專利名稱：體聲波裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種體聲波(bulk acoustic wave)裝置，例如一種體聲波濾波器。
背景技術：
由于它們的高共振頻率和它們的高質量，體聲波諧振器已被廣泛地使用，特別是在移動無線電通訊中。一種最簡單實現的體聲波諧振器包括設置在兩個金屬電極之間的一壓電材料薄膜層。通用的壓電材料例如是氮化鋁(AlN)或者氧化鋅(ZnO)。圖3示出了一種具有靜態電容C的示例性體聲波諧振器30，其包括一壓電材料層，下面將被稱為壓電層32，并位于第一電極或者頂部電極T和第二電極或者底部電極B之間。頂部電極和底部電極的名稱僅僅用于定義目的，并不代表對體聲波諧振器的空間排列和定位的任何限制。更確切地說，正如下文的解釋，頂部電極和底部電極的名稱用來定義這些電極相對于壓電材料極化的位置，這樣就可以從指示T和B電極的等效電路圖中導出各個體聲波諧振器的極化。
如果在體聲波諧振器30的第一電極T和第二電極B之間施加電場，那么相互的或者相反的壓電效應將導致體聲波諧振器30機械地延伸或者收縮，如上所述，延伸或者收縮的情況取決于壓電材料的極化。這意味著如果電場被反向施加在T和B電極之間，那么將得到相反的情況。在交變場的情況下，在壓電層32中產生聲波，并基于體聲波諧振器的實施情況，例如，該波將平行于電場作為縱波，或者作為橫波橫向于電場傳播，例如在壓電層32的界面處將被反射。只要壓電層32的厚度d等于聲波的波長λ的一半的整數倍，就會發生共振態和/或共鳴振動。然后共振基頻即最小的共振頻率fres將與壓電層32的厚度d成反比。這意味著體聲波諧振器以外部指定的頻率振動。
壓電特性和由此的體聲波諧振器的共振特性取決于各種因素，舉例來說，取決于壓電材料、生產方法、制造過程中施加在體聲波諧振器上的極化、和晶片的尺寸。如上所述，特別是共振頻率基于壓電層的厚度d。
如上所述，體聲波諧振器呈現電極化。體聲波諧振器的機械變形，伸出(extraction)或者收縮的方向取決于施加到第一電極T和第二電極B之間的電場的方向以及體聲波諧振器30的極化方向。例如，如果體聲波諧振器的極化和電場的方向指向同一方向，那么體聲波諧振器30收縮，反之，當體聲波諧振器30的極化和電場的方向指向相反的方向時，體聲波諧振器30延伸。
在已知的體聲波諧振器各種結構中，典型地，所謂的FBAR(薄膜式體聲音共鳴器)和SMR(固態安裝的諧振器)之間的差別。此外，不僅具有一個壓電層32的體聲波諧振器的技術是已知的，而且具有多個壓電層的體聲波諧振器的技術也是已知的。
體聲波諧振器被濾波器使用，例如，圖4示出了梯形結構中所允許的體聲波濾波器的電路圖，其包括電接地42，信號輸入端44，信號輸出端46，第一串聯諧振器48，第二串聯諧振器50，第三串聯諧振器52，第一并聯諧振器54，第二并聯諧振器56，第三并聯諧振器58和第四并聯諧振器60，串聯諧振器48、50、52串接在信號輸入端44和信號輸出端46之間，并且第一并聯諧振器54并行地連接在信號輸入端44和電接地42之間，第二并聯諧振器連接在第一串聯諧振器48和第二串聯諧振器50之間的連接點和電接地42之間，第三并聯諧振器58連接在第二串聯諧振器50和第三串聯諧振器52之間的連接點和電接地之間，以及第四并聯諧振器60并行地連接在信號輸出端46和電接地42之間。每個串聯和并聯諧振器都包括頂部電極T和底部電極B，這在圖4的等效電路圖中示出，以便示出體聲波諧振器的極化。
例如濾波器電路的問題是體聲波諧振器的熱應力。但是，這個問題可以通過例如體聲波設備廣泛使用的體聲波諧振器“級聯”方法解決。在下面，級聯的意思是一連串或串聯連接的開關元件。呈現靜態電容C的體聲波諧振器被兩個級聯的體聲波諧振器所代替，每一個諧振器都呈現靜態電容2C，這樣總電容還是C。原則上，這樣的級聯的體聲波諧振器具有與相應的單個體聲波諧振器相同的阻抗特性。如上所述，級聯的主要動機是體聲波諧振器的熱應力減少4，呈現靜態電容2C的一對級聯的體聲波諧振器比呈現靜態電容C的相應單個體聲波諧振器大相差4的事實引起熱應力的減少。
