專利名稱：壓電諧振元件的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于例如片型壓電振蕩器中的壓電諧振元件。本發明尤其涉及包含裝入含有電容器基片的封裝中的壓電諧振單元的壓電諧振元件。
將壓電諧振單元裝入封裝中，以允許壓電振動部分自由振動。
例如，在含有壓電諧振單元的壓電振蕩器電路的情況下，電容器電氣連接到壓電諧振單元。當這種壓電振蕩器電路以片型元件設置時，將電容器設置在外罩基片中以便達到小型化。
例如，第4-192709號日本專利申請公開公告中揭示了一種片型壓電諧振元件50，如
圖10所示。片型壓電諧振元件50包括作為外罩基片的電容器基片51，它由單片陶瓷燒結技術形成。朝下開口的陶瓷蓋子52通過焊料53焊接到電容器基片51。為了改善可焊性，在陶瓷蓋子52的下表面上用Ag和Pd形成焊接層54，而在電容器基片51的上表面上由NiCr和Au形成焊接層55。
將壓電諧振單元56裝入由電容器基片51和陶瓷蓋子52確定的封裝內。壓電諧振單元56包含壓電基片57和分別設置在壓電基片57的上表面和下表面上的激勵電極58和59。壓電諧振單元56的激勵電極58和59相互重疊的部分用作振動部分，它利用能陷型厚度切向振動模式。
將壓電諧振單元56分別焊接到設置在外罩基片51的上表面上的電極62和63。
將多個內部電極64到68設置到電容器基片51中。將內部電極64和65電氣連接到通過電容器基片51延伸的通孔電極69。將通孔電極70電氣連接到內部電極66的下表面。將內部電極67和68電氣連接到延伸通過電容器基片51的通孔電極71。如此設置通孔電極69和71，從而上端分別電氣連接到電極62和63，而下端分別電氣連接到設置在電容器基片51的下表面上的端子電極72和73。通過電極70的下端電氣連接到設置在電容器基片51下表面上的端子電極74。
第5-181205號日本實用新型公開公告中揭示了一種壓電諧振元件81，如圖11所示。電容器基片82和蓋子83確定了封裝。將內部電極84和85設置在電容器基片82內。將電極86a設置在電容器基片82的上表面上，從而電極86a和內部電極85相互重疊，并且其間設置有介質層。類似地，在電容器基片82的下表面上設置電極86b，從而電極86b和內部電極84相互重疊，其間設置有介質層。電極86a和86b在電容器基片82的未說明的一側表面上電氣連接到一起。
將內部電極84和85分別電氣連接到外部電極87a和87b，它們被設置得覆蓋電容器基片82相應的端面。外部電極87a和87b延伸得覆蓋電容器基片82的上表面和下表面部分。壓電諧振器90被焊接到外部電極87a和87b部分，它覆蓋電容器基片82的上表面的相應部分。壓電諧振器90是能陷型的，它利用厚度切向振動模式。將壓電諧振器90封裝入由電容器基片82和蓋子83確定的空間內。
如圖10所示的壓電諧振元件50中設置了通孔電極69到71，目的是在壓電諧振單元56和用作電容器的電容器基片51之間，和端子電極72到74，電容器和壓電諧振單元56之間建立電氣連接。另外，壓電諧振元件50制造還包含形成通孔電極69到71的步驟。引起制造所需的步驟數量增加，并使加工的難度增加。還導致了電容器基片51的相對較高的成本。
由于通孔電極69到71必須設置在電容器基片51中，故內部電極無法延伸，從而內部電極在通孔電極69到71所在區域相對。換句話說，通孔電極69到71防止了內部電極相對面積的增加，由此防止了尺寸的減小，并且引起安裝所需面積的增加。
