本公開涉及彈性波裝置。
背景技術:
1、在專利文獻1記載了彈性波裝置。
2、在先技術文獻
3、專利文獻
4、專利文獻1:日本特開2012-257019號公報
技術實現思路
1、發明要解決的問題
2、在專利文獻1所示的彈性波裝置中,為了抑制雜散,有時在彈性波裝置中使具有多個的電極指的寬度部分地不同。若電極指的寬度在中央區域和端部區域中大不相同,則薄膜整體的強度變得不均等。在該情況下,若壓電層的厚度和電極指的膜厚為相同程度,則影響變得更大,有可能由于熱、應力所造成的形變而在壓電層產生撓曲,或者壓電層被破壞。
3、本公開用于解決上述的問題,其目的在于,抑制雜散并且抑制壓電層的撓曲、壓電層的破壞。
4、用于解決問題的技術方案
5、一個方式涉及的彈性波裝置彈性波裝置具備壓電層和idt電極,所述壓電層具有第1主面和第2主面,所述第2主面是所述第1主面的相反側,并且相對于所述第1主面處于第1方向上,所述idt電極具有:第1電極,具有在與所述第1方向交叉的第2方向上延伸的電極指;以及第2電極,具有在所述第2方向上延伸并且在與所述第2方向正交的第3方向上與所述第1電極的電極指對置的電極指,所述idt電極包含:多個第1組的電極指,在所述第3方向上連續地排列;多個第2組的電極指,在所述第3方向上連續地排列;以及多個第3組的電極指,在所述第3方向上連續地排列,所述第1組的電極指具有最大的第1寬度,所述第2組的電極指具有最小的第2寬度,所述第3組的電極指具有比第2寬度大的第3寬度,在所述第3方向上觀察,按所述第3組的電極指、所述第2組的電極指、所述第1組的電極指、所述第2組的電極指、所述第3組的電極指的順序排列。
6、另一個方式涉及的彈性波裝置具備壓電層和idt電極,所述壓電層具有第1主面和第2主面,所述第2主面是所述第1主面的相反側,并且相對于所述第1主面處于第1方向上,所述idt電極具有:第1電極,具有在與所述第1方向交叉的第2方向上延伸的電極指;以及第2電極,具有在所述第2方向上延伸并且在與所述第2方向正交的第3方向上與所述第1電極的電極指對置的電極指,所述idt電極包含:多個第1組的電極指,在所述第3方向上連續地排列;多個第2組的電極指,在所述第3方向上連續地排列;以及多個第3組的電極指,在所述第3方向上連續地排列,所述第1組的電極指具有最大的第1寬度,所述第2組的電極指具有最小的第2寬度,所述第3組的電極指具有比第1寬度小的第3寬度,在所述第3方向上觀察,按所述第3組的電極指、所述第1組的電極指、所述第2組的電極指、所述第1組的電極指、所述第3組的電極指的順序排列。
7、發明效果
8、根據本公開,能夠抑制雜散并且抑制壓電層的撓曲、壓電層的破壞。
1.一種彈性波裝置,其中,
2.一種彈性波裝置,其中,
3.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置,其中,
4.根據權利要求1或2所述的彈性波裝置,其中,
5.根據權利要求1至4中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
6.根據權利要求1至5中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
7.根據權利要求1所述的彈性波裝置,其中,
8.根據權利要求5或6所述的彈性波裝置,其中,
9.根據權利要求1至4中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
10.根據權利要求9所述的彈性波裝置,其中,
11.根據權利要求1至4中的任一項所述的彈性波裝置,其中,