元件安裝裝置的制造方法
【專利摘要】元件安裝裝置具備安裝多個吸嘴的旋轉型頭，基于在剛吸附元件之后從側方拍攝吸嘴而取得的剛吸附后圖像(S130)和在即將安裝元件之前從側方拍攝吸嘴而取得的即將安裝前圖像(S180)，判定從吸附元件之后到安裝元件之前的元件的吸附偏差(姿勢變化)(S190)，因此能夠適當地檢測因通過旋轉型頭的旋轉進行的吸嘴的移動等而由吸嘴吸附著的元件發生吸附偏差。
【專利說明】
元件安裝裝置
技術領域
[0001 ]本發明涉及元件安裝裝置。
【背景技術】
[0002]以往，在將由吸嘴吸附的吸附元件安裝于基板的元件安裝裝置中，已知對吸附元件有無吸附不良進行判定的結構，以能夠將吸附元件準確地安裝于基板。例如，專利文獻I的元件安裝裝置在即將安裝之前的時刻從側面拍攝吸嘴而取得側面圖像，基于該側面圖像來算出從吸嘴的前端到吸附元件的下端的距離，將所算出的距離與基準值進行比較，從而判定有無無法準確地吸附元件上表面而吸附元件傾斜的、所謂的立起吸附。
[0003]專利文獻1:日本特開2008-311476號公報
【發明內容】
[0004]發明要解決的課題
[0005]在此，即使在剛吸附之后吸附元件為準確的姿勢，在吸附元件的搬運中，有時吸附元件的姿勢也會發生變化。另外，作為元件的吸附不良，不僅發生上述的立起吸附，還發生吸附元件沿水平方向發生位置偏差或吸附元件從準確的朝向進行旋轉的情況等。在上述的元件安裝裝置中，通常，在搬運中從下方拍攝由吸嘴吸附的元件而取得下方圖像，基于下方圖像來設定將元件安裝于基板時的位置、朝向的校正值。因此，當在取得下方圖像以后的元件的搬運中發生元件的吸附不良時，即使基于根據下方圖像設定的校正值來安裝元件，有時也無法準確地安裝元件。因此，要求適當地檢測搬運中的元件的姿勢變化。特別是，近年來，元件的小型化不斷發展，或元件的吸附面不平坦的元件使用得較多，容易成為吸附不穩定的狀態，因此這樣的要求變高。
[0006]本發明的元件安裝裝置的主要目的在于，更適當地檢測元件的吸附不良。
[0007]用于解決課題的手段
[0008]本發明的元件安裝裝置的要點在于，具備:旋轉型的頭，在圓周上配置有能夠吸附元件的多個吸嘴;控制單元，在吸附上述元件時，以將元件供給裝置的供給位置上方作為目標位置使上述多個吸嘴依次移動而吸附上述元件的方式控制上述頭，在安裝上述元件時，以將向安裝對象安裝的安裝位置上方作為目標位置使上述多個吸嘴依次移動而向上述安裝對象安裝上述元件的方式控制上述頭;側方攝像單元，在吸附上述元件之后從側方拍攝上述吸嘴而取得吸附后圖像，在該拍攝之后且安裝上述元件之前從側方拍攝上述吸嘴而取得安裝前圖像;及判定單元，基于上述吸附后圖像和上述安裝前圖像，判定從吸附上述元件之后到安裝上述元件之前的該元件的姿勢變化。
[0009]該本發明的元件安裝裝置基于在吸附元件之后從側方拍攝吸嘴而取得的吸附后圖像和在安裝元件之前從側方拍攝吸嘴而取得的安裝前圖像，判定從吸附元件之后到安裝元件之前的元件的姿勢變化，因此能夠檢測因旋轉型的頭的移動、旋轉而由吸嘴吸附著的元件姿勢發生變化。因此，能夠適當地檢測如盡管在吸附元件之后是準確的元件姿勢但在元件的搬運中元件姿勢發生變化而無法準確地安裝這樣的情況。該結果是，能夠更適當地檢測元件的吸附不良，進而能夠穩定地進行元件的安裝。
[0010]在這樣的本發明的元件安裝裝置中，也可以是，上述判定單元基于上述吸附后圖像中的上述元件相對于上述吸嘴的左右方向上的位置和上述安裝前圖像中的上述元件相對于上述吸嘴的左右方向上的位置，判定上述元件的左右方向上的位置偏差作為上述姿勢變化。這樣一來，能夠適當地檢測吸附中的元件的左右方向上的位置偏差，而防止由左右方向上的位置偏差引起的安裝不良。
[0011]另外，在本發明的元件安裝裝置中，也可以是，上述判定單元基于上述吸附后圖像中的上述元件的左右方向上的長度和上述安裝前圖像中的上述元件的左右方向上的長度，判定上述元件的旋轉方向上的位置偏差作為上述姿勢變化。這樣一來，能夠適當地檢測吸附中的元件的旋轉方向上的位置偏差，而防止由旋轉方向上的位置偏差引起的安裝不良。
[0012]另外，在本發明的元件安裝裝置中，也可以是，上述判定單元基于上述吸附后圖像中的上述元件的下端位置和上述安裝前圖像中的上述元件的下端位置，判定上述元件的高度方向上的位置偏差作為上述姿勢變化。這樣一來，能夠適當地檢測吸附中的元件的高度方向上的位置偏差，而防止由高度方向的位置偏差引起的安裝不良。
[0013]另外，在本發明的元件安裝裝置中，也可以是，具備:下方攝像單元，在取得上述吸附后圖像之后且取得上述安裝前圖像之前，從下方拍攝吸附于上述吸嘴的元件而取得下方圖像;及設定單元，基于上述下方圖像，設定與上述元件相對于上述吸嘴的位置偏差量相應的校正值，在由上述判定單元判定為上述元件的姿勢變化超過容許范圍的情況下，上述下方攝像單元從下方再次拍攝上述元件而再次取得下方圖像，上述校正單元基于再次取得的上述下方圖像，再次設定上述校正值，在由上述判定單元判定為上述元件的姿勢變化未超過上述容許范圍的情況下，上述控制單元以基于所設定的上述校正值進行關于上述安裝位置的校正之后安裝上述元件的方式控制上述頭，在由上述判定單元判定為上述元件的姿勢變化超過上述容許范圍的情況下，上述控制單元以基于再次設定的上述校正值進行關于上述安裝位置的校正之后安裝上述元件的方式控制上述頭。這樣一來，即使在基于下方圖像而暫時設定校正值之后發生了超過容許范圍的元件的姿勢變化的情況下，也能夠基于再次取得的下方圖像而再次設定校正值，并向基于再次設定的校正值的安裝位置適當地安裝元件。即，能夠防止由于暫時設定校正值之后發生了元件的姿勢變化而無法準確地安裝元件的情況。
[0014]另外，在本發明的元件安裝裝置中，也可以是，其特征在于，上述控制單元以使上述頭間歇性地每次旋轉預定角度的方式控制上述頭使得上述多個吸嘴向各上述目標位置依次移動，在上述吸嘴位于從上述供給位置上方的目標位置前進了上述預定角度的剛吸附后位置時，上述攝像單元拍攝該吸嘴而取得上述吸附后圖像，在上述吸嘴位于比上述安裝位置上方的目標位置靠近近前側上述預定角度的即將安裝前位置時，上述攝像單元拍攝該吸嘴而取得上述安裝前圖像，使在上述剛吸附后位置拍攝的上述吸嘴的朝向和在上述即將安裝前位置拍攝的上述吸嘴的朝向成為相同的朝向。這樣一來，能夠容易地進行吸附后圖像和安裝前圖像的比較，能夠迅速地檢測元件的吸附不良。
