一種中空旋轉馬達及激光劃片裝置制造方法
【專利摘要】本發明適用于機械【技術領域】，提供了一種中空旋轉馬達及激光劃片裝置，所述中空旋轉馬達包括軸承、夾持所述軸承內圈的馬達轉子以及夾持所述軸承外圈的固定部，用以承載工件的外定位環固接于所述馬達轉子，馬達定子設于所述固定部。本發明由馬達轉子夾持軸承內圈，由固定部夾持軸承外圈，用以承載工件的外定位環固接于所述馬達轉子，將馬達定子設于所述固定部，這樣承載工件的外定位環距固定部較近，馬達轉子帶動工件旋轉時，工件不搖晃，加工精度高。由此形成的中空旋轉馬達廣泛用于各種激光劃片裝置。
【專利說明】—種中空旋轉馬達及激光劃片裝置
【技術領域】
[0001]本發明屬于機械【技術領域】，尤其涉及一種中空旋轉馬達及激光劃片裝置。
【背景技術】
[0002]隨著市場需求不斷增加，LED制造業對產能、成品率和發光亮度的要求越來越高。激光加工技術已經成為LED制造業首要的工具，成為高亮度LED晶圓加工的行業標準。LED晶圓加工時，由旋轉馬達帶動晶圓進行定位。然而現有旋轉馬達帶動工件運動時，工件易于搖晃，致使加工精度不高。
【發明內容】
[0003]本發明實施例的目的在于提供一種中空旋轉馬達，旨在解決現有旋轉馬達帶動工件運動時，工件易于搖晃，致使加工精度不高的問題。
[0004]本發明實施例是這樣實現的，一種中空旋轉馬達，包括軸承、夾持所述軸承內圈的馬達轉子以及夾持所述軸承外圈的固定部，用以承載工件的外定位環固接于所述馬達轉子，馬達定子設于所述固定部。
[0005]本發明實施例的另一目的在于提供一種激光劃片裝置，所述激光劃片裝置包括激光器，所述激光劃片裝置采用上述中空旋轉馬達，所述旋轉馬達中空處下方設有成像裝置。
[0006]本發明實施例由馬達轉子夾持軸承內圈，由固定部夾持軸承外圈，用以承載工件的外定位環固接于所述馬達轉子，將馬達定子設于所述固定部，這樣承載工件的外定位環距固定部較近，馬達轉子帶動工件旋轉時，工件不搖晃，加工精度高。由此形成的中空旋轉馬達廣泛用于各種激光劃片裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1是本發明實施例提供的中空旋轉馬達的立體圖；
[0008]圖2是本發明實施例提供的中空旋轉馬達的剖視圖；
[0009]圖3是本發明實施例提供的中空旋轉馬達的內部結構示意圖；
[0010]圖4是本發明實施例提供的檢測系統的結構示意圖；
[0011]圖5是本發明實施例提供的激光劃片裝置的結構示意圖；
[0012]圖6是本發明實施例提供的激光劃片裝置的局部分解圖。
【具體實施方式】
[0013]為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。
[0014]本發明實施例由馬達轉子夾持軸承內圈，由固定部夾持軸承外圈，用以承載工件的外定位環固接于所述馬達轉子，將馬達定子設于所述固定部，這樣承載工件的外定位環距固定部較近，馬達轉子帶動工件旋轉時，工件不搖晃，加工精度高。
[0015]以下結合具體實施例對本發明的實現進行詳細描述。
[0016]如圖1?4所示，本發明實施例提供的中空旋轉馬達包括軸承、夾持所述軸承內圈11的馬達轉子以及夾持所述軸承外圈12的固定部，用以承載工件的外定位環13固接于所述馬達轉子，設有線圈的馬達定子21設于所述固定部。這樣承載工件的外定位環距固定部較近，馬達轉子帶動工件旋轉時，工件不搖晃，加工精度高。
[0017]通常，所述馬達定子位于馬達轉子上方，以使馬達轉子旋轉平穩。其中，所述馬達轉子包括內定位環14及用以固設永磁體10的磁環15，所述內定位環14及磁環15通過階臺配合將所述軸承內圈11夾持住。所述固定部包括底座16及外上壓環17，所述底座16及外上壓環17通過階臺配合將所述軸承外圈12夾持住。所述階臺予以軸承內、外圈較大的夾持力，使馬達定子定位穩固，同時使馬達轉子運轉更加平穩。
[0018]本發明實施例中所述馬達定子21由外罩22固定后間接安裝在底座16上，所述外罩22既用于固定馬達定子21，又用于保護軸承，一物兩用，成本低。另外，本中空旋轉馬達還包括由讀數頭31、限位柱32、對所述限位柱32進行機械限位的限位座33、原點機構34、光柵尺帶35和磁極36構成的檢測系統30，所述讀數頭31和限位座33均設于底座16，所述限位柱32、原點機構34、光柵尺帶35和磁極36均設于磁環外圈19。
