一種用于消除靜電吸附板靜電的電路的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種用于消除靜電吸附板靜電的電路。
【背景技術】
[0002]目前現有的，如圖1所示，在高壓發生器對靜電吸附板進行充電產生靜電后，在工作完成后，其輸出電壓為直接斷電，讓靜電吸附板常規的進行消除靜電，其靜電釋放階段中的釋放區中該消除靜電時間比較長，同時消除靜電的能力也得不到保證，從而需要更長時間來消除靜電，提高了成本。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種用于消除靜電吸附板靜電的電路。
[0004]本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:
[0005]一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，包括信號控制模塊，所述信號控制模塊的輸出端與高壓發生器的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與極性轉換模塊的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與頻率選擇模塊的輸入端相連，所述極性轉換模塊的控制端與高壓發生器的輸出端相連，所述頻率選擇模塊的控制端與高壓發生器的輸出端相連；
[0006]所述信號控制模塊由時鐘發生器、第一信號輸出模塊組成，所述第一信號輸出模塊的輸出端通過反向施密特觸發器與第一 D觸發器的D端相連，所述第一 D觸發器的Q端與第二 D觸發器的D端相連，所述第二 D觸發器的Q端與在串聯有反向器的第一 D觸發器的Q端通過與門觸發器與第四D觸發器的CK端相連，在串聯有反向器所述第二 D觸發器的Q端與第一 D觸發器的Q端通過與門觸發器與第三D觸發器的CK端相連，所述第三D觸發器的Q端與第四D觸發器的Q端通過與門觸發器分別與高壓發生器的輸入端和極性轉換模塊的輸入端相連，所述時鐘發生器的輸出端通過反向施密特觸發器分別與第一 D觸發器的CK端和第二 D觸發器的CK端相連；
[0007]所述頻率選擇模塊由第一計數器、第二計數器、選擇器及比較器，所述第一計數器的輸出端與選擇器的輸入端相連，所述選擇器的輸出端與第四D觸發器的Q端通過與門與第二計數器的CK端相連，所述第二計數器的輸出端與比較器的輸入端相連，所述比較器的輸出端與第三D觸發器的復位端和第四D觸發器的復位端相連，所述時鐘發生器的輸出端與第一計數器的CK端相連。
[0008]優選的，所述信號控制模塊還包括第二信號輸出模塊，所述第二信號輸出模塊的輸出端分別與第一計數器的復位端、第二計數器的復位端、第一 D觸發器的復位端和第二 D觸發器的復位端相連。
[0009]優選的，所述極性轉換模塊由第一極性轉化器和第二極性轉換器組成。
[0010]本實用新型技術方案的實質性特點和進步主要體現在:
[0011]本實用新型通過信號控制模塊對極性轉換模塊轉換正負極性，使高壓發生器輸出的高壓輸出一正負矩形波，同時還通過頻率選擇模塊對高壓發生器進行頻率監控來使高壓發生器產生的矩形波的寬度(即頻率)進行監控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
【附圖說明】
[0012]下面結合附圖對本實用新型技術方案作進一步說明:
[0013]圖1:常規消除靜電吸附板靜電的波形示意圖。
[0014]圖2:本實用新型的構造示意圖。
[0015]圖3:本實用新型的電路連接示意圖。
[0016]圖4:改進后消除靜電吸附板靜電的波形示意圖。
【具體實施方式】
[0017]如圖2、圖3所示，一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，包括信號控制模塊1，所述信號控制模塊I的輸出端與高壓發生器2的輸入端相連，所述信號控制模塊I的輸出端與極性轉換模塊4的輸入端相連，所述信號控制模塊I的輸出端與頻率選擇模塊3的輸入端相連，所述極性轉換模塊4的控制端與高壓發生器2的輸出端相連，所述頻率選擇模塊3的控制端與高壓發生器2的輸出端相連；
[0018]所述信號控制模塊I由時鐘發生器11、第一信號輸出模塊12組成，所述第一信號輸出模塊12的輸出端通過反向施密特觸發器與第一 D觸發器13的D端相連，所述第一 D觸發器13的Q端與第二 D觸發器14的D端相連，所述第二 D觸發器14的Q端與在串聯有反向器的第一 D觸發器13的Q端通過與門觸發器與第四D觸發器16的CK端相連，在串聯有反向器所述第二 D觸發器14的Q端與第一 D觸發器13的Q端通過與門觸發器與第三D觸發器15的CK端相連，所述第三D觸發器15的Q端與第四D觸發器16的Q端通過與門觸發器分別與高壓發生器2的輸入端和極性轉換模塊4的輸入端相連，所述時鐘發生器11的輸出端通過反向施密特觸發器分別與第一 D觸發器13的CK端和第二 D觸發器14的CK端相連；