通孔電極69到71的存在削弱了電容器基片51的對稱性，潛在地導致了電容器基片51在制造加工的燒結中變形。例如，通孔電極70的上部和下部相對于通過電容器基片51的中心且平行于電容器基片51的上表面和下表面延伸的虛擬平面不相互對稱。這種被削弱的對稱性引起電容器基片51變形，由此引起電容器基片51和壓電諧振單元56之間不良的焊接，或者在電容器基片51和蓋子52之間形成縫隙，結果使密封性能削弱。另外，當將壓電諧振單元50安裝到印刷電路板上時，可能使安裝精確度削弱，或可能導致不良焊接。
相反，圖11所示的壓電諧振元件81不具有形成在電容器基片82中的通孔電極。由此，不發生上述與通孔電極的存在有關的問題。
當將壓電諧振元件81安裝到印刷電路板上時，通過外部電極87a和87b和設置在電容器基片82側表面上的外部電極(圖中未示)建立它們之間的電氣連接，并電氣連接到電極86a和86b。將外部電極87a和87b設置在電容器基片82的端面上，而將連接到電極86a和86b的外部電極設置在電容器基片82的側表面上。相應地，電容器基片82的兩個端面和兩個側表面必須焊接到印刷電路板，由此使安裝處理非常復雜。
另外，由于通過內部電極84和85以及分別設置在電容器基片82的上表面和下表面上的電極86a和86b產生電容，故難以獲得大的電容。為了提供大的電容，必須增加內部電極84和85的層數，這導致難以減小電容器基片82的厚度。
另外，由于電容器基片82的對稱性差，故產生壓電諧振元件50中的問題。例如，內部電極部分相對于通過電容器基片82的厚度方向的中心且平行于電容器基片82的上表面和下表面延伸的虛擬平面不對稱，或相對于通過電容器基片82的中心并沿電容器基片82的厚度方向延伸的虛擬平面不對稱。由此，電容器基片82容易經受燒結導致的彎曲。
為了克服上述問題，本發明的較佳實施例提供了一種壓電諧振元件，它在電容器基片中達到非常大的電容，容易地減小電容器基片的厚度，并且解決了上述由被削弱的電容器基片的對稱性引起的問題。
本發明的一個較佳實施例提供了一種壓電諧振元件，它包含電容器基片；安裝在所述電容器基片上的壓電諧振單元；及固定裝配到所述電容器基片上以便包封所述壓電諧振單元的外罩件。電容器基片和外罩件構成容納壓電諧振單元的封裝。
電容器基片包含具有大致上矩形形狀的介質基片，多個以層設置在所述介質基片中的內部電極，所述內部電極之間設置有介質層，和多個電氣連接到所述內部電極并設置在所述介質基片相對側表面中至少一個側表面上的外部電極。
外部電極的上述結構能夠通過將電容器基片的側表面簡單地連接到印刷電路板上，將本發明的較佳實施例的壓電諧振元件安裝到例如印刷電路板上，這有利于高效的安裝處理。
較好地，多個所述內部電極包括連接到地電勢的內部電極和一對位于公共垂直位置，并相對于所述介質基片的中心部分相互隔開的分離內部電極。這對分離內部電極和連接到地電勢的內部電極相對設置，其間設置有介質層。
內部電極的上述配置有利于增加得到的電容量，由此能夠減小電容器基片的厚度，結果減小了壓電諧振元件的尺寸。
由于以層設置連接到地電勢的內部電極和一對或多對分離內部電極，所以容易改進結合在電容器基片中的內部電極的對稱性。由此，即使通過利用單片陶瓷燒結技術形成電容器基片，電容器基片也不會變形。
由此，將壓電諧振單元可靠地安裝到電容器基片上，并且外罩件可靠地粘接到電容器基片上，它們之間不形成縫隙。
相應地，不再由于將壓電諧振單元安裝到電容器基片上并將壓電諧振單元安裝到印刷電路板上而導致產生不良的電氣連接。
分層的內部電極的數量不作具體限定。連接到地電勢的內部電極和成對的分離內部電極可以按合適的層數交替設置。
較好地，多個內部電極相對于通過電容器基片的中心并平行于電容器基片的一對相對的側表面延伸的第一虛擬平面、通過電容器基片的中心并平行于電容器基片的另一對相對的端面延伸的第二虛擬平面、通過電容器基片的中心并平行于電容器基片的上下表面延伸的第三虛擬平面對稱地設置。
