壓電振動器及其制造方法、振蕩器、電子單元以及電波時計的制作方法

專利名稱：壓電振動器及其制造方法、振蕩器、電子單元以及電波時計的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種具有氣密端子的壓電振動器以及制造壓電振動器的方法以及振蕩器、電子單元和具有壓電振動器的電波時計。
背景技術：
壓電振動器對于制造例如包括例如電波表/鐘的表、振蕩器、便攜式單元和電子單元的工業產品來說是不可缺少的。壓電振動器用于計時源、定時源或用于信號的參考源。通常使用的壓電振動器插件包括殼體式陶瓷插件和設置導線的圓柱形插件。在后者插件中，制造成形部件，而導線通過焊接直接安裝在襯底上，插件由樹脂模制而成，使用導線架的電極端子設置成使得插件適用于使用自動安裝機機器安裝。
下面參考附圖描述圓柱形插件和樹脂模制插件。圖19A式表示作為壓電振動器用于現有技術圓柱形插件的石英振動器的實例的整個構造的透視圖。圖19B是圖19A所示實例的氣密端子部分的截面圖。
由石英形成音叉的振動件8通過使用未示出的金屬薄膜和導電粘合劑進行鍍覆來固定在氣密端子1的內導線3上。振動件8同樣通過具有底部并且緊密安裝其上的圓柱形金屬殼體10氣密密封以便提供真空。注意到在圖19A中，殼體10表示成透明主體以便描述其內部構造。如圖19B所示，氣密端子1填有填充物5，填充物用作稱為柄部7的外環內的氣密密封。各自包括薄實心金屬圓桿的兩個平行導線2插入穿過并且固定在填充物5上。導線2和柄部7的表面涂覆鍍層16a。圖19A所示的內部導線3和振動件8經由鍍層16a通過局部熔化內部導線3表面的鍍層16a并且將導線3固定在作為連接區域的安裝墊9上來相互連接，安裝墊形成在振動件8的底板上。未示出的激勵電極形成在振動件8的音叉臂部分上，并且交流電從氣密端子1經由安裝墊9供應到激勵電極上。這造成振動件8在預定頻率下振動。
殼體10還壓配合在柄部7上，以便沿著柄部7的外周邊覆蓋振動件8。這一步驟成為封裝步驟或密封步驟。殼體10通過冷壓焊接經由鍍層16a氣密粘接導柄部7上柄部7的外環由軟金屬制成。在圖19B中，通過填充物5作為邊界，鍍層16a的厚度被夸大。注意到在導線2中，粘接到振動件8的一側這里指的是內導線，如參考標號3所示，而安裝在襯底或類似物上的一側指的是外導線4，如參考標號4所示。
圖20A是用于現有技術的壓電振動器的樹脂模制插件的平面圖。圖20B是圖20A所示的前視圖。圖20C是圖20A所示插件的底視圖。圖20D是沿著線D-D截取的圖20A所示插件的截面圖。圖20E是圖20B所示插件的右手側視圖。
樹脂模制插件具有帶有壓電振動器40的圓柱形插件的構造，振動器由例如環氧樹脂的樹脂模制而成，環氧樹脂是熱固樹脂并且是具有熱塑性的液晶聚合物。考慮到例如模制過程中沒有空穴、裂紋和剝離、在襯底上安裝過程中沒有變形和裂紋、高溫下的耐濕性，確定這些樹脂30的使用。同樣作出努力來防止樹脂模制插件的外部尺寸超過陶瓷插件的外部尺寸。換言之，在樹脂模制插件內的空間中，外部電極端子34通過點焊和類似方式機械和電氣連接到氣密端子的外導線4和焊接區域33上。外部電極端子34還經由曲柄形狀的彎曲部分34a在底部暴露。另外，各自具有升高部分35a的虛擬端子35在與樹脂模制件的外部電極端子34相對的端部處以一定間隔布置在樹脂30內。因此，每個虛擬端子35剛性安裝在襯底上。虛擬端子35在壓電振動器40內不電連接到振動件8上，因此使得樹脂模制插件的寬度充分小于陶瓷插件。由樹脂模制插件在便攜式單元中使用眾多，為此需要高密度安裝。
對于多種問題來說，將在下面簡單描述制造樹脂模制插件的過程，其順序是氣密端子制造過程、圓柱形插件壓電振動器制造過程以及樹脂模制插件制造過程。本發明用來提供一種制造方法，其中可造成氣密端子以單一支承材料的一致性進行流程，而不需要在從氣密端子制造過程開始到樹脂模制插件制造過程結束的這三個步驟的每個步驟中更換用于保持氣密端子的支承材料。但是壓電振動件的制造過程在下面描述。
氣密端子制造過程現有技術氣密端子制造過程將在下面參考圖21所示的生產流程圖進行描述。
組成氣密端子的部件是一個環形柄部、兩個線材形的導線以及一個顆粒過濾器。這些部件的每個部件在這些部件組裝在一起之前在一個步驟中進行制造。對于環形柄部和導線，可以使用例如低碳鋼(Fe)、鐵和鎳合金(Fe-Ni)、鐵、鎳和鈷的合金(Fe-Ni-Co)的材料。對于過濾器的材料，可以選擇鈉鈣玻璃、鈉鋇玻璃、硼硅玻璃和類似玻璃。
對于柄部，制備包括所述任何材料的板狀材料(步驟500)，并且通過壓制加工成形外環(步驟502)。接著使用酸進行預處理(步驟504)。接著進行退火并且進行預氧化以便改善與過濾器的粘合性(步驟506)。對于過濾器，例如制備硼硅玻璃粉末(步驟540)。該粉末接著填充到成形模具中并且調節機械性能(步驟542)。接著在高溫下進行燒結(步驟544)。
對于導線，制備由所述任何材料制成的線材桿(步驟570)，并且將其切斷成預定長度(步驟572)。接著使用酸進行預處理(步驟574)。接著進行退火并且進行預氧化以便改善與過濾器的粘合性(步驟576)。
由此制備的多個柄部、由此制備的多個過濾器以及由此制備的多個導線設置在碳組裝夾具中(步驟600)。在大約100℃的溫度下，在電爐或類似裝置中進行焙燒，以便將過濾器剛性密封在柄部和導線上，由此形成氣密構造(步驟610)。在通過所述焙燒來完成密封步驟時，在氣密端子中，金屬柄部填充有填充物，填充物用于氣密密封，并且兩個平行導線插入通過填充物并固定其上，因此完成其輪廓。
氣密端子接著從碳組裝夾具上拆卸，并且每個分開的氣密端子放置在預定網子中以便進行筒式鍍覆。鍍膜接著形成在柄部的外周表面和導線表面上，同時多個氣密端子在筒中攪動。在所述鍍覆操作之前，過濾器表面、柄部表面以及導線表面使用酸進行侵蝕并且清洗。包括例如Ni和Cu元素的幾個μm基本鍍層施加在每個表面上。具有10-15μm厚度的最終鍍層接著施加在每個所述表面上(步驟620)。
氣密端子通過所述步驟完成。與氣密端子配對的殼體通過壓制加工由鎳銀片材形成以便隨后使用。殼體表面鍍覆Ni層。
壓電振動器組裝過程下面參考圖22所示的生產流程圖描述使用所述氣密端子和殼體制造圓柱形插件壓電振動器的振動器組裝過程。用于這種圓柱形插件壓電振動器的自動組裝過程是傳統公知的。
多個氣密端子在每個馬蹄形狀的稱為托盤的樹脂模制夾具上布置并且以恒定間隔機械保持，夾具在下面描述的組裝步驟中使用。
在托盤上配置之前，制造之后存儲的氣密端子首先在真空中充分加熱，并且進行烘烤以便去除和釋放吸收的潮濕和構件材料中所包括的氣體成分(步驟700)。多個氣密端子接著使用夾具在托盤上以恒定間隔安裝和配置(步驟710)。圖24是表示氣密端子布置在托盤上的配置圖。在圖24中，氣密端子的外部導線4機械保持在安裝在托盤38并進行定位的金屬端子39上。金屬端子39是金屬固定裝配件。
回來參考圖22，振動件8安裝在(連接到)氣密端子1的內部導線3上(步驟720)。接著在真空中進行烘烤以便消除安裝變形(步驟730)。接著其上具有氣密端子的托盤38接著送入真空腔室，并且使用激光器或類似裝置進行頻率調節(細調節)，同時對于預定頻率范圍內的一個頻率進行頻率監測(步驟740)。
每個殼體10接著布置在與布置在托盤38上的每個氣密端子相對的位置上，每個氣密端子1在真空環境中壓配合在每個殼體10上并且與其氣密密封(步驟750)。在密封步驟中，每個氣密端子保持充分加熱，以便在每個殼體10內進行封裝之前，釋放組裝步驟期間所吸收的潮濕和所包括的氣體成分。在殼體中封裝氣密端子提供圓柱形插件壓電振動器40的輪廓。
在氣密密封之后，在大氣中預定溫度下進行屏蔽以便進行頻率穩定(步驟760)。接著對于共振頻率和共振阻抗值或類似情況進行電性能檢查。這一步驟稱為篩選步驟(步驟770)。由此獲得的振動器使用專用夾具從托盤38上拆卸(步驟780)。
所述的步驟提供完整的壓電振動器40，每個振動器具有圓柱形插件的輪廓。壓電振動器的大批量制造需要大量所述的托盤38，因此需要大量成本來購買托盤、維護和處理，包括金屬保持固定制造的更換。
樹脂成形過程下面參考圖23和25描述通過壓電振動器組裝過程制造的樹脂模制圓柱形插件壓電振動器40的制造過程。圖23是表示用于模制樹脂圓柱形插件壓電振動器的現有技術樹脂成形過程。圖25A和25B表示在樹脂成形過程中固定在現有技術導線架上的壓電振動器的配置圖。圖25B表示圖25A所述的多個壓電振動器之一的局部放大視圖。用于這種圓柱形插件壓電振動器的樹脂成形過程是公知的。
按照現有技術的制造過程，對于特殊導線架31選擇傳導材料，導線架31如圖25A所示的沖制而成。如圖25B所示，在導線架31上進行彎曲加工，以便形成具有彎曲部分34a的外部電極端子34，并且具有升高部分35a的虛擬端子35布置在相反位置上(步驟800)。圓柱形插件壓電振動器40供應到并定位在由此制備的導線架31上(步驟810)。
氣密端子的外部導線4接著進行成形，并且多余長度的一部分從每個外部導線上切去(步驟820)。形成在導線架31內的外部電極端子14以及氣密端子的外部導線4接著插入頂部模具和底部模具直接，進行例如電阻焊接的焊接，以便將外部電極端子和外部導線相互連接在一起，并且進行檢查，以便檢查外部電極端子和外部導線是否連接在一起(步驟830)。點焊區域通過參考標號33表示。多個壓電振動器40焊接在導線架31上，并且布置成兩排。
樹脂材料通過轉換模制成形，并且形成成形的壓電振動器的輪廓(步驟840)。在圖25B中，用于樹脂成形的模制部分32由虛線表示。在成形樹脂的表面30上通過印刷、激光和類似方式形成標記(步驟850)。任何來自模制的毛邊接著從樹脂30上去除(步驟860)。導線架31送入鍍覆溶液以便為外部電極端子34和虛擬端子35鍍覆未示出的鍍層，其厚度在5-15μm之間(步驟870)。在某些情況下，可以省略所述的鍍覆步驟。
導線架31接著在外部電極端子34定位以及虛擬端子35定位的地方切斷，以便獲得樹脂模制的單獨分開的壓電振動器(步驟880)。接著對于振動器的共振頻率和共振阻抗值和類似參數進行篩選(步驟890)。
以上描述的步驟提供完整的樹脂模制圓柱形插件壓電振動器。所述完整的壓電振動器的外觀表示在圖20A-20D中，這些附圖已經進行描述。因此，完整的壓電振動器的外觀將不在下面描述。
在所述的三個步驟中有關流程的問題將在下面總結。
1)在氣密端子制造過程中，三個部件(即導線、過濾器和柄部)燒制成單件式部件，并且單獨分開的氣密端子放置在預定網子內以便進行鍍覆操作。傳統上，由于大量的氣密端子在單個鍍覆操作中進行處理，考慮到大批量制造采用筒式鍍覆。但是與小型壓電振動器相對應的小型氣密端子的煩瑣操作使得產量大幅下降，這是由于經由涂覆連接在一起的氣密端子導線之間容易出現短路。如上所述產量顯著減小，較小的氣密端子因此產生很大的問題，造成氣密電阻單元價格增加。
2)在壓電振動器組裝過程中，樹脂模制托盤作為夾具引入組裝流程中。單個分開的氣密端子在氣密端子制造過程結束之后送入，并且這些氣密端子的配置和安裝需要許多時間和成本，因此造成操作時間長，并且其中的準備時間也長。
由于減小氣密端子的尺寸，在用于使用振動的例如部件供應器的部件供應裝置中可以發現更多的導線折彎和連接在一起的導線，因此造成氣密端子的輪廓精度不太高。氣密端子之間的接觸造成細小的金屬顆粒，并且這些導線和柄部以及組裝步驟期間所處理的振動件上的顆粒造成振動件的重量不同，因此造成振動頻率波動。
在真空中進行加熱的過程中，由樹脂制成的托盤同樣在組裝步驟和封裝步驟中釋放氣體，造成真空程度減小。因此，所存在的問題是在氣密之后長時間這些氣體造成振動器的共振頻率和共振阻抗值的變化。如上所述，由于改變了性能，這是質量方面的很大問題。
