專利名稱：大位移大推力壓電作動器的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種壓電作動器，具體涉及一種基于蠕動原理的往復 式可變步長的大位移大推力壓電作動器。
背景技術：
精密作動器是工業領域中的重要器件，在航天航空、機械制造等 領域有著廣泛的需求。壓電作動器是一種利用壓電陶瓷逆壓電效應制 作的微位移器，理論上具有體積小、推力大、精度高、位移分辨率高 和頻響快等優點，近年來得到一定的發展。但己有的壓電作動器普遍 存在結構復雜、位移大而推力小或者推力大而位移小的缺點，并且不 能閉環自適應控制。
發明內容
本發明的目的在于克服上述現有技術的缺點，提供一種容易加 工、結構簡單可靠、精密度高的往復式可變步長的大位移大推力壓電 作動器。
為達到上述目的，本發明所采取的技術方案為大位移大推力壓
電作動器，包括一個U型底座19， U型底座19具有上底邊1和下底 邊ll， U型底座19上配置一塊活動導軌5和兩塊定位鋼塊7，定位 鋼塊7通過定位螺栓6固定在U型底座19上。U型底座19的上底邊 1與活動導軌5之間設置為作動器的運動軌道4，運動軌道4內配置有U字型部件13和U字型部件2， U字型部件13內固定壓電堆15，U 字型部件2內固定壓電堆3， U字型部件13與U字型部件2之間通過 與壓電堆14的兩個端面粘接固定而連接為一體，U型底座19的下底 邊11與活動導軌5和定位鋼塊7之間的空腔內放置兩個楔形滑塊10; 全螺紋螺栓9通過楔形滑塊10內部的螺紋與之連接在一起；固定桿 16位于活動導軌5的開孔之中，彈簧18通過套筒17穿過U型底座 19的下底邊11， 一頭掛在固定桿16上， 一頭掛在固定桿12上。
壓電堆14的驅動控制電壓信號接入高電壓線性放大電路20，高 電壓線性放大電路20的電壓輸出加載到作動器的壓電堆14上，壓電 堆15和壓電堆3的240V加載電壓由外部電源提供，并分別接入壓電 堆15加載控制電路19和壓電堆3加載控制電路21，壓電堆15的加 載控制電壓信號接入壓電堆15加載控制電路19，壓電堆15加載控 制電路19的電壓輸出加載到作動器的壓電堆15上，壓電堆3的加載 控制電壓信號接入壓電堆3加載控制電路21，壓電堆3加載控制電 路21的電壓輸出加載到作動器的壓電堆3上。
.壓電堆14驅動控制電壓信號通過插座J2的6腳接入高電壓線性 放大電路20。插座J2的6腳與電位器P1連接，電位器P1另一端分 別接運算放大器U3A的負向輸入端、電容C6、電阻R9、電容C2。電 容C6的另一端與運算放大器U3A的輸出端1腳相連。電阻R9的另一 端和電容C2的另一端連接， 一并接入高壓放電器U1的OUT端1腳。 運算放大器U3A的正向輸入端3腳接公共地，運算放大器U3A的輸出 端1腳接高壓放大器Ul的IN端4腳，運算放大器U3A的8腳接+12V電壓，運算放大器U3A的4腳接-12V電壓。高壓放大器U1的0UT端 1腳分別與電阻R9、電容C2、電容C1、電阻R5和插座J3的3腳連 接。電容C1的另一端與高壓放大器U1的8腳連接，電阻R5的另一 端與高壓放大器U1的7腳連接。電阻R1、 R2并聯， 一端接入高壓放 大器Ul的OUT端1腳， 一端接入高壓放大器器Ul的2腳。電阻R7 一端與高壓放大器Ul的OUT端1腳相連接，電阻R7另一端與電位器 P2連接。高壓放大器U1的5腳接公共地。電位器P2另一端與電容 C7、電容C3、電阻R8、電阻R10和運算放大器U3B的負向輸入端6 腳連接。電容C7另一端與運算放大器U3B的輸出端7腳連接。運算 放大器U3B的正向輸入端5腳接公共地。