通過上述獨特的安排和結構，防止了電容器基片在制造過程中的變形。
更好地，在多個內部電極中，沿內部電極層疊方向處于最外面的內部電極確定一對分離內部電極。
通過使用上述配置，使壓電諧振單元和電容器基片之間的寄生電容最小化，由此提供極好的諧振特性。
較好地，外罩件具有包括其中形成朝下開口的蓋子結構。但是，外罩件不限于此。例如，電容器基片和外罩件的結構可以如此修改，從而沿電容器基片的周圍邊緣設置上突的環狀壁，并且外罩件具有平板狀形狀，并適合于粘接到環狀壁的上緣。
可以將具有上述蓋子形式的外罩件容易地安裝到電容器基片上，同時封裝壓電諧振單元。蓋子和電容器基片確定了一個可靠的密封空間，用于將壓電諧振單元容納在其中。
較好地，導電蓋子用作上述蓋子，并且將導電蓋子通過絕緣材料粘接到電容器基片上。
導電蓋子可以電磁屏蔽壓電諧振單元。
或者，絕緣蓋子確定上述蓋子，并且將絕緣蓋子通過適當的粘劑粘接到電容器基片上。
使用絕緣蓋子防止了由蓋子和設置在電容器基片上的電極之間的導電引起的電氣連接的缺點。
在本發明的某一應用中，能陷型壓電諧振器構成了壓電諧振單元，并且該壓電諧振單元和裝在電容器基片上的電容器構成振蕩器電路。
通過使用上述配置，構成了包含負載電容的壓電振蕩器，以確定片型壓電諧振單元。
從下面參照附圖對本發明的較佳實施例所作的詳細描述，本發明的其它特點、要素、特征和優點是顯然的。
圖1是根據本發明的較佳實施例的壓電諧振元件的分解透視圖；圖2A和2B是圖1所示的較佳實施例中所包含的電容器基片的平面圖和側視圖；圖3A和3B是示出設置在圖2A和2B所示的電容器基片中包含的介質基片中的內部電極的示圖，其中圖3A是分離內部電極的平面圖，圖3B是連接到地電勢的內部電極的平面圖；圖4A和4B是包含在圖2A和2B所示的電容器基片中的介質基片的側視圖和端面圖；圖5是圖1所示的較佳實施例中所包含的壓電諧振單元的縱向截面圖；圖6A到6C是圖2A和2B所示的電容器基片中包含的介質基片的截面圖，其中圖6A是沿圖2A中的線A-A的截面圖，圖6B是沿圖2A中的線B-B的截面圖，圖6C是沿圖2B中的線C-C的截面圖；圖7是示出以層設置在本發明的較佳實施例中包含的電容器基片中的多個內部電極的修改的截面圖；圖8A和8B都是示出本發明的較佳實施例中包含的電容器基片的修改的平面圖；圖9A和9B是示出圖8A所示的電容器基片中使用的內部電極的形狀的平面圖，其中圖9A示出了連接到地電勢的內部電極，圖9B示出分離內部電極；圖10是傳統的壓電諧振單元的截面圖；圖11是另一個傳統的壓電諧振單元的截面圖。
下面將參照附圖詳細描述本發明的較佳實施例。
圖1是根據本較佳實施例的壓電諧振元件的分解透視圖。
壓電諧振元件1包括電容器基片2和能陷型壓電諧振器3，它確定了壓電諧振單元，并安裝在電容器基片2上。電容器基片2和導電蓋子4構成一個封裝。
電容器基片2包括較好地大致上為矩形的介質基片5。圖2A和2B分別是電容器基片2的平面圖和側視圖。
將外部電極6到8設置在電容器基片2上，以便覆蓋介質基片5的至少一部分相對側表面5a和5b。設置外部電極6和8，以便覆蓋側表面5a和5b的端部。外部電極6和8設置得不但覆蓋側表面5a和5b的部分，還覆蓋介質基片5的端面和上下表面部分。外部電極7設置得不但覆蓋側表面5a和5b的部分，還覆蓋介質基片5的上表面部分。還有，外部電極7延伸穿過介質基片5的下表面。
介質基片5包括如圖3A所示的成對的分離內部電極9和10以及連接到地電勢的內部電極11。成對的分離內部電極9和10與內部電極11以層設置。