例如，US 005231327A描述了這樣一種級聯的方法，其中呈現靜態電容C的體聲波諧振器被兩個串連連接的呈現靜態電容2C的體聲波諧振器所代替，這兩個體聲波諧振器共用一個壓電層。
另一個問題是體聲波設備例如體聲波諧振器、體聲波濾波器、或者直接運行在移動無線電系統的天線上呈現非線性工作狀態的體聲波天線轉換開關。例如，如果發射功率值超過0.1W，這個問題就隨體聲波天線轉換開關出現。
上述級聯的副作用是能量密度也減少系數4，并且由此非線性作用與級聯諧振器減小6dB。
可是，級聯的主要缺點是如果濾波器的所有體聲波諧振器都被級聯，那么級聯顯著地增加了體聲波設備的尺寸。通常不可能對濾波器的所有諧振器分支都采用級聯，經常僅對直接信號通路中最小的體聲波諧振器應用級聯，例如僅對依據圖4的具有梯形結構的濾波器中的串聯諧振器48、50、52，因為這些體聲波諧振器受過熱危害的影響最大。
發明內容
本發明的目的是提供一種體聲波裝置和一種體聲波濾波器，其使得在不顯著增加體聲波諧振器尺寸的情況下減小體聲波諧振器的非線性特性成為可能。
這個目的是通過依照權利要求1的體聲波裝置和依照權利要求14的體聲波濾波器來實現的。
本發明提供一種體聲波裝置，其具有相互反平行連接的第一體聲波諧振器和第二體聲波諧振器。
本發明基于對非線性工作狀態的主要作用是在體聲波天線轉換開關的輸出頻譜中產生明顯的二次諧波以及互調效應的觀察。非線性的主要原因是在體聲波設備的所有活動層中所發現的非常高的這些功率級的能量密度，這樣本身的壓電效應就不再遵循變形和/或應力和電場之間完全的線性關系。
此外，本發明基于對兩個體聲波諧振器的諧波相互作用彼此減小的發現，并且在理想的情況下，以適當的尺寸彼此相互抵消，這是由于反平行連接即它們相互反向極化的平行連接，并且由于所導致的所提供電壓的符號改變和/或所導致的施加電壓之間的相移，這樣非線性作用被減小和/或消除。
為了更精確地表達，本發明考慮到在低電壓和/或弱電場下，體聲波諧振器的變形正比于產生變形的電場，反之亦然的事實。但是對于更大的電壓和/或電場來說，電場與它所產生的變形之間的比值不再成比例，即它變得非線性。考慮到所述事實，下面的觀察和考慮導出本發明。
開始，本發明基于新穎性觀察，導致體聲波諧振器從線性工作狀態偏離的主要機構是在存在偏壓應力和/或附加應力時共振頻率的偏移。這種偏壓應力可以是機械的或者電氣的，并導致應力加強。所述應力加強不能通過線性壓電等式描述。
該偏壓應力可以由例如作用在壓電層上的機械壓力產生，也可以由通過壓電層施加的高電壓特別是高直流電壓產生。已證實共振頻率幾乎以線性方式向上和向下變化，同時直流電壓在負高壓到正高壓的寬范圍內變化，或者擺動。這種效應被稱作VCF效應(VCF＝頻率的電壓系數)。對于偏移的方向，體聲波諧振器共振頻率的偏移是依據例如直流電壓的符號，并且對于偏移的量，它是依據電壓的量值。已對基于氮化鋁的體聲波諧振器測量為2千兆赫的頻率變化的值例如在20ppm/v的范圍內。這種應力加強正變得與高頻信號的高幅值有關，并在激發信號和/或輸入信號的兩倍頻率處產生大比例和/或聲音。在上述同一體聲波諧振器上執行的高頻測量顯示出所發射的功率包括二次諧波，其在+30dBm的基波的-10dBm范圍內。
在這些結果的基礎上，已實現模擬模型，其考慮VCF效應，結果是VCF效應控制，或者決定性地影響體聲波諧振器的非線性工作狀態，并且是改進性能的關鍵所在。由于VCF效應可以通過改變施加電壓的符號而轉換，因此也可能補償VCF效應在諧振器上的沖擊，通過將同一諧振器分成等尺寸的兩個區域，并在反相下運行這些區域來補償，特別是通過將一個呈現靜態電容C的體聲波諧振器分成兩個區域，兩個區域呈現靜態電容C/2，并在反平行結構中運行和/或切換該兩個區域來補償，這樣它們表現得像呈現靜態電容C的體聲波諧振器，但是其呈現顯著地減小的非線性，這是由于兩個區域的VCF效應被消除。具有創造性的體聲波裝置和/或反向平行連接的兩個體聲波諧振器的諧波被彼此疊加，以適當尺寸彼此消弱和彼此消除。
