專利名稱：一種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器,屬于聲表面波溫度傳感技術領域。
背景技術：
在傳統SPUDT (Single Phase Unidirectional Transducer,單相單向換能器)技術中，不論使用1/4還是3/8波長指寬的反射指，幅頻響應的高端過渡帶上總會激發出一定高度的聲體波效應，而在現有技術中還沒有一種能夠降低過渡帶上激發的體波的方法。
發明內容
本發明為解決·現有的聲表面波溫度傳感技術存在的無法降低過渡帶上激發的體波的問題，進而提供了一種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器。為此，本發明提供了如下的技術方案:—種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器，包括基片、輸入換能器和輸出換能器，所述基片上設有相互耦合的輸入換能器和輸出換能器，所述輸入換能器和輸出換能器均為鏤空反射電極結構。本發明采用采用鏤空反射電極結構的輸入換能器和輸出換能器，能夠有效地提高高端帶外抑制，從而降低過渡帶上激發的體波的影響。
為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本發明的具體實施方式
提供的本具體實施方式
提供的基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器的結構示意圖；圖2是本發明的具體實施方式
提供的傳輸指和負指的外鏤空結構的示意圖；圖3是本發明的具體實施方式
提供的鏤空電極的技術細節原理圖。
具體實施例方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。本具體實施方式
提供了一種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器，如圖1所不，包括基片1、輸入換能器2和輸出換能器3,基片I上設有相互稱合的輸入換能器2和輸出換能器3，輸入換能器2和輸出換能器3均為鏤空反射電極結構。優選的，在鏤空反射電極結構中的傳輸叉指電極為1/8波長結構、反射電極為3/8波長，在所述反射電極中間按照預定比例被鏤空出一定寬度的縫隙，并在縱向按照波長的特定比例進行截斷。具體的，本具體實施方式
提供的基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器的原理是在傳統SPUDT基礎上，如圖2所示，將傳輸指和負指(指寬 1/8波長)做外鏤空，將反射指(寬度為3.33333/8波長)做內鏤空，縱向各自按照一定波長比例，并相互錯位。其中，鏤空電極的技術細節如圖3所示，A = 1.03333/8波長，B = 3.03333/16波長，C = 1.03333/16 波長，D = (1-0.03333)/8 波長，E = 3.3333/8 波長，F = 3 波長，G =3波長。輸入發射聲表面波(SAW),并被輸出換能器接受,通過這樣的聲電電聲的轉換過程實現電信號的過濾功能。通過現代微電子技術的光刻技術方式，在實際生產中，通過正膠剝離工藝的方法，使本具體實施方式
提供的基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器能夠保證所有鏤空處線條寬度的精準度，最終實現了合格產品。采用本具體實施方式
提供的技術方案，通過采用采用鏤空反射電極結構的輸入換能器和輸出換能器，能夠有效地提高高端帶外抑制，從而降低過渡帶上激發的體波的影響。以上所述，僅為本發明較佳的具體實施方式
，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明實施例揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍之內。因此，本發明的保護范圍應該以權利要求的保護范圍為準。
權利要求
1.一種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器，包括基片、輸入換能器和輸出換能器，所述基片上設有相互耦合的輸入換能器和輸出換能器，其特征在于，所述輸入換能器和輸出換能器均為鏤空反射電極結構。
2.根據權利要求1所述的基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器，其特征在于，所述鏤空反射電極結構中的傳輸叉指電極為1/8波長結構、反射電極為3/8波長，在所述反射電極中間按照預定比例被鏤空出一定寬度的縫隙，并在縱向按照波長的特定比例進行截斷。
全文摘要
本發明提供了一種基于鏤空反射電極結構的聲表面波濾波器，包括基片、輸入換能器和輸出換能器，所述基片上設有相互耦合的輸入換能器和輸出換能器，所述輸入換能器和輸出換能器均為鏤空反射電極結構。本發明采用采用鏤空反射電極結構的輸入換能器和輸出換能器，能夠有效地提高高端帶外抑制，從而降低過渡帶上激發的體波的影響。
文檔編號H03H9/64GK103152010SQ201310080350
公開日2013年6月12日 申請日期2013年3月14日 優先權日2013年3月14日
發明者張敬鈞, 董啟明 申請人:北京中訊四方科技股份有限公司