專利名稱：彈性表面波裝置及其制造方法和使用該裝置的電子器件的制作方法
技術領域：
本發明涉及在通信機器中使用的彈性表面波裝置及其制造方法和使用該裝置的電子器件。
在這種方法中，彈性表面波裝置一旦從具有壓電特性的基板上切割下來，因為叉指式電極和格柵反射器電極的電連接被斷開，所以當彈性表面波裝置受熱或被弄歪時，由于具有壓電特性的基板有熱電效應應而產生電荷，使的各電極間電荷不均勻，導至在對向的叉指式電極與格柵反射器電極之間以及叉指式電極與格柵反射器電極之間發生放電，由此導至電極損壞和彈性表面波裝置的電特性的惡化。
作為解決此問題的方法，有特開平11-298289號公報上所所述的方法。它是用了如下的結構即，通過在切割線內側設置在叉指式電極和格柵反射器電極周圍的金屬薄膜短路細線，并配置使這些金屬薄膜的短路細線與叉指式電極圖形電連接的多條細線，由此使發生的電荷形成電氣均勻化，來防止由靜電放電引起的損壞和電特性的惡化。
但是，在以往的這種在切割線內側設置在叉指式電極和格柵反射器電極周圍的金屬薄膜的短路細線，并設置電氣連接這些金屬薄膜的短路細線與叉指式電極的多條細線的結構中，在產生的電荷多的情況或電極間間隔狹窄的情況，連接的電極之間的距離大的情況，連接金屬薄膜的短路細線與叉指式電極的線很細的情況，連接線為彎曲的或線的一部分比其它部分細的情況等等，因線間的電阻變大，不能充分地中和產生的電荷，不能使其均勻化，至使電極間發生靜電放電，引起電極損壞或電特性惡化。
為了達到上述目的，本發明具有以下的結構。
本發明之1是具有在梳型電極及反射電極周圍設置相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極結構的彈性表面波裝置，由此可以得到因受熱等發生的電荷更有效地均勻化，降低發生電荷的部位的不均勻性，能達到減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之2是把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極做為接地電極使用，這樣，通過使其與裝有彈性表面波裝置的基板等的地線連接，由此能得到面積更大的電位均勻的地線，因此。可降低不同電位發生部位的不均勻性，可以得到減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之3是把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極大致為均勻地配置。這樣，由于能使各處產生的電荷大致為均勻使電位均勻化，降低不同電位發生部位的不均勻性，由此可以得到減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之4是設置與梳型電極連接的帶狀輸入端子引出電極和輸出端子引出電極，并且設置與輸入端子引出電極和輸出端子引出電極連接的輸入端子電極和輸出端子電極，這種結構由于能使輸入端子引出電極和輸出端子引出電極以及輸入端子電極和輸出端子電極上產生的電荷均勻化，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之5是把帶狀輸入端子引出電極與輸出端子引出電極及輸入端子電極與輸出端子電極對向設置，并使它們的面積大致為相等。這種結構由于能使在輸入端子引出電極和輸出端子引出電極上產生的電荷均勻化，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之6是至少把反射器電極的一部分電氣連接到相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極上，這種結構由于能使反射器電極上產生的電荷通過相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極使全體電極均勻化，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之7是把反射器電極和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極用多條線或帶狀電極構成電連接，這種結構由于能使產生的電荷更有效地均勻化，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之8是使反射器電極與相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極形成電斷開的狀態，這種結構由于使相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極不易受到電位變化所引起的影響，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之9是用曲折線構成反射器電極，并使所述反射器電極與梳型電極電連接，這種結構由于能夠使反射器電極和梳型電極處于等電位，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之10是一種包括在具有壓電特性的基板上只少設置一組梳型電極、反射器電極、在梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極、輸入端子電極和輸入端子引出電極以及輸出端子電極和輸出端子引出電極的工序；和鄰接的輔助電極之間切斷的工序的方法，使用該方法由于能夠使在具有壓電特性的基板上產生的電荷均勻化，所以可獲得降低因發生電位部位的不同所致的不均勻性，和減少由靜電放電引起的器件損壞的效果。
本發明之11是通過蒸鍍形成輸入端子電極和輸出端子電極以及所述多個輔助電極的至少最上層的電極的方法，這種方法能得到與外部電極的連接很穩定的效果。
本發明之12是使用軟性材質形成最上層的電極的方法，這種方法能得到與外部電極的連接很穩定的效果。
本發明之13是使用鋁或鋁合金作為軟性材質的方法，這種方法能得到與外部電極的連接很穩定的效果。
本發明之14是使用一種或多種金屬重疊形成梳型電極、反射器電極、輸入端子電極和輸入端子引出電極以及輸出端子電極和輸出端子引出電極，相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極的方法，由此可提高對產生的電荷的耐電壓性能。
本發明之15是一種設置在梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極、與梳型電極連接的帶狀輸入端子引出電極和輸入端子電極以及輸出端子引出電極和輸出端子電極，使它們構成電連接，并把它們配置在基板上，然后通過封裝而成的電子器件，這種器件能夠獲得抑制因靜電放電所引起的電子器件的損壞，而且能得到電特性惡化少的穩定的電子器件的效果。
本發明之16是一種包括在具有壓電特性的基板上設置切割線，在其內側設置梳型電極、反射器電極、在梳型電極和反射器電極周圍設置相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的數個輔助電極、輸入、輸出端子引出電極和輸入、輸出端子電極的工序；和沿切割線切斷的工序的方法，使用這種方法可獲得能使具有壓電特性的基板上產生的電荷均勻的同時，易于確認切割線的位置，容易切斷器件的效果。
