專利名稱：線性電動機及元件移載裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及線性電動機及元件移載裝置，特別是涉及使可動部相對于底板進行直 線移動的線性電動機及使用該線性電動機的元件移載裝置。
背景技術：
線性電動機的用途以用于制造搬送電子元件等元件的元件移載裝置、半導體裝 置、液晶顯示裝置等制造裝置等為中心年年擴大，特別是近年薄型高性能的線性電動機的 需求高。為了滿足這樣的需求，例如公開了具有如圖18及19所示結構的線性電動機LM的 方案(非專利文獻1)。圖18及19是表示以往的線性電動機的一個例子的圖，其中，圖19是沿圖18中X IX-X IX線的箭頭方向剖視圖。在以下的說明中，為了明確各圖的方向關系，示出了以線性 電動機LM為基準的XYZ直角坐標軸。上述3個方向X、Y、Z中，分別以Z表示線性電動機LM 上所設定的移動方向，以Y表示線性電動機LM的寬度方向，以X表示前后方向。另外，為方 便起見，將各直角坐標軸的符號(+、“)表示各方向X、Y、Z上的正面側(+X)、背面側(-X)、 一端側(-Y)、他端側(+Y)、往動側(-Z)、返動側(+Z)。各圖所示的線性電動機LM在底板1上具備2個線性導向機構2A、2B。各線性導 向機構2A、2B具備沿移動方向Z相互平行而且在寬度方向上相離開的直線狀的導軌2a、沿 該導軌2a在移動方向上滑動自如的滑塊2b。在如此構成的線性導向機構2A、2B之間設置 有電樞3。電樞3是使稠密卷繞的多個線圈在寬度方向Y上沿軸心布置，并且在移動方向Z 上隔開間隔地在底板1的表面上并列設置的電樞。該電樞3構成線性電動機LM的定子。另外，各滑塊2b的上表面上安裝有具有與底板1相同寬度(寬度方向Y的長度) 的板狀的可動板4，可動板4在底板1的上方位置沿移動方向Z移動自如。這樣，可動板4 與2個滑塊2b作為可動部便一體地可沿移動方向Z移動自如。在該可動板4的背面側上，作為動子以沿寬度方向Y相夾電樞3的狀態安裝有將 多個永磁鐵予以固定的磁軛5A、5B。磁軛5A、5B均沿相對于圖19的紙面垂直的方向亦即移 動方向Z延伸設置。在磁軛5A、5B與電樞3之間，多個永磁鐵6A、6B沿該磁軛5A、5B的延 伸方向Z并列設置。于是，磁軛5A的上端部以使多個永磁鐵6A從寬度方向Y的一端側(-Y 側)與電樞3相對的狀態，被安裝在可動板4的背面上，另一方面，磁軛5B以使多個永磁鐵 6B從寬度方向Y的一端側(-Y側)與電樞3相對的狀態，被安裝在可動板4的背面上。因 此，通過控制供給到電樞3的線圈的電流，基于由動子的永磁鐵6A、6B與定子(電樞3)所 產生的磁通的相互作用，可動板4在Z方向上被直線驅動。此外，在線性導向機構2A的寬度方向Y上的反動子側(+Y側)設置有檢測可動板 4的位置的檢測單元7。即，在底板1的上表面上固定有傳感器7a，另外在可動板4的下表 面上以與該傳感器相對的狀態安裝有線性標尺(linear scale) 7b0這樣，通過使傳感器7a 與線性標尺7b在上下方向X上相對設置，所述線性電動機LM可測出在Z方向上的可動板 4的位置。
所述以往的線性電動機LM中，如圖19所示，由于在底板1與可動板4之間將線性 導向機構2A、磁軛5A、永磁鐵6A、電樞3、永磁鐵6B、磁軛5B以及線性導向機構2B沿寬度方 向Y設置，因此與在底板的前后設置電樞、永磁鐵、磁軛、可動板的結構相比，可減小線性電 動機LM的厚度(前后方向X的裝置尺寸)。并且，由于線性導向機構2b、磁軛5A、5B、永磁 鐵6A、6B被一體地固定于可動板4上，因此可相對于固定在底板1上的線性導向機構2A、電 樞3沿移動方向Z往返移動。非專利文獻1 山本日登志「素材/電子材料Topics第32屆世界最薄型7mm厚線 性電動機的開發」[online]2006年12月11日社團法人電子信息技術產業協會[平成19 年 12 月 10 日檢索]互聯網 <http://home. jeita. or. jp/ecb/material/No032. html>
發明內容
本發明的第1目的是在使設于底板上的定子與設于可動部上的動子在寬度方向 相對的狀態下通過由兩者所產生的磁通的相互作用來使可動部在移動方向上移動的線性 電動機中，實現厚度的薄型化且以充分的推動力驅動可動部。另外，本發明的別的目的是提供使用所述線性電動機的元件移載裝置。本發明的一實施方式涉及一種線性電動機，其包括磁體和電樞，通過在向所述電 樞供電時在該電樞與所述磁體之間產生的磁通的相互作用來形成使所述磁體和所述電樞 沿所定的直線狀的移動方向相對變位的力。該線性電動機還包括底板，所述移動方向設定 在其底面上；可動部，沿所述移動方向相對往返移動自如地安裝在所述底板上；動子，與所 述可動部并列地設置在該可動部中的與所述移動方向正交的所述底面寬度方向上的一端 側面上，構成所述磁體和所述電樞其中一者；定子，以從所述寬度方向的一端側向他端側與 所述動子相對的狀態設置在所述底板的所述底面上，沿所述移動方向構成為所述磁體和所 述電樞其中另一者。在如此構成的線性電動機中，動子并列設置在可動部的寬度方向的一端側，并且 定子從離開可動部的外側的位置與動子相對。因此，無需受定子、動子等的制約便可設定 可動部的厚度尺寸，因此，無需將動子及定子薄型化，或者相反可以將可動部增厚，在使動 子及定子增厚的情況下，將線性電動機的厚度(與移動方向及寬度方向兩者正交方向的厚 度)薄型化。其結果，即使將線性電動機的厚度薄型化，也能夠以充分的推進力驅動可動 部。對此，在圖18及圖19所示的以往的結構中，由于采用將定子設置在底板1的寬度 方向中央側，動子與該定子兩側相對設置的結構，因此，定子及動子處于在前后與可動部相 對的位置關系，定子、動子等受到薄型化的制約。