專利名稱：小型壓電諧振器的制作方法
技術領域：
本發明涉及壓電諧振器，具體地涉及最常用于制造頻率發生器的小型諧振器，該頻率發生器尤其用于諸如鐘表、信息技術、電信和醫學領域等多種領域中的便攜式電子設備。
背景技術：
在以受讓人名義提交的現有技術文獻US6700313中已經公開了這種小型諧振器，該文獻在此作為參考。圖13中所示的用于安裝在殼體中的諧振器10包括具有兩個平行的臂12、14的音叉形部件，這兩個臂通過連接部分16互相連接并承載電極20、22以使電極振動，這些電極連接到用于電連接到殼體外部的連接片28、30上。諧振器10還包括附裝在連接部分16上并且位于音叉形部件的臂12、14之間的的中心臂18，該中心臂與這兩個臂基本上距離相等，該中心臂18的質量比音叉形部件的臂的質量大，連接片28、30由該中心臂承載。該諧振器通過將中心臂18固定到至少一個固定于殼體底部的支承件上而安裝在平行六面體形狀的殼體內。
上述類型的諧振器——下文稱作三臂諧振器——能夠避免傳統的音叉諧振器所遇到的許多問題。
其中一個問題是，傳統音叉諧振器的尺寸和功能特征被優化以便將其安裝在金屬殼體而不是陶瓷殼體內。例如，傳統諧振器的長寬比不適于這種(金屬)殼體的制造，尤其當這些殼體是SMD(表面安裝設備)類型，即用于被自動地安裝在無孔的印刷電路板上時。由于這個原因，傳統的音叉諧振器及其與殼體的連接不具有良好的抗震性。
此外，傳統的音叉諧振器在被固定到殼體的臺階上時容易朝殼體底部傾翻。
此外，陶瓷材料和石英的熱膨脹系數的差異足以在諧振器內產生機械應力，該機械應力不僅會在溫度改變時存在于音叉的臂中并干擾諧振器的工作，而且還會使焊接破裂或使諧振器的連接片從殼體的連接元件脫離，并改變或甚至切斷諧振器電極和殼體的外部接觸片之間的電連接。
出于同樣的原因，如果在連接片所在的音叉的基部一側有初始裂紋，則顯著的溫度變化甚至會使音叉斷裂。
最后，當真空封裝諧振器時，不可能達到完全真空，從而當諧振器振動時，由音叉的臂對大氣的擾動可能會在該臂彼此靠近時改變諧振器的工作參數，這(在陶瓷殼體的情況下)比在金屬殼體的情況下更突出。
因此，三臂諧振器能夠為傳統音叉諧振器所遇到的各種問題提供令人滿意的解決方案。然而，盡管已經證明這些三臂諧振器是有利的，但是對于移動電話或手表的應用領域，小型化需求以及維持音叉振動所需的能量消耗一直是重要的問題。
發明內容
本發明的主要目的是提供這樣一種三臂諧振器，該諧振器能夠通過生成更均勻且局部更密集的激勵電場來減少能量消耗，并且即使當振動件的尺寸被小型化時臂的振動損失也較低，并且CI值(晶體阻抗或相等的串聯電阻)也可被抑制在較低水平。
為此，根據本發明的第一方面，本發明涉及一種包括具有兩個平行的振動臂的音叉形部件的壓電諧振器，這兩個振動臂通過連接部分互相連接，從該連接部分伸出位于音叉形部件的兩個振動臂之間的中心臂，其中，在每個振動臂的前側和后側中的至少一側上形成有至少一個槽。在振動臂上使用槽能夠在即使裝置被小型化時也提供精確的性能。
根據本發明的另一方面，為了提高振動臂的振動耦合效果，所述槽在連接部分中延伸。所述槽在連接部分中的機械應力最大的部位延伸使得可以對此高應力區域內的電場進行補償。
根據本發明的另一方面，為了進一步優化激勵電場的均勻性，在每個振動臂的前側和后側設置兩個槽。
根據本發明的另一方面，為了確保在高應力區域具有足夠的機械抗力，相對于中心臂位于內側的內部槽比相對于中心臂位于外側的外部槽在連接部分內延伸的長度短。
