23，然后采用切割鋸18將樹(shù)脂模制部件26分成若干個(gè)部分，如圖7F所示。由此，可以獲得圖8中所示的基座21。在基座21上，安裝成像元件4如圖6所示，并固定透明板5。這樣，就完成了一個(gè)固態(tài)成像裝置。
在上述模制工藝中，通過(guò)將薄金屬板引線(xiàn)10埋置到樹(shù)脂模制部件26中，并通過(guò)進(jìn)行如圖7D所示的修補(bǔ)固化工藝，可以減少基座21的卷曲或彎曲，并獲得具有高度平坦性的基座21，這與實(shí)施例1相同。此外，根據(jù)本實(shí)施例，如圖6所示，很容易使基座21的內(nèi)端面21a可被傾斜。
在此應(yīng)注意，在上述說(shuō)明中解釋了一次模制多個(gè)基座的例子。然而，在模制單個(gè)基座的情況下，每個(gè)實(shí)施例同樣適用。
本發(fā)明可以在其它具體形式實(shí)施而不脫離本發(fā)明的精神或主要特征。本申請(qǐng)中公開(kāi)的實(shí)施例在各個(gè)方面都應(yīng)被認(rèn)為是示意性的而非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求書(shū)限定而不是由前述說(shuō)明限定，在權(quán)利要求書(shū)的等效含義及范圍內(nèi)產(chǎn)生的所有變化都被確定為被包含在其中。
權(quán)利要求
1.一種固態(tài)成像裝置的制造方法，該固態(tài)成像裝置包括絕緣材料的基座，其在平面形狀中具有框架形且在其內(nèi)部區(qū)域內(nèi)形成有一孔，并具有基本上均勻的厚度；設(shè)置在基座的一個(gè)表面上并從該孔的周邊部分向外延伸的布線(xiàn)；和成像元件，其被安裝在設(shè)有布線(xiàn)的基座表面上，以便使該元件的光接收區(qū)域面向該孔，其中，該布線(xiàn)包括在該孔一側(cè)的端部上的內(nèi)端子部分、和在該基座的外周邊一側(cè)的端部上的外端子部分，并且成像元件的電極和該內(nèi)端子部分電連接，該方法包括采用用于形成若干個(gè)空腔的一對(duì)模具和支撐薄金屬板引線(xiàn)的一帶狀部件，所述空腔是用于樹(shù)脂模制多個(gè)基座，所述薄金屬板引線(xiàn)用于形成對(duì)應(yīng)各個(gè)基座的多組布線(xiàn)，所述模具設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)釘，用于在該基座之厚度方向形成多個(gè)定位孔；將該帶狀部件裝填于所述一對(duì)模具之間，以便所述薄金屬板引線(xiàn)位于所述空腔中對(duì)應(yīng)多個(gè)基座的區(qū)域中；將密封樹(shù)脂填充在所述空腔中并使其固化；從所述模具中取出樹(shù)脂模制部件，該樹(shù)脂模制部件中埋置有所述薄金屬板引線(xiàn)；和從該樹(shù)脂模制部件除去該帶狀部件；將該樹(shù)脂模制部件分成多個(gè)部分，每個(gè)部分對(duì)應(yīng)于設(shè)有布線(xiàn)的基座；和將該成像元件安裝在設(shè)有布線(xiàn)的基座的表面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，從模具中取出的樹(shù)脂模制部件被壓在一對(duì)平行的平板模具之間，以便進(jìn)行修補(bǔ)固化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，通過(guò)采用設(shè)置在用于形成基座的孔的所述一對(duì)模具之間的一對(duì)模具和塊件，形成所述空腔，在將密封樹(shù)脂填充在所述空腔中并使其固化之后，從所述模具取出其中埋置了薄金屬板引線(xiàn)和固定所述塊件的樹(shù)脂模制部件；從該樹(shù)脂模制部件中除去帶狀部件和塊件；和將該樹(shù)脂模制部件分成多個(gè)部分，每個(gè)部分對(duì)應(yīng)于設(shè)有布線(xiàn)的基座。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的制造方法，其中，在從模具中取出其中固定塊件的樹(shù)脂模制部件之后，在加熱條件下將該樹(shù)脂模制部件壓在一對(duì)平行的平板模具之間，以便對(duì)其進(jìn)行修補(bǔ)固化。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的制造方法，其中，所述塊件以及薄金屬板引線(xiàn)被支撐在該帶狀部件上，該帶狀部件被夾在該對(duì)模具之間以形成空腔，并將所述薄金屬板引線(xiàn)設(shè)置在所述空腔中。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的制造方法，其中，所述塊件的端面是傾斜的，其傾斜方式使得在該帶狀部件一側(cè)上的塊件的端面和底面所構(gòu)成的角度小于90度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或3的制造方法，其中，當(dāng)從該樹(shù)脂模制部件中除去該帶狀部件時(shí)，該樹(shù)脂模制部件的溢料以它們被附著于該帶狀部件上的狀態(tài)與該帶狀部件一起被除去。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的制造方法，其中，設(shè)置該對(duì)模具、所述多個(gè)銷(xiāo)釘、塊件和帶狀部件的尺寸，使得當(dāng)將該帶狀部件置于該對(duì)模具之間時(shí)，用于形成基座的孔的模具的突起的尖端部分和所述多個(gè)銷(xiāo)釘?shù)募舛瞬糠值闹辽僖粋€(gè)或所述塊件被擠入該帶狀部件中。
全文摘要
一種固態(tài)成像裝置的制造方法，該固態(tài)成像裝置包括絕緣材料的基座，其在平面形狀中具有框架形，并在其內(nèi)部區(qū)域中形成有一孔，并具有基本上均勻的厚度；設(shè)置在基座的一個(gè)表面上并從孔的周邊部分向外延伸的布線(xiàn)；和成像元件，其安裝在設(shè)有布線(xiàn)的基座表面上，以使該元件的光接收區(qū)域面向該孔。形成用于樹(shù)脂模制多個(gè)基座的空腔，一帶狀部件支撐用于形成對(duì)應(yīng)各個(gè)基座的多組布線(xiàn)的薄金屬板引線(xiàn)，它被裝填在具有用于形成基座的定位孔的銷(xiāo)釘?shù)哪＞咧g；和將薄金屬板引線(xiàn)置于空腔中。然后，將密封樹(shù)脂填充在空腔中并固化。取出其中埋置了薄金屬板引線(xiàn)的樹(shù)脂模制部件；從樹(shù)脂模制部件除去帶狀部件；并將樹(shù)脂模制部件分成其上安裝成像元件的多個(gè)部分。其上安裝成像元件的基座可被形成以具有實(shí)際上足夠的平坦性。
文檔編號(hào)H04N5/335GK1542983SQ0315983
公開(kāi)日2004年11月3日 申請(qǐng)日期2003年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月28日
發(fā)明者南尾匡紀(jì), 堀木厚, 西尾哲史, 史 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社