因此，為了實現線性電動機LM的進一步的 薄型化，必須將可動板4的厚度減薄，將底板1與可動板4的相對間隙H減小(即，將永磁 鐵6A、6B或電樞3的高度減小)。然而，為了確保可動板4的剛性，必須一定程度地確保可 動板4的厚度，而若將永磁鐵6A、6B或電樞3薄型化，會產生推進力相應地減小的問題。根據本發明，可以使在以往技術的結構中互不相容的要求同時成立，在實現厚度 的薄型化的情況下，能夠以充分的推進力驅動可動部。此外，為了進一步提高用于驅動可動部的推進力，也可在寬度方向上在可動部的 他端側面上設置別的動子，并設置在寬度方向上與安裝在該他端側面上的動子相對的定子。即，也可采用以下的結構通過由設置在可動部的一端部側面上的第1動子和與第1動 子相對的第1定子產生的磁通的相互作用以及由設置在可動部的他端部側面上的第2動子 和與第2動子相對的第2定子產生的磁通的相互作用，沿移動方向驅動可動部。另外，本發明的別的實施方式涉及一種元件移載裝置，其將元件從元件收容部移 載到元件搭載區域，其包括頭部組件，包含基體部件、吸嘴軸及上下驅動機構，其中，所述 吸嘴軸沿上下方向移動自如地支撐在所述基體部件上，且先端部上安裝有吸嘴，并且將經 由與后端部連接的負壓配管所供給的負壓供應到所述吸嘴，所述上下驅動機構沿所述上下 方向驅動所述吸嘴軸；頭部驅動單元，在所述元件收容部的上方位置與所述元件搭載區域 的上方位置之間移動所述頭部組件；其中，所述上下驅動機構是所述的線性電動機，所述線 性電動機以所述移動方向與所述上下方向平行的狀態安裝于所述基座部件，所述線性電動 機的所述可動部與所述吸嘴軸連接。在如此構成的元件移載裝置中，線性電動機的可動部與吸嘴軸連接，通過驅動可 動部，沿上下方向驅動吸嘴軸。由于利用具有如此大的推進力的線性電動機來驅動吸嘴軸， 因此，通過安裝在吸嘴軸的先端部上的吸嘴，較輕的元件當然不用說即使較重的元件也能 夠予以移送。另外，通過線性電動機的薄型化還能夠實現元件移載裝置的小型化。本發明的其他結構、作用效果，通過以下的參考附圖以及所說明的實施方式進一 步得以明確。
圖1是本發明一實施方式所涉及的線性電動機的立體圖。圖2是沿圖1中II-II線的箭頭方向剖視圖。圖3是表示圖1的實施方式所涉及的電樞與動子的設置關系的圖。圖4是表示圖1的實施方式所涉及的線性標尺與傳感器的設置關系的圖。圖5是圖1的實施方式所涉及的線性電動機的分解立體圖。圖6是表示圖1的實施方式所涉及的可動部件與動子的安裝結構的立體圖。圖7是表示圖1的實施方式所涉及的可動部件與動子的安裝結構的圖。圖8是表示圖1的實施方式所涉及的可動部件與動子的安裝結構的局部側視圖。圖9是表示圖1的實施方式所涉及的可動部件與動子的設置關系的俯視圖。圖10是本發明的別的實施方式所涉及的線性電動機的立體圖。圖11是本發明的另一別的實施方式所涉及的線性電動機的立體圖。圖12是表示本發明的元件移載裝置的一實施方式所涉及的表面安裝機的概略結 構的正視圖。圖13是圖12的表面安裝機所涉及的頭部組件的正視圖。圖14是圖12的表面安裝機所涉及的頭部組件的側視圖。圖15是表示圖12的表面安裝機的電結構的方框圖。圖16是表示圖12的表面安裝機所涉及的上下驅動機構的結構的正視圖。圖17是表示圖12的表面安裝機所涉及的上下驅動機構的結構的側視圖。圖18是表示以往的線性電動機的一個例子的圖。圖19是從圖18中的X IX-X IX線的箭頭方向觀察的圖。
具體實施例方式以下，參照附圖詳細說明用以實施本發明的優選實施方式。在以下的說明中，對等 同的部件，付予相同的符號，省略重復說明。另外，對以線性電動機LM為基準的XYZ直角坐 標軸也同樣如此。本發明涉及使可動部相對于底板進行直線移動的線性電動機LM、以及使用該線性 電動機LM的元件移載裝置，以下，將涉及本發明的線性電動機和使用該線性電動機的元件 移載裝置的一實施方式的表面安裝機MT分開來進行詳細敘述。〈線性電動機〉如圖1至圖5所示，該線性電動機LM具有薄型托盤狀的底板1。該底板1其長度 方向規定所定的移動方向Z，如圖5所示，其內底面為底面la，底板1的寬度方向Y的兩側 (+Y側與-Y側)的端部上以及移動方向Z的返動側(+Z側)的端部上連設有向正面側(+X 側)立起的立壁lb ld，通過這些立壁lb Id與底面la，形成向正面側(+X側)開口的 有底的凹部le。該凹部le如后所述是收納線性電動機LM的構成部件的收納空間的一個例 子。如圖1及圖2所示，在立壁lc的長度方向(移動方向Z)的中途部位設有卡止后述回 位彈簧的端部的彈簧卡止部lh。另外，本實施方式中，通過鋁合金等一體地成型底面la與 立壁lb ld，以構成非磁性的底板1，不過，也可以個別地形成底面la與立壁lb Id之 后，組裝這些構成要素來構成底板1。如此用非磁性體材料來構成的底板1，當然也可以用 樹脂材料予以構成。另外，圖1及圖2中的符號lh，如后所述，是用以安裝回位彈簧15 (參 照圖17)的一方的端部的彈簧卡合部，該回位彈簧15賦予可動基體4向返動側(+Z側)的 勢能。底面la上沿移動方向Z設置有一個的線性導向機構2。線性導向機構2包括直 線狀的導軌2a，沿移動方向Z固定于底板1上；兩個滑塊2bl、2b2，僅在移動方向Z上滑動 自如地安裝在導軌2a上。另外，為了防止滑塊2bl、2b2從導軌2a上脫落，在底板1的底 面la上安裝有兩個與線性導向機構2的長度方向兩端部相對的線性導向機構止動器2cl、 2c2。滑塊2bl、2b2上安裝有沿移動方向Z延伸的可動基體4。可動基體4具有橫截面 (XY平面)呈逆凹形狀的內部空間，該可動基體4以其內部空間的頂面載置于滑塊2bl、2b2 的上表面上的狀態被固定于該滑塊2bl、2b2上。另外，為了使可動基體4實現輕量化，本實 施方式中，在可動基體4的頂面上形成有多個貫通孔4a。如此，本實施方式中，可動基體4 以及滑塊2b 1、2b2便一體地可在移動方向Z上移動自如，其相當于本發明的“可動部”。另 外，如下所述，動子安裝在可動基體4的寬度方向Y的一端側(-Y側)的端部側面上，另一 方面，在可動基體4的寬度方向Y的他端側(+Y側)的端部側面上，安裝有線性標尺7b。下面，參照圖6至圖8進行說明。可動基體4的寬度方向Y的一端側(_Y側)的 側面上安裝有由強磁性材料形成的磁軛5，該磁軛5的表面上安裝有多個(本實施方式中為 14個)沿移動方向Z交替地排列的、N極側與該表面相對的永磁鐵6和S極側與該表面相 對的永磁鐵6，由這些永磁鐵6與磁軛5構成線性電動機LM的動子10。另外，本實施方式 中，永磁鐵6被構成動子10的外殼的樹脂層所規定，施以表面保護，從而能夠有效地防止永 磁鐵6的破損。該樹脂層覆蓋永磁鐵6，但剩下動子10的移動方向Z的返動側(-Z側)，在
