專利名稱：受光器件陣列和使用該陣列的光分波器的制作方法
技術領域：
本發明涉及可以在監視波分復用的光的光譜的光分波器和光分波器的光檢測器中使用的受光器件陣列。
受光器件陣列，在例如波分復用傳送方式的光通信系統中，作為在接收一側使多路傳送過來的光分離成每一個波長并監視光譜的光分波器使用。當把該每一個波長的聚光點和受光器件陣列的各個受光器件配置為分別對應時，就可以進行每一個波長的檢測。
用
圖1說明光分波器的一個例子。該光分波器以輸入光纖2、準直透鏡4、衍射光柵6和作為光檢測器的受光器件陣列裝置8為構成要素，用彼此嵌入的3個管狀構件裝配起來。單芯的輸入光纖2用光纖連接部分14固定到透明的光纖裝配用管10的端面的光纖固定用窗口12上。準直透鏡4被固定到中間管16的端部上。衍射光柵6被固定到衍射光柵裝配用管18的端面的衍射光柵固定用窗口20上。在本例中，在中間管16的兩個端部上外裝有光纖裝配用管10和衍射光柵裝配用管18，使得可以在光軸方向上移動且作成可以在光軸周圍旋轉，以便進行主動對準(active alignment)。
從輸入光纖2導入到管內部后，相應于輸入光纖2的孔徑數進行了擴展的發散光束，到達準直透鏡4，在變換成平行光束后到達衍射光柵6。相應于衍射光柵6的波長色散特性分離成每一個波長的光束，借助于準直透鏡4把每一個分離波長變換成收斂光束，在與準直透鏡4的焦點一致的窗口12上對每一個波長進行聚光后排列成一列。通過使得該每一個波長的聚光點和受光器件陣列裝置8的各個受光器件分別對應地把受光器件陣列裝置8固定到窗口20，就可以進行每一個波長的光檢測。
在構成受光器件陣列和器件的受光器件陣列中，有擴散式和臺面式這2種。圖2示出了擴散式受光器件陣列的構造。在n型InP襯底22上，層疊n型InP層24、i型InGaAs層(光吸收層)26和n型InP層(窗口層)28，向n型InP層28內擴散Zn形成p型區域30，形成pin光電二極管。pin光電二極管構成受光器件。
在這種情況下，擴散是等方向性的，向橫向也進行Zn擴散。擴散長度，由于InP的擴散系數比InGaAs的擴散系數大，結果就變成為Zn擴散在橫向比縱向的擴散延伸得還長。因此，在這樣的現有的擴散型受光器件的情況下，減小器件間隔是有限制的，被限定為50微米的節距。
圖3示出了臺面式受光器件陣列的構造。在n型InP襯底22上，層疊n型InP層24、i型InGaAs層26和p型InP層27，刻蝕InGaAs層26和InP層27使器件間分離，形成pin光電二極管。pin光電二極管構成受光器件。臺面式受光器件陣列，不象擴散式受光器件陣列那樣，對于器件間隔沒有什么限制，可以進一步減小受光器件間的節距。
在波分復用傳送方式的光通信系統中，主要在光通信系統的光纖放大器中常常會產生各個信道的光譜寬度的擴展或波長偏離(以下，叫做噪聲)。
在產生了這種噪聲的情況下，如圖4所示，在監視已人為地使留下間隔的窄光譜寬度的光L1、L2、L3、…多路化的N個信道的光的情況下，若如圖5所示，僅僅使信號監視用的受光器件R1、R2、R3、…排列起來的話，不可能使各個信道的信號與噪聲明確地進行分離。
在不發生噪聲的情況下，要監視N個信道的光，就要如圖5所示，使用把信號監視用的受光器件R1、R2、R3、…RN排列成一列的受光器件陣列，但是，分波光L1、L2、L3、…與受光器件R1、R2、R3、…之間的位置對準是困難的。
此外，在把擴散式受光器件陣列用做光檢測器的情況下，歸因于光吸收而發生的載流子會向橫向方向擴散，可能向相鄰的受光器件移動。為此，在光沒有入射的的受光器件中有電流流動，發生所謂的串擾(漏話)，使受光器件陣列的特性劣化。在臺面式受光器件陣列的情況下，雖然不存在擴散式那樣的因載流子的擴散產生的串擾，但是當受光器件的排列間隔減小時，就易于產生因向相鄰的受光器件入射的光的一部分入射到受光器件的側面等而發生的串擾。