這樣，依據本發明提供體聲波裝置，其包括兩個反平行連接的體聲波諧振器，其呈現在相應常規體聲波諧振器上改進的特性，即減小的非線性特性和/或減少的諧波。
依據本發明，濾波器電路可以這樣被改進，例如通過使用發明的體聲波裝置代替體聲波諧振器。本發明的優選實施例包括兩個體聲波諧振器，其共振頻率具有相同的值，并具有相同的VCF，這樣其共振頻率由于VCF效應在同一方向上偏移并偏移相同的量值。這樣一種匹配確保了兩者的諧波具有相同的頻率值。
此外，本發明特別優選的實施例包括兩個體聲波諧振器，其不僅僅具有相同的共振頻率和相同的VCF，并且具有相同的阻抗和特別是相同的靜態電容，這樣反平行連接的體聲波諧振器的諧波幅值大小相同，并且這樣二次諧波彼此抵消。
如此，體聲波裝置的創造性的實施例具有的主要優點是它們改進了體聲波裝置的線性，并且在不增加放置在體聲波設備上的空間需求的情況下顯著地減小了和/或消除了諧波的產生。
與級聯方法相反，體聲波裝置僅稍稍增加了濾波器所需要的總范圍。因此，這種方法對體聲波諧振器分支，特別是對于級聯太大的濾波器是非常有利的。
下面將結合附圖詳細解釋本發明的優選實施例，其中圖1A示出了發明性實施例的截面圖；
圖1B和1C示出了依據圖1A的示意圖發明性的體聲波裝置的兩個不同實施例的圖解剖面，其中第一體聲波諧振器和第二體聲波諧振器包括公共的壓電層；圖2示出了在梯形結構中具有三個發明性的體聲波裝置的改進的體聲波濾波器的框圖；圖3示出了體聲波諧振器的截面圖；圖4示出了梯形結構中通用體聲波濾波器的框圖。
具體實施例方式
一開始，指出圖1B和1C中相同或者相等的特征被提供從圖1A中已知的相應特征的附圖標記，并且它們模式機能的重復描述被省略。
圖1A示出了體聲波裝置發明性實施例的截面圖，其具有第一體聲波諧振器72和第二體聲波諧振器74，體聲波諧振器72包括壓電層72P，第一電極72T和第二電極72B，第二體聲波諧振器74包括壓電層74P，第一電極74T和第二電極74B。該第一體聲波諧振器72從第一電極72T沿第二電極72B的方向被極化，并且該第二體聲波諧振器74也從第一電極74T沿第二電極74B的方向被極化，并且第一體聲波諧振器72的第一電極72T被電連接到第二體聲波諧振器74的第二電極74B，和體聲波裝置的第一電氣端76，同時第一體聲波諧振器72的第二電極72B被電連接到第二體聲波諧振器74的第一電極74T，和體聲波裝置的第二電氣端78。箭頭72R指向第一體聲波諧振器72的典型極化方向，并且箭頭74R指向第二體聲波諧振器74的典型極化方向。對發明的體聲波裝置和/或兩個體聲波諧振器72、74的反平行連接基本的唯一事情是兩個體聲波諧振器72、74的極化72R、74R具有相對于第一電極72T、74T和第二電極72B、74B相同的方向。可選地，例如，兩個體聲波諧振器72、74的極化也可以指向從第二電極72B、74B到第一電極72T、74T的方向。
這樣，體聲波裝置由反平行連接的體聲波諧振器對組成。
第一體聲波諧振器72和第二體聲波諧振器74具有相同的電容，例如C/2，這樣體聲波裝置總體作為呈現電容C的體聲波諧振器，但是其與相應的呈現電容C的通用體聲波諧振器相比包括顯著地減小的非線性特性和由此改進的信號傳輸特征和/或頻率特征。
已有技術中的這方面在上文已做了描述，體聲波諧振器有許多變化的實現方式。例如，體聲波諧振器72、74也可以任意地包括多個壓電層，既使圖1A僅僅示出了一個壓電層72P、74P。此外，體聲波裝置可以通過互連兩個獨立的和/或單獨的體聲波諧振器72、74來產生，還可以選擇地，例如通過互連兩個共用一個公共壓電層的體聲波諧振器72、74來產生。優選地，具有相同構造的體聲波諧振器72、74用于發明性的體聲波裝置。