7該往動側使磁軛5露出。在磁軛5的露出部位處，沿移動方向Z在兩處形成有母螺紋部4b。這些母螺紋部 4b是用以直接或者通過連接組件164(參照圖17)將被驅動體安裝于可動基體4的一端的 側端部上的連接手段的一個例子。例如，在稍后說明的表面安裝機中，利用母螺紋部4b將 連接組件164(參照圖17)連接于可動基體4，進而將吸嘴軸作為被驅動體連接于該連接組 件164。即，利用母螺紋部4b，通過與可動基體4的端部連接的連接組件164，可以將被驅動 體安裝于可動基體4上。有關該情況，在后面的〈表面安裝機〉的項目中詳述。下面，參照圖2進行說明。如上所述，在由磁軛5與永磁鐵6構成的動子10的寬 度方向Y的一端側，設置有本發明的“定子”的一個例子的電樞3，該電樞3固定于底板1的 底面la上。該電樞3包括芯部3a、多個中空形狀的繞線管3b、在各繞線管3b的外周部上 卷繞電線而成的線圈3c。該芯部3a是將長度方向沿移動方向Z在YZ平面上延伸的梳狀 的硅鋼板(單元板)在前后復數疊合而成的。各硅鋼板的寬度方向Y的他端部側(+Y側) 上，形成有沿移動方向Z相隔一定間隔地設置的齒部。如此構成的芯部3a中，多個齒部在 移動方向Z上以一定間隔并列設置從而形成齒部列。于是，預先卷繞有線圈3c的繞線管3b 被安裝到各齒部。如此，多個(本實施方式中為9個)芯部3a的齒部列與卷繞在該齒部列 的外周上的線圈3c沿移動方向Z以相同的間隔設置而構成電樞3，與動子10相對設置。另 外，本實施方式中，如圖3所示，電樞3以卷繞有線圈3c的芯部3a的齒部的先端面(+Y側 的面)8與該先端面8相對的動子10的永磁鐵6的相對面8，相對于包含前后方向X及移 動方向Z的XZ平面平行的方向予以構成。若從被省略圖示的電動機控制器按所定的順序 對各線圈3c進行通電，則如上所述通過先端面8的磁極與相對面8’的磁極的相互作用，在 動子10上產生向移動方向Z的推力，從而沿移動方向Z驅動可動基體4。另外，本實施方式中，由于將永磁鐵6用于動子10，將由磁體構成的芯部3a用于作 為定子的電樞3，因此，在芯部3a的齒部與動子10的永磁鐵6之間產生齒槽力。“產生齒槽 力”是指如以往所眾知，基于芯部3a的齒部位置，永磁鐵6的磁通密度發生變化，由此磁 能發生變化，因此，作用于電樞3的電磁力產生脈動的現象。為此，如圖9所示，為了減低齒 槽力，在電樞3的齒部列的兩端設有由磁體構成的副齒(sub-teeth)9a、9b。S卩，在齒部列的 返動側(+Z側)，在與齒列間距一致或不同的所望的位置，以及在往動側(-Z側)，在與所述 齒列間距一致或不同的所望的位置，分別設置有副齒9a、9b，各副齒分別距離永磁鐵6所望 的間距，并且可裝卸自如地設于底板1的底面la上。另外，在如上所述那樣構成的線性電動機LM中，與芯部3a連接的板部位延伸至副 齒9a、9b的近傍，電樞3的芯部3a與副齒9a、9b產生磁結合，從而產生磁通密度分布的不 均勻。因此，僅將副齒9a、9b設置在所定的位置，有時不能發揮穩定的齒槽力低減功能。特 別是在加速/減速等時，或在運作條件(加速后的一定移動速度)發生變化時，流到線圈3c 的電流量脫離預想值而變化，副齒9a、9b中與永磁鐵6相對的相對面的磁極或其磁強不能 達到所望的值，有時不一定能夠獲得由副齒9a、9b所實現的齒槽力低減的效果。為此，本實 施方式中，為了輔助由副齒9a、9b所實現的齒槽力低減效果，在副齒9a、9b與底板1之間設 有磁性體板11。更詳細而言，構成為以下的結構。參照圖5及圖9進行說明。在底板1的底面la上形成有與磁性體板11的平面形 狀基板上同一形狀的板嵌合部lg(參照圖5)。板嵌合部lg形成在前后方向X上磁性體板11與動子10和電樞3雙方相對的位置。于是，如圖2所示，在嵌合于該板嵌合部lg中時， 磁性體板11的表面與底面la呈齊一狀態。通過設置該磁性體板11，不僅在YZ面上產生經 由芯部3a、副齒9a、永磁鐵6、磁軛5、鄰近的永磁鐵6、鄰近的齒部而到達芯部3a的磁通，而 且還產生經由副齒9a、永磁鐵6、磁軛5、磁性體板11而到達副齒9a的XY面上的磁通，以實 現有效的齒槽力低減效果。如上所述，通過由動子10和電樞3產生的磁通的相互作用，可動基體4沿移動方 向被驅動，為了防止可動基體4超越所定的移動范圍，在底板1的底面la上裝卸自如地固 定有兩個移動限制器12a、12b。另外，為了正確地測出可動基體4地位置，在可動基體4的反電樞側(S卩，+Y側) 設置有具有傳感器7a和線性標尺7b的作為檢測單元的檢測組件7。參照圖2及圖5進行說明，該檢測組件7的傳感器7a其與傳感器控制組件7c — 體地構成，該結構體(傳感器7a+傳感器控制組件7c)如圖5所示，通過形成在立壁lb上 的切口部可在凹部le中裝卸自如。在結構體被安裝時，傳感器7a面臨于底板1的凹部le 內，傳感器控制組件7c以設置在傳感器7a的反線性標尺側亦即寬度方向Y的他端側(+Y 側)的狀態，固定于底板1。