專利名稱：一種靶材斷電控制裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種靶材斷電控制裝置。
背景技術：
靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的加工效果。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。因靶材的內部是高電壓高電流的環境，在瞬間產生的熱量很大，因此靶材必須要與冷卻裝置連接，實現實時冷卻。但是，當冷卻裝置出現故障不能對靶材進行冷卻的時候，靶材不會自動停止工作，這時，長時間的高電壓高電流很容易對靶材造成損壞，靶材的維修費用昂貴，而且維修起來很麻煩，維修周期長，往往會影響產品的生產周期，大大增加了生產成本。因此，現有技術還有待于改進和發展。
發明內容本實用新型的目的在于提供一種靶材斷電控制裝置，g在解決冷卻裝置出現故障不能對靶材進行實時冷卻的時候，靶材內部的高電壓高電流容易對靶材造成損壞，靶材維修費用昂貴且維修時間長，影響產品生產周期，大大增加生產成本的問題。本實用新型的技術方案如下一種靶材斷電控制裝置，其中，包括靶材濺射室、靶材、冷卻水進水管、冷卻水出水管、用于檢測冷卻水進水管是否故障的檢測裝置、用于控制靶材是否斷電的控制裝置和冷卻水供給裝置；冷卻水進水管和冷卻水出水管分別與靶材濺射室連接，所述檢測裝置設置在冷卻水進水管上，所述檢測裝置還與控制裝置連接，所述控制裝置與靶材連接。所述的靶材斷電控制裝置，其中，所述靶材濺射室下方還設置有一用于運輸玻璃的傳動帶。所述的靶材斷電控制裝置，其中，所述檢測裝置和所述控制裝置分別設置多個。本實用新型的有益效果本實用新型通過提供一種靶材斷電控制裝置，在冷卻裝置出現故障不能對靶材進行實時冷卻的時候，自動控制靶材停止工作，保護靶材，避免出現高電壓高電流環境對靶材造成損壞，節省維修成本，保證產品的生產周期，降低生產成本。
圖I是本實用新型一種靶材斷電控制裝置的結構示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進ー步詳細說明。 如圖I所示，是本實用新型一種靶材斷電控制裝置的結構示意圖，包括傳動皮帶7、靶材濺射室1，靶材2、冷卻水進水管3、冷卻水出水管4、檢測裝置5、控制裝置6和冷卻水供給裝置8。靶材濺射室I設置在傳動皮帶7的上方，靶材2設置在靶材濺射室I內；冷卻水進水管3和冷卻水出水管4都設置在靶材濺射室I的頂蓋上，冷卻水進水管3與檢測裝置5連接，檢測裝置5與冷卻水供給裝置8連接，所述檢測裝置5還與控制裝置6連接，控制裝置6與靶材2連接。正常作業時，傳動皮帶7連續不斷 地把需要鍍膜的玻璃傳送到靶材濺射室I的下方，靶材通過高速荷能粒子轟擊把粒子鍍到玻璃上面，得到不同エ藝要求的鍍膜玻璃；冷卻水供給裝置8源源不斷地供應冷卻水，冷卻水通過檢測裝置5，再通過冷卻水進水管3進入靶材濺射室I給靶材2冷卻降溫，這時，由于檢測裝置5檢測到冷卻水供給裝置8正常工作，靶材2得到實時冷卻，控制裝置6沒有收到檢測裝置5的信號，控制裝置6不動作；當冷卻水供給裝置8出現故障不能正常供水，或者冷卻管道出現堵塞不能對靶材2進行實時冷卻時，這時，檢測裝置5檢測到冷卻出現故障，向控制裝置6發出ー PLC信號，控制裝置6收到信號立即控制靶材2斷電，停止工作，這樣就可避免了靶材2在沒有實時冷卻的作用下長時間在高電壓高電流環境下工作出現損壞的情況。因實際工作環境中，靶材2會根據需要設置多個，所以檢測裝置5和控制裝置6可以各設置ー個，用于控制全部的靶材2斷電；也可根據需要設置多個，一個靶材2與ー個檢測裝置5和一個控制裝置6分別配套連接。使用本實用新型可以在靶材2的冷卻出現故障，不能對靶材2進行實時冷卻的時候，自動控制靶材2停止工作，保護靶材2，避免出現高電壓高電流環境對靶材2造成損壞，節省維修成本，保證產品的生產周期，大大降低生產成本。應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。
權利要求1.一種靶材斷電控制裝置，其特征在于，包括靶材濺射室、靶材、冷卻水進水管、冷卻水出水管、用于檢測冷卻水進水管是否故障的檢測裝置、用于控制靶材是否斷電的控制裝置和冷卻水供給裝置；冷卻水進水管和冷卻水出水管分別與靶材濺射室連接，所述檢測裝置設置在冷卻水進水管上，所述檢測裝置還與控制裝置連接，所述控制裝置與靶材連接。
2.根據權利要求I所述的靶材斷電控制裝置，其特征在于，所述靶材濺射室下方還設置有一用于運輸玻璃的傳動帶。
3.根據權利要求I所述的靶材斷電控制裝置，其特征在于，所述檢測裝置和所述控制裝置分別設置多個。
專利摘要本實用新型公開了一種靶材斷電控制裝置，包括靶材濺射室，靶材、冷卻水進水管、冷卻水出水管、檢測裝置、控制裝置和冷卻水供給裝置；冷卻水進水管和冷卻水出水管分別與在靶材濺射室連接，冷卻水進水管與檢測裝置連接，檢測裝置與冷卻水供給裝置連接，所述檢測裝置還與控制裝置連接，控制裝置與靶材連接。采用本實用新型可在冷卻裝置出現故障不能對靶材進行實時冷卻的時候，自動控制靶材停止工作，保護靶材，避免出現高電壓高電流環境對靶材造成損壞，節省維修成本，保證產品的生產周期，降低生產成本。
文檔編號H02H5/00GK202421783SQ20112052903
公開日2012年9月5日 申請日期2011年12月16日 優先權日2011年12月16日
發明者張建 申請人:佛山市中南羅森玻璃有限公司