電容C3的另一端與電阻R8 的另一端連接， 一并接入高壓放大器U2的0UT端1腳。電阻R10另 一端與電容C4連接，電容C4另一端接公共地。運算放大器U3B的輸 出端7腳接入高壓放大器U2的IN端4腳。高壓放大器U2的OUT端 1腳與電阻R3、電阻R4、電阻R6、電容C5連接。電阻R3的另一端 和電阻R4的另一端連接， 一并接入高壓放大器U2的2腳。電容C5 的另一端接入高壓放大器U2的8腳，電阻R6的另一端接入高壓放大 器U2的7腳。高壓放大器U2的OUT端1腳與插座J3的4腳連接。 插座Jl的1腳引入-12V電壓，-12V電壓由外部電源提供。插座Jl 的2腳引入+12V電壓，+12V電壓由外部電源提供。插座Jl的3腳引 入-HV電壓，與高壓放大器Ul的6腳和高壓放大器U2的6腳相連， -HV由外部電源供電，供電電壓為-200V。插座Jl的4腳引入+HV電 壓，與高壓放電器U1的3腳和高壓放大器U2的3腳相連，+醇由外部電源供電，供電電壓200V。高壓放大器U2的5腳接公共底。自恢 復保險Fl的一端連接插座J2的8腳，自恢復保險Fl的另一端分別 與固態繼電器SSR1的2腳、固態繼電器SSR4的2腳連接。插座J2 的9腳接公共地，分別與固態繼電器SSR2的1腳、固態繼電器SSR5 的1腳和插座J3的1、 5腳相連接。固態繼電器SSR3的1腳與插座 J3的3腳相連。插座J2的1腳接信號地，并與固態繼電器SSR1的4 腳、固態繼電器SSR2的4腳、固態繼電器SSR3的4腳、固態繼電器 SSR4的4腳、固態繼電器SSR5的4腳相連接。插座J2的2腳接固 態繼電器SSR5的3腳。插座J2的3腳接固態繼電器SSR3的3腳。 插座J2的4腳接固態繼電器SSR2的3腳。插座J2的5腳接固態繼 電器SSR4的3腳。插座J2的7腳接固態繼電器SSR1的3腳。固態 繼電器SSR1的1腳與固態繼電器SSR2的2腳和插座J3的6腳相連 接。固態繼電器SSR3的2腳和插座J3的4腳相連接。固態繼電器 SSR4的1腳與固態繼電器SSR5的2腳和插座J3的2腳相連接。插 座J3的6腳通過引線直接連接壓電堆15的正極，插座J3的5腳通 過引線直接連接壓電堆15的負極。插座J3的4腳通過引線直接連接 壓電堆14的正極，插座J3的3腳通過引線直接連接壓電堆14的負 極。插座J3的2腳通過引線直接連接壓電堆3的正極，插座J3的1 腳通過引線直接連接壓電堆3的負極。
本發明通過一對楔形滑塊10的微動來微調作動器運動軌道4兩 壁之間的間距和平行度，可有效降低導軌加工的精度要求，減少加工 成本。因加工精度的影響，作動器運動軌道4兩壁之間不完全平行，通過旋動每個全螺紋螺栓9，推動相對應的楔形滑塊10前進相應位
移，進而調整活動導軌5的位置，使得作動器運動軌道4的兩壁之間
達到實際可用的平行度和間距。本發明通過閉環差動倍壓放大的方
式，來設計高電壓線性放大電路20以驅動壓電堆14，使其變形量和 推動力連續可變。在同樣的驅動電壓信號條件下，閉環差動倍壓模式 可獲得兩倍與單路輸出的電壓輸出能力；在同樣的輸出電壓要求條件 下，可使輸入端的驅動電壓信號大小減小一半，降低對驅動信號電源 的要求，能有效減小整個系統的體積和重量。本發明通過控制固態繼 電器的on/off狀態，來控制相應的起嵌位作用的壓電堆的電壓加載 和電壓卸載。并通過給作動器中每個壓電堆并聯一個對應的固態繼電 器，來對進入掉電時序的壓電堆進行快速放電，使其快速恢復原狀。
圖1為本發明結構原理圖，其中，圖l(a)為作動器的主視圖， 圖l(b)為作動器的左視圖，圖l(c)為作動器的俯視圖。
圖2為本發明驅動控制電路的總框圖。
