一種晶體生長爐感應加熱電源線圈保護裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種晶體生長爐感應線圈保護裝置，具體涉及一種線圈的保護及設備的穩定可靠性裝置。
【背景技術】
[0002]由于晶體生長過程中加熱線圈處于高溫區，停電后水路循環將停止工作，電源雖然停止輸出，但是爐體內溫場的溫度還是足以使加熱線圈融化破裂。傳統的大型UPS(Uninterruptible Power System/Uninterruptible Power Supply，即不間斷電源)和大型的發電機保護系統水路，其結構復雜，初期投入相對大，運行成本和后期維護成本都相對較大。且對線圈的保護不夠靈敏，所以對線圈起不到很好的保護作用。由于晶體生長的特殊性，如果更換線圈對晶體生長的一致性和穩定性都將受到影響。
【實用新型內容】
[0003]針對現有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種晶體生長爐感應加熱電源的線圈保護裝置，很好的解決了傳統保護設備的眾多缺點。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型的技術方案如下:
[0005]—種晶體生長感應加熱電源線圈保護裝置包括:水冷管路和備用供水管路；其中，由市電向所述水冷管路的進水端栗入冷卻水，水冷管路的出水端設置有水池，水冷管路盤繞在線圈附近，對線圈降溫；所述備用供水管路的出水端連接在水冷管路上，備用供水管路從進水端至出水端依次連接有水箱、水栗、第一單向閥，所述水栗上連接有斷線切換開關，所述斷線切換開關與UPS連接，斷線切換開關的監測端與市電連接。
[0006]進一步，所述水冷管路的進水端附近設置有第二單向閥。
[0007]進一步，所述備用供水管路通過三通接頭與所述水冷管路連接。
[0008]正常冷卻時，由市電向水冷管路中栗水，水冷管路將線圈的熱量帶入水池中。當市電斷電時，無法繼續利用市電栗水，斷線切換開關檢測到市電停電導通UPS，UPS給水栗供電，水栗開始工作，水箱中的水經水栗、第一單向閥流入水冷管路。由于水路短，反應快，所以很好的保護了線圈不受損壞。
[0009]本使用新型的優點是:結構簡單、成本低廉、反應靈敏、進水壓力大。通過停電以后快速切換備用水路很好的保護了線圈，間接的保護了設備的完成性，為晶體生長提供一個穩定的重復性好的生長條件。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型一種晶體生長爐感應加熱電源線圈保護裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖，詳細說明本實用新型的【具體實施方式】。
[0012]如圖1所示為本實用新型一種晶體生長感應加熱電源線圈保護裝置的具體實施例，在本實施例中具體包括:一種晶體生長感應加熱電源線圈保護裝置包括:水冷管路9和備用供水管路11 ;其中，由市電向水冷管路9的進水端栗入冷卻水，如圖中箭頭所示，水冷管路9的進水端附近設置有第二單向閥1-2，水冷管路9的出水端設置有水池8，水冷管路9盤繞在線圈7附近，對線圈7降溫；備用供水管路11的出水端通過三通接頭2與水冷管路9連接，備用供水管路11從進水端至出水端依次連接有水箱4、水栗3、第一單向閥1-1，水栗3上通過電線10連接有斷線切換開關5，斷線切換開關5與UPS6連接，斷線切換開關5的監測端與市電連接。
[0013]正常冷卻時，由市電向水冷管路9中栗水，水冷管路9將線圈7的熱量帶入水池8中。當市電斷電時，無法繼續利用市電栗水，斷線切換開關5檢測到市電停電導通UPS6，UPS6給水栗3供電，水栗3開始工作，水箱4中的水經水栗3、第一單向閥1-1流入水冷管路9中。由于水路短，反應快，所以很好的保護了線圈不受損壞。
[0014]使用后，將開關5復位，水箱4加滿水，檢查ups6是否正常運行。
[0015]本使用新型的優點是:結構簡單、成本低廉、反應靈敏、進水壓力大。通過停電以后快速切換備用水路很好的保護了線圈，間接的保護了設備的完成性，為晶體生長提供一個穩定的重復性好的生長條件。
[0016]上述示例只是用于說明本實用新型，本實用新型的實施方式并不限于這些示例，本領域技術人員所做出的符合本實用新型思想的各種【具體實施方式】都在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種晶體生長感應加熱電源線圈保護裝置，其特征在于，所述線圈保護裝置包括:水冷管路和備用供水管路；其中，由市電向所述水冷管路的進水端栗入冷卻水，水冷管路的出水端設置有水池，水冷管路盤繞在線圈附近，對線圈降溫；所述備用供水管路的出水端連接在水冷管路上，備用供水管路從進水端至出水端依次連接有水箱、水栗、第一單向閥，所述水栗上連接有斷線切換開關，所述斷線切換開關與UPS連接，斷線切換開關的監測端與市電連接。2.如權利要求1所述的線圈保護裝置，其特征在于，所述水冷管路的進水端附近設置有第二單向閥。3.如權利要求1所述的線圈保護裝置，其特征在于，所述備用供水管路通過三通接頭與所述水冷管路連接。
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶體生長感應加熱電源線圈保護裝置，包括：水冷管路和備用供水管路；由市電向水冷管路的進水端泵入冷卻水，水冷管路的出水端設置有水池，水冷管路盤繞在線圈附近，對線圈降溫；備用供水管路的出水端連接在水冷管路上，備用供水管路從進水端至出水端依次連接有水箱、水泵、第一單向閥，水泵上連接有斷線切換開關，斷線切換開關與UPS連接，斷線切換開關的監測端與市電連接。正常冷卻時，由市電向水冷管路中泵水，水冷管路將線圈的熱量帶入水池中；當市電斷電時，斷線切換開關檢測到市電停電導通UPS，UPS給水泵供電，水泵將水箱中的水泵入水冷管路。由于水路短，反應快，所以很好的保護了線圈不受損壞。
【IPC分類】H05B6/42
【公開號】CN204859597
【申請號】CN201520456905
【發明人】劉景峰
【申請人】北京奇峰藍達光學科技發展有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年6月30日