本發明的第1形態，提供可以明確地使波分復用的光的各個信道的信號和噪聲進行分離的光分波器，和在這樣的光分波器的光檢測器中使用的受光器件陣列。
為了明確地使各個信道的信號和噪聲進行分離，就要用與各個波長對應的1個信號監視用受光器件監視各個波長的信號強度，同時在光通信系統的光纖放大器中產生的噪聲，也要用與該信號監視用受光器件相鄰的噪聲監視用受光器件進行檢測。這樣一來，就可以用排列成直線狀的大約2N個受光器件測定N個信道的信號強度和噪聲。
如上所述，通過使信號監視用的受光器件和噪聲監視用的受光器件交互地排列，用相鄰的受光器件檢測各個波長的信號和噪聲的辦法，進行分波光的監視。若采用這種辦法，可知如果來自信號監視用的受光器件的輸出降低，噪聲監視用的受光器件的輸出增加，則會在分波光的光譜中發生一種異常。作為該異常，可以推測如下峰值位置向低波長一側移動或向高波長一側移動；光譜的峰值變緩，光譜自身寬度變寬等。此外，若來自信號監視用的受光器件的輸出不變，來自噪聲監視用的受光器件的輸出增加，則可以監視到對應的信道的噪聲已經增加。如上所述，采用使信號監視用和噪聲監視用的受光器件交互地配置的辦法，就可以容易地監視峰值位置的移動或噪聲的變化。
本發明的第2形態，提供可以高精度地進行分波光與受光器件之間的位置對準，而且可以提高光分波器的分辨率的分波器和在這樣的分波器中使用的受光器件陣列。此外，還提供受光器件陣列與分波光之間的位置對準的方法。
倘采用本發明，通過采用多個受光器件而不是用一個受光器件接受一個分波光，并對各個受光器件的輸出信號進行比較，就可以對這些多個受光器件進行分波光的位置對準。
為此，把排列在與分波光的排列方向同一方向上的多個第1受光器件、和以與上述規定的節距相同的節距，排列在與分波光的排列方向同一方向上的多個第2受光器件，在排列方向上錯開半個節距地交互地進行接連配置成兩列。然后，用在與第1和第2受光器件的排列方向垂直的方向上彼此相鄰的3個受光器件的輸出信號，使分波光的中心位置對準到3個受光器件的接點上。
倘采用上述的本發明，則可以以高精度進行分波光與受光器件之間的位置對準。此外，歸因于受光器件陣列的配置，還可以把光分波器的分辨率提高到2倍。
再有，倘采用本發明，則在接受從波分復用化的光中分離每一個波長并排列成直線狀的分波光的受光器件陣列中，具備多個信號監視用的受光器件和多個電極間短路受光器件，信號監視用的受光器件和電極間短路受光器件，在與分波光的排列方向同一方向上交互地排列成直線狀。借助于此，就可以降低受光器件間的串擾。
為了在受光器件內實現這樣的構成，只要使受光器件的n型電極進行共通連接，使受光器件的p型電極隔一個地進行共通連接，并與n型電極短路即可。此外，若在電極間短路受光器件的受光面上設置遮光膜，則具有進一步降低串擾的效果。再有，通過把電極間短路受光器件的器件面積作成比相鄰的信號監視用受光器件的器件面積小，由于降低了串擾，故可以抑制受光器件陣列的大型化。
圖1示出了光分波器的構成。
圖2是擴散式受光器件陣列的剖面圖。
圖3是臺面式受光器件陣列的剖面圖。
圖4示出了N信道的光分復用后的信號光。
圖5示出了監視N信道的分波光的受光器件陣列。
圖6是實施例1的受光器件陣列的平面圖。
圖7是擴散式受光器件陣列和芯片的平面圖。
圖8是臺面式受光器件陣列和芯片的平面圖。
圖9示出了分離檢測N信道的信號和噪聲的電路。
圖10示出了使所有的分波光都不發生光譜寬度的展寬或波長偏移地入射到信號監視用的受光器件上的狀態。