[0015]另外，在本發明的元件安裝裝置中，也可以是，上述攝像單元在安裝上述元件之后從側方拍攝上述吸嘴而取得安裝后圖像，上述判定單元基于上述安裝后圖像，判定上述吸嘴是否已將上述元件安裝于上述安裝對象上。這樣一來，能夠將用于檢測在元件安裝之后由于某些異常而元件無法安裝并殘留的情況的攝像單元和用于檢測姿勢變化的攝像單元通用化，因此與設置單獨的攝像單元的情況相比，能夠形成為緊湊的結構。
【附圖說明】
[0016]圖1是表示元件安裝系統I的結構的概略的結構圖。
[0017]圖2是表示頭單元60的側面結構的概略的結構圖。
[0018]圖3是表示頭單元60的下表面結構的概略的結構圖。
[0019]圖4是表示控制裝置100與管理裝置110的電連接關系的框圖。
[0020]圖5是表示通過側面相機80的拍攝取得的圖像的一例的說明圖。
[0021]圖6是表示由控制裝置100的CPUlOl執行的元件安裝處理程序的一例的流程圖。
[0022]圖7是表示由控制裝置100的CPUlOl執行的剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理的一例的流程圖。
[0023]圖8是表示基于剛吸附后圖像來檢測吸附偏差的情況的一例的說明圖。
[0024]圖9是表示由控制裝置100的CPUlOl執行的即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理的一例的流程圖。
[0025]圖10是表示基于即將安裝前圖像來檢測吸附偏差的情況的一例的說明圖。
[0026]圖11是表示由控制裝置100的CPUlOl執行的吸附偏差判定處理的一例的流程圖。
[0027 ]圖12是表示由控制裝置100的CPUl OI執行的安裝處理的一例的流程圖。
【具體實施方式】
[0028]接著，利用附圖，說明本發明的實施方式。圖1是表示元件安裝系統I的結構的概略的結構圖。圖2是表示頭單元60的側面結構的概略的結構圖，圖3是表示頭單元60的下表面結構的概略的結構圖，圖4是表示控制裝置100與管理裝置110的電連接關系的框圖。元件安裝系統I具備:將電子元件(以下，稱為“元件”)P安裝(裝配)于電路基板(以下，稱為“基板”)S的元件安裝裝置10;及進行系統整體的管理的管理裝置110。另外，在本實施方式中，圖1的左右方向為X軸方向，前后方向為Y軸方向，上下方向為Z軸方向。
[0029]如圖1所示，元件安裝裝置10具備:具有收容有元件P的帶盤或托盤的元件供給裝置20;搬運基板S的基板搬運裝置30;支撐所搬運的基板S的支撐裝置40;使吸附元件P而安裝于基板S的頭單元60移動的移動機構50;及控制安裝裝置整體的控制裝置100(參見圖4)，基板搬運裝置30、支撐裝置40、移動機構50及頭單元60收容于框體12內。另外，圖1中僅圖示了一臺元件安裝裝置10，但在元件安裝系統I并列設置多臺元件安裝裝置。
[0030]如圖1所示，元件供給裝置20具備以能夠拆裝的方式安裝于框體12的前側的帶式供料器22。帶式供料器22具備卷繞有帶的帶盤22a，在帶的各空腔以預定間隔收容有元件P。這些元件P由覆蓋帶的表面的薄膜保護，當從帶盤22a引出帶時，在供料部22b中被剝下薄膜而成為暴露的狀態。
[0031]如圖1所示，基板搬運裝置30具備:在設置于框體12的下段部的基臺14上沿Y軸方向(圖1的前后方向)以預定間隔隔開而設置的一對輸送軌32a、32b;及在輸送軌32a、32b的彼此相向的面上設置的一對輸送帶34a、34b。一對輸送軌32a、32b作為長度方向成為X軸方向(圖1的左右方向)的長方形形狀的部件而構成，在長度方向上的兩端設有驅動輪及從動輪。輸送帶34a、34b架設于設在輸送軌32a、32b的驅動輪及從動輪，通過由未圖示的驅動馬達對驅動輪進行驅動，從圖1的左側向右側搬運基板S。
[0032]如圖1所示，支撐裝置40具備:以通過未圖示的升降裝置能夠進行升降的方式配置的支撐板42;及安裝于支撐板42的上表面的底板44。在底板44上立起設置有用于從背面側支撐基板S的多個支撐銷46。
[0033]如圖1所示，移動機構50具備:沿Y軸方向設于裝置上部的導軌56;能夠沿著導軌56移動的Y軸滑動件58;沿著X軸方向設于Y軸滑動件58的側面的導軌52;及能夠沿著導軌52移動且安裝有頭單元60的X軸滑動件54。
[0034]如圖2所示，頭單元60具備:吸附元件P的多個吸嘴61;配置有保持吸嘴61的多個吸嘴座62的圓筒狀的旋轉型頭64;使旋轉型頭64旋轉的R軸促動器66;使吸嘴座62沿Z軸方向移動的Z軸促動器70;及拍攝吸嘴61及吸附于吸嘴61的元件P的側面的側面相機80。
[0035]吸嘴座62作為沿Z軸方向延伸的中空圓筒部件而構成。吸嘴座62的上端部62a形成為比吸嘴座62的軸部大一圈的圓形形狀。另外，吸嘴座62在比上端部62a靠下方的預定位置形成有直徑比軸部大一圈的凸緣部62b。在該凸緣部62b的下方的圓環面與形成于旋轉型頭64的上表面的未圖示的凹部之間配置有彈簧(盤簧)65。因此，彈簧65將旋轉型頭64的上表面的凹部作為彈簧支撐部而對吸嘴座62(凸緣部62b)向上方施力。
[0036]如圖3所示，旋轉型頭64在與旋轉軸同軸的圓周上以預定角度間隔(例如30度的間隔)配置有多個(例如12個)吸嘴61。另外，在旋轉型頭64的下表面中央安裝有能夠反射光的圓筒狀的反射體64a。另外，本實施方式的旋轉型頭64在其內部具備使各吸嘴座62單獨地旋轉的Q軸促動器69(參見圖4)。雖然省略了圖示，但該Q軸促動器69具備:與設于吸嘴座62的圓筒外周的齒輪嚙合的驅動齒輪;及與驅動齒輪的旋轉軸連接的驅動馬達。因此，在本實施方式中，多個吸嘴座62能夠繞軸(Q方向)分別單獨地旋轉，因此各吸嘴61也能夠分別單獨地旋轉。
[0037]如圖2所示，R軸促動器66具備與旋轉型頭64連接的旋轉軸67和與旋轉軸67連接的驅動馬達68。該R軸促動器66通過使驅動馬達68間歇性地每次驅動預定角度(例如30度)，使旋轉型頭64每次間歇旋轉預定角度。由此，配置于旋轉型頭64的各吸嘴61沿周向每次移動預定角度。在此，吸嘴61在位于能夠移動的多個位置中的圖3中的12點的位置時吸附從元件供給裝置20供給的元件P并進行元件P向基板S的安裝。因此，將12點的位置稱為作業位置AO(或者，吸附位置A0、安裝位置A0)。另外，圖3中的11點的位置為吸嘴61沿周向(圖中箭頭方向)移動時作業位置AO的前一個(緊前)的位置，因此稱為緊前位置Al(或者，即將安裝前位置Al)，圖3中的I點的位置為吸嘴61沿周向(圖中箭頭方向)移動時作業位置AO的后一個(緊后)的位置，因此稱為緊后位置A2(或者，剛吸附后位置A2、剛安裝后位置A2)。
