專利名稱:一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置的制作方法
技術領域:
本發明涉及電機線圈電流環整定裝置,特別涉及硅片臺單臺或多臺交換系統中控制系統的平面電機線圈電流環的輔助整定裝置,屬于平面電機線圈電流環整定技術。
背景技術:
現階段,在實際控制工程領域中,驅動裝置是必不可少的部分,各類驅動器的使用也較為廣泛。在驅動器的使用過程,電流環的整定是關鍵一步,直接影響控制系統最終的性倉泛。 在結構較為復雜的控制系統中,電流環整定的簡便性是需要考慮的問題。如磁懸浮平面電機系統,由于系統動子是自由懸浮的狀態,在整定過程中需要在原有系統中人為加上如導軌之類能夠約束動子運動的裝置,完成電流環整定后,需要將導軌等約束動子的裝置拆除,這樣對整個系統在結構和控制上造成不必要的麻煩,而且浪費資源。因此,對于上述提到的系統,需要尋找一種更為方便直接的電流環整定的方式。
發明內容
本發明的目的提供一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置,以克服單臺或多臺系統在電流環整定過程中在結構上或控制上增添附加設備造成的問題。在不改變原有系統結構的基礎上,本發明提供了一種為電機電流環整定、實用且簡便的輔助裝置。為達到上述發明目的,本發明采取的技術方案如下一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置,所述雙臺交換系統包括基臺、兩個結構相同的硅片臺和平面電機,平面電機定子采用平面永磁陣列,固定安裝在基臺上;平面電機動子采用氣浮支承,底部為線圈陣列,兩個硅片臺與所述平面電機動子固定連接,其特征在于,所述電流環輔助整定裝置包括整定基座、整定磁鋼陣列、移動部件和驅動器組件;所述整定磁鋼陣列排布方式與所述雙臺交換系統的平面永磁陣列的排布方式一致,所述整定磁鋼陣列固定安裝在整定基座上;所述移動部件包括導軌基座、第一導軌、第二導軌、第三導軌、第一滑塊、第二滑塊、第三滑塊、第四滑塊、第一橫梁和第二橫梁;其中導軌基座固定安裝在整定基座上,第一導軌沿X方向固定在導軌基座上;第一滑塊、第二滑塊、第三滑塊和第四滑塊均與第一橫梁固定連接,且第一滑塊和第二滑塊在第一導軌上沿導軌方向運動;第二導軌與第三滑塊相配合,第三導軌與第四滑塊相配合,且第二導軌和第三導軌均沿Y方向;第二導軌和第三導軌通過第二橫梁相連接;驅動器組件包括與平面電機線圈個數相同的多個驅動器,每組線圈對應一個驅動器,分別對線圈進行電流環整定。輔助整定裝置磁鋼陣列的尺寸大小為平面電機動子尺寸的I. 2 2倍。由于采用了以上的技術方案,本發明具有以下優點及突出效果實現了雙臺交換系統電機線圈的電流環整定,在不改變原有系統結構的基礎上,提供了一種為電機電流環整定、實用且簡便的輔助裝置。本發明的技術效果對電機電流環整定方面研究和發展具有重要的實際意義。
圖I是本發明電流環輔助整定裝置示意圖。圖2是本發明雙臺交換系統結構示意圖。圖3是本發明平面電機動子仰視圖。圖4是本發明電流環輔助整定裝置仰視圖。圖5是本發明移動部件軸測圖。圖6是本發明移動部件主視圖。 其中100-雙臺交換系統;101-基臺;102-硅片臺;103-驅動器裝置;104-線纜;201-平面電機定子;202-平面電機動子;202a-線圈陣列;300-電流環輔助整定裝置;301-整定磁鋼陣列;302_移動部件;303_整定基座; 3020-導軌基座;3021_第一導軌;3022_第一滑塊;3023_第二滑塊;3024_第一橫梁;3025_第三滑塊;3026_第四滑塊;3027_第二導軌;3028_第三導軌;3029_第二橫梁。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明實施方式作進一步地詳細描述。圖I為本發明電流環輔助整定裝置示意圖,圖2為本發明雙臺交換系統結構示意圖,雙臺交換系統100包括基臺101、兩個結構相同的硅片臺102和平面電機,平面電機定子201采用平面永磁陣列,固定安裝在基臺上,平面電機動子202采用氣浮支承,底部為線圈陣列202a,兩個硅片臺102與所述平面電機動子202固定連接,其特征在于,電流環輔助整定裝置300包括整定基座303、整定磁鋼陣列301、移動部件302和驅動器組件103。所述整定磁鋼陣列301固定安裝在整定基座303上,整定磁鋼陣列301排布方式與所述雙臺交換系統100的平面永磁陣列的排布方式一致,考慮磁鋼陣列的邊界效應,整定磁鋼陣列301尺寸大小為平面電機動子202尺寸的I. 2 2倍。