3)在樹脂成形過程中，需要制備新型特殊的專用傳導導線架。需要將圓柱形插件壓電振動器供應到這些導線架，將每個壓電振動器與每個導線架準確對準，并且通過焊接或類似方式將壓電振動器和導線架連接在一起。所存在的趨勢是在振動器供應中存在更多的失誤，并且減小振動器的尺寸造成更多的焊接失誤，因此造成在生產中進行更多的檢查，因此增加生產成本。
另外，提供外部電極端子和虛擬端子需要端子進行第二鍍覆，因此造成生產中準備時間增加的很大原因。
通過減小生產過程中的準備時間，并且應對產品尺寸的迅速減小，在傳統壓電振動器生產方法中解決以上所述大量問題對于組裝精度改善、質量改善、減小制造成本來說是重要的。

發明內容
考慮到以上問題，本發明提供一種壓電振動器的制造方法，該方法可以減小壓電振動器的尺寸并且可以改善組裝精度和質量。
為了解決所述問題，本發明提供一種制造方法，其中造成氣密端子以單個支承材料一致性從氣密端子制造過程的開始到樹脂成形過程的結束進行流程，而在這三個步驟(即氣密端子制造過程、壓電振動器組裝過程和樹脂成形過程)的每個步驟中不更換用于保持氣密端子的支承材料。
1)對于氣密端子的制造過程和壓電振動器組裝過程來說，本發明提供如下的方法。
本發明提供一種制造壓電振動器的方法，振動器具有氣密端子，端子具包括環形柄部、布置成穿過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物；連接到導線一端上的振動件以及粘接在氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體，該方法包括用于制造氣密端子的氣密端子制造過程以及用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器的組裝過程，其中在氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上，并造成在一致性地進行流程。
2)對于樹脂成形過程來說，除了以上兩個步驟之外，本發明還提供一種方法，其中可造成氣密端子一致性地進行流程而不更換用于保持氣密端子的支承材料。
也就是說，本發明提供一種制造壓電振動器的方法，壓電振動器具有氣密端子，端子包括環形柄部、布置成穿過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物；連接到導線一端上的振動件以及粘接在氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體以及用于覆蓋殼體表面和氣密端子表面使得導線的另一端暴露的模制樹脂，該方法包括用于制造氣密端子的氣密端子制造過程以及用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器的組裝過程；以及用于成形模制樹脂的樹脂成形過程，其中在氣密端子制造過程、壓電振動器組裝過程和樹脂成形過程中，氣密端子布置并保持在同一導線架上，并造成一致性地進行流程。
3)本發明提供一種下面作為具體方法描述的氣密端子制造過程，其中使得相同的導線架在氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中以便進行流程。
也就是說，氣密端子制造過程包括輪廓成形步驟，在該步驟中，選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于形成用于氣密端子的導線的輪廓的輪廓成形部分和底座放置在導線架上，成形氣密端子導線的多個輪廓，其中通過以預定間隔進行連接，將其一端連接到底座上，并且成形隔離連接件的多個輪廓，其中在隔離連接件面向導線的情況下，將其一端在輪廓成形部分上連接到底座上，使得隔離連接件的多個輪廓的每個輪廓與導線多個輪廓的每個輪廓配對；該方法還包括填充物成形和燒結步驟，在該步驟中，在預定位置上在具有所成形的輪廓的導線中填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有所成形的輪廓的隔離連接件的非底座一側上，并且燒結成形的兩個填充物；該方法還包括柄部安裝步驟，在該步驟中，將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，并且將燒結的填充物定位在導線上；該方法還包括焙燒步驟，在該步驟中，加熱、熔化并且冷卻柄部內的填充物以及隔離連接件處的填充物；該方法還包括局部切斷步驟，在該步驟中，切斷連接到導線底座上的部分，并且該方法還包括金屬薄膜成形步驟，在該步驟中，將金屬薄膜形成在導線表面以及柄部表面上。
4)對于樹脂成形過程來說，考慮氣密端子制造過程中的輪廓成形步驟，并且除了氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程之外，還提供下面描述的作為具體方法的方法，該方法使得出于流程目的使用相同的導線架。
也就是說，本發明提供一種壓電振動器制造方法，其中輪廓成形步驟包括以預定間隔在輪廓成形部分上布置導線的多個輪廓，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線的多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸并連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其中其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線的多個輪廓的每個輪廓，并且成形在輪廓成形部分上連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子。
5)另外，壓電振動器組裝過程包括在封裝殼體之前以預定角度彎曲導線和導線架的隔離連接件的連接部分，并且調節導線的彎曲部分，使得該部分位于其原始角度上。
6)例如，壓電振動器通過所述壓電振動器制造方法來制造。
7)本發明還提供一種壓電振動器，該振動器包括氣密端子，氣密端子包括環形柄部、布置成穿過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物；連接到導線一端上的振動件以及粘接在氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體，其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程和使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程中，使用相同的導線架，并且氣密端子布置并保持在導線架上，并造成一致性地進行流程。
8)本發明還提供一種壓電振動器，該振動器包括氣密端子，氣密端子包括環形柄部、布置成穿過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物；連接到導線一端上的振動件以及粘接在氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體以及用于覆蓋殼體表面和氣密端子表面使得導線的另一端暴露的模制樹脂，其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程、使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程以及用于成形模制樹脂的樹脂成形過程中，使用相同的導線架，并且氣密端子布置并保持在相同的導線架上，并且造成一致性地進行流程。
9)氣密端子通過以下步驟來制造，即輪廓成形步驟，在該步驟中，選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于形成用于氣密端子的導線的輪廓的輪廓成形部分和底座放置在導線架上，成形氣密端子導線的多個輪廓，其中通過以預定間隔進行連接，將其一端連接到底座上，并且成形隔離連接件的多個輪廓，其中在隔離連接件面向導線的情況下，將其一端在輪廓成形部分上連接到底座上，使得隔離連接件的多個輪廓的每個輪廓與導線多個輪廓的每個輪廓配對；填充物成形和燒結步驟，在該步驟中，在預定位置上在具有所成形的輪廓的導線中填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有所成形的輪廓的隔離連接件的非底座一側上，并且燒結成形的兩個填充物；柄部安裝步驟，在該步驟中，將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，并且將燒結的填充物定位在導線上；焙燒步驟，在該步驟中，加熱、熔化并且冷卻柄部內的填充物以及隔離連接件處的填充物；局部切斷步驟，在該步驟中，切斷連接到導線底座上的部分，以及金屬薄膜成形步驟，在該步驟中，將金屬薄膜形成在導線表面以及柄部表面上。
10)在輪廓成形步驟中，壓電振動器通過如下方式制造，即以預定間隔將導線的多個輪廓放置在輪廓成形部分上，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線的多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸并連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其中其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線多個輪廓的每個輪廓，并且在輪廓成形部分上成形連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子。
11)在壓電振動器組裝過程中，壓電振動器通過如下方式制造，即在封裝殼體之前以預定角度彎曲導線和導線架的隔離連接件的連接部分，并且調節導線的彎曲部分，使得該部分位于其原始角度上。
12)所述的壓電振動器在按照本發明的振蕩器中作為振蕩元件連接到集成電路上。
13)另外，所述的壓電振動器在按照本發明的電子單元中連接到計時區段上。
14)同樣，所述的壓電振動器在按照本發明的電波時計中連接到過濾器區段上。
按照本發明，在用來制造壓電振動器的氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中，使用相同的導線架，并且實現了流程作業性，因此提供下面描述的效果。
在氣密端子制造過程中，氣密端子布置并保持在導線架上，因此使得在鍍覆步驟中產量大大改善。在本發明中，導線連接到底座上，并且氣密端子保持恒定間隔上。在鍍覆步驟中，沒有通過鍍覆連接在一起的導線，并且導線間隔值總是保持恒定。可以大大減小由于導線通過鍍覆連接在一起而造成的短路失誤的數量。
可以使用單獨完整的氣密端子，每個端子進行隔離并且連接到底座上，而不在壓電振動器組裝過程中將這些氣密端子的任何一個端子相互分開。因此，可以完全消除在托盤夾具上進行例如氣密端子配置和安裝的操作，該操作在現有技術壓電振動器組裝過程的第一步驟中需要大量設施和許多勞動力。另外，可以防止金屬顆粒位于氣密端子上以及配置操作中導線彎曲，因此可以改善質量。
另外，壓電振動器組裝過程中，氣密端子的導線經由隔離材料連接到傳導導線架的底座上。這使其即使多個氣密端子連接到傳導導線架上，也可防止壓電振動器之間的電干擾。
電性能調節步驟和篩選步驟可因此在壓電振動器組裝過程中同時單獨進行，而不對布置的相鄰壓電振動器由任何電影響。
此外，進行流程的每個導線架可由具有良好耐熱性和低氣體釋放性能的材料制成。即使壓電振動器組裝過程中，在烘烤步驟和封裝(密封)步驟中也可保持高程度的真空壓電振動器組裝過程在高溫和高真空大氣中進行，而烘烤和封裝步驟在高溫下進行。因此，在氣密空間內增加真空的程度，并且即使在氣密之后也可控制在構件內釋放的氣體量，因此可以改善壓電振動器質量。