本發明之17是一種至少在輸入、輸出端子引出電極和輸入、輸出端子電極和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極中的一個電極的至少最上層的電極是由蒸鍍方法形成的方法，這種方法能得到與外部電極的連接穩定的效果。
本發明之18是使用軟性材質形成最上層的電極的方法，這種方法能得到與外部電極的連接穩定的效果。
本發明之19是使用鋁或鋁合金作為軟性材質的方法，這種方法能得到與外部電極的連接穩定的效果。
本發明之20是使用一種或多種金屬重疊形成梳型電極、反射器電極、輸入端子引出電極、輸出端子引出電極、相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的數個輔助電極的方法，由此可獲得提高對產生的電荷的耐壓性能的效果。
圖2是表示在晶片上形成多個
圖1中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖3是表示使用圖1的彈性表面波裝置的電子器件的剖面圖。
圖4是表示本發明實施例2中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖5是表示本發明實施例3中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖6是表示本發明實施例4中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖7是表示在晶片上制成多個圖6中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖8是表示使用圖6的彈性表面波裝置的電子器件的剖面圖。
圖9是表示本發明實施例5中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖10是表示本發明實施例6中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖11是表示本發明實施例7中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
圖12是表示本發明實施例8中的彈性表面波裝置的電極圖形的俯視圖。
具體實施例方式
(實施例1)以下用實施例1對本發明中的第1～5，8，10～15項發明進行說明。
圖1是表示本發明的實施例1中的彈性表面波裝置10A的電極圖形的俯視圖，圖2是表示在晶片上制成多個圖1中的彈性表面波裝置的電極的俯視圖。而圖3是用圖1的彈性表面波裝置10A封裝制成的電子器件40A的剖面圖。
其中1是具有壓電特性的基板，2是梳型電極，3為反射器電極，4a為輸入端子引出電極，4b為輸入端子電極，5a為輸出端子引出電極，5b為輸出端子電極，6a、6b為相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極，7為凸點，8為相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a和6b之間的部位，18為帶狀電極。
圖1～圖3是表示本實施例1的結構的示意圖，并不表示各種尺寸的相對關系。
具有壓電特性的物質在受熱或被弄歪的時，由于熱電效應而產生電荷，當在不同的部位所發生的電荷形成差異時。由此產生電位差，發生靜電放電等，至使產生器件的損壞和電特性的惡化。
防止這些弊端的最有效的方法是，盡快地使產生的電位差變成同一電位。
本發明中發現為使產生的電位盡量地均勻，使彈性表面波裝置10A中的電位平衡，有效的方法是把在彈性表面波裝置10A中的低電阻部分設置得盡量寬。
即，本發明的彈性表面波裝置10A的電極圖形為在具有壓電特性的基板1上配置梳型電極2，在由梳型電極2產生的表面波的傳播方向上在梳型電極2的近兩側配置反射器電極3，并用相互電氣獨立的在不同的部位寬度不同的輔助電極6a和6b在置梳型電極2和反射器電極3這里，相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b是與安裝有彈性表面波裝置10A的基板等的外部電路的地線連接，在單片彈性表面波裝置10A中，把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b配置成偏差小，使其在彈性表面波裝置10A中成為基本均勻的，例如為基本點對稱、或基本為面對稱、或基本為線對稱等，同時在梳型電極2上配置帶狀的輸入端子引出電極4a、輸入端子電極4b、帶狀輸出端子引出電極5a、輸出端子電極5b，并使相對向的帶狀輸入端子引出電極4a和輸出端子引出電極5a及輸入端子電極4b、輸出端子電極5b的面積大致相等，并使反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b形成電氣的斷開狀態，在梳型電極2之間用帶狀電極連接。
另外，在帶狀輸入端子引出電極4a和帶狀輸出端子引出電極5a上，各連接了輸入端子電極4b和輸出端子電極5b。
還有，由于通過把輸入端子引出電極4a和輸出端子引出電極5a以及輸入端子電極4b輸出端子電極5b對向配置，并使它們的面積大致相等而容易使產生的電荷達到平衡，所以是使電位均勻化的有效方法。但由于電極配置的關系如不能把這些電極相對配置的情況下，則用大致為線對稱，大致為點對稱等方法來盡量均勻地配置，這樣也能得到相對著配置的情況同樣的效果。
相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b，為使其電阻盡量變小，使電位均勻，在電路設置上盡可能地加寬電極的寬度。各處的寬度不同，具有面積大的特點，這點與細線的情況完全不同。
這樣，因在梳型電極2和反射電極3周圍用相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a和6b在，與細線的情況相比線更寬，能使線間、面內的電阻變小，由此能使在具有壓電特性的基板1上由熱電效應產生的電荷造成的電位盡快均勻的同時比細線的時候能在更廣的范圍里使電位均勻，可以得到電位穩定的彈性表面波裝置10A。
還有，把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b接到安裝有彈性表面波裝置10A的基板等外部電路的接地線上，把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b作為彈性表面波裝置10A的接地線，由此使更大的外部電路的接地線作為共用的接地線，能使電位的變化更快地均勻，由此能使在具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷造成的影響變小。
彈性表面波裝置10A發生電位差的原因是在具有壓電特性的基板1受熱或被弄歪的時候由于熱電效應產生電荷，在一般的制造中不是局部產生電荷，而是在彈性表面波裝置10A全體上產生電荷。
而在彈性表面波裝置10A中面積最大是與凸點等相連的輸入、輸出電極部，這些部分最容易產生電荷。
圖1和圖2表示的是彈性表面波裝置10A的結構的模式圖，并不表示構成器件的相對尺寸關系。因而在梳型電極2和反射電極3周圍并以輸入、輸出電極為中心的地方設置出盡可能大的共用電極部，由此使產生的電荷更有效地均勻化而達到等電位，能夠抑制靜電放電的發生。
另外，作為防止由靜電放電引起的器件損壞的方法，還有例如預先在鄰近電極間設置電極間隔狹小的部分，在電荷儲存還不至于損壞器件的范圍內使其靜電放電；還有抑制由于靜電的原因所導致的電位不均勻本身的方法。