[0038]如圖2所示，Z軸促動器70作為輸送螺紋機構而構成，具備:沿Z軸方向延伸且使滾珠絲杠螺母72移動的螺紋軸74;安裝于滾珠絲杠螺母72的Z軸滑動件76;及使旋轉軸與螺紋軸74連接的驅動馬達78。該Z軸促動器70通過使驅動馬達78旋轉驅動，使Z軸滑動件76沿Z軸方向移動。在Z軸滑動件76形成有向旋轉型頭64側伸出的大致L字狀的桿部77。桿部77能夠與位于包括作業位置PO在內的預定范圍的吸嘴座62的上端部62a抵接。因此，當伴隨Z軸滑動件76的Z軸方向上的移動而桿部77沿Z軸方向移動時，能夠使吸嘴座62沿Z軸方向移動。
[0039]如圖3所示，側面相機80由相機主體82和框體84構成，該相機主體82設于頭單元60的下部，該框體84具有形成朝向相機主體82的光路的光學系統單元。框體84在嘴頭64側形成有中入射口 86a、左入射口 86b、右入射口 86c這三個入射口，在相機主體82側形成有相機連接口 86d。另外，中入射口 86a形成在與作業位置AO相向的位置，左入射口 86b形成在與緊前位置Al相向的位置，右入射口86c形成在與緊后位置A2相向的位置。另外，框體84在嘴頭64側的外周面設有多個朝向旋轉型頭64的反射體64a發光的LED等發光體87。框體84在其內部具備:使從各入射口 86a、86b、86c*別入射的光折射的三個第一棱鏡88a、88b、88c;及以由三個第一棱鏡88a、88b、88c折射后的光經由相機連接口 86d向相機主體82入射的方式進行折射的第二棱鏡88d(參見圖2)。因此，從發光體87發光而由反射體64a反射后的光中，除去由位于作業位置AO的吸嘴61和元件P遮擋的光，從中入射口 86a向框體84的內部入射而由第一棱鏡88a和第二棱鏡88d折射，并到達相機主體82。另外，從發光體87發光而由反射體64a反射后的光中，除去由位于緊前位置Al的吸嘴61和元件P遮擋的光，從左入射口86b向框體84的內部入射而由第一棱鏡88b和第二棱鏡88d折射，并到達相機主體82。另外，從發光體87發光而由反射體64a反射后的光中，除去由位于緊后位置A2的吸嘴61和元件P遮擋的光，從右入射口 86c向框體84的內部入射而由第一棱鏡88c和第二棱鏡88d折射，并到達相機主體82。
[0040]如此，側面相機80能夠拍攝位于作業位置AO的吸嘴61、位于緊前位置Al的吸嘴61和位于緊后位置A2的吸嘴61，而取得各自的側面圖像。圖5是通過側面相機80的拍攝而取得的圖像的一例。圖5表示吸嘴61剛吸附元件P之后的緊后位置A2處的側面圖像(以下，稱為剛吸附后圖像)和吸嘴61即將安裝元件P之前的緊前位置Al處的側面圖像(以下，稱為即將安裝前圖像)。各圖像成為遮擋光的吸嘴61、元件P作為黑色的陰影而畫出的圖像。在此，框體84的光學系單元以從左入射口 86b入射而到達相機主體82的光的光路和從右入射口 86c入射而到達相機主體82的光的光路成為左右對稱的方式構成。因此，吸附有元件P的吸嘴61在從緊后位置A2移動至緊前位置Al的情況下，只要不繞Q軸旋轉，則側面相機80拍攝緊后位置A2的吸嘴61及元件P的朝向和拍攝緊前位置Al的吸嘴61及元件P的朝向成為相同的朝向。
[0041]除此以外，元件安裝裝置10具備:設于基臺14且用于從下方拍攝吸附于吸嘴61的元件P的零件相機90;安裝于X軸滑動件54且用于從上方拍攝設于基板S的基板定位基準標記的標記相機92;及儲存多個種類的吸嘴61的嘴儲料器94。
[0042]零件相機90以拍攝方向朝上的方式設置在元件供給裝置20與基板搬運裝置30之間。該零件相機90拍攝通過其上方的元件P或在上方停止的元件P，將通過拍攝得到的圖像向控制裝置100輸出。控制裝置100通過將所輸入的圖像與預先存儲的正常的吸附狀態的圖像(圖像處理數據)進行比較，判定是否在吸嘴61正常地吸附有元件P，或取得元件P相對于吸嘴61的位置偏差量。
[0043]標記相機92以拍攝方向成為與基板S相向的朝向的方式設置于X軸滑動件54的下端。該標記相機92拍攝設于基板S的基板定位基準標記，將通過拍攝得到的圖像向控制裝置100輸出。控制裝置100通過處理所輸入的圖像而識別標記的位置，來判斷基板S的位置。
[0044]如圖4所示，控制裝置100作為以CPUlOl為中心的微處理器而構成，具備:存儲處理程序的R0M102、存儲各種數據的HDD103、用作作業區域的RAM104、用于與外部裝置進行電信號的交換的輸入輸出接口 105等。它們經由總線106而連接。控制裝置100中經由輸入輸出接口 105而輸入來自側面相機80、零件相機90、標記相機92的圖像信號等。另外，控制裝置100經由輸入輸出接口 105而輸出向元件供給裝置20、基板搬運裝置30、支撐裝置40、使X軸滑動件54移動的X軸促動器55、使Y軸滑動件58移動的Y軸促動器59、Z軸促動器70(驅動馬達78)、Q軸促動器69(驅動馬達)、R軸促動器66(驅動馬達68)及進行未圖示的真空栗與吸嘴61的連通和切斷的電磁閥79的驅動信號等。另外，在X軸滑動件54及Y軸滑動件58配備有未圖示的位置傳感器，控制裝置100輸入來自這些位置傳感器的位置信息，并對各滑動件進行驅動控制。另外，在Z軸促動器70及Q軸促動器69、R軸促動器66也配備有未圖示的位置傳感器，控制裝置100輸入來自這些位置傳感器的位置信息，并對各促動器進行驅動控制。
[0045]管理裝置110例如為通用的計算機。如圖4所示，管理裝置110是以CPUlll為中心的微處理器，具備存儲處理程序的R0M112、存儲基板的生產計劃等的HDD113、用作作業區域的RAM114、輸入輸出接口 115等。它們經由總線116而連接。管理裝置110中經由輸入輸出接口115而輸入來自鼠標、鍵盤等輸入設備117的輸入信號。另外，管理裝置110經由輸入輸出接口 115而輸出向顯示器118的圖像信號。在此，基板的生產計劃是指設定了在元件安裝裝置10中將哪個元件P以哪種順序向基板安裝、另外制作幾張如此安裝有元件P的基板S等的計劃。
[0046]下文是對于如此構成的元件安裝裝置10的動作的說明。圖6是表示由控制裝置100的CPUlOl執行的元件安裝處理程序的一例的流程圖。該程序在從管理裝置110接收到生產開始指令時執行。