根據本發明的另一方面，為了在保持上面列出的優點的情況下進一步減小這種三臂諧振器的尺寸，尤其是長度，使所述中心臂的寬度大于或等于振動臂的寬度的1.5倍，并且中心臂的自由端不會延伸到振動臂之外。
根據本發明的另一方面，為了確保將諧振器準確和牢固地定位在封裝殼內，在中心臂中設置有固定孔或凹槽。
根據本發明的另一方面，為了減小這種三臂諧振器的尺寸，尤其是寬度，使中心臂的寬度大致與振動臂的寬度相同，并且在中心臂的與連接部分相對的一端設置有一基部。
根據本發明的另一方面，為了確保將諧振器精確和牢固地定位在封裝殼內，在基部中設置有固定孔或凹槽。
根據本發明的另一方面，為了進一步減小這種三臂諧振器的尺寸，尤其是長度，使中心臂的長度小于振動臂的長度，并且振動臂的端部形成為延伸到所述中心臂之外的突片，該突片的寬度大于振動臂的寬度。
根據本發明的另一方面，為了在振動時進一步穩定諧振器，附裝在中心臂上的一平衡簧片在兩個突片之間延伸，該平衡簧片的寬度小于中心臂的寬度。
根據本發明的另一方面，為了避免由于臂的振動而在諧振器的固定部分上引起機械應力，在中心臂上設置去耦(decoupling)孔或去耦凹槽或者同時設置二者。
根據本發明的另一方面，為了進一步減小諧振器的長度并且使中心臂從振動臂去耦，在連接部分的與中心臂所在的一側相對的一側上設置有凹槽。
通過閱讀下面參照附圖的說明可以看到本發明的其它特征和優點，在附圖中-圖1a，1b和1c分別是根據本發明的壓電諧振器的第一實施例的仰視圖、俯視圖和截面圖；-圖2a，2b和2c是根據本發明的壓電諧振器的第二實施例的三種變型的仰視圖；-圖3a，3b和3c是根據本發明的壓電諧振器的第三實施例的三種變型的仰視圖；-圖4是根據本發明的壓電諧振器的第四實施例的仰視圖；-圖5a和5b是根據本發明的壓電諧振器的第五實施例的兩種變型的仰視圖；-圖6a和6b是根據本發明的壓電諧振器的第六實施例的兩種變型的仰視圖；-圖7a和7b是根據本發明的壓電諧振器的第七實施例的兩種變型的仰視圖；-圖8a和8b是根據本發明的壓電諧振器的第八實施例的兩種變型的仰視圖；-圖9a，9b，9c和9d是根據本發明的壓電諧振器的第九實施例的四種變型的仰視圖；-圖10a，10b和10c是根據本發明的壓電諧振器的第十實施例的三種變型的仰視圖；-圖11是用于接納根據本發明的壓電諧振器的適當封裝殼的俯視圖；-圖12a，12b和12c是分別根據第四和第五實施例的裝入適當的封裝殼的壓電諧振器的俯視圖；-圖13已經說明過，它是根據現有技術的壓電諧振器的俯視圖。
具體實施例方式
在圖1a，1b和1c所示的第一實施例中，用參考標號10表示的根據本發明的諧振器包括具有兩個振動臂12和14的音叉形部件，該振動臂通過連接部分16連接，在該連接部分16上附裝有中心臂18，該中心臂位于臂12和14之間并與其平行，整個組件由石英制成一體部件。
如圖1a和1b所示，振動臂12和14承載兩組分別通過導電路徑24和26互相連接的電極20和22，該導電路徑24和26由音叉形部件的連接部分16承載。如圖中所示，這些電極和導電路徑設置成使得臂12和14以撓曲模式振動，但是它們可以具有不同的構造以使該臂以相同模式或另一種模式(扭轉、剪切等)振動。對于中心臂18，圖1a示出中心臂18在其背面承載有兩個導電連接片28和30，該連接片28和30位于諧振器長度方向的重心G的兩側且優選與該重心距離相等，這些連接片28和30分別通過導電路徑32和34連接到將各組電極20和22相互連接在一起的導電路徑26和24。這些連接片28和30還可用于將諧振器固定在諧振器封裝殼(未示出)內。