另外，線性標尺7b沿移動方向Z延伸設置在可動基體4的他端側(+Y側)的側面 上，在結構體(傳感器7a+傳感器控制組件7c)被安裝時，傳感器7a在寬度方向Y上與線 性標尺7b相對。特別是在本實施方式中，如圖4所示，傳感器7a及線性標尺7b的設置位 置，以線性標尺7b的表面7e和與該表面7e相對的傳感器7a的傳感面7e’相對于包含前 后方向X以及移動方向Z的XZ平面平行的方式予以設定。因此，隨著可動基體4的沿移動 方向的變位，線性標尺中與傳感器7a相對的區域變位，基于該變位，就能夠正確地測出在 移動方向上的可動基體4的位置。另外，為了防止塵埃、廢屑等異物侵入傳感器控制組件7c，在安裝所述結構體后， 傳感器蓋7d(參照圖2)以覆蓋傳感器控制組件7c的狀態安裝在底板1的立壁lb上。另外，在該實施方式中，將線性標尺安裝于可動基體4，而將傳感器7a設置于底板 1，不過，也可以將傳感器7a和線性標尺7b彼此調換設置。另外，也可以將檢測組件7的構 成要素(傳感器7a、線性標尺7b)中一者安裝于滑塊2bl、2b2，以替代安裝于可動基體4上 的結構。此外，作為檢測組件7的檢測方式，可以是利用磁力的磁力方式，也可以是光學方 式。如上所述，涉及本實施方式的線性電動機LM中，動子10的在可動基體4上的安裝 位置是寬度方向Y的可動基體4的一端側(-Y側)，電樞3在寬度方向Y上與安裝在該側面 上的動子10相對。因此，可以將動子10并列設置于構成可動部的一部分的可動基體4的 側部上，從而可設定厚度尺寸，因此，不存在以往技術的結構上的制約，可以將動子10及電 樞3設定得在前后方向比以往技術的大。特別是可以將電樞3的厚度設定為與從底板1的 底面la至可動基體4的上表面的距離相同的值，從而可充分確保線圈3c的卷繞數。其結 果，根據本實施方式，可以獲得既薄型又具備充分的推進力的線性電動機LM。另外，所述實施方式中，由于可由一個的線性導向機構2沿移動方向Z移動可動基 體4，因此，與圖18及圖19所示的線性電動機LM相比，結構被簡化，而且可以在寬度方向Y 上實現小型化。
另外，所述實施方式中，由于將動子及電樞(定子)3設置在可動基體4的一端側 (-Y側)來驅動可動基體4，并且將檢測組件7設置在他端側(+Y側)來檢測可動基體4的 位置，因此，可以減小線性電動機LM寬度方向Y上的尺寸，可使線性電動機LM實現緊湊化。涉及本發明的線性電動機并不限于所述的實施方式，只要不脫離其主旨，是可以 進行除所述實施方式以外的種種變更的。例如，第1實施方式中，如圖4所示，以傳感器7a及線性標尺7b的相對面7e的法 線7f與包含移動方向Z及寬度方向Y的平面平行的方式設置檢測組件7，不過，檢測組件7 的結構并不限于此，例如，也可以采用與以往的線性電動機LM(圖18及圖19)同樣的安裝 方式設置檢測組件7。另外，所述實施方式中，采用在可動基體4的往動側(-Z側)端部的側面設置母螺 紋部4b從而能夠連接被驅動體的結構，但也可以采用在可動基體4的上表面設置螺紋部從 而利用該螺紋部能夠直接將被驅動體安裝于可動基體4上的結構。另外，也可以采用利用 螺紋部將工作臺固定于可動基體4從而通過該工作臺能夠將被驅動體安裝于可動基體4上 的結構。此外，所述實施方式中，僅在可動基體4的一端側(-Y側)設置動子及電樞(定 子)3來驅動可動基體4，但也可例如如圖10所示，在可動基體4的他端側(+Y側)也設置 動子及電樞(定子)3。另外，可動基體4的剖面形狀也可為H形。圖10所涉及的第2實施方式中，在底板1的底面la上設置有兩個相互平行的導 軌2al、2a2，而且它們在寬度方向Y上離開設置。另外，沿各導軌2al、2a2設置有沿移動方 向Z滑動自如(寬度方向Y及前后方向X被限制)的省略圖示的滑塊，此外，可動基體4安 裝于該滑塊上，從而可動基體4可以沿移動方向Z往返移動自如。另外，在該可動基體4的 一端側(-Y側)的端部側面安裝有磁軛5A，而且在該磁軛5A的表面上安裝有多個(本實施 方式中為14個)沿移動方向Z交替地排列的、N極側與該表面相對的永磁鐵6和S極側與 該表面相對的永磁鐵，由這些永磁鐵6A與磁軛5A構成線性電動機LM的第1動子。另外， 在第1動子(永磁鐵6A+磁軛5A)的寬度方向一端側(-Y側)設置有相當于本發明的“第 1定子”的電樞3A，其被固定于底板1的底面la上。另一方面，有關可動基體4的他端側 (+Y側)也具有與一端側(-Y側)同樣的結構。即，在可動基體4的他端側(+Y側)的側面 上安裝有磁軛5B，而且在該磁軛5B的表面上安裝有沿移動方向Z排列的永磁鐵6B，由這些 永磁鐵6B與磁軛5B構成線性電動機LM的第2動子。另外，在第2動子(永磁鐵6B+磁軛 5B)的寬度方向他端側(+Y側)設置有相當于本發明的“第2定子”的電樞3B，其被固定于 底板1的底面la上。通過這樣的結構，可進一步提高用以驅動可動基體4的推動力。在采用這樣的結構的情況下，可以以與以往的線性電動機LM(圖18及圖19)類似 的安裝方式設置檢測組件7。例如，在可動基體4上如上所述形成有逆凹形狀的內部空間， 而通過在其內部空間的頂面中央處貼裝沿移動方向Z的線性標尺，并在兩個導軌2al、2a2 之間將傳感器以與線性標尺相對的狀態固定設置在底板1的表面，可進行位置檢測。另外，所述第1實施方式中在可動基體4的寬度方向Y的一端側面上，所述第2實 施方式中在可動基體4的寬度方向Y的兩側面上，安裝有磁軛5、5A、5B，而且在該磁軛5、 5A、5B上安裝永磁鐵6，不過也可以用強磁性材料形成可動基體4，在該可動基體4的對應位置上沿移動方向Z直接設置永磁鐵6，從而形成磁回路。另外，也可在所述第1實施方式中 在滑塊2bl、2b2的寬度方向Y的一端側的側面上安裝磁軛5，在所述第2實施方式中在不 圖示的滑塊的寬度方向Y的兩側面上安裝磁軛5，并且在該磁軛5上安裝永磁鐵6。此情況 下，滑塊2b、2bl、2b2相當于本發明的“可動部”。