圖11示出了分波光L1的峰值波長偏離正常值的情況。
圖12示出了實施例2的受光器件陣列。
圖13是用來說明受光器件陣列與分波光之間的位置對準的說明圖。
圖14是用來說明受光器件陣列的分辨率提高的說明圖。
圖15是用來說明受光器件陣列的分辨率提高的說明圖。
圖16是實施例3的受光器件陣列和芯片的平面圖。
圖17示出了設置有電極的臺面式受光器件陣列。
圖18是實施例3的另外的受光器件陣列和芯片的平面圖。
圖19是實施例3的另外的受光器件陣列和芯片的平面圖。
圖20是實施例3的另外的受光器件陣列和芯片的平面圖。
實施例1本實施例，涉及可以明確地對波分復用化的光的各個信道的信號和噪聲進行分離的光分波器和在該光分波器的光檢測器中使用的受光器件陣列。
本實施例的光分波器的構成，與圖1所示的構成是一樣的，僅僅光檢測器不一樣。光檢測器8可以使用本實施例的受光器件陣列。圖6示出了受光器件陣列的一個例子。為了監視N個信道(N為2以上的整數)的分波光，使奇數號的信號監視用受光器件R1、R3、…R2N－1與偶數號受光器件R2、R4、…R2N交互地排列起來，具有分波光數的2倍(2N個)的受光器件。在該受光器件陣列中，用信號監視用的受光器件進行信號強度的監視，用噪聲監視用的受光器件監視噪聲強度。
第1信道的分波光，用受光器件R1監視信號，用受光器件R2監視噪聲。第2號信道的分波光，用受光器件R3監視信號，用受光器件R2、R4監視噪聲。最后的第N號信道的分波光，用受光器件R2N－1監視信號，用受光器件R2N－2、R2N監視噪聲。
這樣的受光器件陣列，作為一個例子，可以使用在圖2中說明的擴散式受光器件。擴散式受光器件，如上所述，由于Zn也在橫向方向上擴散，故器件間隔不能窄到某一固定值以上，在器件間隔方面存在著限制，對于50微米以上的節距可以使用。
圖7是用擴散式受光器件形成的受光器件陣列和芯片30的平面圖。各個信號監視用的受光器件R1、R3、…R2N－1與噪聲監視用的受光器件R2、R4、…R2N，借助于布線34，連接到對應的鍵合焊盤36上。如上所述，受光器件的間隔p1必須作成50微米以上。
此外，受光器件陣列，也可以使用在圖3中說明的臺面式受光器件。臺面式受光器件，如上所述，可以避免在擴散式受光器件中成為問題的因向橫向方向進行擴散帶來的受光器件間的間隔的限制，可以實現高精細的受光器件陣列，例如，可以實現25微米間隔、10微米間隔的的受光器件陣列。
圖8是臺面式受光器件陣列和芯片的平面圖。如上所述，可以把受光器件的間隔p2減小到10微米這么小。
圖9示出了分離檢測N信道的信號和噪聲的電路。該檢測電路，由一個輸入端子已連接到信號監視用的受光器件R1、R3、…R2N－1上的噪聲監視用差分放大器D1、D3、…D2N－1，一個輸入端子已連接到信號監視用的受光器件R2、R4、…R2N上的噪聲監視用差分放大器D2、D4、…D2N，和輸入這些差分放大器的輸出的信號和噪聲監視器輸出部分40構成。另外，向信號監視用差分放大器D1、D3、…D2N－1的另一個的輸入端子輸入基準電平Iref，向噪聲監視用差分放大器D2、D4、…D2N的另一個的輸入端子輸入基準電平Nref。以這些基準電平為基礎，進行信號和噪聲的監視。
其次，參看圖1，說明本發明的光分波器的動作。來自輸入光纖2的波分復用信號光，在用準直透鏡變換成平行光束后，到達衍射光柵6。相應于衍射光柵6的波長色散特性分離成每一個波長的光束，用準直透鏡4使每一個分波波長變換成收斂光束，會聚到與準直透鏡4的焦點一致的檢測器16上。圖10示出了所有的分波光都不產生光譜的擴展或波長偏離地入射到信號監視用的受光器件R1、R3、…R2N－1上的狀態。在這種情況下，從圖9的檢測電路的各個差分放大器不輸出信號，在信號和噪聲監視器輸出部分40處不會檢測出光譜寬度的擴展或信號偏離。
