一種可控的漏電保護裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及離子注入機配電柜的一種漏電保護的裝置。
【背景技術】
[0002]離子注入機是半導體工藝中離子摻雜的主要設備，離子源產生需要摻雜的離子束，由引出系統提供所需要的能量，分析器分離出需要的離子束，通過平行透鏡調節和校正，最后到達靶室注入硅片。離子注入機屬于電子裝備，由于種種原因引起的電氣線路漏電，會通過跳閘使整機出于停電狀態，甚至發生越級跳閘影響外電路，檢修時也不能第一時間找到故障源。整個工藝都需要通過很多電源的配合使用來達到工藝要求，突然地供電斷電會對機臺某些電氣設備造成一定的損壞，尤其是在生產過程中，會對廠家造成很大的損失。
【發明內容】
[0003]本發明是針對上述現有技術中存在的問題而提出的一種用于離子注入機的漏電保護裝置。
[0004]本發明通過以下技術方案實現:
[0005]—種可控的漏電保護裝置。包括工控機、控制器、漏電保護裝置和三相四線制電路。工控機通過光纖與控制器相連，控制器通過控制線采集漏電保護裝置的反饋信號，并輸出控制信號改變漏電保護裝置的狀態。漏電保護裝置包括:零序電流互感器(磁環m和檢測線圈ab)、閘刀開關(K1)、壓敏電阻(R1)、整流橋(D1-D8)、可控硅(Tl和T2)、均壓電阻(R3和R4)、電容(Cl和C2)、電阻(R2R5R6R7R8R9)、轉換開關(K2)、電磁鐵線圈(L)。具體連接方式如圖1所示。漏電保護裝置通過轉換開關(k2)改變其工作狀態(遠程/自動)。
[0006]相對現有技術，本發明所述電路的有益效果在于:
[0007]1.工控機可以顯示漏電狀態，找到故障源頭，方便維修。
[0008]2.漏電保護裝置可切換兩種工作狀態(遠程/自動)，可以對設備達到最好的保護作用。
【附圖說明】
[0009]圖1:是本發明所述可控的漏電保護裝置框架圖。
[0010]圖2:是本發明所述可控的漏電保護裝置原理圖。
【具體實施方式】
[0011]正常情況下，穿過磁環(m)的三相電源線和零線的電流矢量和為零，檢測線圈(ab)無輸出，可控硅(Tl T2)無觸發電壓而處于截止狀態。壓敏電阻(Rl)起過壓保護作用。由于均壓電阻(R3R4)比較大，流經電磁鐵線圈(L)的電流比較小，不足以造成閘刀開關(Kl)斷開；當電路出現漏電情況時，穿過磁環(m)的三相電源線和零線的電流矢量和不為零，檢測線圈(ab)有輸出。轉換開關(K2)自動狀態下，檢測線圈(m)輸出的感應電壓立即觸發可控硅T2導通，由于電容(C2)預先有一定電壓，可控硅(T2)導通后，電容(C2)便經電阻(R5R6)、可控硅(T2)放電，使電阻R5產生電壓觸發可控硅(Tl)導通，可控硅(T1T2)導通后，流經電磁鐵線圈(L)的電流增大，使電磁鐵動作，驅動閘刀開關斷開，保護電路。轉換開關(K2)遠程狀態下，控制器采集到漏電的反饋狀態信號，通過光纖顯示在工控機上，通過操作員或者程序根據漏電的大小和機臺的工作情況做出最有利的選擇，立即或者延時通過控制器輸出控制電流使電磁鐵動作，保護電路。
[0012]本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。
【主權項】
1.一種可控的漏電保護裝置。包括工控機、控制器、、漏電保護裝置和三相四線制電路。2.如權利要求1所述的一種可控的漏電保護裝置，其特征在于:工控機可以輸出狀態反饋，并且可以通過遠程控制或者自動控制改變其狀態。
【專利摘要】一種可控的漏電保護裝置。包括工控機、控制器、漏電保護裝置和三相四線制電路。該裝置特征在于，工控機上可以顯示漏電保護狀態，并可以通過遠程控制或者自動控制改變其狀態。說明書對裝置進行了詳細闡述。
【IPC分類】H02H3/32
【公開號】CN105576602
【申請號】CN201410645031
【發明人】馬少志
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2014年11月7日