圖5為本發明移動部件軸測圖,圖6為本發明移動部件主視圖,移動部件302包括導軌基座3020、第一導軌3021、第二導軌3027、第三導軌3028、第一滑塊3022、第二滑塊3023、第三滑塊3025、第四滑塊3026、第一橫梁3024和第二橫梁3029。其中導軌基座3020固定安裝在整定基座303上,第一導軌3021沿X方向固定在導軌基座3020上;第一滑塊3022、第二滑塊3023、第三滑塊3025和第四滑塊3026均與第一橫梁3024固定連接,且第一滑塊3022和第二滑塊3023在第一導軌3021上沿導軌運動;第二導軌3027與第三滑塊3025相配合,第三導軌3028與第四滑塊3026相配合,且第二導軌3027和第三導軌3028均沿Y方向;第二導軌3027和第三導軌3028通過第二橫梁相連接。驅動器組件103包括與平面電機線圈個數相同的多個驅動器。平面電機電流環輔助整定過程如下,平面電機動子202安裝在電流環輔助整定裝置300的移動部件302上,采用與線圈相對應的驅動器分別對平面電機動子202所有線圈進行電流環整定,所有線圈均整定完成后,將平面電機動子202和對應的驅動器,安裝到雙臺交換系統100上。圖3為本發明平面電機動子仰視圖,其特征在于平面電機動子202下表面固定安裝結構相同的四組三相線圈陣列202a,其中兩組線圈沿X方向,其余兩組線圈沿Y方向,每組三相線圈均采用星型連接方法。 圖4為本發明電流環輔助整定裝置仰視圖,一組線圈僅對應一個驅動器,在電流環整定過程中線圈與驅動器的對應關系應與雙臺交換系統相同,需保證兩者的對應關系。
權利要求
1.一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置,所述雙臺交換系統(100)包括基臺(101 )、兩個結構相同的硅片臺(102)和平面電機,平面電機定子(201)采用平面永磁陣列,固定安裝在基臺上;平面電機動子(202)采用氣浮支承,底部為線圈陣列(202a),兩個硅片臺(102)與所述平面電機動子(202)固定連接,其特征在于所述電流環輔助整定裝置(300)包括整定基座(303)、整定磁鋼陣列(301)、移動部件(302)和驅動器組件(103); 所述整定磁鋼陣列(301)固定安裝在整定基座(303)上,整定磁鋼陣列(301)的排布方式與所述雙臺交換系統(100)的平面永磁陣列的排布方式一致; 所述移動部件(302)包括導軌基座(3020)、第一導軌(3021)、第二導軌(3027)、第三導軌(3028)、第一滑塊(3022)、第二滑塊(3023)、第三滑塊(3025)、第四滑塊(3026)、第一橫梁(3024)和第二橫梁(3029); 其中導軌基座(3020)固定安裝在整定基座(303)上,第一導軌(3021)沿X方向固定在導軌基座(3020)上;第一滑塊(3022)、第二滑塊(3023)、第三滑塊(3025)和第四滑塊(3026)均與第一橫梁(3024)固定連接,且第一滑塊(3022)和第二滑塊(3023)在第一導軌(3021)上沿導軌運動;第二導軌(3027)在第三滑塊(3025)上沿Y方向運動,第三導軌(3028 )在第四滑塊(3026 )上沿Y方向運動;第二導軌(3027 )和第三導軌(3028 )通過第二橫梁相連接; 所述驅動器組件(103)包括與平面電機線圈個數相同的多個驅動器,每組線圈對應一個驅動器,分別對線圈進行電流環整定。
2.根據權利要求I所述的一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置,其特征在于所述的整定磁鋼陣列(301)的尺寸大小為平面電機動子(202)尺寸的I. 2 2倍。
全文摘要
一種基于雙臺交換系統的電流環輔助整定裝置,所述雙臺交換系統包括基臺、兩個結構相同的硅片臺和平面電機,平面電機定子采用平面永磁陣列,動子采用線圈陣列,平面電機動子采用氣浮支承,所述電流環輔助整定裝置包括磁鋼陣列、移動部件和驅動器組件,將平面電機動子安裝于電流環輔助整定裝置的移動部件上,采用驅動器依次對動子每組線圈進行電流環整定,整定完成后,將平面電機動子和線圈對應的驅動器移至雙臺交換系統。本發明為帶有復雜動子線圈結構的單臺或多臺系統提供一種簡單、快捷的電流環整定方式,避免單臺或多臺系統在電流環整定過程中在結構上或控制上增添附加設備造成的麻煩。
文檔編號H02N15/00GK102801369SQ20121024176
公開日2012年11月28日 申請日期2012年7月12日 優先權日2012年7月12日
發明者張鳴, 朱煜, 蔣毅, 成榮, 楊開明, 李鑫, 穆海華, 尹文生, 余東東, 胡金春 申請人:清華大學, 北京華卓精科科技有限公司