[0019]所述頻率選擇模塊3由第一計數器31、第二計數器33、選擇器32及比較器34，所述第一計數器31的輸出端與選擇器31的輸入端相連，所述選擇器32的輸出端與第四D觸發器16的Q端通過與門與第二計數器33的CK端相連，所述第二計數器33的輸出端與比較器34的輸入端相連，所述比較器34的輸出端與第三D觸發器15的復位端和第四D觸發器16的復位端相連，所述時鐘發生器11的輸出端與第一計數器31的CK端相連，所述極性轉換模塊4由第一極性轉化器41和第二極性轉換器42組成。通過信號控制模塊I對極性轉換模塊4轉換正負極性，使高壓發生器2輸出的高壓輸出一正負矩形波，同時還通過頻率選擇模塊3對高壓發生器2進行頻率監控來使高壓發生器產生的矩形波的寬度(即頻率)進行監控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
[0020]所述信號控制模塊I還包括第二信號輸出模塊17，所述第二信號輸出模塊17的輸出端分別與第一計數器31的復位端、第二計數器33的復位端、第一 D觸發器13的復位端和第二 D觸發器14的復位端相連，采用第二信號輸出模塊17能對上述元件進行復位處理。
[0021]如圖4所示，在輸出電壓在對靜電吸附板進行工作后，其靜電吸附板上會產生靜電，而在需要消除靜電時通過頻率選擇模塊3和極性轉換模塊4對高壓發生器2工作將其輸出電壓變換呈矩形波，使其對靜電吸附板快速的充放電，該矩形波的時長受到頻率選擇模塊3的控制，在該矩形波的反復正負電壓2000V的點放電后，其靜電釋放階段中可以很明顯得到在釋放區其消除靜電的時間變短，從而提高工作效率。
[0022]本實用新型通過信號控制模塊對極性轉換模塊轉換正負極性，使高壓發生器輸出的高壓輸出一正負矩形波，同時還通過頻率選擇模塊3對高壓發生器進行頻率監控來使高壓發生器產生的矩形波的寬度(即頻率)進行監控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
[0023]需要強調的是:以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
【主權項】
1.一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，其特征在于:包括信號控制模塊，所述信號控制模塊的輸出端與高壓發生器的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與極性轉換模塊的輸入端相連，所述信號控制模塊的輸出端與頻率選擇模塊的輸入端相連，所述極性轉換模塊的控制端與高壓發生器的輸出端相連，所述頻率選擇模塊的控制端與高壓發生器的輸出端相連； 所述信號控制模塊由時鐘發生器、第一信號輸出模塊組成，所述第一信號輸出模塊的輸出端通過反向施密特觸發器與第一 D觸發器的D端相連，所述第一 D觸發器的Q端與第二 D觸發器的D端相連，所述第二 D觸發器的Q端與在串聯有反向器的第一 D觸發器的Q端通過與門觸發器與第四D觸發器的CK端相連，在串聯有反向器所述第二 D觸發器的Q端與第一 D觸發器的Q端通過與門觸發器與第三D觸發器的CK端相連，所述第三D觸發器的Q端與第四D觸發器的Q端通過與門觸發器分別與高壓發生器的輸入端和極性轉換模塊的輸入端相連，所述時鐘發生器的輸出端通過反向施密特觸發器分別與第一 D觸發器的CK端和第二 D觸發器的CK端相連； 所述頻率選擇模塊由第一計數器、第二計數器、選擇器及比較器，所述第一計數器的輸出端與選擇器的輸入端相連，所述選擇器的輸出端與第四D觸發器的Q端通過與門與第二計數器的CK端相連，所述第二計數器的輸出端與比較器的輸入端相連，所述比較器的輸出端與第三D觸發器的復位端和第四D觸發器的復位端相連，所述時鐘發生器的輸出端與第一計數器的CK端相連。
2.根據權利要求1所述的用于消除靜電吸附板靜電的電路，其特征在于:所述信號控制模塊還包括第二信號輸出模塊，所述第二信號輸出模塊的輸出端分別與第一計數器的復位端、第二計數器的復位端、第一 D觸發器的復位端和第二 D觸發器的復位端相連。
3.根據權利要求1所述的用于消除靜電吸附板靜電的電路，其特征在于:所述極性轉換模塊由第一極性轉化器和第二極性轉換器組成。
【專利摘要】本實用新型提供一種用于消除靜電吸附板靜電的電路，包括信號控制模塊，信號控制模塊的輸出端與高壓發生器的輸入端相連，信號控制模塊的輸出端與極性轉換模塊的輸入端相連，信號控制模塊的輸出端與頻率選擇模塊的輸入端相連，極性轉換模塊的控制端與高壓發生器的輸出端相連，頻率選擇模塊的控制端與高壓發生器的輸出端相連。本實用新型通過信號控制模塊對極性轉換模塊轉換正負極性，使高壓發生器輸出的高壓輸出一正負矩形波，同時還通過頻率選擇模塊對高壓發生器進行頻率監控來使高壓發生器產生的矩形波的寬度（即頻率）進行監控選擇，來滿足最適合的頻率，使之能快速消除靜電吸附板上靜電，提高工作效率。
【IPC分類】H05F3-00
【公開號】CN204518200
【申請號】CN201520040372
【發明人】芳賀孝行
【申請人】凱吉凱精密電子技術開發（蘇州）有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年1月21日