對此，圖11示出了分波光L1的峰值波長已從正常值移動開來的情況。因此，當峰值位置移動后，就象從圖示的分波光L1的移動狀態可以看出來的那樣，信號監視用的受光器件R1的檢測輸出減少，噪聲監視用的受光器件R2的檢測輸出增加。
差分放大器D1，從受光器件R1的信號輸出中減去基準電平Iref，并把該值作為信號輸出。此外，差分放大器D2，從受光器件R2的信號輸出中減去基準電平Nref，并把該值作為噪聲輸出。在信號和噪聲監視器輸出部分40處，用差分放大器D1、D2，檢測分波光L1的峰值位置的移動，即檢測信號的偏離。
在用以上的實施例說明的圖6的受光器件陣列的情況下，雖然把奇數號的受光器件用作信號監視，把偶數號的受光器件用作噪聲監視，但是也可以顛倒過來。
此外，在圖6中，為了簡單起見，用2N個受光器件進行了說明，但是也可以使用具有2N個以上的受光器件的受光器件陣列，選用其中的2N個受光器件。
此外，若用(2N＋1)個受光器件，并排列成使得在受光器件陣列的兩端必然放置噪聲監視用的受光器件，則可以更好地進行第1個信道和最后一個信道的噪聲監視。若用圖6進行說明，則也可以在第1個信號監視用受光器件R1的左側也設置噪聲監視用的受光器件，用該噪聲監視用受光器件和第2噪聲監視用受光器件R2，進行第1個信道的分波光L1的噪聲監視。
此外，在主要想監視各個信道間的噪聲的情況下，由于可以用N個信號監視用的受光器件監視信號，用(N－1)個噪聲監視用的受光器件監視信道間的噪聲，只要用2N－1個受光器件即可。
實施例2本實施例，涉及可以高精度地使分波光和受光器件的位置對準，且可提高光分器的分辨率的光分波器和在該光分波器的光檢測器中使用的受光器件陣列。
本實施例的光分波器的構成，與圖1所示的構成基本上一樣，僅僅是光檢測器不同。光檢測器8使用本實施例的受光器件陣列。參看圖12說明本實施例的受光器件陣列。圖12示出了受光器件陣列和芯片48。受光器件陣列由兩列受光器件列構成。一邊的受光器件列用奇數號的信號監視用受光器件R1、R3、…R2N－1表示，另一邊的受光器件列用偶數號受光器件R2、R4、…R2N表示。這兩列受光器件列的各排列節距相同，兩列受光器件列配置成錯開半個節距。
一列受光器件R1、R3、R5、R7、R9、…，用布線42分別連接到設置為與它們相向的鍵合焊盤40上，另一列受光器件R2、R4、R6、R8、…，用布線46分別連接到設置為與它們相向的鍵合焊盤44上。
以上的鍵合焊盤的取出是一個例子，也可以使全部的鍵合焊盤都在受光器件陣列的單側取出，把受光器件陣列都配置為集中于芯片的端面上。
其次，對錯開半個節距地配置成兩列受光器件陣列和分波光之間的位置對準進行說明。圖13示出了受光器件陣列和分波光(圖中僅僅示出了分波光L1、L2、LN)。由圖可知，分波光在與排列方向垂直的方向上向彼此相鄰的3個受光器件入射，并監視這些相鄰的3個受光器件的輸出信號(電壓或電流)。在圖13的例子中，用受光器件R1、R3、R4監視分波光L1，用受光器件R6、R7、R8監視分波光L2。
如上所述，當用相鄰的3個受光器件進行監視時，就可以高精度地進行分波光的位置對準。例如，要想使分波光L1的中心位置對準到受光器件R2、R3、R4的接點S上，當受光器件R2與R4的檢測光量相同，且使光器件R2與R4的檢測光量之和與受光器件R3的檢測光量一致時，就可以進行分波光的中心的位置對準。在圖13中示出的是，第2個信道的分波光L2，其中心已偏離開受光器件R6、R7、R8的接點S，在這樣的分波光L2的情況下，由于受光器件R6與R8的檢測光量不同，受光器件R6與R8的檢測光量之和，與受光器件R7的檢測光量相等，故可知分波光L2，對于接點S已在受光器件的排列方向上錯開了。