此外，也可以用強磁性材料構成滑塊，并在 滑塊的對應位置上沿移動方向Z直接設置永磁鐵6，從而形成磁回路。另外，所述第1實施方式及第2實施方式中，以磁軛5、永磁鐵6構成動子10，而以 電樞3構成定子，不過，本發明也可適用于以電樞3構成動子，而以磁軛5、永磁鐵6構成定 子的線性電動機。另外，設于底板1上的立壁lb Id并不一定僅為一體成型的立壁，其也可以用別 的部件構成。另外，所述實施方式的任意一個線性電動機均為所謂的單軸線性電動機，但是，如 圖11所示，也可以將兩個相當于第1實施方式的單軸線性電動機LM1、LM2進行組合，來構 成多軸線性電動機MLM。圖11的實施方式中，先準備兩個相同結構的單軸線性電動機LM1、LM2，使其中一 個線性電動機LM1的立壁lb Id的正面與另一個線性電動機LM2的底板1的背面抵接， 由此，線性電動機LM1、LM2在前后被層疊設置，從而形成多軸線性電動機MLM。各單軸線性電動機LM1、LM2的底板1上形成有在前后方向相對的兩個為一組的通 孔21 (參照圖5)，定位銷20被固定于該通孔21的上端。定位銷20的正面側(+X側)從通 孔中突出，在兩線性電動機LM1、LM2組裝時，下側的線性電動機LM1的定位銷20嵌合于上 層側的線性電動機LM2的通孔21中，從而實現定位。另外，各線性電動機LM1、LM2的底板 1上形成有在前后相對的3個通孔lp lr。螺栓13p從線性電動機LM2的正面側(+X側) 插入，貫穿兩線性電動機LM1、LM2的通孔lp，螺帽14p從線性電動機LM1的背面側(-X側) 螺合于螺栓13p的先端部。此外，其他的通孔lq、lr也與通孔lp同樣，由螺栓13q、13r所 插通，并由螺帽螺合。如此在3處，線性電動機LM1、LM2被相互連接固定而成一體，從而形 成兩軸線性電動機MLM。在如此構成的兩軸線性電動機MLM中，由于是將第1實施方式所涉及的薄型線性 電動機LM1、LM2在前后方向X上層疊設置的線性電動機，因此，可以將兩軸的前后方向X的 間距設定得狹窄。另外，各線性電動機LM1、LM2中，動子、電樞(定子)等全構成件的厚度 (從底面la計起的前后方向X的尺寸)為底板1的立壁lb Id的尺寸以下，而且線性電 動機的主要構成(可動部、電樞3以及動子10)被收容于由底面la與立壁lb Id所圍成 的凹部le中。因此，可在高精度地保持兩軸的相對位置的情況下容易地進行電動機地組 裝。另外，被組合的單軸線性電動機的數目并不限于2個，可以將3個以上的單軸線性 電動機組合來構成多軸線性電動機MLM。例如，在下面所說明的表面安裝機中，為了用10個 的吸嘴來移載元件而裝備有沿上下方向驅動各吸嘴的上下驅動機構，該上下驅動機構可以 使用將10個單軸線性電動機LM1 LM10組合而成的多軸線性電動機MLM。〈表面安裝機〉圖12是表示本發明所涉及的元件移載裝置的一實施方式的表面安裝機的概略結 構的俯視圖。另外，圖13及圖14是頭部組件的正視圖及側視圖。此外，圖15是表示圖12
11所示的表面安裝機的電結構的方框圖。另外，在這些圖以及在后面所說明的圖中，采用以垂 直方向為Z軸的三維的XYZ軸坐標系。表面安裝機中裝備有線性電動機LM1 LM10時的 各方向X、Y、Z分別與X軸、Y軸、Z軸相一致。該表面安裝機MT中，基座111上設置有基板搬送機構102，可以將基板103沿所 定的搬送方向搬送。該搬送方向在圖示的例中為沿X軸方向。更詳細而言，基板搬送機構 102在基座111上具有將基板103從圖12的右側搬送往左側的一對傳送帶121、121。這些 傳送帶121、121由控制表面安裝機MT整體的控制控制組件104的驅動控制部141所控制。 即，傳送帶121、121根據來自驅動控制部141的驅動指令進行運作，將被搬入的基板103停 止在所定的安裝作業位置(由圖12的假想線所示的基板103的位置)。之后，如此被搬送 來的基板103由圖略的保持裝置予以固定保持。從元件收容部105中供應的電子元件(圖 示省略)通過搭載于頭部組件106上的吸嘴161被移載到基板103。另外，當應安裝到基 板103上的元件全部安裝處理完畢后，基板搬送機構102根據來自驅動控制部141的驅動 指令將基板103搬出。基板搬送機構102的兩側設置有所述的元件收容部105。這些元件收容部105具 備多個帶式送料器151。另外，各帶式送料器151上設置有將收納/保持有電子元件的料帶 卷繞的卷盤(圖示省略)，可以供給電子元件。即，各料帶中以所定的間隔收納、保持有集成 電路(IC)、晶體管、電阻、電容等小片狀的芯片電子元件。另外，帶式送料器151將料帶從卷 盤沿Y軸方向送出至頭部組件106側，由此，該料帶內的電子元件間歇地被送出，其結果，由 頭部組件106的吸嘴161所進行的電子元件的取出成為可能。另外，本實施方式中，除基板搬送機構102外，還設置有頭部驅動機構107。該頭 部驅動機構107是用以使頭部組件106在基座111的所定范圍內沿X軸方向以及Y軸方向 移動的機構。于是，通過頭部組件106的移動，被吸嘴161所吸附的電子元件從元件收容部 105的上方位置被搬送到基板103的上方位置。即，頭部驅動機構107具有沿X軸方向延伸 的安裝用頭部支撐部件171。該安裝用頭部支撐部件171將頭部組件106可沿X軸方向移 動地予以支撐。另外，安裝用頭部支撐部件171其X軸方向的兩端部被支撐于沿Y軸方向 延伸的固定導軌172上，從而可沿該固定導軌172在Y軸方向上移動。此外，頭部驅動機構 107具有將頭部組件106沿X軸方向驅動的作為驅動源的X軸伺服電動機173和將頭部組 件106沿Y軸方向驅動的作為驅動源的Y軸伺服電動機174。電動機173與滾珠絲杠175 連接，根據來自驅動控制部141的動作指令，電動機173進行運作，由此，頭部組件106通過 滾珠絲杠175沿X軸方向被往返驅動。