在部分范圍內使靜電放電的方法，由于每次電荷積累到一定時就進行放電，反復這種放電就難于得到穩定的狀態；而在抑制電位的不均勻本身的方法中，通過設置盡可能大面積的共用電極部，使具有壓電特性的基板1產生的電荷不會在局部不均勻而是趨于等電位，由此能永久消除靜電放電的原因。
因此，為了抑制靜電放電發生，比起控制電極間隔來故意發生靜電放電的方法，而為了通過梳型電極2和反射電極3以及相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b加寬等電位的部分，設置盡量大面積的共用電極部，來抑制靜電放電的方法更加有效。
相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的分割數本來是越少越好，但是有時由于外部端子的配置等的關系必須分割，就是在這種情況下若用本發明的結構就能有效地使電荷均勻化能抑制靜電放電的發生。
另外，還有通過預先在彈性表面波裝置10A中使帶狀的輸入端子引出電極4a和帶狀輸出端子引出電極5a，使輸入端子電極4b和輸出端子電極5b做成面積大致相等、或把相互電氣獨立的以平面狀短路的輔助電極6a、6b全體均衡配置，由于能消除在局部積累大量電荷的部位，所以能使電位更加均勻。
這樣，通過均衡配置全體的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b，即使例如在反射電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b形成電氣斷開的情況下，也能使反射器電極3發生的電荷均勻化，由此不會產生局部的電位差，能減少器件的損壞和電特性的惡化。
另外，對于設置多個梳型電極2和/或反射器電極3組合在一起的結構，也能得到同樣的效果。
本發明的彈性表面波裝置10A的制造方法如下。
在由LiTaO3構成的具有壓電特性的基板1上用濺射鍍膜裝置(未圖示)形成Ti金屬薄膜，在其上用濺射鍍膜裝置(未圖示)重疊形成Al-Sc-Cu、Ti金屬薄膜。進一步在輸入端子引出電極4a和輸出端子引出電極5a上用蒸鍍裝置(未圖示)形成Al金屬薄膜。
在這里，用濺射鍍膜裝置形成的金屬薄膜的材料，除了Al-Sc-Cu、Ti以外，可根據目的而選擇使用其他的金屬或合金，另外，金屬薄膜的膜層只要在一層以上，可根據目的疊層多層，疊層的順序也可以根據目的而改變。
然后，在金屬薄膜上涂敷光刻膠，使其與光刻掩模重合，然后使用暴光裝置(未圖示)進行暴光。然后用顯影裝置(未圖示)把被暴光的光刻膠顯影除去不要的光刻膠。最后用干腐蝕裝置(未圖示)等在金屬薄膜上做出所需的電極。
除去剩下的的光刻膠后在電極上再涂光刻膠，其上放所需遮光膜，后用暴光器(未圖示)暴光。之后用顯影裝置(未圖示)把被暴光的光刻膠顯影并除去不要部分的光刻膠。然后進一步干式蝕刻裝置(未圖示)等在金屬薄膜上形成所需要的電極圖形。
然后，在除去剩余的光刻膠之后，再一次在電極圖形上涂敷光刻膠，并使其與所希望的光刻掩模重合，使用暴光裝置(未圖示)等進行暴光。然后，使用顯影裝置(未圖示)對被暴光的部分的光刻膠進行顯影，并除去不要部分的光刻膠。然后，使用蒸鍍裝置(未圖示)形成Al等的金屬薄膜，在輸入端子電極4b和輸出端子電極5b上形成Al金屬薄膜，除去剩余的光刻膠。
另外，作為形成所需電極圖形的制造方法，也可以采用除此以外的方法，例如，先形成所需的金屬薄膜層，然后用干式蝕刻裝置(未圖示)等在金屬薄膜上一次形成所需的電極圖形。
然后用切割裝置(未圖示)等沿切割線切割，就得到了單片的彈性表面波裝置10A。
另外，本實施例1所使用的電極圖形，相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b在彈性表面波裝置的工作頻率的波長為λ時，其寬度在λ/4～100λ的范圍內，但也可以在這個范圍以外。
然后使用這樣得到的彈性表面波裝置10A組裝電子器件40A。圖3是用彈性表面波裝置10A組裝的電子器件40A的剖面圖。
其中9為基板，10A為彈性表面波裝置，11為凸點，12為襯墊，13為引出電極，14為端子電極，15為蓋體，16為接合材料。
彈性表面波裝置10A的襯墊12上形成用金等作成的焊結片11。
之后，在預先在設置有引出電極13、端子電極14的基板9上配置形成有凸點11的彈性表面波裝置10A，并使凸點11與引出電極13接觸，利用超聲波等使其與凸點11接合，完成安裝。
之后使用封裝裝置(未圖示)在已安裝好彈性表面波裝置10A的基板9上擺好預先帶有接合材料16的蓋體15，使接合材料16的這一側與和基板9相對著，并加熱封裝成電子器件40A。
另外，關于電子器件40A制造還有其他的方法，根據需要如可以用線焊接等方法進行組裝，作為接合材料16，也可以用金或含金的焊接材料。
而凸點焊接比導線焊接與接合的電極等的接觸面積大，所以可提高接合的可靠性，但另一方面，當殘留有在與凸點接觸的部分的電極上進行凸點焊接時所發生的彎曲，則在電極之間會產生剝離，反而會使可靠性下降。
本發明中，與用濺射鍍膜比起來，用蒸鍍的方法形成金屬薄膜則不容易產生凸點焊接時的彎曲、電腐蝕及切斷時的腐蝕。其理由是，相對濺射鍍膜的只是物理形式的金屬粒子的堆積，而蒸鍍可以認為是為了形成與底層的結晶定向性相同的定向性的薄膜而加強金屬粒子間的結合。從而在凸點焊接時，通過至少在與凸點接觸的電極的最上層用蒸鍍的方法(蒸鍍)形成，由此能抑制在焊接時發生的彎曲，提高接合的可靠性，抑制由于異種金屬結合的電腐蝕。通過蒸鍍而形成的金屬薄膜如使用柔性金屬則與凸點的接合性好，理想的是使用例如鋁或鋁-銅合金。
另外，在與凸點接觸的最上層上再蒸鍍其它的層可獲得同樣的效果。
還有，由于通過在電極上重疊一種以上的多種金屬，例如Al、Ti、Cu、Ni或它們的合金等可以提高耐電壓性能，所以在形成多種金屬后，通過蒸鍍形成最上層的電極，能抑制焊接時發生的彎曲，能得到耐電壓高的電極。
還有，在本實施例1中，相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b被分割成2個，只要被分割成多個，個被分割成任意個。
另外，凸點的形成位置也可以在本實施例1中表示的以外的位置。
還有，帶狀輸入端子引出電極4a及輸出端子引出電極5a的寬度一樣也可以，不一樣也可以。
這樣得到的彈性表面波裝置10A的梳型電極2，由于只連接了輸入端子引出電極4a、輸入端子電極4b、輸出端子引出電極5a、輸出端子電極5b、連接在梳型電極2之間的帶狀電極18，因此可通過使用適當必要的端子構成電連接來預先測定彈性表面波裝置10A的電特性。也就是說，通過在晶片狀態下預先測定彈性表面波裝置10A的電特性，能在彈性表面波裝置10A被切割成單片之前進行特性分類，可以只把合格品供給之后的工程。
如上所述，根據本發明，在梳型電極2、反射器電極3設置多條相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b；只少在接觸凸點的電極中最上層用蒸鍍的方法(蒸鍍)做成，能使在具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電位更快地更簡單地均勻化，并可獲得提高電極的接合性，抑制異種金屬結合的電腐蝕，提高耐壓性能，制造不會因靜電放電引起器件的損壞和電特性惡化的優質的彈性表面波裝置10A的效果。
(實施例2)下面用本發明實施例2對本發明的1～7項、10～15項的發明進行說明。