[0047]在元件安裝處理程序中，控制裝置100的CPUlOl首先進行控制基板搬運裝置30而搬運基板S至來到支撐裝置40的正上方并保持基板S的基板搬運處理(步驟S100)。此時，元件供給裝置20(帶式供料器22)通過從帶盤22a送出帶而成為能夠供給元件P的狀態。接著，控制裝置100的CPUlOl以旋轉型頭64的作業位置AO位于從元件供給裝置20供給元件P的供給位置的正上方的方式控制X軸促動器55及Y軸促動器59，而使頭單元60向元件供給裝置20上方移動(步驟S110)。接著，控制裝置100的CPUlOl進行吸附元件P的吸附處理(步驟S120)。在該處理中，控制裝置100的CPUlOl以位于緊前位置Al的吸嘴61向作業位置AO旋轉移動的方式控制R軸促動器66，并以吸嘴61下降至吸嘴61的吸入口與元件P的上表面抵接的方式控制Z軸促動器70，以向吸嘴61的吸入口作用負壓而使吸嘴61吸附元件P的方式控制電磁閥79。另外，通過上次的吸附處理而吸附有元件P的吸嘴61伴隨此次進行的吸附處理而在吸附有元件P的狀態下向緊后位置A2移動。當進行吸附處理時，控制裝置100的CPUlOl進行檢測移動到緊后位置A2的吸嘴61的元件吸附姿勢的剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理(步驟S130)，接著判定是否存在要吸附的元件P(步驟S140)。并且，當判定為存在接著要吸附的元件P時，控制裝置100的CPUlOl返回到步驟S120并反復進行處理，當判定為沒有接著要吸附的元件P時，控制裝置100的CPUl OI向下一步驟S150的處理移行。
[0048]圖7是表示剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理的一例的流程圖。在該處理中，控制裝置100的CPUlOl首先利用側面相機80拍攝位于緊后位置A2的吸嘴61和所吸附的元件P而取得剛吸附后圖像(步驟S300)，并執行剛吸附后圖像的圖像處理(步驟S310)。控制裝置100的CPUlOl執行如下的處理等而作為圖像處理，即從剛吸附后圖像提取表示吸嘴61的像素區域和表示元件P的像素區域，求算所提取的吸嘴61的像素區域的X方向上的中心位置Xn，或求算所提取的元件P的像素區域的X方向上的中心位置XP、左端位置XL、右端位置XR、下端位置Z。接著，控制裝置100的CPUlOl檢測與X方向上的吸附偏差相當的X方向偏差Δ X1、與Q方向上的吸附偏差相當的Q方向偏差LI和與Z方向上的吸附偏差相當的Z方向位置Z1(L，R)作為表示吸嘴61的元件P的吸附姿勢的值(步驟S320)，將各檢測值存儲于RAM104(步驟S330)，結束剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理。
[0049]圖8是表示基于剛吸附后圖像來檢測吸附姿勢的情況的一例的說明圖。另外，圖8、后述的圖10為了便于說明，與圖5不同地用白色表示吸嘴61、元件P。圖8(a)表示檢測吸嘴的中心位置Xn與元件P的中心位置XP之差作為X方向偏差Δ Xl的情況。另外，X方向偏差Δ Xl成為差的絕對值表示位置偏差量、正負的符號表示位置偏差的方向的值。圖8(b)表示檢測基于元件P的左端位置XL和右端位置XR的元件P的寬度作為Q方向偏差LI的情況。在此，圖8(b)的參考上表面圖表示在所吸附的元件P繞吸嘴61的軸(Q方向)旋轉的情況下在圖像中檢測出的元件P的寬度LI比元件P的原本的寬度LO大的情況。因此，控制裝置100的CPUlOl能夠根據元件P的寬度L來掌握繞Q軸的大致的旋轉量(Q方向偏差)，因此檢測元件P的寬度作為Q方向偏差LI。另外，左端位置XL和右端位置XR可以使用元件P的下端處的左端位置和右端位置，也可以檢測多個左端位置和右端位置并使用其平均位置。圖8(c)表示檢測下端位置Z中的左右兩處的左下端位置ZlL和右下端位置ZlR作為Z方向位置Zl (L，R)的情況。該Z方向位置Z1(L，R)是用于檢測元件P以從正常的朝向立起的朝向被吸附的情況(所謂的立起吸附)、元件P以從正常的朝向傾斜的朝向被吸附的情況(所謂的傾斜吸附)的值。這些左下端位置ZlL和右下端位置ZlR對應每個元件P的尺寸而設為規定了距元件P的中心位置XP的距離的位置等即可。另外，在X方向偏差AX1、Q方向上的吸附偏差LI成為較大的值或Z方向位置Zl(L，R)從基準值較大地偏離的情況下，控制裝置100的CPUlOl也能夠判定為在吸附時發生了某些異常、例如由元件供給裝置20(帶式供料器22)引起的元件P的供給位置的偏差等。
[0050]接著，控制裝置100的CPUlOl控制X軸促動器55及Y軸促動器59而使頭單元60向基板S上移動，直到經過零件相機90的上方且旋轉型頭64的作業位置AO位于基板S的安裝位置的正上方(步驟S150)。另外，控制裝置100的CPUlOl在嘴單元60在零件相機90上方移動時從下方拍攝吸附于吸嘴61的元件P而取得元件P的下方圖像(步驟S160)，執行所取得的下方圖像的圖像處理(步驟S170)。控制裝置100的CPUlOl執行判定元件P的有無或判定元件P的形狀、大小、吸附位置等是否正常的處理作為圖像處理。另外，控制裝置100的CPUlOl基于元件P相對于吸嘴61的位置偏差量來設定向基板S安裝元件P時的吸嘴61的位置、朝向的校正值，并存儲于RAM104。另外，當判定為沒有元件P或元件P的形狀、大小、吸附位置等不正常時，控制裝置100的CPUlOl中斷處理而向管理裝置110輸出發生了錯誤的內容的信息。
[0051 ]當嘴單元60向安裝位置移動時，控制裝置100的CPUlOl執行檢測移動到緊前位置Al的吸嘴61的元件吸附姿勢的即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理(步驟S180)，進行如下的吸附偏差判定處理:通過將在即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理中檢測出的各檢測值和在步驟S130的剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理中檢測出的各檢測值進行比較，而判定搬運中的元件P有無吸附偏差(步驟S190)。接著，控制裝置100的CPUlOl進行將元件P安裝于基板S的安裝處理(步驟S200)，進行是否已進行安裝的安裝確認處理(步驟S210)。并且，控制裝置100的CPUlOl判定是否存在接著要安裝的元件P(步驟S220)，當判定為存在接著要安裝的元件P時，返回到步驟S180并反復進行處理，當判定為沒有接著要安裝的元件P時，結束元件安裝處理程序。
