專利名稱：一種聲電荷輸運延遲線的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種聲電荷輸運器件(ACT, Acoustic Charge Transport),尤其涉及ー種有機半導體材料聲電荷輸運延遲線。
背景技術：
ACT器件是ー種高頻高速模擬信號處理器，是把電荷耦合器件與聲表面波器件結合起來的ー種新型半導體器件，可以直接應用于射頻領域。它是ー種完全可編程模擬信號處理器，不需要A/D和D/A轉換器，具有信號處理速度快、可靠性高、功耗低、尺寸小、重量輕等優點。用ACT器件構成的橫向濾波器、自適應濾波器和均衡器等已經廣泛應用于軍事防御、商業系統中。ACT器件發展之初是在LiNb03襯底中利用聲表面波產生的行波電勢場來傳輸Si片中的少數載流子，之后則采用單片Zn0-Si02-Si結構。以上兩種結構都存在無法逾越的缺點，即利用半導體中的少數載流子進行信號輸運，輸運效率較差。為了提高ACT器件的輸運效率，需要合適的半導體材料。上世紀80年代初，隨著GaAsエ藝的成熟，開始利用GaAs進行ACT器件的制作。GaAs具備壓電特性滿足高速信號處理要求，可滿足利用聲表面波輸運電荷的要求，是制備ACT的傳統材料。GaAs材料美中不足的是其壓電性能較弱，一般只能應用于窄帶器件，雖然利用壓電薄膜技術可以得到帶寬比較大的器件，但是隨著信號頻率的不斷提高，聲表面波叉指換能器指條間的距離越來越小，エ藝實現比較困難。這在一定程度上限制了 GaAs ACT技術的發展。
實用新型內容實用新型目的本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種聲電荷輸運延遲線。為了解決上述技術問題，本實用新型公開了ー種聲電荷輸運延遲線，包括基片，基片中部設有電荷輸運溝道，基片上位于電荷輸運溝道兩側的位置設有輸入電極和輸出電極，所述基片上位于輸入電極和輸出電極的外側設有分裂指聲表面波叉指換能器。本實用新型中，所述分裂指聲表面波叉指換能器包括兩側的電極和設置在電極之內的指條。本實用新型中進ー步的，所述基片為鉭酸鋰或者石英，鈮酸鋰，鍺酸鉍。本實用新型中進ー步的，所述基片上位于分裂指聲表面波叉指換能器外側的部分設有吸聲材料層。隨著半導體エ藝技術的不斷發展，有機半導體材料并五苯材料的制備得到了大幅度的改進，采用氣相沉積的方法可以獲得質量高、性能優異的并五苯薄膜材料，且并五苯材料具有優異的延展性，便于大尺寸聲電荷延遲線的制作。有益效果本實用新型的優點是(1)采用氣相沉積方法便于獲得質量高、性能優異的并五苯薄膜，利于形成高質量的聲電荷輸運溝道；(2)并五苯材料具有優異的延展性，便于聲電荷延遲線此類大尺寸器件制作；(3 )采用并五苯材料進行聲電荷延遲線器件制作
可重復性高。
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型做更進一歩的具體說明，本實用新型的上述和/或其他方面的優點將會變得更加清楚。圖I為本實用新型的聲電荷輸運延遲線橫截圖。圖2為本實用新型的聲電荷輸運延遲線俯視圖。圖3為本實用新型的聲表面波叉指換能器圖。
具體實施方式
如圖I、圖2所示，本實用新型公開了ー種聲電荷輸運延遲線，包括基片1，基片I中部設有電荷輸運溝道5,基片上位于電荷輸運溝道5兩側的位置設有輸入電極3和輸出電極4，所述基片I上位于輸入電極3和輸出電極4的外側設有分裂指聲表面波叉指換能器2。如圖3所示，所述分裂指聲表面波叉指換能器2包括兩側的電極21和設置在電極之內的指條22。所述基片上位于分裂指聲表面波叉指換能器外側的部分設有吸聲材料層6。實施例I如
圖1、2、3所示I、在鉭酸鋰基片I上掩膜光刻，鋁淀積制作分裂指聲表面波叉指換能器2，輸入3/輸出4歐姆電極。2、在鉭酸鋰基片I上采用掩膜刻蝕的方法在指定區域刻蝕制作形成溝槽以進行有機半導體材料并五苯淀積以形成聲電荷延遲線電荷輸運溝道5。3、采用氣相沉積方法溝槽處淀積有機半導體材料并五苯形成并五苯薄膜聲電荷延遲線電荷輸運溝道5。4、在分裂指聲表面波叉指換能器2兩側涂吸聲材料層6。本實用新型提供了 ー種聲電荷輸運延遲線的思路及方法，具體實現該技術方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。本實施例中未明確的各組成部分均可用現有技術加以實現。
權利要求1.一種聲電荷輸運延遲線，其特征在于，包括基片，基片中部設有電荷輸運溝道，基片上位于電荷輸運溝道兩側的位置設有輸入電極和輸出電極，所述基片上位于輸入電極和輸出電極的外側設有分裂指聲表面波叉指換能器。
2.根據權利要求I所述的一種聲電荷輸運延遲線，其特征在于，所述分裂指聲表面波叉指換能器包括兩側的電極和設置在電極之內的指條。
3.根據權利要求I所述的一種聲電荷輸運延遲線，其特征在于，所述基片上位于分裂指聲表面波叉指換能器外側的部分設有吸聲材料層。
專利摘要本實用新型公開了一種聲電荷輸運延遲線，包括基片，基片中部設有電荷輸運溝道，基片上位于電荷輸運溝道兩側的位置設有輸入電極和輸出電極，所述基片上位于輸入電極和輸出電極的外側設有分裂指聲表面波叉指換能器。本實用新型的優點是(1)采用氣相沉積方法便于獲得質量高、性能優異的并五苯薄膜，利于形成高質量的聲電荷輸運溝道；(2)并五苯材料具有優異的延展性，便于聲電荷延遲線此類大尺寸器件制作；(3)采用并五苯材料進行聲電荷延遲線器件制作可重復性高。
文檔編號H03H9/44GK202652161SQ20122034294
公開日2013年1月2日 申請日期2012年7月16日 優先權日2012年7月16日
發明者王曉彧, 吳浩東, 陳江龍 申請人:鎮江暢信超聲電子有限公司