此外，倘采用本實施例的受光器件陣列，則可以提高受光器件陣列的分辨率。圖14、圖15，是用來說明分辨率的提高的說明圖。如圖所示，當錯開半個節距地排列各列例如以40微米的節距排列兩列受光器件時，一列受光器件與另一列受光器件之間的排列方向的重疊為20微米。
因此，如圖14所示，可以使受光器件陣列的排列方向的長度例如為10微米的分波光L1、L2、…LN，以相鄰的3個受光器件的接點S為大體上的中央，向受光器件陣列的每半個節距入射。因此，與現有的由一列的受光器件構成的受光器件陣列比較，分辨率可以提高到2倍。
另一方面，如圖15所示，在與圖14相同的受光器件陣列中，在把受光器件陣列的排列方向的長度例如為10微米的分波光L1，如圖所示，配置到受光器件R2和R3的重疊部分的中央的情況下，如果分波光L1的位置在受光器件陣列排列方向上錯開了5微米以上，由于可以用與受光器件R2、R3相鄰的R1或R4檢測分波光L1，故可以得到與把受光器件陣列以20微米的節距配置成一列相同的分辨率。即，即便是在圖15所示的分波光的配置中，借助于本實施例的受光器件陣列，分辨率也可以提高到2倍。
實施例3本實施例涉及降低相鄰的受光器件間的串擾的光分波器和在該光分波器中使用的受光器件陣列。
本實施例的構成，與圖1所示的構成基本一樣，僅僅是光檢測器不一樣。光檢測器8使用本實施例的受光器件陣列。
圖16是本實施例的受光器件陣列和芯片50的平面圖。從左端開始，依次交互地排列信號監視用受光器件和電極間已短路的受光器件(以下，叫做電極間短路受光器件)。在圖中，從左邊開始，依次示出了信號監視用受光器件陣列R1、電極間短路受光器件R2、信號監視用受光器件R3、電極間短路受光器件R4、信號監視用受光器件陣列R5、電極間短路受光器件R6。另外，所謂電極間短路受光器件，指的是受光器件的p型電極和n型電極已經短路的受光器件。
在圖.2的擴散式受光器件中，雖然未畫出來，但是對于每一個受光器件在p型區域30上都設置有p型電極，在n型InP襯底的背面形成共通的n型電極。通常，共通的n型電極接地，因此，p型電極接地的受光器件是電極間短路的受光器件。
圖3的臺面式受光器件中，對于每一個受光器件，在p型InP層27上設置p型電極，在n型InP襯底的背面上形成共通的n型電極。圖17示出了在臺面式受光器件上設置p型電極23、n型電極25的構成。29是絕緣膜。n型電極，也可以對于每一個受光器件都設置在n型InP層24上。通常，把n型電極接地。因此，p型電極接地的受光器件將成為電極間已經短路的受光器件。
回到圖16，信號監視用受光器件R1、R3、R5、…的p型電極，借助于布線54分別連接到設置為與受光器件相向的鍵合焊盤52上。另一方面，電極間短路受光器件R2、R4、R6、…的p型電極，則借助于布線58分別連接到設置為與受光器件相向的鍵合焊盤56上。共通的n型電極也連接到鍵合焊盤(未畫出來)上，該鍵合焊盤，如后所述被接地。另外，電極間短路受光器件R2、R4、R6、…的鍵合焊盤56，進行共通連接，如后所述被接地。
在本實施例中，由于用受光器件監視N個(N是2以上的整數)的分波光，故大約需要2N個受光器件。受光器件的個數為2N個、(2N＋1)個、(2N－1)個，不論哪一個構成都可以得到效果。其中，在(2N＋1)個的情況下，受光器件陣列的兩端的受光器件是電極間短路受光器件，在2N個的情況下，受光器件陣列的單端的受光器件是電極間短路受光器件，在(2N－1)的情況下，受光器件陣列的兩端的受光器件是信號監視用受光器件。