圖4是表示本發明的實施例2中的彈性表面波裝置10B的電極圖形的俯視圖。在圖4中，凡是與實施例1的在圖1中的相同部分都用同一編號，并省略詳細的說明。另外，圖4是表示本實施例2的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。
本實施例2的圖4與本實施例1的圖1的不同點為反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b用多條帶狀電極17構成電連接，并設置了各3個梳型電極2，兩端的梳型電極2通過帶狀電極18構成連接，并用帶狀電極20連接相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b。
也就是說，在實施例1中反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b為電氣斷開的，而在實施例2中梳型電極2和反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b用多條帶狀電極17、18、20連接的，其它與實施例1一樣，以此制造了彈性表面波裝置10B和電子器件40B(圖3)。
在圖4中，梳型電極2和反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b用多條帶狀電極17、20連接的，又用帶狀電極18連接在多組結構的梳型電極2之間，這樣在梳型電極2和反射器電極3等處產生的電荷通過帶狀電極17、18、20在包含相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的電極全體上趨于等電位。
也就是說，梳型電極2和反射器電極3和輔助電極6a、6b用多條帶狀電極17連接的，使的包含梳型電極2和反射器電極3的更廣的電極作為共同電極，能使所產生的電荷盡可能在更廣的面積上均勻而達到等電位，并因用更寬的接它們電極，所以比斷開的情況更能降低電阻。
而反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b相連接的效果依電極圖形設計的不同而不同，但只要能用低電阻來連接電極，可以為線狀、面狀，線的根數有多少都行，理想的是，用面狀的，而且數目越多效果越好。
又，在用線連接反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的時候，不希望在線連經過的途中有電阻高的部分，所以如果線寬是否一樣，順著往外部的方向變細的好。
從而，與實施例1比較，把梳型電極2和反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b用多條帶狀電極17、18、20連接的，能把包含梳型電極2和反射器電極3的更廣的電極作為共同電極，能使所產生的電荷盡可能在更廣的面積上均勻而達到等電位，降低所產生電荷對電位的影響，由此能制造出沒有靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10A。
又，圖4中，21a為接地線引出線，21b為接地電極。
(實施例3)下面用本發明實施例3說明本發明的1～5項，9～15項。
圖5是表示本發明的實施例3中的彈性表面波裝置10C的電極圖形俯視圖。圖5中，凡是與實施例1的圖1中的相同部分都用同一編號，并省略詳細說明。本實施例3中的圖5與本實施例1中的圖1的不同點為反射器電極3由彎曲的線構成，把反射器電極3和梳型電極2構成電連接。另外，圖5是表示本實施例3的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。
在實施例1中，梳型電極2和反射器電極3是電氣斷開的，而本實施例3中梳型電極2反射器電極3是構成電連接的。其它與實施例1一樣，以此制造了彈性表面波裝置10C和電子器件40C(圖3)。
圖5中，由彎曲的線構成的反射器電極19是和梳型電極2連接起來的，使用信號為直流或低頻的時候是導通的，但在彈性表面波裝置10A工作時的高頻范圍內電阻變大，這時實際上相當于是斷開的。
一方面，由彎曲的線構成的反射器電極19是和梳型電極2連接起來的，所以能擴大共用的電極部分，具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷能在更寬的電極上在更長的全體電線上均勻化，能使各部產生的電位差變小。
即，由彎曲的線構成的反射器電極19是和梳型電極2連接起來的，在高頻領域里梳型電極2和反射器電極19實際上是斷開的，由此對器件的運轉沒有不良影響，而由于連接起來的共用基線擴大了，能減少各部發生的電位差，能抑制靜電放電的發生。
從而，與實施例1比較，能使包括梳型電極2和反射器電極19的各部發生的電位差變的更小，能簡單地制造出沒有由靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10C。
(實施例4)下面用本發明的實施例4說明本發明的第16～20項。
圖6是表示本發明的實施例4中的彈性表面波裝置10D的電極圖形俯視圖。圖7表示在晶片上形成多個圖6中的電極模型的結構圖。而圖8表示用彈性表面波裝置10D封裝出來的電子器件40D的剖面圖。
本實施例4中的圖6與本實施例1中的圖1的不同點為在彈性表面波裝置10D的中具有壓點性基板1上設置有切割線28。
而圖6到圖8是表示本實施例4中的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。在具有壓電特性的基板1受熱或被弄歪的時候由于熱電效應產生電荷，因各處的電荷有差異而產生電位差，引起靜電放電，或損壞器件或使電特性惡化。
為防止這些，必須使電位盡快地趨于等電位。
本發明中發現為使因電荷差而產生的電位差盡快等同，為在彈性表面波裝置中取得電位平衡，所以在彈性表面波裝置10D的電路中設置盡可能寬的低電阻區。
本發明中的彈性表面波裝置10D的電路結構為在具有壓電特性的基板1上設置有切割線28，在它的內側配置了梳型電極2，在梳型電極2兩側靠近從梳型電極2發生的表面波的方向上配置反射器電極3，把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b設置在梳型電極2和反射器電極3的周圍。
在這里電極結構如下把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b作為接地電極用，在每個彈性表面波裝置10D中相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是大致均勻，如大致為點對稱、大致為面對稱，使得它們在彈性表面波裝置10D中配置成沒有多少偏差，使接在梳型電極2的帶狀輸入端子引出電極4a和輸出端子引出電極5a面積大致為相等，又在輸入、輸出端子引出電極4a、5a上相對著接出輸入端子電極4b和輸出端子電極5b，并使輸入端子電極4b和輸出端子電極5b的面積大致為相等，而反射器電極3與相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是斷開的，并用帶狀電極18連接了梳型電極2之間。
還有，把輸入端子引出電極4a和輸出端子引出電極5a以及輸入端子電極4b輸出端子電極5b相對著配置，并使它們的面積大致為相等，由此容易得到產生的電荷的平衡，是使電位均勻化的有效方法。
但由于電極配置的關系，例如不能把這些電極相對著配置的情況下，則用大致為線對稱，大致為點對稱等方法來盡量均勻地配置，這樣也能得到相對著配置的情況同樣的效果。