圖1B和1C示出了依據圖1A的示意圖發明性的體聲波裝置的兩個不同實施例的圖解剖圖，其中第一體聲波諧振器72和第二體聲波諧振器74分別包括公共的壓電層724P和724P′。換一種不同的表達，公共壓電層724P、724P′包括與第一體聲波諧振器72相連的第一區域72P和與第二體聲波諧振器74相連的第二區域74P。
在圖1B中，第一區域72P中公共壓電層的極化72R和第二區域74P中公共壓電層的極化74R在方向上相反，并且第一體聲波諧振器72和第二體聲波諧振器以相同相位進行電操作，或者換一種不同的表達，第一體聲波諧振器的第一電極72T在與第二體聲波諧振器74的第二電極74B相同的相位上運行，并且第一體聲波諧振器72的第二電極72B在與第二體聲波諧振器74的第一電極74T相同的相位上運行。
圖1C示出了體聲波裝置的第二實施例，其中第一體聲波諧振器72和第二體聲波諧振器74包括公共壓電層724P′。但是與依據圖1B的實施例不同，圖1C示出了一個實施例，其中與第一體聲波諧振器72相連的第一區域72P的極化(72R)和與第二體聲波諧振器74相連的公共壓電層724P′的第二區域74中的極化74R是同一方向的，并且第一體聲波諧振器72和第二體聲波諧振器74在反相上進行電氣運行。換一種不同的表達，第一體聲波諧振器的第一電極72T在與第二體聲波諧振器74的第一電極74T相反的相位上運行，和第一體聲波諧振器72的第二電極72B在與第二體聲波諧振器74的第二電極相反的相位上運行。
這樣，圖1B和1C示出了體聲波裝置的兩個不同的實施例，其具有兩個具有公共壓電層的體聲波諧振器并被彼此反平行地連接。
圖2示出了在梯形結構中具有三個發明性的體聲波裝置和/或反平行的體聲波諧振器對作為平行元件的改進的體聲波濾波器的示例性電路圖，第一發明性的體聲波裝置82由反平行連接的體聲波諧振器對84和86組成，第二發明性的體聲波裝置88由反平行連接的體聲波諧振器對90、92組成，和第三發明性的體聲波裝置94由反平行連接的體聲波諧振器對96、98組成。第一體聲波裝置82的第一體聲波諧振器84具有第一電極84T和第二電極84B，第一體聲波裝置82的第二體聲波諧振器86具有第一電極86T和第二電極86B，第二體聲波裝置88的第一體聲波諧振器90具有第一電極90T和第二電極90B，第二體聲波裝置88的第二體聲波諧振器92具有第一電極92T和第二電極92B，第三體聲波裝置94的第一體聲波諧振器96具有第一電極96T和第二電極96B，和第三體聲波裝置94的第二體聲波諧振器98具有第一電極98T和第二電極98B。作為第四平行元件，圖2包括具有第一電極100T和第二電極100B的普通體聲波諧振器100。此外，圖2包括三個在信號輸入102E和信號輸出102A之間串聯的常規體聲波諧振器，第一串聯體聲波諧振器104具有第一電極104T和第二電極104B，第二串聯體聲波諧振器106具有第一電極106T和第二電極106B，和第三串聯體聲波諧振器108具有第一電極108T和第二電極108B。信號輸入端102E(IN)和信號輸出端102A(OUT)都與公共電接地102G(GND)相連。與圖4相比，圖2這樣示出了一個具有梯形結構的改進體聲波濾波器，其中圖4中平行的諧振器56、58、60已被優選地呈現相同電容的發明性的體聲波裝置82、88、94代替。依據本發明，單獨的體聲波裝置的體聲波諧振器被反平行連接，例如第一體聲波裝置82的第一體聲波諧振器84和第二體聲波諧振器86被反平行連接，其通過將第二體聲波諧振器86的第一電極86T與第一體聲波諧振器84的第一電極84T交換和/或將第二體聲波諧振器86的第二電極86B與第一體聲波諧振器84的第二電極84B交換以圖示方式在電路圖中表示出來。這樣，體聲波裝置82、88、94的第一體聲波諧振器84、90、96的第一電極84T、90T、96T與體聲波裝置82、88、94的第二體聲波諧振器86、92、98的第二電極86B、92B、98B電連接，反之亦然。
不考慮圖4中描述的具有創造性的實施例，具有創造性的體聲波裝置可以在任何地方使用，并且自然地也可以在串聯回路上，即代替串聯體聲波諧振器104、106、108。