除了所述兩個步驟之外，這些在壓電振動器組裝過程中一直使用的導線架造成即使在樹脂成形過程中也可以進行流程，因此提供下面描述的效果。
在樹脂成形過程中，可以在從壓電振動器組裝過程轉換到樹脂成形過程中消除在專用導線架上定位壓電振動器以及將其導線焊接到導線架上的傳統所需步驟。由于減小焊接失誤造成的產量減小，還可以改善壓電振動器的質量。另外，可以消除涂覆所成形的壓電振動器的外部端子的傳統所需步驟。如上所述，整組導線架可同時進行檢查，而甚至在用于樹脂模制壓電振動器的篩選步驟中，也不對相鄰壓電振動器具有任何電影響。因此，在工件供應和排出時間和定位時間方面，按照本發明的壓電振動器制造方法大大優于現有技術的方法；在現有技術方法中，單個振動器從導線架上切斷，測量其電性能。因此，可以減小樹脂成形過程的節拍時間。
如上所述，本發明大大有助于減小整個壓電振動器制造過程的準備時間，并且可以改善壓電振動器的質量。用于氣密端子制造過程中的相同傳導導線架即使在樹脂成形過程中也可以一致性地采用。這消除用于壓電振動器組裝過程和樹脂成形過程中所需的托盤和專用導線架，因此顯著減小成本，由此提供很大的工業價值。


圖1是表示按照本發明第一實施例的氣密端子制造過程的實例的示意流程圖；圖2是表示按照本發明第一實施例的氣密端子制造過程的實例的詳細流程圖；圖3A是表示按照本發明第一實施例的氣密端子制造過程中輪廓成形步驟的示意圖；圖3B是表示按照本發明第一實施例的氣密端子制造過程中填充物成形和燒結步驟、柄部安裝步驟以及局部切斷步驟的示意圖；圖4是表示氣密端子制造過程中焙燒步驟的配置圖；圖5是表示按照本發明的壓電振動件制造過程的實例的生產流程圖；圖6是表示按照本發明的壓電振動器組裝過程的實例的流程圖；圖7A是表示按照本發明第一實施例的壓電振動器組裝過程中振動件安裝步驟之后的壓電振動器的視圖；圖7B是表示按照本發明第一實施例的壓電振動器組裝過程中封裝步驟之后的壓電振動器的視圖；圖7C是表示按照本發明第一實施例的壓電振動器組裝過程中封裝步驟之后的壓電振動器的視圖；圖8是表示按照本發明的圓柱形插件壓電振動器的構造實例的透視圖；圖9是表示按照本發明第二實施例的氣密端子制造過程實例的示意流程圖；圖10是表示按照本發明第二實施例的氣密端子制造過程的實例的詳細流程圖；圖11A是表示按照本發明第二實施例的氣密端子制造過程中輪廓成形步驟的示意圖；圖11B是表示按照本發明第二實施例的氣密端子制造過程中填充物成形和燒結步驟、柄部安裝步驟以及局部切斷步驟的示意圖；圖12A是表示按照本發明第二實施例壓電組裝過程中振動件安裝步驟之后的壓電振動器狀態的視圖；圖12B是按照本發明第二實施例的壓電振動器組裝過程中封裝步驟之后的壓電振動器狀態的視圖；圖13是表示按照本發明的樹脂成形過程實例的生產流程圖；圖14A是按照本發明第二實施例的用于壓電振動器的樹脂成形過程中經過外部電極端子和虛擬端子彎曲的壓電振動器的側視圖；圖14B是表示樹脂模制之后壓電振動器的外觀和內部的平面圖；圖14C是表示樹脂模制之后切斷步驟中壓電振動器的外觀的側視圖；圖15A是按照本發明的樹脂模制插件的實例的平面圖；圖15B是沿著線B-B截取的圖15A的樹脂模制插件的截面圖；圖15C是圖15A的樹脂模制插件的底視圖；圖15D是圖15A的樹脂模制插件的右側視圖；圖16是表示按照本發明的音叉式石英振蕩器構造實例的示意配置圖；圖17是表示按照本發明的便攜式信息單元的方框圖構造實例的示意圖；圖18是表示按照本發明的電波時計的方框圖的示意圖；圖19A是表示現有技術圓柱形插件壓電振動器整個構造的透視圖；圖19B是表示現有技術圓柱形插件壓電振動器的氣密端子的平面圖；圖20A是現有技術圓柱形插件壓電振動器的平面圖；圖20B是現有技術圓柱形插件壓電振動器的前視圖；圖20C是圖20A的現有技術圓柱形插件壓電振動器的頂視圖；圖20D是沿著線D-D截取的圖20A的現有技術圓柱形插件壓電振動器的截面圖；圖20E是圖20A的現有技術圓柱形插件壓電振動器的右側視圖；圖21是現有技術氣密端子的生產流程圖；圖22是現有技術壓電振動器組裝過程的生產流程圖；圖23是現有技術樹脂成形過程的生產流程圖；圖24是表示現有技術托盤和現有技術氣密端子配置的配置圖；圖25A是布置在現有技術導線架上的多個壓電振動器的平面圖；以及圖25B是圖25A的壓電振動器的局部放大視圖。
具體實施例方式
參考附圖將詳細描述本發明的實施例。
第一實施例作為按照本發明的第一實施例，下面將描述壓電振動器制造實例，其中氣密端子布置并且保持在相同的導線架上以便在氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中一致性地進行流程。注意到在此實施例中，下面將描述具有由石英制成的振動件的石英振動器的實例。但是可以例如使用其它壓電材料，例如鉭酸鋰(LiTaO3)和鈮酸鋰(LiNbO3)。
氣密端子制造過程下面參考圖1將描述氣密端子制造過程的概況。圖1是表示按照第一實施例的氣密端子制造過程一個實例概況的流程圖。
如圖1所述，氣密端子如下所述進行制造。進行輪廓成形步驟(步驟10)，其中選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，并且在導線架上成形氣密端子導線的輪廓。在此輪廓成形步驟中，同時成形導線輪廓以及連接件和隔離連接件，這些連接件對于隨后的氣密端子構造步驟來說是需要的。
接著進行填充物成形和燒結步驟(步驟20)，其中在預定位置上將具有因此成形的輪廓的導線填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到構成具有用由此成形的輪廓的隔離連接件的非底座側的突出部分上，并且燒結成形的兩個填充物。
接著進行柄部安裝步驟(步驟30)，其中將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，燒結的填充物位于導線上。
接著進行焙燒步驟(步驟40)，其中加熱、熔化和冷卻柄部中的填充物以及隔離連接件處的填充物。
接著進行局部切斷步驟(步驟50)，其中將導線的一端與連接區域和內部導線的底座分開，并且通過切斷，切斷連接到導線底座上的部分。
最好進行金屬薄膜成形步驟(步驟60)，其中在導線的表面和柄部表面上成形金屬薄膜。
下面參考圖2-4詳細描述總結為所述六個步驟的氣密端子制造過程。圖2是表示圖1所示氣密端子制造過程的各步驟的分步驟的流程圖。圖3A是氣密端子制造過程中輪廓成形步驟的說明圖。圖3B是氣密端子制造過程中填充物成形和燒結步驟、柄部安裝步驟以及局部切斷步驟的說明圖。圖4是氣密端子制造過程中焙燒步驟的說明圖。
對于制成氣密端子的傳導材料來說，可以使用例如低碳鋼(Fe)、鐵和鎳合金(Fe-Ni)、鐵、鎳和鈷的合金(Fe-Ni-Co)的材料。板狀材料可以是板狀和帶狀或環形的。
1)輪廓成形步驟(步驟10)在輪廓成形步驟(步驟10)中，首先制備板狀材料，該材料是所述的一種材料，并且具有適當寬度(步驟11)。板狀材料指的是由參考標號11表示的導線架。
如圖3A所示，各自具有預定區域的多個輪廓成形部分11a以及靠近輪廓成形部分11a的底座11b在導線架11上以預定間隔布置在預定位置上。相鄰的每個輪廓成形部分11a通過區段桿11c相互分開，以便確保導線架11的強度。其一端經由連接部分12連接到底座11b上的導線架2以及與導線2相對應的側底座11b側面上的隔離連接件13的輪廓形成在每個輪廓成形部分11a的范圍內。這些輪廓通過例如壓制加工、激光加工的機械操作或例如蝕刻的化學操作成形。
因此，導線的輪廓形成有經由連接部分12連接到底座11b上的一端。在所述步驟之后，在導線架11的輪廓成形部分11a處，連接到底座11b上的導線2的多個輪廓和與這些導線2相對應的隔離連接件13的輪廓以預定間隔布置。
導線2和隔離連接件13將接著參考圖3A更加詳細地描述。在形成在導線的輪廓成形部分11a處的兩個薄桿中，一個桿的端部進行連接，并且桿的相對開口端部開口。從導線2的側面分支的每個右側和左側分支部分連接到底座11b上。在此實施例中，連接到底座11b上的一個分支部分指的是連接部分，由參考標號12表示。連接部分12從外部導線4分支的部分指的是分支點，由參考標號12a表示。
在本發明中，外部導線的開口端部4a和從面向外部導線的開口端部4a的底座側伸出到輪廓成形部分的突出部分12a一起指的是隔離連接件，由參考標號13表示。如下個步驟中描述那樣，隔離連接件13填充有填充物6，使得外部導線的開口端部4a通過隔離填充物連接到突出部分13a上，并且該填充物成形。填充物6在步驟40中焙燒，并且外部導線的開口端部4a與突出部分13a完全機械連接，而沒有問題。
出于保持目的，連接部分2用來保持連接到底座11b上的導線2，直到隔離連接件13可將外部導線的開口端部4a連接到突出部分13a上為止，突出部分連接到底座11b上，而沒有問題。因此，連接部分12在氣密端子制造過程中的步驟50中切斷，并且導線2只通過隔離連接件13機械保持在底座11b上。
隔離連接件13還用來保持連接到底座11b上的導線2，直到壓電振動器組裝過程的最后步驟為止，將在下面描述。如上所述，在壓電振動器部件制造期間的以上步驟中，導線與底座11b電隔離并且機械連接到底座11b上。這使其可以通過良好的效率進行壓電振動器組裝過程的隨后步驟。例如，氣密端子1對應于由傳導材料制成的導線架11的多個底座11b的每個底座。各自具有粘接在氣密端子1上的振動件8的多個壓電振動器可通過共振頻率調節步驟和篩選步驟，而在相鄰的壓電振動器之間沒有任何相互的電干擾。
在此實施例中，每個導線2形成為具有相互連接的內導線3的端部。以所述方法成形每個導線2使得兩個內導線分擔施加在導線2上的負載。因此這使得每個導線難以彎曲，因此使其可以防止配對的兩個內部導線之間的平行度下降。內部導線的寬度可局部改變。
另外，導線設置凸出過濾器定位部分(未示出)以便定位過濾器5，在預定位置上填充導線2，并且在隨后步驟中成形。注意到過濾器定位部分可以成形，以便具有可以機械定位過濾器的臺階。
在圖3A中，外部導線4表示成具有與內部導線3相同的寬度。外部導線4的寬度可以大于內部導線3的寬度，這為導線2提供剛性，因此使其可以防止外部導線4在氣密端子制造過程中彎曲。
在此實施例中，區段桿11c設置用來使得氣密端子相互分開。但是，區段桿11c可以設置成在導線架11的強度范圍內將一組一個以上的氣密端子相互分開。在具有較大區域的每個輪廓成形部分11a內形成多個氣密端子提供每單位區域所形成的大量氣密端子，因此造成生產效率較大。
2)填充物成形和燒結步驟(步驟20)在填充物成形和燒結步驟(步驟20)中，首先通過輪廓成形步驟在導線架11上進行氧化處理，以便增加導線架和填充物之間的粘合性，其中導線將填充有填充物(步驟21)。每個導線2和隔離連接件13接著填充填充物。對于填充物的材料來說，可以選擇鈉鈣玻璃、鈉鋇玻璃、硼硅玻璃和類似玻璃。例如，制備鈉鈣玻璃粉末(步驟70)。導線2在預定位置上填充粉末，并且通過處理的模具使得隔離連接件13填充填充物。
下面將接著參考圖3B描述填充物成形和燒結步驟。在圖3B所示的兩個氣密端子中，頂部上的氣密端子表示成與此步驟和下一步驟(步驟30)的情況相對應。在圖3B中，導線2內的填充物通過參考標號5表示，而隔離連接件13內的填充物通過參考標號6表示。這些填充物通過加壓粉末來成形(步驟22)。這兩個填充物5后接著在大約750℃的溫度下的環境中燒結。在此步驟中，填充物5和6不與每個導線2以及開口端4a和突出部分13a緊密接觸，它們一起構成隔離連接件13，在其中留下微小的間隙(步驟23)。