相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b，為使其電阻盡量變小，使電位均勻，在電路設置上盡可能地把電極的線寬弄大。各處的寬度不同，而具有面積大的特點，這點與細線的情況完全不同。
這樣，因在梳型電極2和反射電極3周圍設置有相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b，與細線情況相比線更寬，能使線間、面內的電阻變小，由此能使在具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷積累造成的電位盡快均勻的同時，比細線的時候能在更廣的范圍里使電位均勻。
還有，把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b與安裝有彈性表面波裝置10D的基板等外部電路的接地線接上，把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a和6b作為彈性表面波裝置10D的接地線，由此使更大的外部電路的接地線作為共用的接地線，能使電位的變化更快地均勻，由此能減減少在具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷造成的影響。
彈性表面波裝置10D發生電位差的原因是當彈性表面波裝置10D受熱或被弄歪的時候具有壓電特性的基板1由于熱電效應產生電荷。而在一般的制造中不僅是局部產生電荷，而是在彈性表面波裝置10D全體上產生電荷。
但一般在彈性表面波裝置10D中面積最大是與凸點等相連的輸入，輸出電極部分，這些部分更產生更多的電荷。
而圖6和圖7是表示彈性表面波裝置10D的結構的模式圖，并不表示構成器件的相對大小的關系。
因而在在梳型電極2和反射電極3等功能器件周圍，以輸入、輸出電極為中心的地方設置出盡可能大的共用電極部，由此使產生的電荷更有效地均勻化而達到等電位，能夠抑制靜電放電的發生。
另外，作為防止由靜電放電引起的器件損壞的方法，還有一些，例如預先在鄰近電極間設置電極間隔狹小的部分，在電荷儲存還不至于損壞器件的范圍內使其靜電放電；還有抑制電位的不均勻本身的方法。
在部分范圍內使靜電放電的方法，由于每次電荷積累到一定時放電反復放電，而這樣反復放電就難于得到穩定的狀態；但在抑制電位不均勻本身的方法中，設置盡可能大的共用電極部，使具有壓電特性的基板1產生的電荷不會在局部不均勻而是趨于等電位，由此能永久消除靜電放電的原因。
從而抑制靜電放電方法有2種一是用控制電極間隔來故意使靜電放電的方法；2是利用在梳型電極2和反射電極3以及相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b周圍設置面積大的共同電極使等電位的范圍擴大，不讓發生靜電放電的方法。而第二種方法比第一種方法更加有效。
由此相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的分割數本來是越少越好，但是有時由于外部端子的配置等的關系必須分割，就是在這種情況下若用本發明的結構就能有效地使電荷均勻化能抑制靜電放電的發生。
另外還有預先在彈性表面波裝置10D中使帶狀的輸入端子引出電極4a和帶狀輸出端子引出電極5a，使輸入端子電極4b和輸出端子電極5b的面積做成大致為相等的方法；還有找好平衡把相互電氣獨立的面狀短路的輔助電極6a、6b設置成均勻地配置等方法，這些能減少局部的大電荷積累，由此能使電位更加均勻。
這樣一來，因相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b設置成全體平衡的均勻的配置，就是在反射電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是斷開的情況下，還有在切割線28與反射電極3斷開的情況下，也能使彈性表面波裝置10D中發生的電荷均勻化，由此不會產生局部的電位差，能減少器件的損壞和電特性的惡化。
還有，在切割切割線28時伴隨一個對準位置的位置的問題，彈性表面波裝置是切割切割線來得到，所以很容易對位置的，又因為短路切割線28設置在彈性表面波裝置10D的周圍，能更有效地使電荷均勻化。
另外，設置多個梳型電極2和反射電極3組合在一起的情況下，也能得到同樣的效果。
本發明的彈性表面波裝置10D的制造方法如下。
由LiTaO3制成的具有壓電特性的基板1上用濺射鍍膜裝置(未圖示)鍍上金屬Ti膜，在其上用濺射鍍膜裝置(未圖示)重疊鍍上金屬Al-Sc-Cu、Ti膜。
在這里，用濺射鍍膜裝置鍍上的金屬薄膜的材料，可根據目的而選擇Al-Sc-Cu、Ti以外的金屬或合金，金屬薄膜的層數也可根據目的來決定做多層，鍍膜的順序也可以根據目的而變化。
此后在金屬薄膜上涂光刻膠，在其上形成所需遮光膜，后用暴光器(未圖示)暴光。
之后用顯影裝置(未圖示)把被暴光的光刻膠顯影，除去不要的光刻膠。
然后用干腐蝕裝置(未圖示)等在金屬薄膜上做出所需的電極。
此后除去剩下的的光刻膠后，在電極上再涂光刻膠，在其上形成所需遮光膜，后用暴光裝置(未圖示)暴光。
之后用顯影裝置(未圖示)把被暴光的光刻膠顯影，除去不要的光刻膠。
其后用蒸鍍裝置(未圖示)鍍上金屬Al等金屬薄膜，在輸入端子電極4b和輸出端子電極5b上蒸鍍上金屬Al膜，除去剩下的的光刻膠。
在蒸鍍上Al金屬薄膜的部分除了輸入、輸出端子電極4b、5b以外，也可根據需要設置其它電極，如輸入、輸出端引線4a、5a，補助電極6。
另外，所需的電極的制造方法還有其他方法，如先形成所需的金屬薄膜層，然后用干腐蝕裝置(未圖示)等在金屬薄膜上一次做出所需的電極。
然后用切割裝置(未圖示)等沿切割線切割，就得到了單片的彈性表面波裝置10D。
在本實施例1(？)中，相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的線寬度在λ/4--100λ范圍，其中λ為彈性表面波裝置10D的工作頻率波長。但其寬度也可以是這個范圍以外的。
然后用這樣得到的彈性表面波裝置10D組裝電子器件40D，如圖8。與圖3一樣，圖8中的電子器件40D具有基板9，彈性表面波裝置10D，焊接片11，襯墊12，引出線13，端子電極14，蓋體15和接合材料16。
彈性表面波裝置10D的襯墊12上形成用金等作成的凸點11。
此后在預先設置好引出線13，端子電極14的基板9上擺好已做好焊接片11的彈性表面波裝置10D，使焊接片11和引出線13接觸上，用超聲波等焊接凸點11，這樣安裝好了。
之后用封裝裝置(未圖示)在已安裝好彈性表面波裝置10D的基板9上擺好預先帶有接合材料16的蓋體15，使接合材料16的這一側與和基板9相對著，并加熱封裝成電子器件40D。
另外，關于電子器件40D制造還有其他的方法，根據需要可以用線焊接等方法與外部的電極接上。接合材料16也可以用含金的焊接劑等。
而凸點焊接法比線接法因接觸面積大而焊接的可靠性大，但另一方面，如過在凸點焊接時在與凸點接觸的地方留下彎曲，會產生剝落反而使可靠性下降的。
本發明中看到，與用濺射鍍膜比起來，用蒸鍍的方法蒸鍍金屬薄膜更難于發生凸點焊接時的彎曲，電腐蝕及切斷時的腐蝕。
其理由是濺射鍍膜是使物理地把金屬粒子堆積起來，而蒸鍍是沿結晶方向上形成薄膜的，因而金屬粒子間的結合更強的緣故。