如圖3A所示，成對的分離內部電極9和10位于基片5內公共垂直位置或高度。成對的分離內部電極9和10具有通過將在介質基片5的中心部分介質基片5的端面5c和5d之間且平行于端面5c和5d延伸的虛擬內部電極分開而得到的結構和安排。
分離內部電極9(10)具有引導部分9a和9b(10a和10b)，它們分別延伸到介質基片5的側表面5a和5b。引導部分9a和9b連接到外部電極6，引導部分10a和10b連接到外部電極8。在本較佳實施例中，將引導部分9a和9b設置得達到介質基片5的端面5c，并且將引導部分10a和10b設置得達到介質基片5的端面5d。
要連接到地電勢的內部電極11位于和成對的分離內部電極9和10不同的垂直位置或高度。內部電極具有引導部分11a和11b，它們沿介質基片5的中心線平行于端面5c和5d延伸，并分別到達側表面5a和5b。按照這種方法，引導部分11a和11b電氣連接到外部電極7。
圖4A示出介質基片5的側表面5b。圖4B示出介質基片5的端面5c。
如從圖4A看出，內部電極引導部分11b暴露在側表面5b相對于介質基片5的厚度方向的大致中心位置。如圖4B所示，分離內部電極9暴露在端面5c上。
在本較佳實施例中，內部電極設置為3層，從頂部到底部包括成對的分離內部電極9和10、內部電極11和成對的分離內部電極9和10。換句話說，成對的分離內部電極9和10位于內部電極層疊體的最外層。
分離內部電極11和成對的分離內部電極9和10以層設置，從而在電容器基片2中的電容器。具體地說，外部電極7連接到地電勢，由此在外部電極7和外部電極6之間形成電容器，并在外部電極7和外部電極8之間形成另一個電容器。
參照圖1，較好地，通過焊接件12和13將壓電諧振器3連接到電容器基片2的上表面。壓電諧振器3是利用厚度延伸振動模式的諧波的能陷型壓電諧振器。
如圖5所示，壓電諧振器3包括較好地具有細長矩形形狀的壓電基片14。壓電基片14可以由諸如鈦酸鉛鋯陶瓷、晶體或適當的壓電單晶之類的壓電陶瓷或其它適合的材料制成。
在由壓電陶瓷制成的壓電基片14的情況下，對壓電基片14極化，從而極化軸沿壓電基片14的厚度方向延伸。
將第一激勵電極15設置在壓電基片14的上表面上，并將第二激勵電極16設置在壓電基片14的下表面上。將內部激勵電極17設置在壓電基片14中間的垂直位置或高度。激勵電極15和16以及內部激勵電極17沿壓電基片14的厚度方向相互重疊，同時壓電層插在它們之間。激勵電極15到17的重疊部分確定能陷型振動部分。
通過端子電極18將激勵電極15和16連接到一起。端子電極18通過端面14b由壓電基片14的上表面延伸到下表面。
將端子電極19設置在與端面14b相對的端面14a上。將端子電極19電氣連接到內部激勵電極17。
將端子電極19設置得達到壓電基片14的上表面和下表面。
在壓電諧振器3中，通過在端子電極18和19之間提供交流電壓，壓電振動部分以厚度延伸振動模式受到激勵，由此在壓電振動部分中陷獲厚度延伸振動模式的諧波，由此獲得以諧波為基礎的諧振特性。
如上所述，較好地，通過焊接件12和13將壓電諧振器3安裝到電容器基片2上。即，通過焊料12將端子電極19電氣連接到并機械接合到電容器基片2的外部電極6。
通過焊料13將壓電諧振器3的端子電極18電氣連接到并機械接合到電容器基片2的外部電極8。提供焊接件12和13以便達到某一厚度，由此在壓電諧振器3的下表面和電容器基片2的上表面之間形成縫隙D。設置縫隙D以便允許壓電振動部分完全自由振動。
較好地，蓋子4包含諸如鋁或不銹鋼之類的導電材料，并具有開口4a(如圖1所示朝下)。將絕緣粘劑20施加到下表面4b，它圍繞開口4a。
導電蓋子4通過絕緣粘劑20最好粘接到電容器基片2的上表面。通過使用導電蓋子4，電磁屏蔽內部壓電諧振器3。