[0019]具體地，所述讀數頭31安裝在底座16上后，再用接線盒18罩住，保證讀數的精確性。所述限位座33與限位柱32系對應相關，對馬達轉子的旋轉起機械限位作用。例如，所涉及的LED晶圓激光劃片是針對2"?6"晶圓的XY向劃片，載臺需旋轉90°，正負極限各20°，所以行程范圍大約是130° ±5°。為提高馬達轉子重復定位精度，此處增加了原點機構34。與讀數頭31對應的光柵尺帶35的行程小于機械限位的行程，并且原點機構34位于光柵尺帶35的行程范圍內。其中，所述磁極36的磁性行程介于機械限位行程與光柵尺帶35的行程之間，以保證馬達轉子的可控性及安全性。
[0020]本發明實施例采用軸承將帶有永磁體的馬達轉子和帶有線圈的馬達定子聯系在一起，而馬達轉子上通過固定在其上的外定位環13與外界透明的載臺41 (如圖5、6所示)聯系在一起后，由相應的下部成像裝置42將所加工的LED晶圓片43的單元晶體電極精確成像后激光劃片，提高了 LED晶圓激光劃片的精確度和良品率，從而降低下游LED加工的難度，大大節約了成本。
[0021]以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種中空旋轉馬達，其特征在于，所述中空旋轉馬達包括軸承、夾持所述軸承內圈的馬達轉子以及夾持所述軸承外圈的固定部，用以承載工件的外定位環固接于所述馬達轉子，馬達定子設于所述固定部。
2.如權利要求1所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述馬達定子位于馬達轉子上方。
3.如權利要求1或2所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述馬達轉子包括內定位環及磁環，所述內定位環及磁環通過階臺配合將所述軸承內圈夾持住。
4.如權利要求1或2所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述固定部包括底座及外上壓環，所述底座及外上壓環通過階臺配合將所述軸承外圈夾持住。
5.如權利要求3所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述固定部包括底座及外上壓環，所述底座及外上壓環通過階臺配合將所述軸承外圈夾持住。
6.如權利要求4所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述馬達定子由外罩固定后間接安裝在底座上。
7.如權利要求5所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述中空旋轉馬達還包括主要由讀數頭、限位柱、對所述限位柱進行機械限位的限位座和光柵尺帶構成的檢測系統，所述讀數頭和限位座均設于底座，所述限位柱和光柵尺帶均設于磁環外圈。
8.如權利要求7所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述檢測系統增設一對馬達轉子進行磁性限位的磁極，所述磁極的磁性行程介于機械限位行程與光柵尺帶的行程之間。
9.如權利要求7或8所述的中空旋轉馬達，其特征在于，所述檢測系統還增設一用以提高馬達轉子重復定位精度的原點機構，與所述讀數頭對應的光柵尺帶的行程小于機械限位的行程，所述原點機構位于光柵尺帶的行程范圍內。
10.一種激光劃片裝置，包括激光器，其特征在于，所述激光劃片裝置采用如權利要求1?9中任一項所述的中空旋轉馬達，所述旋轉馬達中空處下方設有成像裝置。
【文檔編號】H02K5/16GK103516106SQ201210218708
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月28日 優先權日:2012年6月28日
【發明者】邴虹, 高昆, 劉立文, 遲彥龍, 葉樹玲, 歐明輝, 艾曉國, 馬國東, 李瑜, 李福海, 張紅江, 高云峰 申請人:深圳市大族激光科技股份有限公司