可替換地，體聲波裝置72、74、104、106、108也可以具有其它電容除了C/2。
不考慮上面提出和/或解釋的具有創造性的實施例，發明性的體聲波裝置原則上可以被應用到所有體聲波諧振器實現方式中，例如也可以應用到具有多個壓電層的體聲波諧振器，FBAR或者SMR型的體聲波諧振器，其極化的排列不與電極平行或者兩個電極被設置在壓電層同一側的體聲波諧振器中。
這樣，體聲波裝置的具有創造性的實施例使相同的能夠以有效的和節約空間的方式作為體聲波諧振器、體聲波濾波器或者體聲波轉換開關和/或代替體聲波諧振器，例如在濾波器電路、轉換開關電路或者振蕩器電路中被采用，這樣它們的頻率特性被改進和/或它們的非線性被降低。
此外，具有創造性的體聲波裝置不僅可以包括兩個體聲波諧振器，而且可以包括多個反向平行連接的體聲波諧振器。總之，由此可以表明發明性的體聲波裝置使例如體聲波濾波器中的非線性效應通過采用反向平行連接的這些濾波器諧振器對或者諧振器組能夠被降低和/或消除。這些諧振器對或者諧振器組反平行連接使非線性效應能夠顯著地減小和/或顯著地減少諧波的產生，但不增加體聲波設備或者整個濾波器的尺寸，或者不增加體聲波設備或者整個濾波器的成本。
附圖標記表30體聲波諧振器32壓電層T第一或者頂部電極B第二或者底部電極42電接地44信號輸入端
46信號輸出端48第一串聯諧振器50第二串聯諧振器52第三串聯諧振器54第一并聯諧振器56第二并聯諧振器58第三并聯諧振器60第四并聯諧振器72第一體聲波諧振器72P第一體聲波諧振器的壓電層72T第一體聲波諧振器的第一電極72B第一體聲波諧振器的第二電極74第二體聲波諧振器74P第二體聲波諧振器的壓電層74T第二體聲波諧振器的第一電極74B第二體聲波諧振器的第二電極76體聲波裝置的第一電氣端78體聲波裝置的第二電氣端82第一體聲波裝置84第一體聲波裝置的第一體聲波諧振器84T第一體聲波裝置的第一體聲波諧振器的第一電極84B第一體聲波裝置的第一體聲波諧振器的第二電極86第一體聲波裝置的第二體聲波諧振器86T第一體聲波裝置的第二體聲波諧振器的第一電極86B第一體聲波裝置的第二體聲波諧振器的第二電極88第二體聲波裝置90第二體聲波裝置的第一體聲波諧振器90T第二體聲波設備的第一體聲波諧振器的第一電極90B第二體聲波裝置的第一體聲波諧振器的第二電極92第二體聲波裝置的第二體聲波諧振器
92T第二體聲波裝置的第二體聲波諧振器的第一電極92B第二體聲波裝置的第二體聲波諧振器的第二電極94第三體聲波裝置96第三體聲波裝置的第一體聲波諧振器96T第三體聲波裝置的第一體聲波諧振器的第一電極96B第三體聲波裝置的第一體聲波諧振器的第二電極98第三體聲波裝置的第二體聲波諧振器98T第三體聲波裝置的第二體聲波諧振器的第一電極98B第三體聲波裝置的第二體聲波諧振器的第二電極100常規體聲波諧振器100T常規體聲波諧振器的第一電極100B常規體聲波諧振器的第二電極102E信號輸入端102A信號輸出端102G電接地
權利要求
1.一種體聲波裝置，包括反平行連接的第一體聲波諧振器(72、84、90、96)和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)。
2.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器(72、84、90、96)的共振頻率，和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)的共振頻率呈現相同的值。
3.如權利要求2所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器(72、84、90、96)的共振頻率，和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)的共振頻率，由于VCF效應在共振頻率的量值和方向上呈現相同的偏移。