為了可靠地防止導電蓋子4和外部電極6和8之間的導電，在電容器基片2上設置絕緣薄膜(圖中未示)，較好地，該絕緣薄膜大致上為矩形的框形，并且導電蓋子4可以通過絕緣粘劑20粘接到絕緣薄膜。
在本較佳實施例的壓電諧振元件1中，較好地，電容器基片2包含連接到地電勢的內部電極11和成對的分離內部電極9和10。由此，當將內部電極設置成相同層數時，壓電諧振元件1可以得到大于圖11所示的傳統的壓電諧振元件81的電容。換句話說，當得到相同的電容時，壓電諧振元件1的層疊的內部電極數可以小于傳統的壓電諧振元件81，由此減小了電容器基片2的厚度。
成對的分離內部電極9和10具有通過將在介質基片5大致中心部分的端面5c和5d之間延伸且平行于端面5c和5d的虛擬內部電極分開而得到的結構和安排。內部電極11的引導部分11a和11b(要連接到地電勢)平行于端面5c和5d在介質基片5的大致中心部分延伸，并分別達到側表面5a和5b。相應地，在電容器基片2中，可以將成對的分離內部電極9和10及內部電極11以層高度對稱地設置。當在電容器基片2的制造過程中應用單片陶瓷燒結技術時，得到的電容器基片2不會受彎曲或變形的影響。
具體地說，根據本較佳實施例，在電容器基片2中，多個內部電極9到11相對于通過電容器基片2的大致中心并平行于電容器基片2的相對的一對側表面5c、5d延伸的第一虛擬平面、通過電容器基片2的大致中心并平行于電容器基片2的相對的另一對側表面5a與5b延伸的第二虛擬平面、通過電容器基片2的大致中心并平行于電容器基片2的相對的上表面和下表面延伸的第三虛擬平面對稱設置，由此更為可靠地防止電容器基片2由燒制引起的變形。下面將參照圖6A到6C詳細描述這一對稱特點。
圖6A是沿圖2A的線A-A切割介質基片5的截面圖；即沿通過電容器基片2的大致中心并平行于側表面5a和5b延伸的第二虛擬平面切割的截面圖。朝圖6A的紙平面遠側延伸的內部電極相對于第二虛擬平面與朝著圖6A的紙平面側延伸的內部電極對稱。
圖6B是沿圖2B的線C-C切割的截面圖；即沿第三虛擬表面取得的截面圖，該表面平行于電容器基片2的上表面和下表面延伸。將內部電極11設置在第三虛擬閉幕式，將分成對的內部電極9和10設置在第三虛擬平面的上面和下面。由此，對于第三虛擬平面對稱地設置多個內部電極。
圖6C是沿圖2A的線B-B的截面圖，即沿通過電容器基片2的大致中心并平行于端面5c和5d延伸的第一虛擬平面切割的截面圖。內部電極9到11也相對于第一虛擬平面對稱設置。
在本較佳實施例的電容器基片2中，相對于第一到第三虛擬平面對稱地設置內部電極。結果，在制造電容器基片2的過程中防止了介質基片5的變形。
根據本較佳實施例，將多個內部電極相對于第一到第三虛擬平面對稱地設置。但是，本發明不限于此。即，當多個內部電極包括成對的分離內部電極和連接到地電勢并通過介質層與分離內部電極相對的內部電極時，成對的分離內部電極設置得位于基片中公共的垂直位置，并在介質基片的大致中心部分處相互分開。由此，大大改善了電容器基片的對稱性。
相應地，通過使用分離內部電極和連接到地電勢的內部電極，以及這些單元的獨特安排，即使當多個內部電極相對于第一到第三虛擬平面對稱地設置時，和傳統的壓電諧振元件相比，電容器基片的對稱性大大改進。由此，相應地使電容器基片的變形最小化。
在內部電極9到11中，成對的分離內部電極9和10位于內部電極9到10的層疊體的最外層，由此減小了壓電諧振器3和地電勢電極之間的寄生電容，并且由此提供了極好的諧振特性。但是，成對的分離內部電極9和10不必一定要位于層疊體的最外層。
圖7的剖視圖示出在根據本發明的另一個較佳實施例的壓電諧振元件中所包含的電容器基片中以層設置的多個內部電極的修改。
