專利名稱：真空磁力傳動裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種傳動裝置，尤其涉及一種真空磁力傳動裝置。
背景技術：
機械傳動裝置可以將動力所提供的運動的方式、方向或速度加以改變，被人們有 目的地加以利用。常見的傳動裝置，主要有齒輪傳動、皮帶傳動和液壓式傳動，均需要主動 部件和被動部件相互接觸才可以實現機械運動的傳遞，因此，在許多主動部分和被動部分 需要進行封閉隔離而又必須有效傳遞機械運動時，利用這些傳統傳動裝置，是很難實現的。 例如，隨著真空技術的發展，玻璃基材等薄板已廣泛用于制造LCD-TFT顯示屏、有機發光顯 示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上 鍍覆薄膜晶體管，這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續步驟，包括如化學氣相 沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程，該制 程的工藝要求比較嚴格，大部分必須在真空狀態下以及完全潔凈的空間環境中進行，通過 傳動裝置實現腔體內外動力的傳遞，此過程中如果密封不好、真空環境不足將嚴重影響輝 光放電的程度，同時空氣中的氧氣和水汽也會將靶材侵蝕，導致磁控濺射制程中斷或/和 沉積薄膜受到影響。在真空傳動裝置中，動力源一般由外部傳到內部這樣首先就要解決的 是傳動系統與真空室間的密封，現有技術中，對真空腔的動力傳動大都采用機械式傳動，不 容易實現密封，傳動效率低且容易破壞真空環境，且對于元部件的要求較高，另一方面存在 不穩定性，多次重復的接觸動作容易導致傳動器件的磨損從而影響傳動效果和密封要求。因此，急需一種傳動效率高，傳動平穩，容易控制，成本低且實用性及通用性強的 真空磁力傳動裝置。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種傳動效率高，傳動平穩，容易控制，成本低且實用 性及通用性強的真空磁力傳動裝置。為了實現上述目的，本實用新型的技術方案為提供一種真空磁力傳動裝置，包括 安裝板、外軸套、隔套、內軸套、傳動軸、若干外磁體及若干內磁體，所述安裝板呈豎直置放， 所述外軸套位于所述安裝板的一側并在與所述安裝板相對的一端的端面上開設有圓槽，所 述圓槽內開設有軸孔，所述圓槽的壁上開設有若干均勻分布的外容置槽，所述外磁體極性 一致地容置于所述外容置槽內，所述隔套具有中空結構并套設于所述圓槽內，所述隔套的 一端的中央部位向所述軸孔水平凸伸形成凸軸，所述凸軸容置于所述軸孔內并與所述軸孔 樞接，所述隔套的另一端的末端分別沿所述安裝板向外凸伸形成底座，所述底座與所述安 裝板固定連接，所述隔套與所述外軸套的圓槽的內壁之間具有一定的間隙，所述隔套的底 座凸伸于所述外軸套并與所述外軸套之間保持一定的間隙，所述安裝板上開設有通孔，所 述內軸套容置于所述隔套的中空結構內，所述內軸套上開設有若干與所述外軸套的外容置 槽對應的內容置槽，所述內磁體極性一致地容置于所述內容置槽內，所述內磁體與所述外
3磁體分布于同一平面上，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，所述傳動軸的另一端穿 過所述通孔并與所述通孔樞接。較佳地，所述凸軸與所述軸孔之間以及所述傳動軸與通孔之間分別設有軸承。通 過軸承更好地實現凸軸與軸孔之間的樞接以及傳動軸與通孔之間的樞接，且同時避免所述 凸軸、軸孔、傳動軸及通孔在傳動過程中受損，從而使傳動更平穩可靠。較佳地，所述隔套的底座與安裝板之間設有密封圈，通過設置密封圈，加強隔套的 密封性能。較佳地，所述內軸套上開設有安裝槽，所述傳動軸上對應設有與所述安裝槽相配 合的鍵，所述鍵卡置于所述安裝槽內，通過鍵與安裝槽的配合，使內軸套與傳動軸的固定連 接簡單可靠，結構緊湊。作為本實用新型的一個實施例，所述安裝板為真空腔體的側壁，所述隔套的底座 固定在所述側壁外部，所述外軸套與所述隔套位于所述真空腔體外，所述傳動軸一端與所 述內軸套固定連接，另一端穿過所述通孔并伸入所述真空腔體內。當外力施加帶動外軸套 旋轉運動時，由于外磁體對內磁體的作用，從而帶動內軸套和傳動軸的轉動，實現將動力由 外軸套傳遞到真空腔體內。