1.一種彈性波裝置,具備:
壓電基板;以及
至少一個IDT,形成在所述壓電基板上,
所述IDT具有:多個第一電極指;以及多個第二電極指,與該多個第一電極指彼此交叉,在所述多個第一電極指與所述多個第二電極指在彈性波傳播方向上交叉的部分,傳播速度比中央區域中的彈性波的傳播速度慢的邊緣區域在所述第一電極指、第二電極指延伸的交叉寬度方向上設置在該中央區域的兩側,
在所述彈性波傳播方向上,具有:第一部分,所述中央區域的傳播速度相對快;以及第二部分,所述中央區域的傳播速度相對慢,
根據所述第一部分的中央區域中的彈性波的傳播速度以及該第二部分中的中央區域的彈性波的傳播速度,選擇所述第一部分的邊緣區域中的彈性波的傳播速度和作為沿著所述交叉寬度方向的尺寸的寬度、以及所述第二部分的邊緣區域中的彈性波的傳播速度和作為沿著所述交叉寬度方向的尺寸的寬度,使得在所述第一部分和所述第二部分中分別激勵活塞模式。
2.根據權利要求1所述的彈性波裝置,其中,
在所述第一部分和所述第二部分中分別激勵所述活塞模式,使得基本橫模式的相位旋轉量最小的部分存在于所述交叉寬度方向上的中央。
3.根據權利要求2所述的彈性波裝置,其中,
所述基本橫模式的相位旋轉量為0的部分存在于所述交叉寬度方向上的中央。
4.根據權利要求1~3中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
所述第一部分的所述邊緣區域中的彈性波的傳播速度和作為沿著所述交叉寬度方向的尺寸的寬度是所述第一部分的所述邊緣區域的作為沿著所述交叉寬度方向的尺寸的寬度,所述第二部分的所述邊緣區域中的彈性波的傳播速度和作為沿著所述交叉寬度方向的尺寸的寬度是所述第二部分的所述邊緣區域的作為沿著所述交叉寬度方向的尺寸的寬度。
5.根據權利要求4所述的彈性波裝置,其中,
所述第一部分的所述邊緣區域的作為交叉寬度方向上的尺寸的寬度大于所述第二部分的所述邊緣區域的作為交叉寬度方向上的尺寸的寬度。
6.根據權利要求5所述的彈性波裝置,其中,
所述第一部分中的所述中央區域的所述交叉寬度方向上的尺寸與所述第二部分中的所述中央區域的所述交叉寬度方向上的尺寸不同。
7.根據權利要求1~6中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
所述第一部分的電極指間距大于所述第二部分的電極指間距。
8.根據權利要求1~6中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
所述第一部分的金屬化率大于所述第二部分中的金屬化率。
9.根據權利要求1~6中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
在所述邊緣區域中,在所述第一電極指、第二電極指上設置有質量附加膜,所述第一部分中的質量附加膜的厚度比所述第二部分中的質量附加膜的厚度薄。
10.根據權利要求1~6中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
在邊緣區域中,將所述第一部分的傳播速度設為V’a,將所述第二部分的彈性波的傳播速度設為V’b,將所述第一部分中的一個邊緣區域的作為所述電極指延伸的方向上的長度的寬度設為Ea,將所述第二部分中的邊緣區域的寬度設為Eb,此時,Ea/V’a=Eb/V’b。
11.根據權利要求10所述的彈性波裝置,其中,
選擇所述第一部分和所述第二部分的邊緣區域的所述寬度,使得成為所述Ea/V’a=Eb/V’b。
12.根據權利要求10所述的彈性波裝置,其中,
選擇所述第一部分和所述第二部分中的邊緣區域的金屬化率,使得成為所述Ea/V’a=Eb/V’b。
13.根據權利要求10所述的彈性波裝置,其中,
在所述第一部分和所述第二部分中層疊有質量附加膜,使得覆蓋所述邊緣區域,選擇位于所述第一部分和所述第二部分的所述質量附加膜的膜厚,使得成為所述Ea/V’a=Eb/V’b。
14.根據權利要求10所述的彈性波裝置,其中,
在所述第一部分和第二部分中層疊有質量附加膜,使得覆蓋所述邊緣區域,選擇位于所述第一部分和所述第二部分的邊緣寬度、邊緣區域的金屬化率以及層疊在邊緣區域的所述質量附加膜的膜厚中的至少一種,使得成為所述Ea/V’a=Eb/V’b。
15.根據權利要求1~14中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
在所述第一電極指和所述第二電極指的頂端側設置有寬寬度部,所述寬寬度部的作為沿著彈性波傳播方向的尺寸的寬度比所述中央區域中的寬度寬,由該寬寬度部構成所述邊緣區域。
16.根據權利要求15所述的彈性波裝置,其中,
在與設置在所述第二電極指的所述寬寬度部在彈性波傳播方向上重疊的位置,在所述第一電極指設置有第二寬寬度部,在與設置在所述第一電極指的所述寬寬度部在彈性波傳播方向上重疊的位置,在所述第二電極指設置有第二寬寬度部。
17.根據權利要求1~14中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
所述IDT沿著彈性波傳播方向配置有多個,多個所述IDT中的至少一個所述IDT為所述第一部分,剩余的所述IDT中的至少一個所述IDT為所述第二部分。
18.根據權利要求1~17中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
所述彈性波裝置是縱向耦合諧振器型彈性波濾波器。
19.根據權利要求1~16中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
所述IDT具有:電極指主體部;以及窄間距電極指部,其電極指間距比所述電極指主體部的電極指間距窄,并設置在彈性波傳播方向端部,
所述電極指主體部為所述第一部分,所述窄間距電極指部為所述第二部分。
20.根據權利要求1~16中的任一項所述的彈性波裝置,其中,
具有一個IDT來作為至少一個所述IDT,還具備配置在該IDT的彈性波傳播方向兩側的反射器,從而構成單端口型彈性波諧振器。