在上述較佳實施例中，將成對的分離內部電極9和10設置在連接到地電勢的內部電極11的上面和下面。但是，可以適當地改變電容器基片中所包含的內部電極的層數。例如，如圖7所示，將成對的分離內部電極9和10與連接到地電勢的內部電極11以層交替設置為總共7層內部電極。
還有，在圖7中，為了減小壓電諧振器3和電容器基片2之間的寄生電容，成對的分離內部電極9和10位于層疊體的最外層。但是，連接到地電勢的內部電極11可以位于最外層。
圖8A和8B是平面圖，示出位于電容器基片2上的外部電極6到8的修改。在圖8A所示的電容器基片31中，外部電極37設置得覆蓋介質基片32的相對的側表面32a和32b的中心部分，并延伸到介質基片32的下表面。
將外部電極36(38)設置在介質基片32上其端部附近，以便延伸通過側表面32a和32b，并穿過介質基片32的上表面和下表面。通過這種方法，可以將外部電極36和38設置得不覆蓋介質基片32的端面32c和32d。還有，在這種情況下，可以通過簡單地在側表面32a和32b上完成焊料將得到的壓電諧振元件安裝到例如印刷電路板上。相應地，在上述較佳實施例的情況下，可以利用焊劑。
圖9A和9B是平面圖，示出圖8A的介質基片32中以層設置的內部電極。如圖9A所示，以和上述較佳實施例類似的方法形成內部電極11。如圖9B所示，將成對的分離內部電極9A和10A設置得不達到介質基片32的端面32c和32d。引導部分9a、9b、10a和10b僅僅在側表面32a和32b上暴露。由于成對的分離內部電極9A和10A不在端面32c和32d上暴露，所以和介質基片5相比，介質基片32大大改善了防潮性。
在圖8A所示的電容器基片31中，將外部電極37設置得不達到介質基片32的上表面。但是，如圖8B所示，連接到地電勢的外部電極37可以安排得延伸穿過介質基片32的上表面。在圖8B所示的電容器基片39中，將外部電極36到38設置得延伸穿過相對的側表面32a和32b，并穿過介質基片32的上表面和下表面。由于上表面和下表面具有相同的結構特征，在裝配中可以省略為電容器基片39定向的工作。
雖然已經通過本發明多個較佳實施例具體示出和描述了本發明，對于熟悉本領域的人來說，在不背離本發明的主旨的條件下，可以有形式和細節上的其它變化。
權利要求
1.一種壓電諧振元件，其特征在于包含電容器基片；安裝在所述電容器基片上的壓電諧振單元；及固定地裝配到所述電容器基片上以便封裝所述壓電諧振單元的外罩件，其中所述電容器基片包含介質基片，多個分層設置在所述介質基片中并且其間設置有介質層的內部電極，和多個外部電極，每一個所述外部電極都電連接到至少一個所述內部電極，并設置在所述介質基片一對相對的側表面中的至少一個表面上；并且多個所述內部電極包括連接到地電勢的一個內部電極和一對在所述電容器基片內位于公共垂直位置并相對于所述介質基片的中心部分相互分離的分離內部電極，所述這對分離內部電極和連接到地電勢的內部電極相對設置，其間設置有介質層。
2.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于多個內部電極相對于通過電容器基片的大致中心并平行于電容器基片的一對相對的側表面延伸的第一虛擬平面、通過電容器基片的大致中心并平行于電容器基片的另一對相對的端面延伸的第二虛擬平面、通過電容器基片的大致中心并平行于電容器基片的上表面和下表面延伸的第三虛擬平面對稱地設置。
3.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于這對分離內部電極確定位于沿內部電極的層疊方向最外面的內部電極。
4.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于外罩件包含具有朝下開口的蓋子。