[0052]圖9是表示即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理的一例的流程圖。控制裝置100的CPUlOl除了取代剛吸附后圖像而使用即將安裝前圖像這一點以外，與上述的剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理同樣地進行即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理。即，控制裝置100的CPUlOl首先拍攝位于緊前位置Al的吸嘴61而取得即將安裝前圖像(步驟S400)，執行即將安裝前圖像的圖像處理(步驟S410)，檢測X方向偏差AX2、Q方向偏差L2和Z方向位置Z2(L，R)(步驟S420)，將各檢測值存儲于RAM104(步驟S430)，結束剛安裝之后的吸附姿勢檢測處理。另外，若進行步驟S200的元件吸附動作之后的吸嘴61位于緊后位置A2，則控制裝置100的CPUlOl在步驟S400的處理中也一并取得拍攝該吸嘴61而得到的緊后位置A2的剛安裝后圖像。并且，控制裝置100的CPUlOl在步驟S210的安裝確認處理中執行該剛安裝后圖像的圖像處理，在檢測到元件P的像素區域的情況下，判定為無法正常地安裝元件P而元件P殘留(所謂的元件P的帶回)，再次安裝該元件P或向管理裝置110發送錯誤信息。如此，控制裝置100的CPUlOl通過側面相機80的拍攝而取得剛吸附后圖像、即將安裝前圖像和剛安裝后圖像，來進行吸附偏差的判定、元件P的帶回的判定。
[0053]圖10是表示基于即將安裝前圖像來檢測吸附姿勢的情況的一例的說明圖。在此，各吸嘴61通過旋轉型頭64的間歇旋轉而在圓周上的各位置依次移動，因此因旋轉型頭64的加減速的反復而在從剛吸附之后到即將安裝之前的期間元件P的吸附姿勢有時會發生變化。即，有時圖10(a)的X方向偏差ΔΧ2從圖8(a)的X方向偏差Δ Xl較大地變化，或圖10(b)的Q方向偏差L2從圖8(b)的Q方向偏差LI較大地變化，或圖10(c)的Z方向位置Z2(L，R)從圖8(c)的Z方向位置ZI (L，R)較大地變化。另外，X方向偏差Δ X2與X方向偏差Δ XI同樣地，絕對值表示位置偏差量，正負的符號表示位置偏差的方向。
[0054]圖11是表示吸附偏差判定處理的一例的流程圖。在該處理中，控制裝置100的CPUlOl首先從RAM104讀出在即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理中檢測到的即將安裝之前的X方向偏差A X2、Q方向偏差1^2和2方向位置Z2(L，R)、相同吸嘴61的在剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理中檢測到的剛吸附之后的X方向偏差AXUQ方向偏差LI和Z方向位置Zl(L，R)(步驟S500)。并且，控制裝置100的CPUl OI判定X方向偏差Δ X2與X方向偏差Δ Xl的差的絕對值是否超過預定的閾值Cx(步驟S510)，當判定為差的絕對值超過預定的閾值Cx時，判定為在X方向上存在吸附偏差(步驟S520)，向下一步驟S530的處理移行，當判定為差的絕對值未超過預定的閾值Cx時，判定為在X方向上不存在吸附偏差，向下一步驟S530的處理移行。如此，當X方向偏差A X2變大或變小而X方向偏差△ X2與X方向偏差△ Xl的差的絕對值超過預定的閾值Cx時，控制裝置100的CPUl OI判定為在搬運中發生了吸附偏差。另外，X方向上的吸附偏差的有無基于X方向偏差A X2與X方向偏差△ Xl的差的絕對值而進行，但控制裝置100的CPUlOl也能夠根據X方向偏差Δ X2與X方向偏差Δ Xl之差的正負的符號來掌握X方向上的位置偏差的方向。在此，作業者能夠在管理裝置110中對應每個元件P的種類而設定閾值Cx。因此，例如，在相鄰地安裝小型的元件P的情況等相鄰的元件P彼此的間隔較小的情況下，作業者將閾值Cx設定為較小的值，從而在步驟S200的安裝處理中控制裝置100僅安裝X方向上的吸附偏差較小的元件P，因此能夠提高元件P的安裝精度。
[0055]接著，控制裝置100的CPUlOl判定Q方向偏差L2與Q方向偏差LI的差的絕對值是否超過預定的閾值Cq (步驟S530 )，當判定為差的絕對值超過預定的閾值Cq時，判定為在Q方向上存在吸附偏差(步驟S540)，向下一步驟S550的處理移行，當判定為差的絕對值未超過預定的閾值Cq時，判定為在Q方向上不存在吸附偏差，向下一步驟S550的處理移行。如此，當Q方向偏差L2變大或變小而Q方向偏差L2與Q方向偏差LI的差的絕對值超過預定的閾值Cq時，控制裝置100的CPUlOl判定為吸附偏差。在此，作業者能夠在管理裝置110中對應每個元件P的種類而設定閾值Cq。因此，例如，在相鄰地安裝小型的元件P的情況等相鄰的元件P彼此的間隔較小的情況下，作業者將閾值Cq設定為較小的值，從而在步驟S200的安裝處理中控制裝置100僅安裝Q方向上的吸附偏差較小的元件P，因此能夠提高元件P的安裝精度。
[0056]接著，控制裝置100的CPUlOl判定Z方向位置Z2L與Z方向位置ZlL的差的絕對值及Z方向位置Z2R與Z方向位置ZlR的差的絕對值中的任一差的絕對值是否超過預定的閾值Cz(步驟S550 )，當判定為其中任一差的絕對值超過預定的閾值Cz時，判定為在Z方向上存在吸附偏差(所謂的立起吸附、傾斜吸附)(步驟S560)，結束吸附偏差判定處理，當判定為任一差的絕對值均未超過預定的閾值Cz時，判定為在Z方向上不存在吸附偏差，結束吸附偏差判定處理。如此，在Z方向位置Z2L、Z2R較大地變化而Z方向位置Z2L與Z方向位置ZlL的差的絕對值及Z方向位置Z2R與Z方向位置ZIR的差的絕對值中的任一差的絕對值超過預定的閾值Cz時，控制裝置100的CPUlOl判定為吸附偏差。在此，作業者能夠在管理裝置110中對應每個元件P的種類而設定閾值Cz。因此，例如，作業者在Z方向上的高度較小的小型的元件P中較小地設定閾值Cz，從而在步驟S200的安裝處理中控制裝置100僅安裝Z方向上的吸附偏差較小的元件P，因此能夠提高元件P的安裝精度。
