專利名稱：真空微調機恒溫加熱裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及恒溫晶體制造技術領域，特別涉及一種真空微調機恒溫加熱裝置。
背景技術：
恒溫晶體諧振器是晶體振蕩器中主要的穩頻元件，比一般性能的晶體諧振器指標 要求高，在微調過程中采用加熱微調提高恒溫晶體指標是十分必要的。以往由于沒有恒溫 晶體諧振器加熱微調的手段(恒溫微調機)，通常采用計算的方法微調室溫，在石英晶體溫 度測試系統(S&A W-2200B)測試最終的成品，得出合格的產品。但通過計算微調室溫得出 的晶體與實際高溫微調出來的晶體有很大的差別，合格率很低。石英晶體諧振器恒溫微調 機是實現晶體在拐點溫度下進行微調的裝置，改變室溫微調合格率低的現狀，提高恒溫晶 體在微調工序的產品合格率。目前在壓電晶體行業制造商中應用的恒溫微調機主要是三生 昭和公司的LC-10/TP型石英晶體微調系統和美國S&A公司的W-5250DS恒溫微調機，這兩 款恒溫微調機的價格十分昂貴。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種真空微調機恒溫加熱裝置，該裝置用于真空微調機 中，使得真空微調機微調合格率高，且可降低真空微調機的成本，以彌補現有技術的不足。 為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案。 本實用新型的一種實施方式的真空微調機恒溫加熱裝置，該裝置包括加熱罩，為 圓環形，具有環形槽；加熱棒，置于所述加熱罩的環形槽內，與固定在所述加熱罩外壁的加 熱電極相連；溫度傳感器，置于所述加熱罩的環形槽內壁，與固定在所述加熱罩外壁的傳感 器電極相連。 其中，該裝置還包括手柄，固定設置于所述加熱罩外壁上。 其中，所述加熱罩內、外壁均為不銹鋼材料制成，所述內、外壁之間填充有聚四氟 耐溫材料制成的保溫層。 其中，所述加熱電極以及傳感器電極與固定在真空室內的金屬支柱相連。 其中，所述金屬支柱上下采用真空橡膠進行密封。 本實用新型的裝置采用耐高溫、遇熱不揮發材料，保證了真空室內的絕對干凈；加 熱罩可將一整盤待微調晶體罩于其內；引線從真空中的引出通過金屬支柱，且金屬支柱采 用真空橡膠密封，保證了真空度；晶體表面溫度測量真實有效；且本裝置成本低。
圖1為依照本實用新型一種實施方式的真空微調機恒溫加熱裝置主視圖； 圖2為依照本實用新型一種實施方式的真空微調機恒溫加熱裝置后視圖； 圖3為依照本實用新型一種實施方式的真空微調機恒溫加熱裝置使用時裝配示意圖。 圖中1、加熱罩；2、加熱棒；3、溫度傳感器；4、加熱電極；5、傳感器電極；6、手柄； 7、支柱；8、保溫層。
具體實施方式本實用新型提出的真空微調機恒溫加熱裝置，結合附圖和實施例說明如下。 如圖1所示，本實用新型的一種實施方式的真空微調機恒溫加熱裝置，包括加熱 罩l，為圓環形，具有環形槽，由于在真空室內微調石英晶體諧振器時，蒸發源其實就是一個 熱源，當其加熱將銀絲熔化的過程中，同時也會將周圍的可揮發物一同蒸發，這就要求真空 室內的材料必須是遇熱不產生揮發的物質材料，因此，加熱罩1的內、外壁主要采用不銹鋼 材料制成，內、外壁之間填充有聚四氟耐溫材料制成的保溫層8，如圖3所示，不銹鋼內外壁 均為有間隔的不銹鋼片連接而成，方便本裝置的加工制造，且節約成本，加熱罩1內的密封 