由圖1a和1b可看出，中心臂18的寬度應當至少略大于音叉形部件的臂12或14的寬度的1.5倍。此外，中心臂18的長度不一定如圖1a和1b所示等于臂12和14的長度。它的長度例如可以較短。但是重要的是，一方面，中心臂18與臂12和14的距離基本相等，該距離可以等于傳統音叉諧振器的臂隔開的距離，另一方面，該中心臂18的質量比必須振動的臂12和14的質量大得多。
為了通過生成更均勻且局部更密集的激勵電場來減少能量消耗并且使得即使當振動件的尺寸被小型化時臂的振動損失仍較低，在每個振動臂12、14的前側和后側中的至少一側上形成有至少一個槽36、38。
如圖1c所示，每個振動臂12、14優選為H形，這意味著優選地在每個振動臂12和14的前側和后側中的每一側上分別設置一個槽36a、36b和38a、38b。應當理解，這些槽的深度優選為對應振動臂在深度方向(沿軸線D)的厚度的30％-50％之間，有利地在40％-50％之間。應指出，該比率可適用于下文所有帶槽的實施例。在振動臂上使用這種槽能夠在即使裝置被小型化時也提供精確的性能。然而，作為一種替代方案，可僅在每個振動臂的前側或后側上設置一個槽。
有利地，為了進一步提高振動臂的振動耦合效果，槽36、38在連接部分16中延伸。槽36、38的在連接部分16中延伸的并且實際上由虛線40所限定的部分42、44——此處機械應力最大——使得可以對此高應力區域內的電場進行補償。
在圖2a，2b和2c分別示出的第二實施例的三種變型中，諧振器與第一實施例的區別在于，在連接部分16內的槽部分42、44被設計成具有相對于振動臂12、14的縱向軸線(X1，X2)不對稱的形狀。
為了確保與帶有第一實施例中所示的槽獲得的機械抗力相比，諧振器在高應力區域有更好的機械抗力，將槽36、38設計成在連接部分16內具有寬度變窄的部分422、442。槽36、38的寬度變窄的被挖空部分422、442相對于中心臂18位于外側。因此，高機械應力區域中的材料數量更為重要，并由此使得這些區域更堅固以抵抗機械約束(constraint)，所述高機械應力區域由陰影區46、48示出并且主要位于與振動臂12、14鄰接的連接部分的區域內。
如圖2b和2c所示，可在中心臂18上靠近連接部分16處分別設置去耦裝置50和52，以便機械地消除用于將諧振器10固定到封裝殼(未示出)內的中心臂18與振動臂12、14之間的耦合。這些去耦裝置50，52必須設置在中心臂18的固定元件——優選為導電片28和30——和振動臂12、14附裝于其上的連接部分16之間。在圖2b所示的變型中，去耦裝置以設置在中心臂18兩側的凹口50的形式實現。這些凹口50可以是矩形、半圓形或V形。在圖2c所示的變型中，去耦裝置以穿過中心臂18的孔52的形式實現。該孔可以具有不同的形狀，如矩形、圓形或六邊形。與凹口一樣，該孔必須在固定元件28、30和連接部分16之間加工出。應當理解，也可以同時實現這兩種去耦裝置。
在圖3a，3b和3c分別示出的第三實施例的變型中，諧振器與上述第二實施例的三種變型的區別在于，在每個振動臂12、14的前側和后側中的每一側設置有兩個槽362、364和382、384。根據該第三實施例，槽362、364、382和384有利地在連接部分16內延伸以使電場在最大程度上均勻化。
與第二實施例一樣，其中兩種變型具有位于固定元件28、30和振動臂12、14附裝于其上的連接部分16之間的去耦裝置。這些去耦裝置分別為圖3b中的凹口50和圖3c中的孔52。同樣應該理解，圖3b和3c的兩種變型可以相結合。