[0057]圖12是表示安裝處理的一例的流程圖。控制裝置100的CPUlOl首先基于在圖6的元件安裝處理程序的S170的處理中設定的校正值進行校正而設定安裝對象的元件P的安裝位置和朝向(角度)(步驟S600)，判定在上述的吸附偏差判定處理中是否存在任一吸附偏差(步驟S610)。當判定為不存在吸附偏差時，控制裝置100的CPUlOl以通常動作(高速動作)進行元件P的安裝(步驟S620)，并結束安裝處理。在該以通常動作的元件P的安裝中，控制裝置100的CPUlOl以使嘴單元60以通常速度及通常加速度進行移動直到旋轉型頭64的作業位置AO位于在步驟S600中設定的元件P的安裝位置上方的方式控制X軸促動器55及Y軸促動器59。另外，控制裝置100的CPUl OI以吸嘴61向在步驟S600中設定的朝向旋轉的方式控制Q軸促動器69，以吸嘴61以通常速度及通常加速度旋轉移動并下降至作業位置AO正下方的安裝位置的方式控制R軸促動器66和Z軸促動器70。并且，控制裝置100的CPUlOl控制電磁閥79而向吸嘴61的吸入口作用正壓而將元件P安裝在基板S上。另外，當將元件P安裝于基板S時，控制裝置100的CPUlOl還進行控制Z軸促動器70而使吸嘴61向作業位置AO上升等的處理。
[0058]另一方面，當在步驟S610中判定為存在吸附偏差時，控制裝置100的CPUlOl判定該吸附偏差是否為Z方向上的吸附偏差(步驟S630)。當判定為存在Z方向上的吸附偏差時，控制裝置100的CPUlOl執行吸附錯誤發生時處理(步驟S640)，并結束安裝處理。控制裝置100的CPUlOl進行如下的處理等作為錯誤發生時處理，即由于元件P發生了吸附偏差，因此向管理裝置110發送不進行元件P的安裝的內容信息、吸附偏差的種類的信息，將發生吸附偏差的元件P向預定的廢棄位置廢棄。另外，控制裝置100的CPUl OI在Z方向上的吸附偏差的情況下不進行元件P的安裝，這是因為無法正常地安裝立起吸附的元件P。
[0059]另外，當在步驟S630中不是Z方向上的吸附偏差而是X方向、Q方向上的吸附偏差時，控制裝置100的CPUlOl判定其偏差量是否超過容許量(步驟S650)。控制裝置100的CPUlOl能夠使用比閾值Cx、閾值Cq稍大且判定為雖然吸附偏差發生但若吸附偏差不進一步變大則能夠安裝元件P的值作為容許量。另外，控制裝置100的CPUlOl也能夠在X方向偏差ΔΧ2超過第一預定值的情況下、Q方向偏差L2超過第二預定值的情況下判定為偏差量超過容許量。另外，在處理中的基板S、安裝對象的元件P要求較高的安裝精度的情況下，控制裝置100的CPUl OI也可以不進行步驟S650的判定，而與發生了 Z方向上的吸附偏差的情況同樣地進行步驟S640的吸附錯誤發生時處理。
[0060]當在步驟S650中判定為偏差量未超過容許量時，控制裝置100的CPUlOl以比通常動作低速的低速動作進行元件P的安裝(步驟S700)，并結束安裝處理。在該情況下的低速動作下的元件P的安裝中，控制裝置100的CPUlOl以嘴單元60以低速度及低加速度進行移動直到旋轉型頭64的作業位置AO位于在步驟S600中設定的元件P的安裝位置上方的方式控制X軸促動器55及Y軸促動器59。另外，控制裝置100的CPUlOl以吸嘴61向在步驟S600中設定的朝向旋轉的方式控制Q軸促動器69，以吸嘴61以低速度及低加速度進行旋轉移動并下降至作業位置AO正下方的安裝位置的方式控制R軸促動器66和Z軸促動器70。并且，控制裝置100的CPU1I控制電磁閥79而向吸嘴61的吸入口作用正壓而將元件P安裝在基板S上。如此，在低速動作中，能夠抑制向吸嘴61所吸附的元件P作用伴隨加速、減速的較大的力。因此，元件安裝裝置10通過以低速動作安裝元件P，能夠抑制在元件P發生的吸附偏差進一步變大而防止安裝不良的發生。
[0061 ]另一方面，當在步驟S650中判定為偏差量超過容許量時，控制裝置100的CPUlOl以嘴單元60以低速度及低加速度往復移動至零件相機90上方的方式控制X軸促動器55及Y軸促動器59(步驟S660)。另外，在嘴單元60到達零件相機90上方時，控制裝置100的CPUlOl從下方拍攝判定為偏差量超過容許量的元件P而再次取得元件P的下方圖像(步驟S670)，執行再次取得的下方圖像的圖像處理而再次設定校正值(步驟S680)。并且，控制裝置100的CPUlOl基于再次設定的校正值進行校正而再次設定安裝對象的元件P的安裝位置和朝向(角度)(步驟S690)，以成為再次設定的安裝位置及朝向的方式以低速動作進行元件P的安裝(步驟S700)，并結束安裝處理。如此，在X方向、Q方向上發生超過容許量的吸附偏差的情況下，控制裝置100的CPUlOl基于該吸附偏差而再次設定安裝元件P時的校正值之后進行安裝，因此能夠防止安裝不良的發生。另外，在再次設定校正值時，控制裝置100的CPUlOl以低速度及低加速度進行嘴單元60向零件相機90上方的往復移動，因此能夠抑制元件P發生的吸附偏差進一步變大。
[0062]在此，明確本實施方式的構成要素與本發明的構成要素的對應關系。本實施方式的元件安裝裝置10相當于本發明的元件安裝裝置，元件供給裝置20相當于元件供給裝置，吸嘴61相當于吸嘴，旋轉型頭64相當于頭，執行圖6的元件安裝處理程序的步驟S110、S120、S150、S200的處理的控制裝置100的CPUlOl相當于控制單元，執行圖7的剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理的S300的處理和圖9的即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理的S400的處理的控制裝置100的CPUlOl和側面相機80相當于側方攝像單元，執行圖7的剛吸附之后的吸附姿勢檢測處理的S310?S330的處理、圖9的即將安裝之前的吸附姿勢檢測處理的S410?S430的處理和圖11的吸附偏差判定處理的控制裝置100的CPUlOl相當于判定單元。另外，執行圖6的元件安裝處理程序的步驟S160的處理的控制裝置100的CPUlOl和零件相機90相當于下方攝像單元，執行元件安裝處理程序的步驟S170的處理的控制裝置100的CPUlOl相當于設定單元。