4.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器(72、84、90、96)的阻抗，和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)的阻抗是相同的。
5.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器(72、84、90、96)的電容，和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)的電容是相同的，并且包括C/2的值，其中體聲波裝置由此呈現總電容C。
6.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器(72、84、90、96)和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)在結構上是相同的。
7.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其被構造成諧振器。
8.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器72的第一電極72Z被電連接到第二體聲波諧振器74的第二電極74B和該體聲波裝置的第一電氣端76，和第一體聲波諧振器72的第二電極72B被電連接到第二體聲波諧振器74的第一電極74T和該體聲波裝置的第二電氣端78，并且其中該體聲波諧振器72、74另外對于它們的第一電極72T、74T和它們的第二電極72B、74B具有相同的極化。
9.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其被實施為濾波器。
10.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其被實施為轉換開關。
11.如權利要求1所要求的體聲波裝置，其中第一體聲波諧振器(72、84、90、96)和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)包括公共壓電層(724P、724P′)。
12.如權利要求11所要求的體聲波裝置，其中公共壓電層(724P′)的第一區域(72P)與第一體聲波諧振器(72)相連，并且公共壓電層(724P′)的第二區域(74P)與第二體聲波諧振器(74)相連，第一區域中公共壓電層的極化(72R)和第二區域中公共壓電層的極化(74R)是同一方向并且第一體聲波諧振器(72)和第二體聲波諧振器(74)在反相上電氣運行。
13.如權利要求11所要求的體聲波裝置，其中公共壓電層(724P)的第一區域(72P)與第一體聲波諧振器(72)相連，并且公共壓電層(724P)的第二區域(74P)與第二體聲波諧振器(74)相連，第一區域中公共壓電層的極化(72R)和第二區域中公共壓電層的極化(74R)在方向上是相反的并且第一體聲波諧振器(72)和第二體聲波諧振器(74)在同相上電氣運行。
14.一種具有梯形結構的體聲波濾波器，包括與公共地(102G)相連的信號輸入端(102E)和信號輸出端(102A)，被構造成體聲波裝置的體聲波濾波器的至少一個串聯諧振器或者一個并聯諧振器，包括反平行連接的第一體聲波諧振器(72、84、90、96)和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)。
全文摘要
已給出一種體聲波裝置的描述，其具有彼此反平行連接的第一體聲波諧振器(72、84、90、96)和第二體聲波諧振器(74、86、92、98)，以減小非線性效應，特別是諧波。
文檔編號H03H9/54GK101079610SQ20061010646
公開日2007年11月28日 申請日期2006年6月22日 優先權日2005年6月22日
發明者R·艾格納, M·漢德特曼 申請人:英飛凌科技股份公司