3)柄部安裝步驟(步驟30)下個步驟是柄部安裝步驟(步驟30)。柄部7首先通過內部連接區域3a插入導線，如圖3B所示。柄部7在不同于其中在導線架11上成形輪廓的所述步驟的步驟中形成。柄部7接著安裝在燒結的填充物5的外側。下面描述其中形成柄部的不同步驟(步驟80)。制備用于柄部的板狀材料(步驟81)。對于柄部的材料來說，可以使用例如低碳鋼、鐵和鎳合金、鐵、鎳和鈷合金，如上所述。外環接著由所述的任何材料制成的大量板狀材料通過在例如壓力機上同時沖壓來形成(步驟82)。接著進行例如酸清洗的預處理和還原處理(步驟83)。接著進行氧化處理，以便增加柄部和填充物6之間的粘接性(步驟84)。因此制成的每個柄部7接著在導線2內連接在填充物5的外側。
注意到在圖3B中，表示了頂部上的氣密端子和底部上的氣密端子，似乎是這兩個氣密端子在不同步驟中制成。這是出于便于描述的目的。在實際的制造過程中，在板狀導線架的情況下，在單個導線中的多個氣密端子經過相同步驟的每個步驟，使得這些氣密端子處于相同的狀態。在類似于帶或長環形的導線架的情況下，在用于制造過程的單個步驟中使用的單元中，如果這些氣密端子連接到導線架上，局部鄰近的氣密端子看上去不同于圖3B所示。
4)焙燒步驟(步驟40)下個步驟是焙燒步驟(步驟40)。按照預定溫度配置進行焙燒，通過該配置填充物熔化，并且使得填充物冷卻到室溫。這造成填充物5和導線2以及填充物5和柄部7完全相互密封，由此提供可以經受氣密的構造。另外，填充物6完全密封在外部導線的開口端部4a以及突出部分13a上，使得導線2經由隔離填充物6剛性連接在底座11b上。
圖4是表示焙燒步驟的配置圖。在圖4中，參考標號18表示電爐，并且參考標號17表示加熱器。電爐18通過加熱器17設置到大約1000℃的溫度。經過柄部安裝步驟的多個導線架11通過載體單元19在箭頭20的方向上在大約1000℃的熱電爐18內以預定緩慢速度運動長距離。同時每個導線運動通過熱電爐18，填充物5和6加熱并且熔化。導線架11運動通過并離開電爐18，并且可以逐漸冷卻到室溫。在逐漸冷卻過程中，填充物5和6固化并且與相應的金屬非常緊密地接觸。
5)局部切斷步驟(步驟50)下個步驟是局部切斷步驟(步驟50)，其中切斷其上具有成形輪廓的區域的一部分。對于在底部處的氣密端子來說，該步驟將在下面參考圖3B描述。存在兩個切斷點。一個切斷點位于內部導線的連接區域3a。在此切斷步驟中，應對兩個內部導線3相互分開。圖3B所示的氣密端子1表示成具有相互分開的內部導線3的連接區域3a的一部分。
另一切斷點在連接部分12處，該部分從導線2分支，并且連接到底座上。如上所述，連接部分12已經完成其角色。沿著通過切斷點的交替長短虛線切割連接部分12。這將氣密端子的導線的該對內部導線之一完全相互電分開。因此，導線只通過隔離連接件13機械固定在導線架11的底座11b上。由此，相鄰氣密端子1之一與另一氣密端子1電隔離。
注意到在此實施例中局部切斷步驟在用于在內部導線2的連接區域3a的切斷表面上形成金屬薄膜的金屬薄膜成形步驟之前進行。在不需要成形金屬薄膜的任何應用中，局部切斷部分可在金屬薄膜成形步驟(步驟60)之后進行。注意到內部導線3的連接區域3a可不僅出于切斷目的而切斷，而且同時出于為內部導線3提供多種形狀的目的而切斷。
6)金屬薄膜成形步驟(步驟60)。
金屬薄膜接著成形在導線2和柄部7的外周表面上(步驟60)。下面將描述其中通過濕式鍍覆方法施加相同材料的金屬薄膜的情況的實例。導線架首先完全進行清洗(步驟61)。導線架11布置并浸入鍍覆溶液中，以便在適當選擇的電子鍍覆條件下，將基本鍍層施加在每個導線2和柄部7上。導線2和柄部7鍍覆對于鍍覆材料進行選擇的Cu、Ni和類似物之一，其厚度是大約2-5μm。為了完成鍍覆，接著從例如錫(Sn)、銀(Ag)、錫和鉛的合金(Sn-Pb)、錫和鉍的合金(Sn-Bi)、錫和銻的合金(Sn-Sb)、錫和銅的合金(Sn-Cu)的單個材料以及Ag鍍覆之后進行錫和銅合金的鍍覆中選擇鍍覆材料和方法。導線2和柄部7接著鍍覆所述材料中所選的任何一種，其厚度為大約8-15μm(步驟62)。
在金屬薄膜成形步驟中，氣密端子以恒定間隔布置在導線架11的底座11b處。因此可以完全控制出現通過鍍覆連接一起的成對的兩個導線以及由于減小氣密端子的尺寸造成的導線2相互接觸的情況。因此使其可以解決現有技術筒式鍍覆步驟中出現的產量大大減小的問題。即使氣密端子1的尺寸進一步減小，按照本發明的方法使其可以控制鍍覆步驟中產量減小。在鍍覆結束之后，鍍覆薄膜通過退火來穩定(步驟63)。
在所述金屬薄膜成形步驟中，采用通過濕式鍍覆成形金屬薄膜的方法作為金屬薄膜成形方法的實例。但是成形金屬薄膜的方法不只局限于濕式鍍覆。例如，還可以采用例如氣相生長、蒸汽沉積、濺射以及離子鍍覆的多種薄膜成形方法。
所述的步驟包括在氣密端子制造過程中。通過這些步驟，氣密端子1以恒定間隔布置在導線架11上。每個氣密端子11經由隔離連接件13連接到底座11b上，使其與周圍區域電隔離。因此，氣密端子處于可以置于壓電振動器組裝過程的狀態，該過程是隨后的步驟，并且因此氣密端子可在相同的導線架11上連續通過氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程。另外，由于組成材料只有主要包括金屬和玻璃的填充物，即使在組裝過程中在超過200℃的溫度下通過烘烤、密封和類似方式進行加熱的情況下，也可滿意地抑止釋放氣體。因此，可以抑止由于在氣密空間中釋放氣體所造成的質量問題，該問題隨著壓電振動器的小型化而變得更加顯著，也就是說可以抑止壓電振動器的共振頻率和共振阻抗值的波動。
下面參考圖5描述用于制造構成壓電振動器的氣密端子之外的另一重要構件的振動件的方法。
振動件制造過程

圖5是表示按照本發明振動件制造過程的生產流程圖。在振動件制造過程中，如圖5所示，首先在角度測量期間使用X射線衍射方法在工作臺上設置Lambard石英原料石，以便獲得預定切割角度(步驟100)。使用例如線鋸的切割設備將石英原料石接著切成塊，每塊具有大約200μm的厚度。每個石英原料石片用作石英晶片。這種石英晶片此后簡單稱為“晶片”。通常，自由研磨顆粒通常用來切割原料石。例如具有大約160μm直徑的高碳鋼線材用作切割線材(步驟110)。
晶片接著研磨到恒定厚度。對于研磨來說，通常使用具有大顆粒尺寸的自由研磨顆粒進行粗研磨。接著使用具有小顆粒尺寸的自由研磨顆粒進行精研磨。接著在每個晶片表面上進行蝕刻，并且從晶片表面上去除任何所得到的組織替換層，該晶片接著進行拋光，以便獲得具有預定厚度和預定平整度的最終鏡狀表面(步驟120)。由于振動件較小，晶片的厚度較小。如果振動件的整個長度是1600μm，晶片的厚度將大約是50μm。
每個晶片在純凈水或超純凈水中清洗(步驟130)。晶片接著干燥，并且具有預定厚度的用于掩模的金屬薄膜通過濺射或類似方法沉積在晶片表面上，以便形成振動件的輪廓。將使用的金屬材料是鉻和金，這些材料通常用于這種目的。薄金屬薄膜是沉積薄膜，其中作為基本涂層的鉻的表面涂覆金薄膜。鉻具有與石英的良好粘接性。用于掩模的金屬薄膜沉積在晶片的兩個表面上(步驟140)。
多個振動件輪廓接著通過光刻技術成形在晶片上。振動件成形為具有兩個振動臂的音叉。特別是，抗蝕劑施加在石英振動器上，并且石英振動器的兩個表面經由輪廓掩模暴露。石英振動器接著顯影，以便獲得石英振動器輪廓的抗蝕劑圖案。使用蝕刻溶液，將任何不需要的金屬物接著從石英振動器上去除，以便獲得金屬掩模圖案。抗蝕劑從石英振動器上去除，并且石英在氫氟酸溶液中蝕刻，以便在晶片上形成多個振動件輪廓。由于振動器的尺寸較小，振動臂的寬度和振動臂的厚度之間的比值(振動臂的寬度/振動臂的厚度)通常較小。如果比例小于1.0，與音叉式石英振動器的振動臂相關的電場效率降低，并且振動器共振阻抗值增加。共振阻抗值將增加到例如100kΩ以上，因此使得音叉式石英振動器不能作為振動器。為了防止共振阻抗增加，凹槽形成在振動臂內，以便增加電場效率，并且減小共振阻抗值(步驟150)。
在輪廓和凹槽如上所述成形之后，用作掩模的所有金屬薄膜從晶片上剝離(步驟160)。用作電極薄膜的具有預定厚度的金屬薄膜接著經由濺射和類似方式再次沉積在晶片的兩個表面上(步驟170)。如果所述的凹槽已經形成，金屬薄膜還可形成在凹槽的內表面上。在薄膜沉積之后，使用如同步驟150(如上所述的輪廓成形步驟)的光刻技術形成電極薄膜圖案(步驟180)。
用作配重的具有幾微米厚度的薄膜接著形成在其中形成有電極薄膜圖案的晶片振動臂的尖端區域內(步驟190)。作為用作配重的薄膜材料，鉻和銀或金通常用于沉積層。
下個步驟是頻率調節步驟(粗調節)。配重區段在大氣中通過激光輻射。同時測量振蕩頻率，在前面步驟中沉積的配置薄膜的一部分蒸發，以便將頻率調節到預定范圍(步驟200)。
在頻率調節之后，進行超聲波清理，以便去除由頻率調節產生的薄膜殘留物和來自晶片的外界物質(步驟210)。該步驟提供完整的晶片，該晶片各自具有多個振動件。從晶片上切斷的每個單獨的振動件在圖5中用臨時符號P1表示，并且在下個過程(壓電振動器組裝過程)中讀取。
壓電振動器組裝過程將在下面參考圖6和7描述。在壓電振動器組裝過程中，連接到導線架11上并通過所述的氣密端子制造過程制成的氣密端子1和振動件制造過程中制成的振動件P1組裝成壓電振動器。
壓電振動器組裝過程圖6是表示按照本發明的壓電振動器組裝過程的流程圖。圖7A是表示壓電振動器組裝過程中振動件安裝步驟之后的壓電振動器的視圖。圖7B和7C表示壓電振動器組裝過程中封裝步驟之后的壓電振動器。
在壓電振動器組裝過程的第一步驟中，如圖6所示，構件進行烘烤(步驟300)。具有經由隔離連接件布置其上的氣密端子的導線架11和殼體10在真空中并在高溫下充分加熱以便從構件中去除或釋放所吸收的許多氣體成分。注意到用于第一步驟的殼體通過如上所述將每個鎳銀片材壓制并鍍覆表面涂層來制成，或者通過壓制事先鍍覆的鎳銀片材來制成。
壓電振動器組裝過程中的第一步驟消除了將氣密端子布置在托盤上的需要(圖22中的步驟710)，該步驟是現有技術壓電振動器組裝過程中所需的步驟。另外，第一步驟使得勞動力大大減小，并且使得準備時間減小。構件烘烤步驟還在質量上提供很大的效果。即，如果這些氣密端子通過機械制造自動安裝，振動裝置需要將設置有導線的氣密端子布置在某個方向上。本發明消除了例如由于振動造成的氣密端子的導線相互接觸而形成的例如彎曲的失誤。傳統上存在的問題是內部導線和柄部上的細小金屬顆粒以及粘接在振動件上的那些顆粒可容易造成振蕩頻率改變和振蕩失效；這些顆粒是由于鍍覆薄膜剝落或類似情況造成的。但是在此實施例中，由于沒有氣密端子配置步驟，可以很大程度地控制由于細小金屬顆粒造成振動器質量退化。
下個步驟是振動件安裝步驟。在此步驟中，在圖5所示的流程圖結束處表示的振動件P1粘接到已經烘烤的導線架11的內部導線3上(步驟310)。注意到振動件通過參考標號8來表示。
振動件8的安裝墊9與內部導線3機械對準，并且內部導線3上的鍍層通過熱源熔化以便將內部導線3連接到安裝墊9上。這使得各自具有粘接其上的振動件8的多個氣密端子布置在導線架11上，如圖7A所示。加熱的惰性氣體、激光、光源或類似物用作熱源。作為選擇，內部導線3的基本金屬本身可以熔化以便進行粘接。例如，可以采用例如電弧放電加熱的技術。由于振動件8本身的尺寸減小，安裝墊9的區域本身顯著更小。因此，內部導線3的端部形狀同樣是重要的。如上所述，內部導線3還可在氣密端子制造過程中的步驟50內同時成形。因此，內部導線3的端部可制成多種形狀。注意到圖7A所示的振動件8是音叉式石英振動器的大致形式。但是，振動件8的形狀可以如同AT式振動器的矩形。
在安裝在內部導線3之后，振動件8在預定溫度下在真空中烘烤，以便去除由于安裝造成的振動件8內的任何變形(步驟320)。
接著進行頻率調節(細微調節)(步驟330)。在頻率調節步驟中，整個導線11放置在真空腔室內。在測量頻率的同時，振動件8的振動臂上的金屬薄膜接著通過激光蒸發，以便將頻率調節到預定范圍。為了檢測頻率測量，探頭的端部擠壓貼靠外部導線4上以便電連接。檢查可在氣密端子1上的所有氣密端子1的外部導線4上進行，以便增加頻率調節的循環時間。即使在這種情況下，單個氣密端子1通過隔離連接件13機械連接到導線架的底座11b上，而在相鄰氣密端子1之間沒有電干擾。注意到除了激光之外還可通過用氬離子輻射振動臂來蝕刻金屬薄膜，從而從振動件8的振動臂上去除金屬薄膜。