從而，在凸點焊接時，在接觸凸點的電極中只少最上層要用蒸鍍的方法(蒸鍍)做成，由此不容易發生焊接時的彎曲，提高了可靠性，抑制伴隨異種金屬結合時的電腐蝕。
蒸鍍用的金屬用柔性金屬對凸點的結合性好，如鋁或鋁-銅合金。
另外，在與凸點接觸的最上層上再蒸鍍其它的層同樣有效的。
還有，電極用多種金屬Al、Ti、Cu、Ni或它們的合金重疊蒸鍍可以提高耐電壓性，所以用多種金屬重疊蒸鍍后，最上層的電極用蒸鍍法做成，能抑制焊接時發生的彎曲，能得到耐電壓高的電極。
還有，在本實施例4中，相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b是2個，分出來2個以上也可以。
另外，凸點的位置在在本實施例4中表示的以外的位置上也可以。還有，帶狀輸入端子引出電極4a及輸出端子引出電極5a的寬度一樣也可以，不一樣也可以。
對這樣得到的彈性表面波裝置10D中，輸入輸出端子引出電極4a、5a，輸入、輸出端子電極4d、5b，帶狀電極18都沒有與切割線連上，因此適當使用必要的電極來予側彈性表面波裝置10D的電特性。
也就是說，能在晶片上予側彈性表面波裝置10D的電特性，可在彈性表面波裝置10D切割下來之前進行特性選別，只把良品給后序工程使用。
這樣用本發明能簡單地制造出優質彈性表面波裝置10A在切割線內側，在梳型電極2，反射器電極3設置多條相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極；在接觸凸點的電極中只少最上層用蒸鍍的方法(蒸鍍)做成，使在具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電位更快地更簡單地均勻化，提高電極的結合力，抑制伴隨異種金屬結合時的電腐蝕，提高耐壓性能，制造出沒有由靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10D。
(實施例5)圖9是表示本發明的實施例5中的彈性表面波裝置10E的電極圖形俯視圖。
圖9中，凡是與實施例4的圖6中的一樣的都用同一編號，并省略詳細的說明。而圖9是表示本實施例5中的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。
本實施例5中的圖9與本實施例4中的圖6的不同點為反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是斷開的，設置了3個梳型電極2，兩端的梳型電極2用帶狀電極18連接，并用多條帶狀電極20把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b連接上。
也就是說，在實施例4中梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是斷開的，而本實施例5中設置了3個梳型電極2，兩端的梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是用多條帶狀電極20連接上的，并用帶狀電極18連接兩端的梳型電極2。其它的跟實施例1一樣制造了彈性表面波裝置10E和電子器件40E(圖8)。
圖9中，梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是用多條帶狀電極20連接上的，幾組梳型電極用帶狀電極18連接的，這樣在梳型電極2等處產生的電荷通過帶狀電極20，在包含相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a，6b的電極全體上趨于等電位。
也就是說，兩端的梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔電極6a、6b用多條帶狀電極20連接，使更廣的電極作為共同電極，因此能使所產生的電荷盡可能在包括梳型電極2的更廣的面積上均勻而達到等電位，用寬的線連接兩著，所以比斷開的情況更能降低電阻，更不容易引起靜電放電。
而梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b相連接的效果依電極設置不同而不同的，但只要能用低電阻來連接電極，線狀的，面狀的線都行，根數也可以多，但是，希望用面狀的線，而且數目多的效果更好。
又在用線連接梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的時候，不希望在連線經過的途中有電阻高的部分，或許線寬一樣，順著往外部的方向變細的好。一般在設置的時候，切割線部分做成很細的，所以這些連線只少要跟它一樣或比它粗的好。
而與實施例4比較，因為包含梳型電極2等更廣的電極作為共同電極，能使所產生的電荷盡可能在更廣的面積上均勻而達到等電位，由此能簡單地制造出沒有靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10E。
又，圖9中，31a為接地線引出線，31b為接地電極。
(實施例6)圖10是表示本發明的實施例6中的彈性表面波裝置10F的電極圖形俯視圖。圖10中，凡是與實施例4的圖6中的一樣的都用同一編號，并省略詳細的說明。而圖10是表示本實施例6中的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。
本實施例6中的圖10與本實施例4中的圖6的不同點為反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是斷開的，并設置了3個梳型電極2，兩端的梳型電極2用帶狀電極18連接，并用多條帶狀電極20把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b連接上，并用多條帶狀電極22把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b和切割線28連接。
也就是說，在實施例4中梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是斷開的，而本實施例6中設置了3個梳型電極2，兩端的梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是用多條帶狀電極20連接，并用帶狀電極18連接兩端的梳型電極2，同時用多條帶狀電極22把切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b連接。其它的跟實施例1一樣的制造了彈性表面波裝置10F和電子器件40F(圖18)。
圖10中，切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b用多條帶狀電極22連接的，具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電位能夠通過包括相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a，6b和切割線28的電極全體達到均勻化而達到等電位。
也就是說，切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b用多條帶狀電極22連接，具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷能夠把包括切割線28做為更大的共同電極，能使產生的電荷在包括梳型電極2的更大的面積上達到均勻化，同時因為用更寬的線把兩者連接的，比起斷開的情況更能降低電阻，更不容易引起靜電放電。