另一方面，電動機174與滾珠絲杠176連接，根據來 自驅動控制部141的動作指令，電動機174進行運作，由此，安裝用頭部支撐部件171通過 滾珠絲杠176沿Y軸方向被往返驅動。通過頭部驅動機構107，頭部組件106在由吸嘴161吸附保持著電子元件的狀態下 將該電子元件搬送到基板103處，并移載到所定位置(元件移載動作)。更詳細而言，頭部 組件106構成為如下結構。該頭部組件106中，10個沿垂直方向Z延伸設置的安裝用頭部 在X軸方向(由基板搬送機構102搬送基板103的搬送方向)上等間隔地呈列狀設置。安 裝用頭部的各先端部上安裝有吸嘴161。S卩，如圖13及圖14所示，各安裝用頭部具備沿Z 軸方向延伸的吸嘴軸163。在吸嘴軸163的軸心部中形成有向上方(+Z側)延伸的空氣通 路。吸嘴軸163的下端部經由與該下端部連接的吸嘴161與空氣通路連通。另一方面，上方端部具有開口，通過連接組件164、連接部件165、空氣管166以及真空切換閥門機構167 與真空吸引源以及正壓源連接。另外，頭部組件106中，設置有使吸嘴軸163沿Z軸方向升降的上下驅動機構168， 通過驅動控制部141的電動機控制器142，驅動控制上下驅動機構168，使吸嘴軸163沿Z 軸方向升降，由此，在Z軸方向上移動吸嘴161，對其定位。本實施方式中，將10個單軸線性 電動機LM1 LM10組合而成的多軸線性電動機MLM作為上下驅動機構168予以使用。有 關該結構的詳情，稍后詳細敘述。另外，還設有使吸嘴161在XY平面(在Z軸周圍)沿R方向(雙方向)轉動的轉 動伺服電動機169，根據來自控制組件104的驅動控制部141的動作指令，轉動伺服電動機 169進行運作，使吸嘴161沿R方向轉動。因此，如上所述，通過頭部驅動機構107，頭部組 件106移動到元件收容部105處，并對上下驅動機構168以及轉動伺服電動機169進行驅 動，由此使吸嘴161的先端部以合適的姿勢與從元件收容部105中供給的電子元件抵接。參照圖16及圖17進行說明。作為上下驅動機構168予以使用的多軸線性電動機 MLM由10個單軸線性電動機LM1 LM10和2個側板SPa、SPb所構成。這些單軸線性電動 機LM1 LM10是將與圖1中所說明的單軸線性電動機LM等同品按圖11中所說明的要領 沿X軸方向層疊設置而成的。設置在X軸的上層側(+X側)的側板SPb還作為覆蓋最上層 的線性電動機LM10的凹部le(參照圖5)的蓋體發揮作用。所述2個側板SPa、SPb將沿X軸并列設置的單軸線性電動機LM1 LM10相夾于 其中。這些側板SPa、SPb以及單軸線性電動機LM1 LM10中的任意一個上，在預先設定的 位置上形成有沿X軸方向貫通的3個連接用的通孔，螺栓13p 13q從這些連接用的通孔 的側板SPa側以沿X軸方向貫通的方式被插入，并通過從側板SPa側螺合的螺帽而被連接， 由此，側板SPa、單軸線性電動機LM1 LM10以及側板SPb被一體化，從而形成多軸線性電 動機MLM。側板SPa被設置在一側，而側板SPb被設置在最上端側(+X側)的線性電動機 LM10 處。如圖13及圖14所示，該多軸線性電動機MLM被安裝在頭部組件106的底板160上。多軸線性電動機MLM的各可動基體4上，分別固定有按每一可動基體4地將吸嘴 軸163予以連接的連接組件164。如圖13及圖14所示，連接組件164包括被固定于對應的可動基體4的移動方向 Z的往動側(-Z側)端部上的L狀的塊體部件164a、被固定于塊體部件164a上的軸保持件 164b。本實施方式中，各部件164a、164b是將作為被驅動體的吸嘴軸163和作為可動部的 要部的可動基體4予以連接的連接部件的一個例子。塊體部件164a —體地具有沿Z軸方向向上方延伸的垂直部、從垂直部的下端(移 動方向Z的往動側(-Z側))向寬度方向Y的一端側(-Y側)延伸的水平部。塊體部件164a 的垂直部通過螺絲被固定于可動基體4。另外，軸保持件164b安裝于塊體部件164a的水平 部的下表面(-Z側)。由此，吸嘴軸163通過連接組件164的連接，可與對應的線性電動機 LM1 LM10的可動基體4 一體地沿Z軸方向升降。另外，該實施方式中，多軸線性電動機MLM用作上下驅動機構168，各可動基體4的 移動方向Z與垂直方向平行。因此，各可動基體4基于重力作用而一直被賦予向往動側(-Z側)的勢能。為此，在各線性電動機LM1 LM10上，回位彈簧15的上端部被卡合于底板1 的彈簧卡合部lh，并且，回位彈簧15的下端部被卡合于塊體部件164a的所述水平部上設置 的彈簧卡合部164c，基于該回位彈簧15的作用，可動基體4被賦予向往動側(+Z側)亦即 向上方的勢能。由此，在向各線性電動機LM1 LM10的線圈3c的電流供給停止的期間，可 動基體4被收納在底板1內。由此，各吸嘴161便位于上方位置，在上下驅動機構168因電 流停止而不運作的狀態下，即使例如X軸伺服電動機173、Y軸伺服電動機174不運作，也不 會發生各吸嘴161或被吸附的電子元件與基板103、傳送帶121等干涉的事故。如圖14所示，在軸保持件164b的正面(Y軸方向的-Y側)上，安裝有連接部件 165。該連接部件165與空氣管166的一端連接，通過該空氣管166可以將從真空切換閥門 機構167送來的空氣送入軸保持件164b，或者相反可以從軸保持件164b將空氣通過空氣 管166吸引到真空切換閥門機構167。如此通過空氣管166-軸保持件164b內的空氣路徑 (省略圖示)-吸嘴軸163這樣的路徑，真空切換閥門機構167與吸嘴161被連接，從而可以 向各吸嘴161供給正壓，或相反可以向各吸嘴161供給負壓。在如此構成的表面安裝機中，根據預先存儲于控制組件104的存儲器中的程序， 控制組件104的主控制部143控制裝置的各個部，使頭部組件106在元件收容部105的上 方位置與基板103的上方位置之間往返移動。