如上所述，在步驟300中，殼體10事先在真空中完全脫氣以便在其表面上沒有潮濕的環境中存放殼體。殼體10接著布置在具有很少釋放氣體的專用夾具上。導線架11上的氣密端子在下個過程中預處理之后進行密封。導線架11的框架通過夾具下壓，并且導線架11上的每個氣密端子1的外部導線4彎曲成例如大約90°(步驟340)。這造成所有的氣密端子1相對于導線架11布置在大約90°上，如圖7B所示。這使其可以防止氣密端子1的上部框架與密封干涉。注意到在進行彎曲加工時，夾具需要用來防止任何外力施加在隔離連接件13上的過濾器6上。
在氣密端子1的外部導線4上進行所述彎曲加工之后，多個導線架11布置在密封模具上，并且所布置的殼體10設置在相對位置上。模具定位氣密端子1的柄部7的底部，因此可以準確定位。各自具有一組由此制備的導線架11和殼體10的多個模具送入真空腔室，以便充分加熱導線架11，并且從構件上去除所吸收的潮濕和氣體。在真空到達所需壓力時，氣密端子1的柄部7的外周邊通過模具壓配合到殼體10的內表面上。振動件8通過進行以上操作而在真空中氣密密封(步驟350)。通過加熱從構件上去除所吸收的潮濕和氣體對于小型壓電振動器的制造來說非常重要。去除潮濕和氣體的重要性在下面簡單描述。
壓電振動器尺寸的減小首先減小振動件8的尺寸以及氣密端子和殼體10的尺寸，它們每個用作插件。因此這減小壓電振動器的發熱能力，因此使得壓電振動器容易受到周圍熱變化的影響。例如，在音叉式石英振動器中，共振頻率和共振阻抗值對于圍繞振動件的真空氣密空間內的壓力極度敏感。在密封之后在熱影響下，氣密空間內的構件釋放氣體。氣密空間中所造成的壓力升高造成共振頻率和共振阻抗值波動。因此，在進行密封以便長時間保持壓電振動器準確之前需要進行充分的脫氣操作。按照本發明的導線架11只包括金屬和填充物(主要包括玻璃)，其具有足夠低的釋放氣體特性。按照本發明的導線架11對于小型壓電振動器的制造來說極為優選。
在封裝之后，氣密端子1的90°折彎的外部導線4返回到原始狀態，使得氣密端子1在水平位置(步驟360)上。在水平狀態的氣密端子1表示在圖7C中。整個導線架11保持在恒定溫度下以便頻率穩定。
接著測量壓電振動器的共振頻率和共振阻抗值以及其它電性能(步驟370)。注意到單個氣密端子連接到導線架11上并且與其電隔離，如上所述。因此，由于在振蕩壓電振動器中沒有電干擾，通過篩選探頭進行測量以便在外部導線4的預定位置上同時接觸多個壓電振動器。
最后，通過切斷將單個振動器與導線架11分開。在外部導線4的一端進行切斷，如圖7C所示。用于外部導線的切斷線通過有參考標號4b表示交替的長短虛線表示。
所述的切斷操作使得壓電振動器組裝過程結束。完成的壓電振動器接著使用袋子、膠帶和類似物包裝成預定運輸和輸送形式。
圖8是表示按照本發明通過所述制造方法制成的圓柱形插件壓電振動器構造的透視圖。在圖8所示的壓電振動器中，振動件8通過內部導線3上的金屬薄膜16(未示出)和傳導粘合劑粘接到氣密端子1的內部導線3上。通過緊配合，殼體10壓配合并粘接在氣密端子1的柄部7外周表面上，并且形成在柄部外周表面上的金屬薄膜16的彈性提供氣密密封。形成在振動件8上的表面上的激勵電極(未示出)連接到內部導線3和外部導線4上。激勵電極用作經由所需電連接件連接到外部導線4上的振動器。金屬薄膜(未示出)形成在外部導線4的表面上，以便提供為安裝襯底或類似物上的焊料提供足夠的潤濕特性。
壓電振動器在壓電振動器組裝過程中組裝，這防止氣密端子之間的接觸。因此，可以充分控制由于鍍覆薄膜剝離而粘接到振動件8上的細小金屬顆粒造成振蕩不穩定性以及例如振蕩停止的失效，因此有助于很大程度地改善質量。在殼體10的密封步驟中，脫氣操作也可在高溫下充分的長時間內進行。對于氣密的空間來說，可以長時間保持真空。因此，由于控制了共振頻率和共振阻抗值，壓電振動器可保持高度準確。
第二實施例參考附圖詳細描述本發明的第二實施例。第二實施例是一種制造方法，其中氣密端子布置并保持在相同的導線架上，并造成在氣密端子制造過程、壓電振動器組裝過程和樹脂成形過程中一致性地進行流程。具有內置圓柱形插件壓電振動器的樹脂模制插件作為該制造方法的實例。第二實施例的壓電振動件制造過程與所述第一實施例相同，并且不在下面描述。第二實施例中的壓電振動器組裝過程基本上與第一實施例所述的壓電振動器組裝過程相同，并且下面只描述不同點。第二實施例的壓電振動器組裝過程不同于第一實施例之處在于都用于樹脂成形過程的外部電極端子和虛擬端子在氣密端子制造過程的輪廓成形步驟中事先布置在輪廓成形部分上。
氣密端子制造過程圖9是表示按照本發明第二實施例的氣密端子制造過程的示意流程圖。按照流程圖，氣密端子如下所述制造。進行輪廓成形步驟，其中選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于氣密端子的輪廓成形部分和靠近輪廓成形部分的底座放置在導線架上，將多個導線的輪廓以預定間隔布置在輪廓成形部分上，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸且連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線的多個輪廓的每個輪廓，并且在輪廓成形部分上成形連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子(步驟10)。
接著進行填充物成形和燒結步驟，其中在具有由此成形的輪廓的導線中在預定位置上填充填充物，并且成形填充物，為導線填充填充物，并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有由此成形的輪廓的隔離連接件的非底座側上，并且燒結兩個成形的填充物(步驟20)。
接著進行柄部安裝步驟，其中將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，燒結的填充物位于導線上(步驟30)。
接著進行焙燒步驟(步驟40)，其中加熱、熔化和冷卻柄部中的填充物以及位于隔離連接件處的填充物。
接著進行局部切斷步驟(步驟50)，其中將導線的一端從連接區域和內部導線的底座分開，通過切斷，將連接到導線的底座上的部分切斷。
最后，進行金屬成形步驟(步驟60)，其中將金屬薄膜形成在所述導線、柄部、外部電極和虛擬端子的表面上。
下面參考圖10-12詳細描述總結為所述六個步驟的氣密端子制造過程。圖10是表示圖9所示氣密端子制造過程的各步驟的分步驟的流程圖。圖11A是氣密端子制造過程中輪廓成形步驟的說明圖。圖11B是氣密端子制造過程中填充物成形和燒結步驟、柄部安裝步驟以及局部切斷步驟的說明圖。圖12A是表示在壓電振動器組裝過程中振動件安裝步驟之后的壓電振動器的狀態的視圖。圖12B是表示在壓電振動器組裝過程中封裝步驟之后的壓電振動器的狀態的視圖。
對于制成氣密端子的傳導材料來說，可以使用例如低碳鋼(Fe)、鐵和鎳合金(Fe-Ni)、鐵、鎳和鈷的合金(Fe-Ni-Co)的材料。板狀材料可以是板狀和帶狀或環形的。
1)輪廓成形步驟(步驟10)在輪廓成形步驟(步驟10)中，首先制備板狀材料(此后指的是如第一實施例的導線架，并且由參考標號11表示)，該材料是所述的一種材料，并且具有適當寬度(步驟11)。多個輪廓成形部分11a和靠近輪廓成形部分11a的底座11b在導線架11上布置在預定位置上。四種類型的輪廓形成在輪廓成形部分11a上導線2、隔離連接件13、外部電極端子14以及虛擬端子15。以上四種類型的輪廓形成一組。每組四種類型的輪廓用作成形壓電振動器或進行流程的部件的重要區域。
四種輪廓的每種輪廓通過例如壓力機操作、激光處理的機械操作或例如蝕刻的化學操作形成在輪廓成形部分11a上。此步驟將參考圖11A在下面描述。
在第二實施例中，導線2的輪廓成形為經由外部電極端子14連接到導線架11的底座11b上。換言之，導線2在從其側部分支的區域內連接到底座11b上并且延伸到底座11b。延伸區域成形為用作外部電極端子14。更特別是，如圖11A所示，提供分支區域，該區域從導線2的右側和左側分支。該區域布置成平行于導線2。該區域成形為延伸到底座11b側并連接其上，使得該區域用作外部電極端子14。該區域指的是第一實施例中所述的導線2內的連接部分。連接部分在隔離連接件13上的填充物6進行焙燒并且滿足機械強度時結束其角色。連接部分接著從該部分在局部切斷部分中(步驟50)分支的地方與該側分開。但是在第二實施例的導線2中，該區域扮演相同的角色，直到隔離連接件13上的填充物6焙燒并且滿足機械強度為止。在此時之后，該區域以不同于連接部分的方式處理。在第二實施例的導線2中，該區域一端通過切斷與底座11b分開，使得在局部切斷步驟(步驟50)中該區域具有預定長度。在樹脂成形過程中，該區域彎曲，使得該區域成形為曲柄。該區域設置成具有預定尺寸和預定形狀，并且布置成用作外部電極端子14。
用于成形隔離連接件13的技術與第一實施例相同，但是將在下面再次描述。即，在形成在導線的輪廓成形部分11a處的兩個薄桿中，一個桿的端部連接到內部導線2的連接區域3a上，并且限定外部導線側桿的端部用作開口端。從底座11b側伸出到輪廓成形部分11a的區域形成在與限定外部導線側桿的開口端4a相反的位置上。該區域指的是伸出部分13a。如同第一實施例，在按照本發明第二實施例中，導線2的外部導線的開口端4a和伸出部分13a一起指的是隔離連接件，由參考標號13表示。
隔離連接件13在下個步驟中填充填充物6，以便確保電隔離性能，并且將外部導線的開口端部4a和伸出部分13a相互連接。填充物6在步驟40焙燒，并且伸出部分13a和外部導線的開口端部4a以機械上的安全方式相互連接。
虛擬端子15形成在輪廓成形部分11a上，其一端連接到底座11b上，使得虛擬端子如上所述面向外部電極端子14。虛擬端子15和底座11b使用兩個窄小構件相互連接，這是考慮到兩個構件在樹脂成形過程中的最后步驟(步驟450)中切斷。這提供抵抗扭轉的剛性以及良好的切斷性能。
四種類型的輪廓以預定間隔形成在輪廓成形部分11a上。
在局部切斷步驟(步驟50)之后，導線2只通過隔離連接件13機械保持到底部11b上。以此方式，導線2與底座11b電隔離，并且與其機械連接。在壓電振動器組裝過程中，進行共振頻率測量步驟和篩選步驟，而相鄰壓電振動器之間沒有電干擾。
在第二實施例中，導線成形為使得每對內部導線3的端部相互連接。以此方式成形每個導線2，使得兩個導線在氣密端子制造過程中共同承擔施加在導線2上的負載，因此使得導線難以彎曲。因此可以防止每對兩個導線平行度減小。還可以部分改變內部導線3的寬度。
另外，導線2設置凸出過濾器定位部分以便定位過濾器5，過濾器將在預定位置上送入導線，并且在隨后步驟(未示出)中成形。
在圖11A中，外部導線4還表示成具有與內部導線3相同的寬度。外部導線4的寬度還可以大于內部導線3的寬度，這為導線2提供剛性，因此在氣密端子制造過程中使其可以防止外部導線4彎曲。
注意到圖11A，在底座11b內由參考標號11c表示的區段桿表示成將氣密端子相互分開。但是區段桿11c可設置成將一組一個以上的氣密端子相互分開，使得在導線架11內相對于扭轉具有剛性。
2)填充物成形和燒結步驟(步驟20)下個步驟是填充物成形和燒結步驟(步驟20)。該步驟的細節與第一實施例相同，并且不在下面描述。
3)柄部安裝步驟(步驟30)下個步驟是柄部安裝步驟(步驟30)。圖11B所示的頂部上的氣密端子表示成經過該步驟。該步驟的細節與第一實施例相同，并且不在下面描述。
4)焙燒步驟(步驟40)下個步驟是焙燒步驟(步驟40)。該步驟的細節與第一實施例相同，并且不在下面描述。