均采用耐高溫的硅膠，從而避免灰塵及揮發物的產生，防止微調過程中對晶體的污染；繼續 如圖1所示，加熱棒2，為不完整圓形棒，置于所述加熱罩1的環形槽內，與固定在加熱罩2 外壁的加熱電極4相連；PT100溫度傳感器3，置于加熱罩1的環形槽內壁，與固定在加熱罩 2外壁的傳感器電極5相連，緊靠幾只被微調的晶體，從而保證測量的溫度真實有效；手柄 6，固定設置于加熱罩1外壁上，方便微調時，裝置溫度不適宜直接用手取放，本實施方式的 裝置共有4個手柄6。 如圖2-3所示，加熱棒2與溫度傳感器3信號通過高溫導線與固定在真空室內的 四個金屬支柱7相連接，并從加熱罩1內引出，金屬支柱7構成加熱罩1的四個支撐，在加 熱罩1罩于晶體上時，起支撐作用，這四個金屬柱7同時起著加熱導線和溫度傳感器導線的 作用，將加熱棒2以及溫度傳感器3信號順利從真空室內引出，為了保證不影響真空度，金 屬支柱7上下都采用真空橡膠進行密封，同時又起到了絕緣的作用。 使用本裝置時，將其置于真空室內，罩于插裝有待微調晶體的微調圈上，在微調過 程中，微調圈轉動使得待微調晶體靠近蒸發源以及加熱棒2。本裝置的加熱罩1可將一整盤 晶體全部罩住，加熱棒2緊貼被微調的晶體，靠熱輻射的方式對晶體進行加熱，溫度傳感器 3緊貼被微調的晶體，從而保證測量的溫度值真實有效。 以上實施方式僅用于說明本實用新型，而并非對本實用新型的限制，有關技術領 域的普通技術人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和 變型，因此所有等同的技術方案也屬于本實用新型的范疇，本實用新型的專利保護范圍應 由權利要求限定。
權利要求一種真空微調機恒溫加熱裝置，其特征在于，該裝置包括加熱罩(1)，為圓環形，具有環形槽；加熱棒(2)，置于所述加熱罩(1)的環形槽內，與固定在所述加熱罩(2)外壁的加熱電極(4)相連；溫度傳感器(3)，置于所述加熱罩(1)的環形槽內壁，與固定在所述加熱罩(2)外壁的傳感器電極(5)相連。
2. 如權利要求1所述的真空微調機恒溫加熱裝置，其特征在于，該裝置還包括 手柄(6)，固定設置于所述加熱罩(1)外壁上。
3. 如權利要求1-2中任一項所述的真空微調機恒溫加熱裝置，其特征在于，所述加熱 罩(1)內、外壁均由不銹鋼材料制成，所述內、外壁之間填充有聚四氟耐溫材料制成的保溫層。
4. 如權利要求1所述的真空微調機恒溫加熱裝置，其特征在于，所述加熱電極(4)以及 傳感器電極(5)與固定在真空室內的金屬支柱(7)相連。
5. 如權利要求4所述的真空微調機恒溫加熱裝置，其特征在于，所述金屬支柱(7)上下 采用真空橡膠進行密封。
專利摘要本實用新型涉及一種真空微調機恒溫加熱裝置，該裝置包括加熱罩(1)，為圓環形，具有環形槽；加熱棒(2)，置于所述加熱罩(1)的環形槽內，與固定在所述加熱罩(2)外壁的加熱電極(4)相連；溫度傳感器(3)，置于所述加熱罩(1)的環形槽內壁，與固定在所述加熱罩(2)外壁的傳感器電極(5)相連。本實用新型的裝置用于真空微調機中，使得真空微調機微調合格率高，且可降低真空微調機的成本。
文檔編號H03H3/04GK201467078SQ200920109958
公開日2010年5月12日 申請日期2009年7月14日 優先權日2009年7月14日
發明者東方姑演 申請人:北京晨晶電子有限公司