作為本實用新型的另一實施例，所述安裝板為真空腔體的側壁，所述隔套的底座 固定在所述側壁內部，所述外軸套與所述隔套位于所述真空腔體內，所述傳動軸一端與所 述內軸套固定連接，另一端穿過所述通孔并伸出所述真空腔體外。當外力施加帶動傳動軸 旋轉運動時，由于內磁體對外磁體的作用，從而帶動外軸套轉動，實現將動力由傳動軸傳遞 到真空腔體內。與現有技術相比，本實用新型的真空磁力傳動裝置采用非接觸式的傳輸方式，將 旋轉運動通過隔套，利用磁力相吸或相斥作用來實現傳遞。通過外軸套、隔套、內軸套、傳動 軸實現動力的雙向傳遞，結構簡單節約成本。所述隔套的底座固定在安裝板上，為外軸套提 供轉動與定位的支柱結構，所述隔套具有容置內軸套的中空結構，使結構緊湊；設置在內軸 套上的內磁體與設置在外軸套上的外磁體分布于同一平面上，能有效實現磁力傳動，且隔 套與外軸套的圓槽的內壁之間具有一定的間隙，隔套的底座與所述外軸套之間保持一定的 間隙，從而使外軸套與內軸套轉動時均不與隔套接觸，保證傳動的穩定性和可靠性，動力可 從外軸套通過外磁體作用于內磁體帶動內軸套與傳動軸轉動，將動力從外軸套的一端傳遞 到位于安裝板的另一側的傳動軸的輸出端上，同時動力可以從傳動軸輸入，帶動內軸套轉 動時通過內磁體作用外磁體帶動外軸套轉動，將動力從傳動軸的一端傳遞到位于安裝板的 另一側的外軸套上，傳遞效率高且傳動平穩，容易控制，充分利用了磁力特性，同性相斥，異 性相吸，通過簡易的方式可實現在兩種不同環境下運動傳遞，適用范圍廣，具有較高實用性 和通用性。
圖1是本實用新型真空磁力傳動裝置的結構示意圖。圖2沿圖1中A-A線的剖視圖。圖3是圖2的另一狀態示意圖。圖4是本實用新型真空磁力傳動裝置的一實施例的結構示意圖。[0016]圖5是本實用新型真空磁力傳動裝置的另一實施例的結構示意圖。
具體實施方式
為了詳細說明本實用新型的技術內容、構造特征，以下結合實施方式并配合附圖 作進一步說明，其中不同圖中相同的標號代表相同的部件。如上所述，本實用新型公開了 一種真空磁力傳動裝置，采用非接觸式的傳輸方式，充分利用了磁力特性，同性相斥，異性 相吸，通過簡易的方式可實現在兩種不同環境下運動傳遞，傳遞效率高且傳動平穩，容易控 制，適用范圍廣，尤其適合于真空環境、潔凈環境，有毒環境等，具有較高實用性和通用性。參考圖1及圖2，本實用新型的真空磁力傳動裝置100，包括安裝板110、外軸套 120、隔套140、內軸套150、傳動軸170、若干外磁體130及若干內磁體160，所述安裝板110 呈豎直置放，所述外軸套120位于所述安裝板110的一側并在與所述安裝板110相對的一 端的端面上開設有圓槽122，所述圓槽122內開設有軸孔124，所述圓槽122的壁上開設有 若干均勻分布的外容置槽123，所述外磁體130極性一致地容置于所述外容置槽123內。所 述隔套140具有中空結構142并套設于所述圓槽122內且位于所述外軸套120與所述安裝 板110之間，所述隔套140的一端的中央部位向所述軸孔124水平凸伸形成凸軸144，所述 凸軸144容置于所述軸孔124內并與所述軸孔124樞接，所述凸軸144與所述軸孔124之 間設有軸承190，所述軸承190與所述軸孔124之間設有孔用擋圈114與軸承擋圈192，通 過擋圈能有效對軸承190和凸軸144進行定位，而通過所述軸承190的設計能更好地實現 凸軸144與軸孔124之間的樞接，且同時避免所述凸軸144與軸孔124在傳動過程中受損， 從而使傳動更平穩可靠。所述隔套140的另一端的末端分別沿所述安裝板110向外凸伸形 成底座146，所述底座146與所述安裝板110可通過螺釘固定連接，較佳地，所述隔套140的 底座146與安裝板110之間設有密封圈180，通過設置密封圈180，加強隔套140的密封性 能。所述隔套140與所述外軸套120的圓槽122的內壁之間具有一定的間隙148，所述隔套 140的底座146凸伸于所述外軸套120并與所述外軸套120之間保持一定的間隙148，所述 安裝板110上開設有通孔112，所述內軸套150容置于所述隔套140的中空結構142內，所 述內軸套140上開設有若干與所述外軸套120的外容置槽123對應的內容置槽152，所述內 磁體160極性一致地容置于所述內容置槽152內，所述內磁體160與所述外磁體130分布 于同一平面上，所述傳動軸170 —端與所述內軸套150固定連接，所述傳動軸170的另一端 穿過所述通孔112并與所述通孔112樞接。