5)局部切斷步驟(步驟50)下個步驟是局部切斷步驟(步驟50)。下面將參考圖11B針對底部上的氣密端子描述該步驟。具有兩個切斷點。一個切斷點在內部導線的連接區域3a處。在此切斷步驟中，一對兩個內部導線3相互分開。圖11B所示的氣密端子1表示成具有相互分開的內部導線3的連接區域3a的一部分。另一切斷點在外部電極14與導線2分支并且連接到底座11b的一端處。外部電極端子14被切斷，以便具有預定長度，這是由于外部電極端子14彎曲，使得外部電極端子14在樹脂成形過程中成形為曲柄，并且出現在樹脂插件的底部處。由參考標號14b表示的通過外部電極端子的切斷線表示沿其實現切斷的線。這將氣密端子1的兩個導線2相互完全電分開，并且該導線只通過隔離連接件13機械連接到導線架11的底座11b上。
注意到在此實施例中，局部切斷步驟在用于在內部導線3的外部電極端子14的切斷表面上成形金屬薄膜的金屬薄膜成形步驟之前進行。在不需要成形金屬薄膜的任何應用中，局部切斷步驟可在金屬薄膜成形之后進行。注意到內部導線3的外部電極端子14可不僅出于切斷目的而切斷，而且是同時為內部導線3提供多種形狀的目的而切斷。
6)金屬薄膜成形步驟(步驟60)金屬薄膜接著成形在導線2、柄部7、外部電極端子14以及虛擬端子15(步驟60)上。下面將描述其中通過濕式鍍覆方法施加相同材料的金屬薄膜的情況的實例。導線架首先完全進行清洗(步驟61)。導線架11布置并浸入鍍覆溶液中，以便在適當選擇的電子鍍覆條件下，將基本鍍層施加在每個導線2、柄部7、外部電極端子14和虛擬端子15上。每個導線2、柄部7、外部電極端子14和虛擬端子15鍍覆對于鍍覆材料進行選擇的Cu、Ni和類似物之一，其厚度是大約2-5μm。為了完成鍍覆，接著從例如錫(Sn)、銀(Ag)、錫和鉛的合金(Sn-Pb)、錫和鉍的合金(Sn-Bi)、錫和銻的合金(Sn-Sb)、錫和銅的合金(Sn-Cu)的單個材料以及Ag鍍覆之后進行錫和銅合金的鍍覆中選擇鍍覆材料和方法。導線2和柄部7接著鍍覆所述材料中所選的任何一種，其厚度為大約8-15μm(步驟62)。
在金屬薄膜成形步驟中，氣密端子以恒定間隔布置在導線架11的底座11b處。因此可以完全控制出現通過鍍覆連接一起的成對的兩個導線以及由于減小氣密端子的尺寸造成的導線2相互接觸的情況。因此使其可以解決現有技術筒式鍍覆步驟中出現的產量大大減小的問題。即使氣密端子1的尺寸進一步減小，按照本發明的方法使其可以控制鍍覆步驟中產量減小。在鍍覆結束之后，鍍覆薄膜通過退火來穩定(步驟63)。
在所述金屬薄膜成形步驟中，采用通過濕式鍍覆成形金屬薄膜的方法作為金屬薄膜成形方法的實例。但是成形金屬薄膜的方法不只局限于濕式鍍覆。例如，還可以采用例如氣相生長、蒸汽沉積、濺射以及離子鍍覆的多種薄膜成形方法。
通過這些步驟，氣密端子1以恒定間隔布置在導線架11上，并且形成于每個氣密端子1相對應的外部電極端子14和虛擬端子15。每個氣密端子經由隔離連接件13連接到底座11b上，使其與周圍區域電隔離。因此，當氣密端子處于所述狀態時，氣密端子準備進入下個過程，極壓電振動器組裝過程。這些氣密端子可被造成在氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中在氣密端子位于相同的導線架11的情況下進行流程。另外，氣密端子只包括金屬和玻璃。即使這些氣密端子在壓電振動器組裝過程的烘烤步驟、密封步驟和類似步驟中在超過200℃的溫度下加熱，離開氣密端子的氣體不會產生任何問題。因此，可以控制由于在氣密空間中釋放氣體所造成的質量問題，即控制壓電振動器的共振頻率和共振阻抗值的波動。
下面描述其中通過所述制造方法制造的氣密端子和第一實施例的壓電振動器一起使用的壓電振動器組裝過程。
壓電振動器組裝過程第二實施例的壓電振動器組裝過程不同于第一實施例的壓電振動器組裝過程之處在于連接到導線架11上的壓電振動器輸送到下個樹脂成形過程，而不進行壓電振動器組裝過程的最后步驟370。除了該不同之處，壓電振動器組裝過程的細節與第一實施例相同，并且不在下面描述。兩個實施例之間的差別將簡單參考圖12A和12B來描述。
如上所述，圖12是表示壓電振動器組裝過程中振動件安裝步驟之后的壓電振動器狀態的視圖。圖12B是表示在壓電振動器組裝過程中封裝步驟之后的壓電振動器狀態的視圖。圖12A與表示第一實施例的圖7A相對應，而圖12B與表示第一實施例的圖7B相對應。由與圖7A所使用參考標號相同參考標號所示的每個部件具有相同的用途和相同的功能。換言之，氣密端子1、內部導線3、外部導線4、隔離連接件的過濾器6、柄部7、振動件8、安裝墊9、導線架11和導線架的底座11b如同第一實施例那樣成形和構造，并且具有相同的功能。
添加在該配置中的部件包括外部電極端子14，該端子成形為從外部導線4分支。虛擬端子15作為添加的部件整體形成在導線架11的輪廓成形部分11a內，使得虛擬端子15從底座11b伸出，該端子位于與外部導線4側的底座11b相對的位置上，其中振動件8定位在兩者之間。
下面參考圖13和14描述樹脂成形過程。
樹脂成形過程

圖13是表示樹脂成形過程的生產流程圖。在圖13所示的樹脂成形過程中，不需要制備只用于模制步驟的新型導線架，該導線架是現有技術所需要的。通過前面壓電振動器組裝過程的相同的導線架可造成在樹脂成形過程中進行流程。以此方式，氣密端子可造成在三個過程(即氣密端子組裝過程、壓電振動器組裝過程以及樹脂成形過程)中并在氣密端子位于相同導線架的情況下一致性地進行流程。
圖14A是其中在樹脂成形過程中外部電極端子和虛擬端子進行彎曲的壓電振動器的側視圖。圖14B是表示在樹脂模制之后壓電振動器的外觀和內部的平面圖。圖14C是在樹脂模制之后在切斷步驟中的壓電振動器的外觀的側視圖。
首先在外部電極端子13和虛擬端子15上進行彎曲加工(步驟400)。外部電極端子14進行彎曲，使得外部電極端子14成形為曲柄，如圖14A所示，以便形成彎曲部分14a，使得該端部處水平表面出現在底部。相對的虛擬端子15彎曲成馬蹄形，使得該端部經由升高部分15a出現在底部。
第二實施例提供下面所述的效果。在現有技術過程中，在樹脂模制步驟之前需要下面的步驟(1)插件供應步驟，其中供應圓柱形插件，(2)外部導線成形步驟，其中轉移圓柱形插件、變寬外部導線4以便獲得預定形狀并且從外部導線4切斷多余的長度部分，(3)插件定位步驟，其中轉移圓柱形插件，從外部導線4到導線架31切斷多余部分，并且在導線架31上定位每個圓柱形插件，(4)焊接步驟，其中將定位的圓柱形插件的外部導線4焊接到預先成形在導線架31上的外部電極端子的連接區域上，以及(5)焊接檢查步驟，其中在屏幕上監測焊接部，并且確定每個焊接部是否合格。這些步驟具有以下的問題。在所述步驟(3)中，在將導線架31和插件對準時，需要考慮圓柱形插件的彎曲，通過用于圓柱形插件的定位夾具控制水平位移。在步驟(3)中，在轉移圓柱形插件時由于圓柱形插件的殼體端部和虛擬端子35的升高部分35a之間的沖擊接觸造成的沖擊，振動件8內還出現損壞以及圓柱形插件沒能離開裝載夾具。在焊接步驟(4)中，用于焊接的底部電極和預先形成在導線架31上的外部電極端子34的焊接區域33之間的間隙使得焊接電流容易造成焊接失誤地流動。另外，焊接的電極部分需要周期性維護。
第二實施例使其可以省略所述的五個步驟，即(1)插件供應步驟、(2)外部導線成形步驟、(3)插件定位步驟、(4)焊接步驟和(5)焊接檢查步驟。這有助于大大改善產品可靠性，以及減小準備時間。
在所述步驟之后，進行樹脂成形。圓柱形插件保持在頂部模具和底部模具之間，兩者均未示出，并且例如環氧樹脂的熱固模制材料通過轉移模具倒入用于樹脂成形的模具之間的空間。作為選擇，圓柱形插件壓電振動器通過注射模具由例如液晶聚合物樹脂的熱塑模制材料模制而成(步驟410)。假設樹脂30是透明的情況下，來表示圖14B所示頂部上的壓電振動器。表示出底部處的壓電振動器的外觀，由樹脂30模制而成。頂部壓電振動器和底部壓電振動器之間的比較表示由樹脂30模制而成的圓柱形插件壓電振動器的內部中的壓電振動器、外部電極14、和虛擬端子15之間的位置關系。
下個步驟是標記步驟。在由樹脂模制而成的圓柱形插件壓電振動器的表面上通過印刷、激光和類似方法進行標記。印刷根據需要固化以便穩定目的(步驟420)。使用水和化學品去除由轉移模具步驟和注射模制步驟(步驟410)造成的毛邊(步驟430)。對于每個導線架測量振動器的例如共振頻率和共振阻抗值的電性能，以便通過預定寬度歸類頻率(步驟440)。通過在多個壓電振動器的外部端子部分上同時進行探測來測量電性能，這是由于壓電振動器經由隔離連接件13連接到導線架11的底座11b上。
下個步驟是切斷模制插件的步驟(步驟450)。在此步驟中，外部導線4通過切斷與隔離連接件13分開，并且虛擬端子15同樣從底座11b上切斷。在圖14C中切斷線由交替長度虛線表示，外部導線4和虛擬端子15分別在參考標號4b表示的點處以及參考標號15b表示的點處切斷。這將壓電振動器和導線架11完全分開，作為完整的壓電振動器處理。
圖15A是按照本發明用于樹脂模制插件的壓電振動器的平面圖。圖15B是沿著線B-B截取的圖15A的壓電振動器的截面圖。圖15C是圖15A的壓電振動器的底視圖。圖15D是圖15A的壓電振動器的右側視圖。在圖15A、15B和15C所示的壓電振動器中，壓電振動器的右手端子是外部電極端子，并且左手端子是虛擬端子。圖15A、15B和15C中端子的方向與圖12和14A-4C所示氣密端子的端子或壓電振動器的方向相反。
如圖15B所示，圓柱形插件壓電振動器40由例如環氧樹脂和液晶聚合物的樹脂30模制而成。從氣密端子1的外部導線4延伸的外部電極端子14具有形狀如同曲柄并且在模具中出現在樹脂插件的底部處的彎曲件14a。連接到到振動件8上的電極薄膜上的虛擬端子15設置在與外部電極端子14相對的端部處，并且虛擬端子15與外部電極端子14配對，以便用作用于安裝的外部電極。換言之，每個外部電極端子14和虛擬端子15具有未示出的形成在其表面上的金屬薄膜16，以便具有相對于襯底上的焊料來說具有足夠的濕潤性能。不同于現有技術模制插件的壓電振動器，按照第二實施例的樹脂模制插件的壓電振動器具有形成為從氣密端子1的外部導線4分支的外部電極端子14，其中在外部電極端子14的任何部分上沒有焊接點。按照第二實施例的樹脂模制插件的壓電振動器因此沒有焊接步驟中容易出現的例如焊接強度不足而造成的失效，因此提供穩定的質量。在壓電振動器組裝過程中封裝的壓電振動器在足夠的高溫下經過脫氣，并且長時間保持高度真空。因此，在用于樹脂模制插件的壓電振動器中，長時間地控制共振頻率和共振阻抗值的波動，因此使得壓電振動器保持高精度。
第三實施例下面將描述本發明的第三實施例。圖16是表示按照本發明的音叉式石英振蕩器的構造以及表示連接到集成電路上的表面安裝的壓電振蕩器的示意配置圖，該振蕩器采用所述的音叉式石英振動器作為振蕩器。
音叉式石英振動器91在預定位置上設置在襯底92上，并且用于由參考標號93表示的振蕩器的集成電路靠近石英振動器設置。還安裝有例如電容器的電子器件94。這些器件經由未示出的布線圖案相互連接。由于石英的壓電性能，音叉式石英振動器91的振動件的機械振動轉換成電信號，并且輸入集成電路93。在集成電路93中，進行信號處理，并且輸出頻率信號。該電路用作振蕩器。每個這些部件由未示出的樹脂模制而成。適當選擇集成電路93對于單個功能的振蕩器、所感興趣的其它系統和外部系統來說提供控制操作日期的功能，并且為使用者提供時間和日歷信息。
使用按照本發明的方法制成的壓電振動器使其可以對于具有振蕩器的所有部件的最大容量的振動器來說使用小型的振動器。壓電振動器具有難以改變的特征，這是由于共振頻率和共振阻抗值的受控波動，因此使其可以保持振蕩器的高精度。
第四實施例下面描述本發明的第四實施例。第四實施例是使用通過按照本發明的方法制成的壓電振動器的電子單元的實例，其中壓電振動器連接到計時區段上。作為電子單元的實例，下面將詳細描述由蜂窩式電話為代表的便攜式信息單元的優選實施例。