在圖4所示的第四實施例中，諧振器與圖3a所示的諧振器的區別在于，為了確保諧振器在高應力區域具有更好的機械抗力，相對于中心臂18位于內側的內部槽364、382在連接部分16內延伸的長度分別比相對于中心臂18位于外側的外部槽362、384短。因此，在由陰影區46、48示出的并且主要位于與振動臂12、14鄰接的連接部分區域內的高機械應力區域中的材料數量更為重要，并由此使得這些區域更堅固以抵抗機械約束。
在圖5a和5b分別示出的第五實施例的兩種變型中，諧振器與圖4所示的諧振器的區別在于，在中心臂18上設置有固定與定位裝置。根據該第五實施例可以實現雙重目的確保將諧振器10精確定位和牢固地固定在封裝殼內。為此，根據圖5a示出的第一種變型，穿過中心臂18加工出固定與定位孔54和56，這些孔優選地還用于將諧振器10的電極組20、22連接到封裝殼(未示出)內的導電元件上。由于這些孔54和56穿過中心臂18，因此可通過觀察設計在封裝殼(未示出)底部上的標記而將諧振器10精確地定位在所述封裝殼內。此外，在將諧振器裝配到封裝殼內期間，在孔54、56內填充導電粘合劑，這一方面可以將電極20、22電連接到封裝殼(未示出)內的導電元件上，另一方面可以將諧振器10牢固地固定在封裝殼內。作為圖5a的第一種變型的替代方案，也可以在中心臂的背面，即支承導電元件28和30的那一面上設置盲孔。然后可通過沿殼體內對應的突起部引導這些盲孔來定位諧振器。
根據圖5b示出的第二種變型，在中心臂18的面向諧振器的振動臂12、14的兩側上加工出固定與定位凹槽58和60。與圖5a的孔一樣，這些凹槽58、60是穿過中心臂18的整個深度加工出的，由此可以在封裝殼內相對于在封裝殼底部形成的標記精確定位，并通過添加導電粘合劑填充所述凹槽來牢固地固定。應當理解，孔54、56以及凹槽58、60可具有多種形狀，如方形、圓形或多邊形。
在圖6a和6b分別示出的第六實施例的兩種變型中，諧振器分別與圖2a和圖4所示的第二和第四實施例的區別在于，中心臂18的寬度變窄，該寬度大致與一個振動臂的寬度相同。盡管這種窄的中心臂18減小了整個諧振器結構的寬度并且可以被封裝在較窄的封裝殼(未示出)中，但是它可能不會再被用作諧振器10的固定部件。因此，在中心臂的與連接部分16相對的一端設置有基部62，并且該基部62延伸到振動臂12和14之外。該基部62既用于將諧振器10固定在封裝殼內，還用于將諧振器的電極20和22電連接到封裝殼(未示出)內的導電元件上。圖6a示出第一種變型，其中在每個振動臂12和14的前側和后側中的每一側上分別挖空形成單個槽36、38(前側分別對應于36a、38a，后側分別對應于36b、38b)。每個槽36、38在連接部分16中延伸并且具有在所述連接部分內不對稱的形狀，以便提高諧振器結構在高機械應力區域內的機械抗力。圖6b示出第二種變型，其中在每個振動臂12和14的前側和后側中的每一側上分別挖空形成兩個槽362、364和382、384(前側分別對應于362a、364a和382a、384a，后側分別對應于362b、364b和382b、384b)。槽362、364、382和384在連接部分16內延伸。相對于中心臂18的外側槽362和384比內側槽364和382要長，以便加強高應力區域內的機械抗力。