另外，頭部組件106在停止于元件收容部105 的上方位置的狀態下，驅動控制上下驅動機構168以及轉動伺服電動機169，使吸嘴161的 先端部以合適的姿勢與從元件收容部105中供給的電子元件抵接，并給予吸嘴161負壓吸 附力，由此通過吸嘴161進行元件保持。并且，頭部組件106在吸附保持著元件的狀態下移 動到基板103的上方位置，之后將該元件移載到所定位置。如此，從元件收容部105中將元 件移載到基板103的元件搭載區域這樣的元件搭載動作被反復進行。如上所述，本實施方式所涉及的表面安裝機中，由于利用將10個具有與圖1所示 的線性電動機LM相同結構的線性電動機LM1 LM10在前后方向X上層疊設置而成的多軸 線性電動機MLM來沿Z軸方向升降驅動吸嘴軸163，因此，可獲得如下的作用效果。各線性 電動機LM1 LM10即使如上述那樣為薄型也可以具備充分的推進力，因此，通過安裝在吸 嘴軸163的先端部上的吸嘴161，較輕的元件當然不用說即使較重的元件也能夠予以移送。 另外，通過線性電動機LM1 LM10的薄型化還能夠實現頭部組件106的小型化、輕型化，這 有助于表面安裝機的小型化，并且基于XY兩方向上的移動速度的高速化而大大地有助于 縮短安裝時間。此外，由于是將具有厚度小的形狀的線性電動機LM1 LM10層疊設置，因 此，可以在前后方向X上，以狹窄的間距設置可動基體4，其結果，可以將與這些可動基體4 連接的吸嘴軸163以及吸嘴161的前后方向X的間距PT縮窄。< 其他 >所述實施方式中，將本發明應用于作為元件移載裝置發揮作用的表面安裝機中， 但本發明的應用對象并不限于此，本發明還可應用于IC處理機等元件移載裝置。本發明的一實施方式涉及一種線性電動機，其包括磁體和電樞，通過在向所述電 樞供電時在該電樞與所述磁體之間產生的磁通的相互作用來形成使所述磁體和所述電樞 沿所定的直線狀的移動方向相對變位的力。該線性電動機還包括底板，所述移動方向設定 在其底面上；可動部，沿所述移動方向相對往返移動自如地安裝在所述底板上；動子，與所 述可動部并列地設置在該可動部中的與所述移動方向正交的所述底面寬度方向上的一端側面上，構成所述磁體和所述電樞其中一者；定子，以從所述寬度方向的一端側向他端側與 所述動子相對的狀態設置在所述底板的所述底面上，沿所述移動方向構成為所述磁體和所 述電樞其中另一者。較為理想的是，該線性電動機還包括直線狀的導軌，固定于所述底板，沿所述移 動方向延伸設置在所述底面上；滑塊，沿所述導軌可往返移動地沿所述移動方向設置；可 動基體，安裝于所述滑塊，構成所述可動部的一部分；其中，所述動子安裝在所述可動基體 的其寬度方向上的一端側面上。較為理想的是，本線性電動機還包括直線狀的導軌，固定于所述底板，沿所述移 動方向延伸設置在所述底面上；滑塊，沿所述導軌可往返移動地沿所述移動方向設置，構成 所述可動部的一部分；其中，所述動子安裝在所述可動滑塊的其寬度方向上的一端側面上。較為理想的是，本線性電動機還包括立壁，設置于所述底板的外緣部分，向所述 底板的前方延伸，其中，所述立壁的所述前后方向的尺寸被設定為所述定子的厚度以上。較為理想的是，本線性電動機還包括檢測單元，所述檢測單元包含線性標尺，設 置于所述底板和所述可動部其中一者；傳感器，以與所述線性標尺沿所述寬度方向相對的 狀態設置于所述底板和所述可動部其中另一者，檢測與所述線性標尺的相對位置；所述檢 測單元根據所述傳感器的檢測，測出所述移動方向上的所述可動部的位置。較為理想的是，所述線性標尺和所述傳感器其中一者設置在所述可動部的所述寬 度方向上的他端側面上，所述線性標尺和所述傳感器以兩者的各相對的面平行地接近的狀 態設置。較為理想的是，本線性電動機還包括傳感器控制組件，控制所述傳感器，其中，所 述線性標尺設置于所述他端側面，所述傳感器以從他端側向一端側與所述線性標尺相對的 狀態設置在所述寬度方向上，所述傳感器控制組件設置在所述傳感器的反線性標尺側。較為理想的是，本線性電動機包括立壁，設置于所述底板的外緣部分，向所述底 板的前方延伸，其中，所述立壁的所述前后方向的尺寸被設定為所述定子的厚度以上，所述 立壁上設置有可裝卸所述傳感器控制組件的安裝部。較為理想的是，本線性電動機中，當以所述動子作為第1動子，以所述定子作為第 1定子時，還包括第2動子，與所述可動部并列地設置在該可動部中的所述寬度方向上的 他端側面上，構成與所述第1動子及所述第1定子不同的磁體和電樞其中一者；第2定子， 設置在所述固定部的所述寬度方向上的他端側，構成與所述第1動子及所述第1定子不同 的磁體和電樞其中另一者；其中，通過由所述第1動子及所述第1定子產生的磁通的相互作 用以及由所述第2動子及所述第2定子產生的磁通的相互作用，沿所述移動方向驅動所述 可動部。較為理想的是，本線性電動機是沿所述移動方向移動被驅動體的線性電動機，所 述被驅動體通過連接單元可裝卸地安裝于所述可動部。較為理想的是，所述連接單元包括將所述被驅動體與所述可動部予以連接的連接 部件。較為理想的是，所述連接單元包括將所述連接部件固定于所述移動方向上的所述 可動部的端部上的螺紋部。本發明的別的實施方式涉及一種元件移載裝置，其將元件從元件收容部移載到元
15件搭載區域，其包括頭部組件，包含基體部件、吸嘴軸及上下驅動機構，其中，所述吸嘴軸 沿上下方向移動自如地支撐在所述基體部件上，且先端部上安裝有吸嘴，并且將經由與后 端部連接的負壓配管所供給的負壓供應到所述吸嘴，所述上下驅動機構沿所述上下方向驅 動所述吸嘴軸；頭部驅動單元，在所述元件收容部的上方位置與所述元件搭載區域的上方 位置之間移動所述頭部組件；其中，所述上下驅動機構是本線性電動機，所述線性電動機的 所述底板以所述移動方向與所述上下方向平行的狀態安裝于所述基座部件，所述線性電動 機的所述可動部與所述吸嘴軸連接。 所述的實施方式，只是本發明的優選具體例，本發明并不限于所述的實施方式。毋 容置疑，在本發明的專利請求范圍內是可以進行種種變更的。