而切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b相連接的效果，依電極設置不同而不同的，但只要能用低電阻來連接電極，則線狀的，面狀的線都行，根數多少也可以的，但是，希望用面狀的，而且數目多的效果更好。
又，在用線連接切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b的時候，不希望在連線經過的途中有電阻高的部分，所以往外部的方向變細的好。
一般在設置的時候，切割線部分做成很細的，所以這些連線只少要跟它一樣或比它粗為好。
從而，與實施例4比較，因為設置了3個梳型電極2，用帶狀電極18、20、22把兩端的梳型電極2和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和切割線28連接上，能更廣的電極作為共同電極，能降低所產生的電荷對電位的影響，由此能簡單地制造出沒有靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10F。
(實施例7)圖11是表示本發明的實施例7中的彈性表面波裝置10G的電極圖形俯視圖。圖11中，凡是與實施例4的圖6中的一樣的都用同一編號，并省略詳細的說明。而圖11是表示本實施例7中的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。
本實施例7中的圖11與本實施例4中的圖6的不同點為設置了3個梳型電極2；兩端的梳型電極和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是用多條帶狀電極20連接上；兩端的梳型電極2用帶狀電極18連接；反射器電極3相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b是用帶狀電極17連接上；在梳型電極2和反射器電極3外部設置切割線28；并用帶狀電極22連接切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b。
也就是說，在實施例4中梳型電極2和反射器電極3及切割線28是斷開的，而本實施例7中，切割線28和互獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和兩端的梳型電極2和反射器電極3是用帶狀電極17、18、20、22連接上的。其它的跟實施例4一樣的制造了彈性表面波裝置10G和電子器件40G(圖8)。
圖11中，切割線28和互獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和兩端的梳型電極2和反射器電極3是用帶狀電極17、18、20、22帶狀電極連接上的，具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷能夠通過包括兩端的梳型電極2和反射器電極3和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和切割線28的電極全體達到均勻化而達到等電位。
也就是說，切割線28和互獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和兩端的梳型電極2和反射器電極3是用帶狀電極17、18、20、22連接上的，能在包括切割線28和互獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和兩端的梳型電極2和反射器電極3的更大的面積上使電荷均勻化而降低電位差同時因為。同時因為用帶狀電極17、18、20、22把它們連接的，比起斷開的情況更能降低電阻。
而把切割線28和相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和兩端的梳型電極2和反射器電極3是用帶狀電極連接上的相連接的效果，依電極設置不同而不同的，但只要能用低電阻來連接電極，線狀的，面狀的線都行，根數多少都可以的，但是，希望用面狀的，而且數目多的效果更好。
從而，與實施例4比較，因為把切割線28和互獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和兩端的梳型電極2和反射器電極3是用帶狀電極連接的，能更廣的電極作為共同電極，能降低各部產生電位差，由此能簡單地制造出沒有靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10G。
(實施例8)圖12是表示本發明的實施例中的彈性表面波裝置10H的電極圖形俯視圖。圖12中，凡是與實施例4的圖6中的一樣的都用同一編號，并省略詳細的說明。而圖12是表示本實施例8中的結構的模式圖，并不表示各尺寸之間的相對關系。
本實施例8中的圖12與本實施例4中的圖6的不同點為反射器電極3做成彎曲的，把反射器電極3和梳型電極2連接上。
也就是說，在實施例4中梳型電極2和反射器電極3是斷開的；而本實施例8中，梳型電極2和曲折線構成的反射器電極19連接上的，并在相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極6a、6b外部設置了切割線28。其它的跟實施例4一樣的制造了彈性表面波裝置10H和電子器件40H(圖8)。
在圖12中，曲折線構成的反射器電極19與梳型電極2連接的，使用的信號為直流或低頻的時候是導電的，但在彈性表面波裝置10H的工作頻率范圍內電阻變大，實際跟斷開一樣的。
一方面，由曲折線構成的反射器電極19與梳型電極2連接的，因此擴大了共用的電極部分，具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷能在更廣的電極上，更長的電極全體上趨于均勻，能降低各部發生的電位差。
即，由曲折線構成的反射器電極19與梳型電極2連接的，在工作頻率范圍里實際上是斷開的，對于正常工作沒有不良影響，同時由于共用電極部分擴大了，具有壓電特性的基板1上由于熱電效應產生的電荷，能夠通過包括反射器電極19和梳型電極2的電極全體上趨于均勻而達到等電位。
還有，在連接相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的輔助電極6a、6b和切割線28的時候，可根據需要用一根以上的線或帶狀電極，由此擴大能使電位均勻的共用電極部分。
從而，與實施例4比較，由于曲折線構成的反射器電極19與梳型電極2連接的，在工作頻率范圍里實際上是斷開的，對于正常工作沒有不良影響，同時由于共用電極部分擴大了，具有壓電特性的基板1上產生的電荷，能夠通過包括反射器電極19和梳型電極2的電極全體上趨于均勻而達到等電位，更能降低各部發生的電位差。由此能簡單地制造出沒有靜電放電引起的損壞和電特性惡化的優質彈性表面波裝置10H。
綜上所述，本發明的實施例1～3中，在梳型電極和反射器電極周圍用多個相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極在，所以在切割成單片器件后，也能使具有壓電特性的基板1上產生的電位差更快、更簡單地均勻。由此能簡單地制造出沒有靜電放電引起的損壞器件和電特性惡化的優質彈性表面波裝置。