以上的受光器件陣列和芯片50，實際中被裝配在封裝內，信號監視用受光器件的鍵合焊盤52被連接到封裝的各個引腳上，連接到共通n型電極上的鍵合焊盤被連接到接地用的一個引腳上，電極間短路受光器件的鍵合焊盤56共通地連接到一個或少數個接地用的引腳上。對于這些引腳，在印制布線基板上，進行向信號檢測電路的結線和如上所述的電極的短路等的結線。
也可以把這樣的結線的一部分預先制作在受光器件陣列和芯片內。圖18示出了這樣的受光器件陣列和芯片60的一個例子。在圖18所示的受光器件陣列和芯片60中，設置有使所有的電極間短路受光器件的p型電極共通地進行連接的金屬布線圖形70，來取代設置與各個電極間短路受光器件對應的鍵合焊盤。這樣的金屬布線圖形70連接到接地用的一個引腳上。
在圖16、圖18所示的受光器件陣列中，由于信號監視用受光器件與電極間短路受光器件是同一形狀的器件，故尺寸將增大。為了減小尺寸，如圖19所示，只要使電極間短路受光器件R2、R4、R6、…的排列方向的寬度比信號監視用R1、R3、R5、…的小，使信號監視用受光器件間的節距形成得小即可。當然即便是在該情況下，也可以取代電極間短路受光器件的鍵合焊盤56，使用圖18所示的金屬布線圖形70。
在用圖16、圖17、圖18說明的受光器件是擴散式受光器件的情況下，由于從信號監視用受光器件擴散過來的載流子可以儲存在電極間短路受光器件內，故這些載流子不會到達相鄰的信號監視用受光器件。因此，可以大幅度地降低串擾。
此外，在受光器件是臺面式受光器件的情況下，由于在監視用受光器件之間存在著電極間短路受光器件，故即便是光入射到電極間短路受光器件陣列上，也不會變成串擾。
在用圖16、圖18、圖19說明的實施例中，如果光入射到電極間短路受光器件上，則將產生載流子。在受光器件是擴散式受光器件的情況下，該載流子向信號監視用受光器件一側擴散，這是人們所不希望的。此外，由擴散形成的不需要的電流也將成為使受光器件溫度局部變化的原因。于是，理想的是預先把電極間短路受光器件的受光面遮擋起來。遮光，如圖20所示，只要把遮光膜82、84、86形成為把電極間短路受光器件R2、R4、R6、…的受光面覆蓋起來即可。另外，電極間短路受光器件，當然也可以是用圖18所示的金屬布線圖形70結線的，或者也可以是圖19所示的受光面小的器件。
倘使用本發明的受光器件陣列，則可以提供(1)可以明確地分離波分復用化的光的各個信道的信號和噪聲的光分波器，(2)可以以高精度進行分波光與受光器件之間的位置對準，而且可以提高光分波器的分辨率的光分波器，(3)降低相鄰的受光器件間的串擾的光分波器。
權利要求
1.一種受光器件陣列，其從波分復用的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光，其特征是具備多個信號監視用的受光器件，和多個噪聲監視用的受光器件，上述信號監視用受光器件和上述噪聲監視用受光器件，在與上述分波光的排列方向相同的方向上，以直線狀交互地排列。
2.權利要求1所述的受光器件陣列，其特征是上述信號監視用受光器件和上述噪聲監視用受光器件由pin光電二極管構成。
3.一種光分波器，其特征是具備從波分復用的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光的如權利要求1或2所述的受光器件陣列，并用上述受光器件陣列，對每一個分波光分離并監視信號和噪聲。
4.一種受光器件陣列，其從波分復用的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光，其特征是具備由以規定的節距，在與上述分波光的排列方向相同的方向上排列的多個受光器件陣構成的第1受光器件列，和由以與上述規定的節距相同的節距，在與上述分波光的排列方向相同的方向上排列的多個受光器件陣構成的第2受光器件列，上述第1受光器件列和上述第2受光器件列，以在排列方向上錯開半個節距的方式進行配置。