5.如權利要求4所述的壓電諧振元件，其特征在于蓋子是導電的，并通過絕緣材料粘接到電容器基片上。
6.如權利要求4所述的壓電諧振元件，其特征在于蓋子是絕緣的，并通過粘劑粘接到電容器基片上。
7.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于壓電諧振單元是能陷型的，并且設置在電容器基片中的壓電諧振單元和電容器構成振蕩器電路。
8.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于介質基片具有大致上矩形的形狀。
9.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于將外部電極設置在電容器基片上，以便覆蓋介質基片的至少相對的側表面部分。
10.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于外罩件是導電的，并且將電容器基片和外罩件設置得確定一個封裝。
11.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于至少一個內部電極具有引導部分，所述引導部分設置得達到介質基片的端面。
12.如權利要求11所述的壓電諧振元件，其特征在于將引導部分連接到外部電極。
13.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于至少一個內部電極具有引導部分，所述引導部分設置得不達到介質基片的端面。
14.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于這對分離內部電極暴露在電容器基片的一個端面上。
15.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于還包含焊接件，所述焊接件設置得連接電容器基片上的壓電諧振單元，并設置得確定一個縫隙，所述縫隙允許壓電諧振單元自由振動。
16.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于壓電諧振單元包含具有大致上矩形形狀的壓電基片。
17.如權利要求16所述的壓電諧振元件，其特征在于壓電基片由壓電陶瓷和壓電單晶材料中的一種制成。
18.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于一個內部電極連接到地電勢和這對分離內部電極。
19.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于一個外部電極設置得覆蓋電容器相對的側表面的中心部分，并延伸到電容器基片的下表面。
20.如權利要求1所述的壓電諧振元件，其特征在于這對分離內部電極不暴露在電容器基片的端面上。
全文摘要
本發明提供了一種壓電諧振元件,其特征在于包含電容器基片、安裝在電容器基片上的壓電諧振器,和固定地裝配到電容器基片上的外罩件。電容器基片包括介質基片、多個以層設置在介質基片內的內部電極,和多個設置在介質基片的至少一個相對側表面上的外部電極。多個內部電極包含連接到地電勢的內部電極和一對分離內部電極,所述分離內部電極位于公共垂直位置,并且相對于介質基片的中心部分相互分開。
文檔編號H03H9/125GK1270447SQ00104948
公開日2000年10月18日 申請日期2000年3月28日 優先權日1999年3月29日
發明者龜田英太郎, 馬場俊行, 井上二郎, 川端章一 申請人:株式會社村田制作所