[0063]以上說明的本實施方式的元件安裝裝置10具備安裝多個吸嘴61的旋轉型頭64，基于在剛吸附元件之后從側方拍攝吸嘴61而取得的剛吸附后圖像和在即將安裝元件之前從側方拍攝吸嘴61而取得的即將安裝前圖像，判定從吸附元件之后到安裝元件之前的元件P有無吸附偏差(姿勢變化)，因此能夠檢測因通過旋轉型頭64的旋轉進行的吸嘴61的移動等而由吸嘴61吸附著的元件P發生吸附偏差。如此，能夠適當地檢測盡管在吸附元件P之后為準確的元件姿勢但在元件P的搬運中元件姿勢發生變化而無法準確地安裝的情況。
[0064]另外，元件安裝裝置10基于剛吸附后圖像的X方向偏差ΔΧ1和即將安裝前圖像的X方向偏差A X2，判定元件P的X方向上的吸附偏差的有無，因此能夠防止由X方向上的吸附偏差引起的安裝不良。另外，元件安裝裝置10基于剛吸附后圖像的Q方向偏差LI和即將安裝前圖像的Q方向偏差L2，判定元件P的Q方向上的吸附偏差的有無，因此能夠防止由Q方向上的吸附偏差引起的安裝不良。另外，元件安裝裝置10基于剛吸附后圖像的Z方向位置Z1(L，R)和即將安裝前圖像的Z方向位置Z2(L，R)，判定元件P的Z方向上的吸附偏差(立起吸附、傾斜吸附)的有無，因此能夠防止由Z方向上的吸附偏差引起的安裝不良。另外，元件安裝裝置10以在取得剛吸附后圖像的緊后位置A2和取得即將安裝前圖像的緊前位置Al處拍攝吸嘴61的朝向成為相同的朝向的方式構成側面相機80的光學系統單元，因此能夠容易地進行剛吸附后圖像與即將安裝前圖像的比較，能夠迅速地檢測元件P的吸附偏差。另外，側面相機80也兼用于剛安裝之后的元件P的帶回的判定，因此與對于帶回的判定和吸附偏差的判定設置單獨的相機的情況相比，能夠將元件安裝裝置10設為緊湊的結構。另外，元件安裝裝置10使用安裝于頭單元60的側面相機80，拍攝位于緊后位置A2的吸嘴61而取得剛吸附后圖像，并拍攝位于緊前位置Al的吸嘴61而取得即將安裝前圖像，僅由于取得剛吸附后圖像、即將安裝前圖像而無需使頭單元60工作，因此能夠防止為了吸附偏差的判定而元件安裝處理的生產效率較大地降低的情況。
[0065]而且，即使發生X方向上的吸附偏差、Q方向上的吸附偏差，在其偏差量為容許量以內的情況下，控制裝置100的CPUlOl也與未發生吸附偏差的情況相比以低速使吸嘴61動作而吸附元件P，因此能夠防止吸附偏差進一步變大而適當地安裝元件P。另外，元件安裝裝置10具備從下方拍攝元件P的零件相機90，控制裝置100的CPUlOl基于由零件相機90拍攝元件P而取得的下方圖像來設定校正值，基于所設定的校正值來進行關于元件P的安裝位置的校正(位置、朝向的校正)之后安裝元件P。并且，在發生X方向上的吸附偏差、Q方向上的吸附偏差的情況下，控制裝置100的CPUlOl基于由零件相機90再次拍攝元件P而再次取得的下方圖像來再次設定校正值，基于再次設定的校正值來進行關于元件P的安裝位置的校正之后安裝元件P。因此，能夠防止在設定校正值之后元件P的吸附偏差變大的情況下等基于最初設定的校正值來安裝元件P時發生安裝不良的情況。另外，在所發生的吸附偏差為立起吸附等Z方向上的吸附偏差的情況下，控制裝置100的CPU1I無論偏差量如何均不安裝元件P，因此能夠根據吸附偏差的種類而適當地進行應對。
[0066]另外，本發明絲毫不限定于上述的實施方式，只要屬于本發明的技術范圍，就能夠以各種形態進行實施，這是不言而喻的。
[0067]例如，在上述的實施方式中，側面相機80拍攝緊后位置A2的吸嘴61而取得剛吸附后圖像，但并不限定于此，也可以在吸附后吸嘴61向作業位置AO上升之后使旋轉型頭64開始旋轉，側面相機80拍攝上升到作業位置AO的吸嘴61而取得剛吸附后圖像。或者，也可以構成為側面相機80在緊后位置A2的下一位置等其他位置拍攝吸嘴61，并在其他位置取得吸附之后的圖像。另外，側面相機80拍攝緊前位置Al的吸嘴61而取得即將安裝前圖像，但并不限定于此，也可以在安裝前吸嘴61向作業位置AO移動而旋轉型頭64的旋轉停止之后使吸嘴61下降，側面相機80拍攝移動到作業位置AO的吸嘴61而取得即將安裝前圖像。或者，也可以構成為側面相機80在緊前位置Al的前一位置等其他位置拍攝吸嘴61，在其他位置取得安裝之前的圖像。
[0068]在上述的實施方式中，以一臺側面相機80兼用用于拍攝緊后位置A2的吸嘴61而取得剛吸附后圖像的相機和用于拍攝緊前位置Al的吸嘴61而取得即將安裝前圖像的相機，但并不限定于此，也可以分別設置用于取得剛吸附后圖像的專用的相機和用于取得即將安裝前圖像的專用的相機。
[0069]在上述的實施方式中，控制裝置100的CPUlOl判定X方向上的吸附偏差、Q方向上的吸附偏差和Z方向上的吸附偏差這三個吸附偏差，但并不限定于此，也可以判定其中任一個或兩個吸附偏差。
[0070]在上述的實施方式中，對應各吸嘴座62單獨設置使保持吸嘴61的吸嘴座62旋轉的Q軸促動器69，但并不限定于此，也可以對所有的吸嘴座62設置共通的Q軸促動器。在該情況下，各吸嘴61在從緊后位置A2移動至緊前位置Al的期間，每當進行吸嘴61對元件P的安裝時進行旋轉。因此，也可以對應每個吸嘴61分別存儲從緊后位置A2移動至緊前位置Al的累計的旋轉量，在移動到緊前位置Al時，以消除該累計的旋轉量的方式使吸嘴61旋轉之后，拍攝吸嘴61而取得剛安裝后圖像。這樣一來，即使在對所有的吸嘴座62設置共通的Q軸促動器的情況下，側面相機80也能夠在緊后位置A2和緊前位置Al從相同的朝向拍攝吸嘴61及元件P。
[0071]在上述的實施方式中，控制裝置100的CPUlOl在X方向或Q方向上的吸附偏差的偏差量為容許量以內的情況下以低速動作安裝元件P，或在X方向或Q方向上的吸附偏差的偏差量超過容許量的情況下使嘴單元60以低速動作再次移動至零件相機90上方并基于再次取得的下方圖像來再次設定校正值而以低速動作安裝元件P，但并不限定于此。例如，控制裝置100的CPUl OI也可以在X方向或Q方向上的吸附偏差的偏差量為容許量以內的情況下以通常動作安裝元件P。另外，控制裝置100的CPUlOl也可以在利用吸嘴61繼續吸附發生了吸附偏差的元件P的狀態下繼續進行生產。在該情況下，吸附有發生了吸附偏差的元件P的吸嘴61不會吸附新的元件P。另外，在實施方式中，控制裝置100的CPUlOl構成為，即使發生X方向上的吸附偏差和Q方向上的吸附偏差這兩方的吸附偏差，但只要這兩方的吸附偏差為容許量以內就吸附元件P，但也可以構成為，在發生X方向上的吸附偏差和Q方向上的吸附偏差這兩方的吸附偏差的情況下，不進行元件P的安裝而進行吸附錯誤發生時處理，在發生X方向上的吸附偏差和Q方向上的吸附偏差中的僅一方且偏差量為容許量以內的情況下，以低速動作使吸嘴61移動而安裝元件P。或者，控制裝置100的CPUlOl也可以構成為，在判定為發生吸附偏差的情況下，無論其偏差量如何均不進行元件P的安裝。