還有，本發明的實施例4～8中，切割線內在梳型電極和反射器電極設置了相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極，所以在切割成單片器件后，也能使具有壓電特性的基板1上產生的電位差更快、更簡單地形成均勻。由此能簡單地制造出沒有靜電放電引起的損壞器件和電特性惡化的優質彈性表面波裝置。
權利要求
1.一種彈性表面波裝置，由配置在具有壓電特性的基板上的梳型電極和在接近由該梳型電極發生的表面波的傳播方向上配置的反射器電極構成，其特征在于在所述梳型電極和反射器電極的周圍設置相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極。
2.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極作為地線電極而使用。
3.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極大致均勻地配置。
4.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于設置與梳型電極連接的帶狀輸入端子引出電極和輸出端子引出電極，并設置與輸入端子引出電極和輸出端子引出電極連接的輸入端子電極和輸出端子電極。
5.根據權利要求4所述的彈性表面波裝置，其特征在于相互對向地設置帶狀輸入端子引出電極和輸出端子引出電極以及輸入端子電極和輸出端子電極，并使它們的面積大致相等。
6.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于至少使反射器電極的一部分與相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極構成電連接。
7.根據權利要求6所述的彈性表面波裝置，其特征在于把反射器電極與相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極用多條導線或帶狀電極構成電連接。
8.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于使反射器電極與相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極形成電氣斷開狀態。
9.根據權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于反射器電極由曲折線構成，并使該反射器電極與梳型電極電連接。
10.一種彈性表面波裝置的制造方法，是一種在具有壓電特性的基板上覆蓋金屬薄膜，通過對該金屬薄膜進行蝕刻形成多組規定的電極圖形，然后進行切割而獲得單片的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于包括在所述具有壓電特性的基板上，至少設置一組的梳型電極、反射器電極、位于梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極、輸入端子電極和輸入端子引出電極及輸出端子電極和輸出端子引出電極的工序和把相鄰的所述輔助電極之間切斷的工序。
11.一種彈性表面波裝置的制造方法，是一種在具有壓電特性的基板上覆蓋金屬薄膜，通過對該金屬薄膜進行蝕刻形成規定的梳型電極、反射器電極、輸入端子電極和輸入端子引出電極及輸出端子電極和輸出端子引出電極、位于梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極，然后把相鄰的所述輔助電極之間切斷的彈性表面波的制造方法，其特征在于至少在輸入端子電極和輸出端子電極以及多個所述輔助電極的最上層的電極用蒸鍍法形成。
12.根據權利要求11所述的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于最上層的電極為軟性材質。
13.根據權利要求12所述的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于軟性材質為鋁或鋁合金。
14.根據權利要求11所述的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于梳型電極、反射器電極、輸入端子電極和輸入端子引出電極、輸出端子電極和輸出端子引出電極、相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極是由一種或多種金屬的重疊構成。
15.一種電子器件，其特征在于在具有壓電特性的基板上設置梳型電極，在接近所述梳型電極發生的表面波的傳播的方向設置反射器電極而構成的彈性表面波裝置中，設置在所述梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極、與所述梳型電極連接的帶狀輸入端子引出電極及輸入端子電極和輸出端子引出電極，使它們構成電連接并把它們配置在基板上，封裝而成。
16.一種彈性表面波裝置的制造方法，在具有壓電特性的基板上覆蓋金屬薄膜，通過對該金屬薄膜進行蝕刻而形成多組規定的電極圖形，然后，進行切割而得到單片的彈性表面波裝置，其特征在于包括在所述具有壓電特性的基板上形成切割線、在其內側設置梳型電極、反射器電極、在所述梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極及輸入、輸出端子引出電極和輸入、輸出端子電極的工序；和沿切割線進行切割的工序。
17.一種彈性表面波裝置的制造方法，在具有壓電特性的基板上覆蓋金屬薄膜，通過對該金屬薄膜進行蝕刻而形成規定的切割線和梳型電極、反射器電極、輸入、輸出端子引出電極、輸入、輸出端子電極及在所述梳型電極和反射器電極周圍的相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極，然后通過沿切割線進行切割而得到彈性表面波裝置，其特征在于在輸入、輸出端子引出電極、輸入、輸出端子電極及相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極中的至少一個電極，至少在其最上層的電極是用蒸鍍法而形成。
18.根據權利要求17所述的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于最上層的電極用軟性材質形成。
19.根據權利要求18所述的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于作為軟性材質，使用鋁或鋁合金。
20.根據權利要求17所述的彈性表面波裝置的制造方法，其特征在于梳型電極、反射器電極、輸入端子引出電極、輸出端子引出電極、相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極是通過重疊一種或多種金屬而形成。
全文摘要
本發明提供一種彈性表面波裝置，該裝置具有把相互電氣獨立的在不同的部位其寬度不同的多個輔助電極(6a、6b)設置在梳型電極(2)及反射器電極(3)周圍的結構，從而能夠有效地使具有壓電特性的基板(1)的因其熱電效應而產生的電荷形成電氣均勻化。
文檔編號H03H9/64GK1465132SQ02802187
公開日2003年12月31日 申請日期2002年6月18日 優先權日2001年6月21日
發明者池田和生, 西村和紀, 村瀨恭通 申請人:松下電器產業株式會社