5.權利要求4所述的受光器件陣列，其特征是上述受光器件由pin光電二極管構成。
6.一種光分波器，其特征是具備從波分復用的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光的如權利要求4或5所述的受光器件陣列，并用上述受光器件陣列，監視分波光。
7.一種受光器件陣列與分波光之間的位置對準方法，其特征是在具備從波分復用化的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光的如權利要求4或5所述的受光器件陣列，并用上述受光器件陣列監視分波光的光分波器中，用在與上述第1和第2受光器件列的受光器件的排列方向垂直的方向上彼此相鄰的3個受光器件的輸出信號，進行受光器件與分波光之間的位置對準。
8.一種受光器件陣列，從波分復用化的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光，其特征是具備多個信號監視用的受光器件，和多個電極間短路受光器件，上述信號監視用的受光器件和上述電極間短路受光器件，在與上述分波光的排列方向相同的方向上，以直線狀交互地排列。
9.權利要求8所述的受光器件陣列，其特征是上述信號監視用的受光器件和上述電極間短路受光器件由pin光電二極管構成。
10.權利要求9所述的受光器件陣列，其特征是上述pin光電二極管具備在n型半導體層襯底上疊層的n型半導體層、i型半導體層、n型半導體層，通過向作為最上層的n型半導體層中部分地擴散作為p型的材料而形成的p型區域層，在所形成的p型區域層的上設置的p型電極，以及在上述n型半導體襯底的背面上設置的共通的n型電極。
11.權利要求9所述的受光器件陣列，其特征是上述pin光電二極管，具備在n型半導體層襯底上疊層的n型半導體層、i型半導體層、p型半導體層，上述p型半導體層和i型半導體層，用相鄰的p型半導體層和i型半導體層和隔離溝進行分離，具備在上述p型半導體層上設置的p型電極，和在上述n型半導體襯底的背面上設置的共通的n型電極。
12.權利要求10或11所述的受光器件陣列，其特征是上述電極間短路受光器件，其p型電極短路到上述共通的n型電極上。
13.權利要求10或11所述的受光器件陣列，其特征是上述電極間短路受光器件，其p型電極連接到一條共通金屬布線上，該共通金屬布線短路到上述共通的n型電極上。
14.權利要求8或9所述的受光器件陣列，其特征是上述電極間短路受光器件陣列的器件面積比相鄰的信號監視用受光器件的器件面積小。
15.權利要求8或9所述的受光器件陣列，其特征是在上述電極間短路受光器件的受光面上設有遮光膜。
16.一種光分波器，其特征是具備從波分復用的光中分離每一個波長，接受排列成直線狀的分波光的權利要求8或9所述的受光器件陣列，并用上述受光器件陣列監視分波光。
全文摘要
提供可以明確地分離波分復用的光的各個信道的信號和噪聲的光分波器。該光分波器,具備從波分復用的光中分離每一個波長,接受排列成直線狀的分波光的受光器件陣列。受光器件陣列具有多個信號監視用的受光器件和多個噪聲監視用的受光器件,信號監視用受光器件和噪聲監視用受光器件,在與上述分波光的排列方向相同的方向上,以直線狀交互地排列。
文檔編號H04B10/00GK1327532SQ00802203
公開日2001年12月19日 申請日期2000年10月5日 優先權日1999年10月8日
發明者田上高志, 仲間健一, 駒場信幸, 有馬靖智, 楠田幸久 申請人:日本板硝子株式會社