[0072]在上述的實施方式中，控制裝置100的CPUlOl取得由側面相機80拍攝到的剛安裝后圖像，但并不限定于此，也可以不取得剛安裝后圖像、即不進行元件P的帶回的判定。
[0073]工業實用性
[0074]本發明能夠利用于元件安裝裝置的制造產業等。
[0075]附圖標記說明
[0076]I元件安裝系統
[0077]10元件安裝裝置
[0078]12 框體
[0079]14 基臺
[0080]20元件供給裝置
[0081]22帶式供料器
[0082]22a 帶盤
[0083]22b供料部
[0084]30基板搬運裝置
[0085]32a、32b 輸送軌
[0086]34a、34b 輸送帶
[0087]40支撐裝置
[0088]42支撐板
[0089]44 底板
[0090]46支撐銷[0091 ]50移動機構
[0092]52、56 導軌
[0093]54 X軸滑動件
[0094]55 X軸促動器
[0095]58 Y軸滑動件
[0096]59 Y軸促動器
[0097]60頭單元
[0098]61 吸嘴
[0099]62吸嘴座
[0100]62a上端部
[0101]62b凸緣部
[0102]64旋轉型頭
[0103]64a反射體
[0104]65彈簧(盤簧)
[0105]66 R軸促動器
[0106]67旋轉軸
[0107]68驅動馬達
[0108]69 Q軸促動器
[0109]70 Z軸促動器
[0110]72滾珠絲杠螺母
[0111]74螺紋軸
[0112]76 Z軸滑動件
[0113]77 桿部
[0114]78驅動馬達
[0115]79電磁閥
[0116]80側面相機
[0117]82相機主體
[0118]84 框體
[0119]86a 中入射口
[0120]86b 左入射口
[0121]86c 右入射口
[0122]86d相機連接口
[0123]87發光體
[0124]88a、88b、88c 第一棱鏡
[0125]88d 第二棱鏡
[0126]90零件相機
[0127]92標記相機
[0128]94嘴儲料器
[0129]100控制裝置
[0130]101、111 CPU
[0131]102、112 ROM
[0132]103、113 HDD
[0133]104、114 RAM
[0134]105,115輸入輸出接口
[0135]106、116 總線
[0136]HO管理裝置
[0137]117輸入設備
[0138]118顯示器
[0139]AO作業位置(吸附位置、安裝位置)
[0140]Al緊前位置(即將安裝前位置)
[0141]A2緊后位置(剛吸附后位置、剛安裝后位置)
[0142]P 元件
[0143]S 基板
【主權項】
1.一種元件安裝裝置，具備: 旋轉型的頭，在圓周上配置有能夠吸附元件的多個吸嘴； 控制單元，在吸附所述元件時，以將元件供給裝置的供給位置上方作為目標位置使所述多個吸嘴依次移動而吸附所述元件的方式控制所述頭，在安裝所述元件時，以將向安裝對象安裝的安裝位置上方作為目標位置使所述多個吸嘴依次移動而向所述安裝對象安裝所述元件的方式控制所述頭； 側方攝像單元，在吸附所述元件之后從側方拍攝所述吸嘴而取得吸附后圖像，在該拍攝之后且安裝所述元件之前從側方拍攝所述吸嘴而取得安裝前圖像;及 判定單元，基于所述吸附后圖像和所述安裝前圖像，判定從吸附所述元件之后到安裝所述元件之前的該元件的姿勢變化。2.根據權利要求1所述的元件安裝裝置，其中， 所述判定單元基于所述吸附后圖像中的所述元件相對于所述吸嘴的左右方向上的位置和所述安裝前圖像中的所述元件相對于所述吸嘴的左右方向上的位置，判定所述元件的左右方向上的位置偏差作為所述姿勢變化。3.根據權利要求1或2所述的元件安裝裝置，其中， 所述判定單元基于所述吸附后圖像中的所述元件的左右方向上的長度和所述安裝前圖像中的所述元件的左右方向上的長度，判定所述元件的旋轉方向上的位置偏差作為所述姿勢變化。4.根據權利要求1?3中任一項所述的元件安裝裝置，其中， 所述判定單元基于所述吸附后圖像中的所述元件的下端位置和所述安裝前圖像中的所述元件的下端位置，判定所述元件的高度方向上的位置偏差作為所述姿勢變化。5.根據權利要求1?4中任一項所述的元件安裝裝置，其中， 所述元件安裝裝置具備: 下方攝像單元，在取得所述吸附后圖像之后且取得所述安裝前圖像之前，從下方拍攝吸附于所述吸嘴的元件而取得下方圖像;及 設定單元，基于所述下方圖像，設定與所述元件相對于所述吸嘴的位置偏差量相應的校正值， 在由所述判定單元判定為所述元件的姿勢變化超過容許范圍的情況下，所述下方攝像單元從下方再次拍攝所述元件而再次取得下方圖像， 所述校正單元基于再次取得的所述下方圖像，再次設定所述校正值， 在由所述判定單元判定為所述元件的姿勢變化未超過所述容許范圍的情況下，所述控制單元以基于所設定的所述校正值進行關于所述安裝位置的校正之后安裝所述元件的方式控制所述頭，在由所述判定單元判定為所述元件的姿勢變化超過所述容許范圍的情況下，所述控制單元以基于再次設定的所述校正值進行關于所述安裝位置的校正之后安裝所述元件的方式控制所述頭。6.根據權利要求1?5中任一項所述的元件安裝裝置，其中， 所述控制單元以使所述頭間歇性地每次旋轉預定角度的方式控制所述頭使得所述多個吸嘴向各所述目標位置依次移動， 在所述吸嘴位于從所述供給位置上方的目標位置前進了所述預定角度的剛吸附后位置時，所述攝像單元拍攝該吸嘴而取得所述吸附后圖像，在所述吸嘴位于比所述安裝位置上方的目標位置靠近近前側所述預定角度的即將安裝前位置時，所述攝像單元拍攝該吸嘴而取得所述安裝前圖像， 使在所述剛吸附后位置拍攝的所述吸嘴的朝向和在所述即將安裝前位置拍攝的所述吸嘴的朝向成為相同的朝向。7.根據權利要求1?6中任一項所述的元件安裝裝置，其中， 所述攝像單元在安裝所述元件之后從側方拍攝所述吸嘴而取得安裝后圖像， 所述判定單元基于所述安裝后圖像，判定所述吸嘴是否已將所述元件安裝于所述安裝對象上。
【文檔編號】H05K13/04GK106031327SQ201480076184
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2014年2月25日
【發明人】川合英俊
【申請人】富士機械制造株式會社