權利要求
一種線性電動機，其特征在于包括磁體和電樞，通過在向所述電樞供電時在該電樞與所述磁體之間產生的磁通的相互作用來形成使所述磁體和所述電樞沿所定的直線狀的移動方向相對變位的力，該線性電動機還包括底板，所述移動方向設定在其底面上；可動部，沿所述移動方向相對往返移動自如地安裝在所述底板上；動子，與所述可動部并列地設置在該可動部中的與所述移動方向正交的所述底面寬度方向上的一端側面上，構成所述磁體和所述電樞其中一者；定子，以從所述寬度方向的一端側向他端側與所述動子相對的狀態設置在所述底板的所述底面上，沿所述移動方向構成所述磁體和所述電樞其中另一者。
2.根據權利要求1所述的線性電動機，其特征在于還包括直線狀的導軌，固定于所述底板，沿所述移動方向延伸設置在所述底面上； 滑塊，沿所述導軌可往返移動地沿所述移動方向設置； 可動基體，安裝于所述滑塊，構成所述可動部的一部分；其中， 所述動子安裝在所述可動基體的其寬度方向上的一端側面上。
3.根據權利要求1所述的線性電動機，其特征在于還包括直線狀的導軌，固定于所述底板，沿所述移動方向延伸設置在所述底面上； 滑塊，沿所述導軌可往返移動地沿所述移動方向設置，構成所述可動部的一部分；其中，所述動子安裝在所述可動滑塊的其寬度方向上的一端側面上。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的線性電動機，其特征在于還包括 立壁，設置于所述底板的外緣部分，向所述底板的前方延伸，其中，所述立壁的所述前后方向的尺寸被設定為所述定子的厚度以上。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的線性電動機，其特征在于還包括檢測單元， 所述檢測單元包含線性標尺，設置于所述底板和所述可動部其中一者；傳感器，以與所述線性標尺沿所述寬度方向相對的狀態設置于所述底板和所述可動部其中另一者，檢測 與所述線性標尺的相對位置；所述檢測單元根據所述傳感器的檢測，測出所述移動方向上的所述可動部的位置。
6.根據權利要求5所述的線性電動機，其特征在于所述線性標尺和所述傳感器其中一者設置在所述可動部的所述寬度方向上的他端側 面上，所述線性標尺和所述傳感器以兩者的各相對的面平行地接近的狀態設置。
7.根據權利要求6所述的線性電動機，其特征在于還包括 傳感器控制組件，控制所述傳感器，其中，所述線性標尺設置于所述他端側面，所述傳感器以從他端側向一端側與所述線性標尺 相對的狀態設置在所述寬度方向上，所述傳感器控制組件設置在所述傳感器的反線性標尺 側。
8.根據權利要求7所述的線性電動機，其特征在于還包括 立壁，設置于所述底板的外緣部分，向所述底板的前方延伸，其中，所述立壁的所述前后方向的尺寸被設定為所述定子的厚度以上， 所述立壁上設置有可裝卸所述傳感器控制組件的安裝部。
9.根據權利要求1至3中任一項所述的線性電動機，其特征在于， 當以所述動子作為第1動子，以所述定子作為第1定子時，還包括第2動子，與所述可動部并列地設置在該可動部中的所述寬度方向上的他端側面上， 構成與所述第1動子及所述第1定子不同的磁體和電樞其中一者；第2定子，設置在所述固定部的所述寬度方向上的他端側，構成與所述第1動子及所述 第1定子不同的磁體和電樞其中另一者；其中，通過由所述第1動子及所述第1定子產生的磁通的相互作用以及由所述第2動子及所 述第2定子產生的磁通的相互作用，沿所述移動方向驅動所述可動部。
10.根據權利要求1至9中任一項所述的線性電動機，其特征在于 該線性電動機是沿所述移動方向移動被驅動體的線性電動機，所述被驅動體通過連接單元可裝卸地安裝于所述可動部。
11.根據權利要求10所述的線性電動機，其特征在于所述連接單元包括將所述被驅動體與所述可動部予以連接的連接部件。
12.根據權利要求11所述的線性電動機，其特征在于所述連接單元包括將所述連接部件固定于所述移動方向上的所述可動部的端部上的 螺紋部。
13.—種元件移載裝置，將元件從元件收容部移載到元件搭載區域，其特征在于包括 頭部組件，包含基體部件、吸嘴軸及上下驅動機構，其中，所述吸嘴軸沿上下方向移動自如地支撐在所述基體部件上，且先端部上安裝有吸嘴，并且將經由與后端部連接的負壓 配管所供給的負壓供應到所述吸嘴，所述上下驅動機構沿所述上下方向驅動所述吸嘴軸；頭部驅動單元，在所述元件收容部的上方位置與所述元件搭載區域的上方位置之間移 動所述頭部組件；其中，所述上下驅動機構是權利要求1至12中任一項所述的線性電動機， 所述線性電動機的所述底板以所述移動方向與所述上下方向平行的狀態安裝于所述 基座部件，所述線性電動機的所述可動部與所述吸嘴軸連接。
全文摘要
本發明涉及線性電動機，該線性電動機包括磁體和電樞，通過在向所述電樞供電時在該電樞與所述磁體之間產生的磁通的相互作用產生使所述磁體和所述電樞沿所定的移動方向相對變位的力。該線性電動機還包括底板，所述移動方向設定在其底面上；可動部，沿所述移動方向相對往返移動自如地安裝在所述底板上；動子，并列設置在所述可動部的在與所述移動方向正交的所述底面寬度方向上的一端側面上，被構成為所述磁體和所述電樞其中一者；定子，以從所述寬度方向的一端側向他端側與所述動子相對的狀態設置在所述底板的所述底面上，沿所述移動方向構成為所述磁體和所述電樞其中另一者。
文檔編號H02K41/03GK101868906SQ200980101078
公開日2010年10月20日 申請日期2009年1月7日 優先權日2008年1月11日
發明者堺清敬, 花村直己 申請人:雅馬哈發動機株式會社