在圖7a和7b所示的第七實施例中，諧振器與第六實施例的區別在于，在基部中設置有固定與定位孔或凹槽，以確保將諧振器精確定位和可靠固定在封裝殼內。圖7a示出第一種變型，其中穿過基部62加工出孔64和66。因此，當裝配時可以通過所述孔64和66觀察設置在封裝殼(未示出)底部的標記，以便將諧振器10精確地定位在封裝殼內。此外，在孔64和66中填充粘合劑可確保將諧振器牢固地固定在封裝殼內。圖7b示出第二種變型，其中在基部62的與中心臂18相對的一側上切割出凹槽68和70，該基部附裝于中心臂18上。凹槽68和70具有與孔64、66相似的優點。利用導電粘合劑將基部62固定到封裝殼使得可以將電極20和22連接到封裝殼(未示出)內的導電元件上。
在圖8a和8b所示的第八實施例中，諧振器與第一實施例的區別在于，一方面，中心臂18的長度小于振動臂12和14的長度，另一方面，每個振動臂12和14的端部形成延伸到中心臂18之外的突片72和74。優選地，這些突片72和74具有相對于對應的振動臂12、14的縱向軸線(X1，X2)對稱的矩形形狀，突片寬度約為振動臂寬度的兩倍。但是另一方面，應當理解，在不改變諧振器性能的情況下，可以從振動臂的總體長度推導出突片的長度，由此可相應地減小諧振器的長度。根據圖8b所示的第二種變型，在與連接部分16相對的中心臂的一端附裝有平衡簧片76。該平衡簧片76位于振動臂12、14的兩個突片72、74之間，并且其寬度比中心臂18的寬度窄，以便在不會與兩個振動臂12、14發生碰撞的情況下使兩個振動臂振動。此外，簧片76不會沿諧振器結構的縱向軸線延伸到突片72、74之外，以便保持整個諧振器的長度盡可能短。利用這種簧片76，可以使諧振器結構在振動時獲得更好的穩定性，并從而使更少的機械應力施加在固定部分28、30上。
在圖9a、9b、9c和9d所示的第九實施例中，諧振器與第八實施例的區別在于，在每個振動臂12、14的前側和后側上都設置有兩個槽362、364和382、384。圖9a示出第一種變型，其中中心臂的長度比振動臂的長度短，并且在振動臂12、14的端部設置有延伸到中心臂18之外的突片72、74，以便在不改變諧振器性能的情況下減小諧振器10的總體長度。圖9b示出第二種變型，其中諧振器10還包括從中心臂18伸出并在兩個振動臂12、14之間延伸的平衡簧片76。該簧片76可以在振動時穩定諧振器。圖9c示出第三種變型，其中在中心臂18上在固定元件28、30和連接部分16之間設置有凹口50，以便將所述中心臂從振動臂12、14機械地去耦，諧振器10通過該中心臂固定到封裝殼上。圖9d示出第四種變型，它是第三種變型的一個替代方案，其中不是在中心臂18上設置凹口，而是在固定元件28、30和連接部分16之間穿過中心臂18切割出一孔52。
應當理解，還可以實現沒有示出的許多其它變型。其中包括這樣的變型穿過中心臂設有固定與定位孔或可選地固定與定位凹槽，如上述第五在圖10a示出的第十實施例的第一種變型中，諧振器與第四實施例的區別在于，在連接部分16的與中心臂18伸出的一側相對的一側上設置有一個凹口78。該凹口78的優點是在不削弱諧振器結構的情況下使中心臂18從兩個振動臂12、14機械地去耦。
在圖10b示出的第十實施例的第二種變型中，諧振器與圖1a的第一實施例的區別在于，在連接部分16的與中心臂18伸出的一側相對的一側上設置有狹槽80，該狹槽80優選地沿諧振器的縱向軸線X。該狹槽80的效果是實際上將振動臂12、14延長到連接部分16的對應的半個部分內。為了通過對被切割的連接部分的所有高應力區域內的電場進行補償來進一步優化振動臂的振動耦合效果，沿狹槽80設置有附加電極82、84。有利地，在電極82、84下方挖空形成槽，以便生成更均勻且局部更密集的激勵電場。因此，對于確定的頻率，使用優選帶槽的這些電極82、84可以減小諧振器的總體長度。