作為先決條件，按照此實施例的便攜式信息單元是通過現有技術制成的時計的改進和改善的形式。便攜式信息單元外觀類似于時計。便攜式信息單元具有液晶顯示器，而不是在其屏幕上顯示當前時間的小時盤。當便攜式信息單元用作通訊單元時，便攜式信息單元從手腕上取下。各自結合到帶區段內的揚聲器和麥克風可用來進行通訊，如同現有技術制成的蜂窩式電話那樣。便攜式信息單元比現有技術蜂窩式電話更小并且重量更輕。
下面將參考附圖描述按照本發明實施例的便攜式信息單元的功能構造。圖17是在功能上表示按照本發明實施例的便攜式信息單元的構造的方框圖。
在圖17中，101表示將電能供應到每個功能區段上的電能供應區段，并且這特別通過鋰離子二次電池來實現。下面描述的控制區段102、計時區段103、通訊區段104、電壓檢測區段105以及顯示區段107連接到電能供應區段101上，并且電能從電能供應區段101供應到每個功能區段上。
控制區段102控制下面描述的每個功能區段，以便控制整個系統的操作，例如音頻數據傳輸和接收以及當前時間測量和顯示。控制區段102通過事先寫入到ROM內的程序、讀取和執行程序的CPU以及用作CPU的工作區域的RAM和類似物特別提供。
計時區段103包括具有內置的振蕩電路、寄存器電路、計數電路和接口電路以及音叉式石英振動器的集成電路，如圖8或15所示。由于石英的壓電性能，音叉式石英振動器的振動器的機械振動轉換成電信號，并且輸入到包括晶體管和電容器的振蕩電路。振蕩電路的輸出通過寄存器電路和計數電路二進制化并且計數。信號經由接口電路傳遞到控制區段并從控制區段接收，并且當前時間和當前日期或日歷信息顯示在顯示區段107。
通訊區段104具有類似于現有技術的蜂窩式電話的功能。通訊區段104包括無線電傳輸區段104a、音頻處理區段104b、放大區段104c、音頻輸入/輸出區段104d、進入聲音產生區段104e、轉換區段104、呼叫控制存儲器104g以及電話號碼輸入區段104h。
無線電傳輸區段104a經由天線從基站傳輸和接收不同類型的數據。音頻處理區段104b對于從無線電傳輸區段104或放大區段104c輸入的音頻信號進行編碼/解碼，如下面描述。放大區段104c將從音頻處理區段104b或音頻輸入/輸出區段104d輸入的信號放大到預定程度，如下面描述。音頻輸入/輸出區段104d特別是揚聲器或麥克風，使得進入聲音和接收的音頻可以被聽到，并且收集說話人的聲音。
進入聲音產生區段104e產生進入聲音，以響應來自基站的呼叫。在具有進入聲音時，轉換區段104f將連接到音頻處理區段104b的放大區段104c轉換到進入聲音產生區段104e，使得所產生的進入聲音經由放大區段104c輸出到輸入/輸出區段104d。
呼叫控制存儲器104g存儲與輸入和輸出所有控制通訊相關的程序。另外，電話號碼輸入區段104h特別包括從0到9的數字鍵以及某些其它鍵，并且輸入呼叫接收者的電話號碼和類似物。
如果通過電能供應區段101施加在包括控制區段102的每個功能區段上的電壓減小到預定值以下時，電壓檢測區段105檢測電壓降，并且接著通知控制區段102。預定值是作為通訊區段104穩定操作所需的最小電壓來預先設置，并且是例如大約3V的電壓。如果通過電壓檢測區段105通知電壓降，控制區段102禁止無線電傳輸區段104f、音頻處理區段104b、轉換區段104f以及進入聲音產生區段104e操作。特別是，停止具有大功率消耗的無線電傳輸區段104a的操作是重要的。與此同時，顯示區段107顯示有關通訊區段104由于電池存儲的剩余電能而變得不能操作的訊息。
通訊區段104的操作經由電壓檢測區段105和控制區段102來禁止。有關訊息還可通過顯示區段107來顯示。
在本發明的實施例中，與通訊區段的功能相關的電能供應區段設置有選擇中斷的電能供應中斷區段106，由此使其可以更加出色地停止通訊區段的功能。
文字訊息可用來顯示有關通訊區段104變得不能操作的訊息。可以使用例如用于在顯示區段107上為電話標示X圖標的更加深奧的方法。
在便攜式信息單元中使用通過按照本發明的方法制成的小型壓電振動器使其可以進一步減小便攜式電子單元的尺寸，壓電振動器還具有難以改變的特性，這是由于共振頻率和共振阻抗值受控波動，因此使其可以保持便攜式電子單元高精度。
第五實施例圖18是表示按照本發明的第五實施例作為電子單元的電波時計的電路塊的示意圖。圖18表示通過按照本發明的方法制成的音叉式石英振動器(壓電振動器)的實例，該振動器連接到電波時計的過濾器區段上。
電波時計是設置接收并自動調節包括時間信息標準波使其變成準確時間并顯示準確時間的功能的時計。在日本，具有兩種用于傳輸標準波的傳輸站(發射站)一個是在Fukushima Prefecture(40KHz)，另一個是在Saga Prefeture(60KHz)。40或60KHz的長波具有沿著地球表面傳播的性能以及反射到離子層和地球表面傳播的性能。長波因此具有很寬的傳播范圍，并且來自于以上兩個傳輸站的長波覆蓋整個國家。
在圖18中，天線201接收40或60KHz的長標準電波。長標準電波是經過AM調制的40或60KHz載體波，其具有稱為時間碼的時間信息。
所接收的長標準電波通過放大器202放大，并且通過包括具有與載體頻率相同的共振頻率的石英振動器203、204的過濾器區段205過濾和同步。具有預定頻率的過濾信號通過波檢測和整流電路206檢測和解調。從波形成形電路207中取出時間碼并且通過CPU208計數。CPU208接著讀取當前年份、積累日期、星期周歷以及時間的信息。所讀取的信息反射到RTC209，并且顯示準確的時間信息。
由于載體具有40或60KHz的頻率，具有所述成形為音叉的構造的振動器最好用于構成過濾器區段的石英振動器203、204。采用60KHz作為實例，可以構成具有大約2.8毫米全長的音叉式石英振動器和具有大約0.5毫米寬度的底座。
通過按照本發明的方法制成的壓電振動器連接到電波時計的過濾器區段，由此使其可以進一步減小電波時計的尺寸。壓電振動器還具有難以改變的特定，這是由于共振頻率和共振阻抗值受控波動。隨后壓電振動器安裝在襯底上，壓電振動器的電性能相對于張力和壓力來說足夠穩定，這些張力和壓力是由于改變施加在壓電振動器上的環境溫度的循環而造成的。這使得電波時計的過濾器功能長時間進行操作同時保持高度準確。
權利要求
1.一種制造壓電振動器的方法，該壓電振動器包括具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線上的振動件以及粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體，所述方法包括用于制造氣密端子的氣密端子制造過程；以及用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程；其中在氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
2.如權利要求1所述的壓電振動器制造方法，其特征在于，氣密端子制造過程包括輪廓成形步驟，在該步驟中，選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于形成用于氣密端子的導線的輪廓的輪廓成形部分和底座放置在導線架上，成形氣密端子導線的多個輪廓，其中通過以預定間隔進行連接，將其一端連接到底座上，并且成形隔離連接件的多個輪廓，其中在隔離連接件面向導線的情況下，將其一端在輪廓成形部分上連接到底座上，使得隔離連接件的多個輪廓的每個輪廓與導線多個輪廓的每個輪廓配對；填充物成形和燒結步驟，在該步驟中，在預定位置上在具有所成形的輪廓的導線中填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有所成形的輪廓的隔離連接件的非底座一側上，并且燒結成形的兩個填充物；柄部安裝步驟，在該步驟中，將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，并且將燒結的填充物定位在導線上；焙燒步驟，在該步驟中，加熱、熔化并且冷卻柄部內的填充物以及隔離連接件處的填充物；局部切斷步驟，在該步驟中，切斷連接到導線底座上的部分，以及金屬薄膜成形步驟，在該步驟中，將金屬薄膜形成在導線表面以及柄部表面上。
3.如權利要求2所述的壓電振動器制造方法，其特征在于，輪廓成形步驟包括以預定間隔在輪廓成形部分上布置導線的多個輪廓，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線的多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸并連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其中其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線的多個輪廓的每個輪廓，并且成形在輪廓成形部分上連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子。
4.如權利要求2所述的壓電振動器制造方法，其特征在于，壓電振動器組裝過程包括在封裝殼體之前以預定角度彎曲導線和導線架的隔離連接件的連接部分，并且調節導線的彎曲部分，使得該部分位于其原始角度上。
5.一種制造壓電振動器的方法，該壓電振動器包括具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線上一端的振動件以及粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體和用于覆蓋殼體的表面和氣密端子的表面使得導線另一端暴露的模制樹脂，所述方法包括用于制造氣密端子的氣密端子制造過程；用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程；以及用于成形樹脂的樹脂成形過程；其中在氣密端子制造過程、壓電振動器組裝過程和樹脂成形過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
6.如權利要求5所述的壓電振動器制造方法，其特征在于，氣密端子制造過程包括輪廓成形步驟，在該步驟中，選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于形成用于氣密端子的導線的輪廓的輪廓成形部分和底座放置在導線架上，成形氣密端子導線的多個輪廓，其中通過以預定間隔進行連接，將其一端連接到底座上，并且成形隔離連接件的多個輪廓，其中在隔離連接件面向導線的情況下，將其一端在輪廓成形部分上連接到底座上，使得隔離連接件的多個輪廓的每個輪廓與導線多個輪廓的每個輪廓配對；填充物成形和燒結步驟，在該步驟中，在預定位置上在具有所成形的輪廓的導線中填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有所成形的輪廓的隔離連接件的非底座一側上，并且燒結成形的兩個填充物；柄部安裝步驟，在該步驟中，將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，并且將燒結的填充物定位在導線上；焙燒步驟，在該步驟中，加熱、熔化并且冷卻柄部內的填充物以及隔離連接件處的填充物；局部切斷步驟，在該步驟中，切斷連接到導線底座上的部分，以及金屬薄膜成形步驟，在該步驟中，將金屬薄膜形成在導線表面以及柄部表面上。