所述傳動軸170與通孔112之間設有軸承190 與孔用擋圈114，通過擋圈能有效將軸承190和傳動軸170進行定位，而通過軸承190能更 好地實現傳動軸170與通孔112之間的樞接，且同時避免傳動軸170及通孔112在傳動過 程中受損，從而使傳動更平穩可靠。較佳地，所述內軸套150上開設有安裝槽154，所述傳動軸170上對應凸設有與所 述安裝槽154相配合的鍵172，所述鍵172卡置于所述安裝槽154內，通過鍵172與安裝槽 154的配合，使內軸套150與傳動軸170的固定連接簡單可靠，結構緊湊。以下結合圖3詳細敘述本實用新型的真空磁力傳動裝置100的工作過程當動力 從外軸套120的一端傳遞至傳動軸170的一端時，外力施加于外軸套120上，具體地，所述 外軸套120可固定套接一傳動齒輪，通過齒輪嚙合來實現動力的輸入，如圖3中箭頭所示， 外軸套120圍繞隔套140的凸軸144旋轉運動時，帶動裝設在外軸套120上的外磁體130同時轉動，由于外軸套120上的外磁體130的磁性一致，內軸套150上的內磁體160的磁性一 致，所述外磁體130的N極或S極可與內磁體160的N極或S極相對，外磁體130與內磁體 160的同性相吸或異性相斥都可以實現外軸套120轉動時通過磁力作用帶動內軸套150相 應轉動，如圖中所示，外磁體130的S極與內磁160體的N極相鄰相對，轉動時外磁體130由 于磁性相吸的對向鄰近的內磁體160產生一作用力F，吸引內磁體160做相應的旋轉運動， 從而使與內軸套150固接的傳動軸170同步轉動，最終達到將動力從安裝板110的一側傳 遞到另一側的目的，可實現不同環境的動力的傳遞，利用磁性相斥時同樣可以達到該效果。 同樣的，動力可從傳動軸170的一端傳遞給外軸套120，將外力施加于傳動軸170上，傳動 軸170帶動內軸套150轉動，從而使內軸套150上的內磁體160做旋轉運動，內磁體160的 磁性作用于外磁體130，通過內磁體160的磁力作用外磁體130相應轉動，帶動外軸套120 做旋轉運動，從而達到將動力從傳動軸170的一端傳遞給外軸套120的目的，實現可逆的應 用，實現不同環境的動力的傳遞，實用性強。參考圖4，作為本實用新型的一個實施例，利用真空磁力傳動裝置100將動力傳遞 至真空腔體IlOa內，所述安裝板110為真空腔體IlOa的側壁，所述通孔112開設于真空腔 體IlOa的側壁的對應部位上，所述隔套140的底座146固定在所述真空腔體IlOa的側壁 外部，所述外軸套120與所述隔套140位于所述真空腔體IlOa外，所述傳動軸170 —端與 所述內軸套150固定連接，另一端穿過所述通孔112并伸入所述真空腔體IlOa內。當外力 施加帶動外軸套120旋轉運動時，由于外磁體130對內磁體160的磁性作用，從而帶動內軸 套150轉動，使傳動軸170同步做旋轉運動，實現將動力由外軸套120傳遞到真空腔體IlOa 內。參考圖5，作為本實用新型的另一實施例，所述安裝板110為真空腔體IlOb的側 壁，所述隔套140的底座146固定在所述真空腔體IlOb的側壁內，所述外軸套120與所述 隔套140位于所述真空腔體IlOb內，所述傳動軸170 —端與所述內軸套150固定連接，另 一端穿過所述通孔112并伸出所述真空腔體IlOb外。當外力施加帶動傳動軸170旋轉運 動時，由于內磁體160對外磁體130的作用，從而帶動外軸套120轉動，實現將動力由傳動 軸170的一端傳遞到真空腔體IlOb內。與現有技術相比，本實用新型的真空磁力傳動裝置100采用非接觸式的傳輸方 式，將旋轉運動通過隔套140，利用磁力相吸或相斥作用來實現傳遞。通過外軸套120、隔套 140、內軸套150、傳動軸170實現動力的雙向傳遞，結構簡單節約成本。