在圖10c所示的第三種變型中，諧振器與上述第二種變型的區別在于，設置有如參照圖8a所述的突片72、74，以便進一步減小諧振器的總體長度。
圖11是用于接納根據本發明的壓電諧振器的適當封裝殼在沒有蓋的情況下的俯視圖。應當理解，封裝殼的尺寸可根據諧振器結構的總體形狀而調節，諧振器結構的總體形狀可能根據所考慮的實施例而變化。平行六面體形狀的殼體100包括由平的底部102和四個側面104形成的主體部分以及帶有邊緣(未示出)的蓋，當諧振器被安裝進殼體100后，利用焊接臺(也未示出)通過加熱和加壓經由所述邊緣將蓋真空焊接到主體部分的側面104上。此外，在殼體100的底部102上設置有中心肋部106，該肋部106沿縱向軸線X延伸以便支承諧振器的固定部件。肋部的寬度選擇成使得諧振器的振動臂能夠在殼體100內自由地振動。在肋部106上設置有兩個導電元件，例如薄導電層、短柱或突出部108和110，以便接觸諧振器的對應導電片。應當理解，肋部106不應從一個側面104延伸到相對的側面。
圖12a，12b和12c是安裝在適當的封裝殼100內的分別根據第四和第五實施例的壓電諧振器10的打開的俯視圖。圖12a示出具有根據第四實施例的諧振器的俯視圖，其中中心臂18支承導電片28和30，該導電片將要連接到設置于肋部106上的對應導電元件。通過將連接片28、30焊接或利用導電粘合劑粘結到各個薄導電層、短柱或突出部上來實現諧振器的安裝。
總之，在諧振器的重心區域內將諧振器固定到殼體底部的事實使得裝配更加容易，并且使裝配期間諧振器傾翻的危險減到最小。出于相同的原因，被封裝的諧振器的抗震性也高得多。
圖12b和12c示出具有根據第五實施例的兩種變型的諧振器的俯視圖。有利地，在這兩種變型中，為了在將諧振器安裝到封裝殼100內時確保諧振器的精確定位，可以通過穿透中心臂18的孔54、56或凹槽58、60觀察導電元件108和110。
應當理解，優選地，為了進一步改善根據任何上述實施例的諧振器的抗震性，有利地選擇在振動臂連接到連接部分位置處的切除部分，使得諧振器的可見晶體平面最小。在一個石英諧振器的示例中，該切除部分形成大約60°或120°的角度。
已經借助于某些具體實施例說明了本發明，但是應當理解，這些實施例并不意味著對本發明的限制。實際上，在不脫離所附權利要求范圍的情況下，各種變型、修改和/或實施例之間的組合對于本領域技術人員將是顯而易見的。
權利要求
1.一種壓電諧振器(10)，包括具有兩個平行的振動臂(12、14)的音叉形部件，這兩個振動臂通過連接部分(16)互相連接，從該連接部分伸出位于所述音叉形部件的兩個振動臂之間的中心臂(18)，在每個振動臂的前側和后側中的每一側上形成至少一個槽(36a，36b，38a，38b)，其中，所述振動臂的每個槽的一部分(42、44)在所述連接部分中延伸。
2.根據權利要求1所述的諧振器，其特征在于，在所述連接部分中的所述部分具有寬度比槽的寬度窄的一部分(422，442)，并且所述寬度較窄的一部分相對于所述中心臂位于外側。
3.一種壓電諧振器(10)，包括具有兩個平行的振動臂(12、14)的音叉形部件，這兩個振動臂通過連接部分(16)互相連接，從該連接部分伸出位于所述音叉形部件的兩個振動臂之間的中心臂(18)，其中，在每個振動臂的前側和后側中的每一側上形成兩個槽(362，364，382，384)，并且每個振動臂的所述槽在所述連接部分中延伸。