7.如權利要求6所述的壓電振動器制造方法，其特征在于，輪廓成形步驟包括以預定間隔在輪廓成形部分上布置導線的多個輪廓，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線的多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸并連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其中其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線的多個輪廓的每個輪廓，并且成形在輪廓成形部分上連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子。
8.如權利要求6所述的壓電振動器制造方法，其特征在于，壓電振動器組裝過程包括在封裝殼體之前以預定角度彎曲導線和導線架的隔離連接件的連接部分，并且調節導線的彎曲部分，使得該部分位于其原始角度上。
9.一種壓電振動器，包括具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子；連接到導線上的振動件；粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體；以及其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程和用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
10.如權利要求9所述的壓電振動器，其特征在于，氣密端子通過以下步驟來制造，即輪廓成形步驟，在該步驟中，選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于形成用于氣密端子的導線的輪廓的輪廓成形部分和底座放置在導線架上，成形氣密端子導線的多個輪廓，其中通過以預定間隔進行連接，將其一端連接到底座上，并且成形隔離連接件的多個輪廓，其中在隔離連接件面向導線的情況下，將其一端在輪廓成形部分上連接到底座上，使得隔離連接件的多個輪廓的每個輪廓與導線多個輪廓的每個輪廓配對；填充物成形和燒結步驟，在該步驟中，在預定位置上在具有所成形的輪廓的導線中填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有所成形的輪廓的隔離連接件的非底座一側上，并且燒結成形的兩個填充物；柄部安裝步驟，在該步驟中，將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，并且將燒結的填充物定位在導線上；焙燒步驟，在該步驟中，加熱、熔化并且冷卻柄部內的填充物以及隔離連接件處的填充物；局部切斷步驟，在該步驟中，切斷連接到導線底座上的部分，以及金屬薄膜成形步驟，在該步驟中，將金屬薄膜形成在導線表面以及柄部表面上。
11.如權利要求10所述的壓電振動器，其特征在于，在輪廓成形步驟中，壓電振動器通過以下方式制造，即以預定間隔在輪廓成形部分上布置導線的多個輪廓，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線的多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸并連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其中其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線的多個輪廓的每個輪廓，并且成形在輪廓成形部分上連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子。
12.如權利要求10所述的壓電振動器，其特征在于，在壓電振動器組裝過程中，壓電振動器通過以下方式制造，即在封裝殼體之前以預定角度彎曲導線和導線架的隔離連接件的連接部分，并且調節導線的彎曲部分，使得該部分位于其原始角度上。
13.一種壓電振動器，包括具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子；連接到導線一端上的振動件；粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體；以及用于覆蓋殼體表面和氣密端子表面使得導線另一端暴露的模制樹脂；其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程、用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程以及用于成形樹脂的樹脂成形過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
14.如權利要求13所述的壓電振動器，其特征在于，氣密端子通過以下步驟來制造，即輪廓成形步驟，在該步驟中，選擇用于導線架的板狀或帶狀傳導材料，將用于形成用于氣密端子的導線的輪廓的輪廓成形部分和底座放置在導線架上，成形氣密端子導線的多個輪廓，其中通過以預定間隔進行連接，將其一端連接到底座上，并且成形隔離連接件的多個輪廓，其中在隔離連接件面向導線的情況下，將其一端在輪廓成形部分上連接到底座上，使得隔離連接件的多個輪廓的每個輪廓與導線多個輪廓的每個輪廓配對；填充物成形和燒結步驟，在該步驟中，在預定位置上在具有所成形的輪廓的導線中填充填充物，并且成形填充物，將導線填充填充物并且成形填充物，以便將導線的一端連接到具有所成形的輪廓的隔離連接件的非底座一側上，并且燒結成形的兩個填充物；柄部安裝步驟，在該步驟中，將柄部安裝在燒結的填充物的周邊上，并且將燒結的填充物定位在導線上；焙燒步驟，在該步驟中，加熱、熔化并且冷卻柄部內的填充物以及隔離連接件處的填充物；局部切斷步驟，在該步驟中，切斷連接到導線底座上的部分，以及金屬薄膜成形步驟，在該步驟中，將金屬薄膜形成在導線表面以及柄部表面上。
15.如權利要求14所述的壓電振動器，其特征在于，在輪廓成形步驟中，壓電振動器通過以下方式制造，即以預定間隔在輪廓成形部分上布置導線的多個輪廓，成形外部電極端子的輪廓，使得從導線的多個輪廓的每個輪廓分支的輪廓布置成平行于導線，并且延伸并連接到底座上，成形隔離連接件的輪廓，其中其一端連接到底座上，使得隔離連接件的輪廓面向導線的多個輪廓的每個輪廓，并且成形在輪廓成形部分上連接到底座上的虛擬端子，使得虛擬端子面向外部電極端子。
16.如權利要求14所述的壓電振動器，其特征在于，在壓電振動器組裝過程中，壓電振動器通過以下方式制造，即在封裝殼體之前以預定角度彎曲導線和導線架的隔離連接件的連接部分，并且調節導線的彎曲部分，使得該部分位于其原始角度上。
17.一種振蕩器，包括作為振蕩元件連接到集成電路上的壓電振動器；其中壓電振動器具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線上的振動件以及粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體；以及其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程和用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
18.一種振蕩器，包括作為振蕩元件連接到集成電路上的壓電振動器；其中壓電振動器具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線一端上的振動件、粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體以及用于覆蓋殼體表面和氣密端子表面使得導線另一端暴露的模制樹脂；其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程、用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程以及用于成形樹脂的樹脂成形過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
19.一種電子單元，包括連接到計時區段上的壓電振動器；其中壓電振動器具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線上的振動件以及粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體；以及其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程和用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
20.一種電子單元，包括連接到計時區段上的壓電振動器；其中壓電振動器具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線一端上的振動件、粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體以及用于覆蓋殼體表面和氣密端子表面使得導線另一端暴露的模制樹脂；其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程、用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程以及用于成形樹脂的樹脂成形過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
21.一種電波時計，包括連接到過濾器區段上的壓電振動器；其中壓電振動器具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線上的振動件以及粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體；以及其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程和用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
22.一種電波時計，包括連接到過濾器區段上的壓電振動器；其中壓電振動器具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線一端上的振動件、粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體以及用于覆蓋殼體表面和氣密端子表面使得導線另一端暴露的模制樹脂；其中在用于制造氣密端子的氣密端子制造過程、用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程以及用于成形樹脂的樹脂成形過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
全文摘要
披露一種制造壓電振動器的方法，該方法可以減小壓電振動器的尺寸并改善組裝精度和質量。壓電振動器包括具有環形柄部、布置成通過柄部并且由傳導材料形成的導線以及用于將導線固定在柄部內的填充物的氣密端子、連接到導線一端上的振動件以及粘接到氣密端子上以便覆蓋振動件的殼體，所述方法包括用于制造氣密端子的氣密端子制造過程；用于使用氣密端子組裝壓電振動器的壓電振動器組裝過程；其中在氣密端子制造過程和壓電振動器組裝過程中，氣密端子布置并保持在相同的導線架上并造成一致性地進行流程。
文檔編號H03H9/02GK1819456SQ200610006699
公開日2006年8月16日 申請日期2006年2月7日 優先權日2005年2月7日
發明者西野良文, 植竹宏明, 星雄起 申請人:精工電子有限公司