所述隔套140的底 座146固定在安裝板110上，為外軸套120提供轉動與定位的支柱結構，所述隔套140具有 容置內軸套150的中空結構142，使結構緊湊；設置在內軸套150上的內磁體160與設置在 外軸套120上的外磁體130分布于同一平面上，能有效實現磁力傳動，且隔套140與外軸套 120的圓槽122的內壁之間具有一定的間隙148，隔套140的底座146與所述外軸套120之 間保持一定的間隙148，從而使外軸套120與內軸套150轉動時均不與隔套140接觸，保證 傳動的穩定性和可靠性，動力可從外軸套120通過外磁體130作用于內磁體160帶動內軸 套150與傳動軸170轉動，將動力從外軸套120的一端傳遞到位于安裝板110的另一側的 傳動軸170的輸出端上，同時動力亦可以從傳動軸170輸入，帶動內軸套150轉動時通過內 磁體160作用外磁體130帶動外軸套120轉動，將動力從傳動軸170的一端傳遞到位于安 裝板110的另一側的外軸套120上，傳遞效率高且傳動平穩，容易控制，充分利用了磁力特性，同性相斥，異性相吸，通過簡易的方式可實現在兩種不同環境下運動傳遞，適用范圍廣， 具有較高實用性和通用性。 以上所揭露的僅為本實用新型的優選實施例而已，當然不能以此來限定本實用新 型之權利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋 的范圍。
權利要求一種真空磁力傳動裝置，其特征在于包括安裝板、外軸套、隔套、內軸套、傳動軸、若干外磁體及若干內磁體，所述安裝板呈豎直置放，所述外軸套位于所述安裝板的一側并在與所述安裝板相對的一端的端面上開設有圓槽，所述圓槽內開設有軸孔，所述圓槽的壁上開設有若干均勻分布的外容置槽，所述外磁體極性一致地容置于所述外容置槽內，所述隔套具有中空結構并套設于所述圓槽內，所述隔套的一端的中央部位向所述軸孔水平凸伸形成凸軸，所述凸軸容置于所述軸孔內并與所述軸孔樞接，所述隔套的另一端的末端分別沿所述安裝板向外凸伸形成底座，所述底座與所述安裝板固定連接，所述隔套與所述外軸套的圓槽的內壁之間具有一定的間隙，所述隔套的底座凸伸于所述外軸套并與所述外軸套之間保持一定的間隙，所述安裝板上開設有通孔，所述內軸套容置于所述隔套的中空結構內，所述內軸套上開設有若干與所述外軸套的外容置槽對應的內容置槽，所述內磁體極性一致地容置于所述內容置槽內，所述內磁體與所述外磁體分布于同一平面上，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，所述傳動軸的另一端穿過所述通孔并與所述通孔樞接。
2.如權利要求1所述的真空磁力傳動裝置，其特征在于所述凸軸與所述軸孔之間以 及所述傳動軸與通孔之間分別設有軸承。
3.如權利要求1所述的真空磁力傳動裝置，其特征在于所述隔套的底座與安裝板之 間設有密封圈。
4.如權利要求1所述的真空磁力傳動裝置，其特征在于所述內軸套上開設有安裝槽， 所述傳動軸上對應設有與所述安裝槽相配合的鍵，所述鍵卡置于所述安裝槽內。
5.如權利要求1至4任一所述的真空磁力傳動裝置，其特征在于所述安裝板為真空 腔體的側壁，所述隔套的底座固定在所述側壁外部，所述外軸套與所述隔套位于所述真空 腔體外，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，另一端穿過所述通孔并伸入所述真空腔 體內。
6.如權利要求1至4任一所述的真空磁力傳動裝置，其特征在于所述安裝板為真空 腔體的側壁，所述隔套的底座固定在所述側壁內部，所述外軸套與所述隔套位于所述真空 腔體內，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，另一端穿過所述通孔并伸出所述真空腔 體外。
專利摘要本實用新型公開了一種真空磁力傳動裝置，包括安裝板、外軸套、隔套、內軸套、傳動軸、若干外磁體及若干內磁體，外軸套開設有供容置隔套的圓槽，圓槽內設有軸孔，圓槽的壁上設有若干均布的外容置槽，外磁體極性一致地容置于外容置槽內，隔套具有供容置內軸套的中空結構，隔套的一端凸伸形成與軸孔樞接的凸軸，另一端向外凸伸形成與安裝板固接的底座，隔套與圓槽的內壁之間、底座與外軸套之間均具有間隙，內軸套上對應開有供容置極性一致的內磁體的內容置槽，內磁體與外磁體分布于同一平面，傳動軸一端與內軸套固接，另一端樞接地穿過安裝板上的通孔。本實用新型的真空磁力傳動裝置傳動平穩且高效，容易控制，成本低，實用性與通用性強。
文檔編號H02K51/00GK201674381SQ20102018872
公開日2010年12月15日 申請日期2010年5月6日 優先權日2010年5月6日
發明者余超平, 劉惠森, 張華 , 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司