4.根據權利要求3所述的諧振器，其特征在于，相對于所述中心臂位于外側的外部槽比相對于所述中心臂位于內側的內部槽在連接部分中延伸得更長。
5.根據權利要求1到4中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述中心臂的寬度大于或等于所述振動臂的寬度的1.5倍，并且所述中心臂不會延伸到所述振動臂之外。
6.根據權利要求1到5中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述中心臂的寬度大致與所述振動臂的寬度相同，并且從所述中心臂上與所述連接部分相對而伸出一基部。
7.根據權利要求6所述的諧振器，其特征在于，穿過所述基部加工有固定孔(64，66)。
8.根據權利要求6所述的諧振器，其特征在于，在所述基部內設置有固定凹槽(68，70)。
9.根據權利要求6所述的諧振器，其特征在于，在所述基部內加工有固定盲孔。
10.根據權利要求1到6中任一項所述的諧振器，其特征在于，穿過所述中心臂加工有固定孔(54，56)。
11.根據權利要求10所述的諧振器，其特征在于，所述固定孔用于將所述諧振器定位在封裝殼內。
12.根據權利要求1到6中任一項所述的諧振器，其特征在于，在所述中心臂中加工有固定盲孔。
13.根據權利要求1到6中任一項所述的諧振器，其特征在于，在所述中心臂的面對所述振動臂的兩側上設置有固定凹槽(58，60)。
14.一種壓電諧振器(10)，包括具有兩個平行的振動臂(12、14)的音叉形部件，這兩個振動臂通過連接部分(16)互相連接，從該連接部分伸出位于所述音叉形部件的兩個振動臂之間的中心臂(18)，在每個振動臂的前側和后側中的至少一側上形成至少一個槽(36，38)，其中，所述中心臂的長度小于振動臂的長度；所述振動臂的端部形成延伸到所述中心臂之外的突片(72，74)，所述突片的寬度大于所述振動臂的寬度；并且，附裝在所述中心臂上的一平衡簧片(76)在兩個突片之間延伸，所述平衡簧片的寬度小于所述中心臂的寬度。
15.根據上述權利要求中任一項所述的諧振器，其特征在于，穿過所述中心臂加工有去耦孔(52)。
16.根據上述權利要求中任一項所述的諧振器，其特征在于，在所述中心臂的面對所述振動臂的兩側上設置有去耦凹口(50)。
17.根據上述權利要求中任一項所述的諧振器，其特征在于，在所述連接部分中與所述中心臂相對而設置有凹口(78)。
18.根據權利要求1到14中任一項所述的諧振器，其特征在于，在所述連接部分中與所述中心臂相對而設置有狹槽(80)；并且，沿所述狹槽設置有附加電極(82，84)。
19.根據權利要求18所述的諧振器，其特征在于，在所述附加電極下方挖空以形成槽。
20.根據上述權利要求中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述槽的深度為所述振動臂在深度方向的厚度的40％-50％。
全文摘要
根據本發明的壓電諧振器(10)包括具有兩個平行的振動臂(12、14)的音叉形部件，這兩個振動臂通過連接部分(16)互相連接，從該連接部分伸出位于所述音叉形部件的兩個振動臂之間的中心臂(18)，其中，在每個振動臂的前側和后側中的至少一側上形成至少一個槽(36，38)。
文檔編號H03H9/00GK1881792SQ200610087989
公開日2006年12月20日 申請日期2006年6月9日 優先權日2005年6月9日
發明者S·達拉·皮亞扎, B·施圖德, T·盧賽 申請人:Eta瑞士鐘表制造股份有限公司