圖3為本發明驅動控制電路的原理圖。
具體實施例方式
下面結合附圖對本發明的結構原理和工作原理作進一步詳細說明。
參照圖1，本發明包括一個U型底座19， U型底座19的上底邊1， U型底座19的下底邊11。每個定位鋼塊7通過兩個定位螺栓6固定 在U型底座19上。U型底座19的上底邊1與活動導軌5之間設置為作動器的運動軌道4。運動軌道4內配有U字型部件13和U字型部
件2， U字型部件13內固定壓電堆15， U字型部件2內固定壓電堆3， U字型部件13與U字型部件2之間通過與壓電堆14的兩個端面粘接 固定而連接為一體。U型底座19的下底邊11與活動導軌5和定位鋼 塊7之間的空腔內放置兩個楔形滑塊10。每個全螺紋螺栓9通過每 個楔形滑塊10內部的螺紋與之連接在一起。固定桿16位于活動導軌 5的開孔之中，彈簧18通過套筒17穿過U型底座19的下底邊11， 一頭掛在固定桿16上， 一頭掛在固定桿12上。套筒17還用來限制 楔形滑塊10的最大位移，防止楔形滑塊10與全螺紋螺栓9之間脫離。 定位螺栓8用來限定全螺紋螺栓9只能在原地旋動。順時針或者逆時 針旋動全螺紋螺栓9，推動相應的楔形滑塊10后退或者前進，進而 向上推動或者向下拉動相應一邊活動導軌5的位置。通過微調活動導 軌5兩邊的位置，來調整作動器運動軌道4兩壁之間的間距和平行度， 使之可以讓作動器順利往復運動。壓電堆15、壓電堆14和壓電堆3 為相同的立方體形狀。壓電堆15的長X寬面與U字型部件13之間用 膠粘接，壓電堆3的長X寬面與U字型部件2之間用膠粘接，壓電堆 14的兩個長乘寬面分別與U字型部件13和U字型部件2用膠粘接。 壓電堆15、壓電堆14、壓電堆3、 U字型部件13和U字型部件2構 成了作動器的作動機構，在運動軌道4內往復運動。作動器各個壓電 堆的正負極通過引線與作動器的驅動控制電路相連接。
本發明利用蠕動工作原理來設計壓電作動器的作動機構，作動機 構包括壓電堆15、壓電堆14、壓電堆3，和U字型部件13、 U字型部件2。 U字型部件13和U字型部件2的材料為彈性鋼。壓電堆15 與U字型部件13之間、壓電堆3與U字型部件2之間采取粘接的方 式連接，U字型部件13和U字型部件2分別與壓電堆14的兩個端面 粘接固定而連接在一起。位于作動機構左右兩側的壓電堆15、壓電 堆3為起嵌位作用的壓電堆，負責在各自相應的時域內變形伸長，通 過撐開U字型部件13或U字型部件2來頂住相對應一邊的軌道兩壁， 起到嵌位作用；位于作動機構中間的壓電堆14為驅動壓電堆，在相 應時域內變形伸長，負責產生作動器向外輸出的位移和推動力。利用 楔形滑塊10來設計壓電作動器運動軌道4兩壁之間間距和平行度的 微調機構。壓電作動器運動軌道4兩壁之間間距和平行度的微調機構 主要包括一對全螺紋螺栓9、 一對定位螺栓8、 一對微調楔形滑塊10、 一塊活動導軌5、 一支彈簧18、 U型底座19的上底邊1和U型底座 19的下底邊11。每個定位螺栓8用來固定相對應的全螺紋螺栓9的 位置，限制其只能在固定位置原地旋動。彈簧18用來拉緊活動導軌 5，使活動導軌5與楔形滑塊10之間，楔形滑塊10與U型底座19的 下底邊ll之間緊密配合。楔形滑塊10內有螺孔，楔形滑塊10通過 螺孔與全螺紋螺栓9連接在一起。順時針或者逆時針旋動全螺紋螺栓 9，可以推動相對應的楔形滑塊10前進或者后退，進而推動活動導軌 5在與楔形滑塊10運動方向垂直的方向上前進或者后退，達到調整 作動器運動軌道4兩壁之間間距和平行度的目的。利用閉環差動倍壓 放大原理設計高電壓線性放大電路20，以提供不同的電壓值來驅動 位于作動器的作動機構中間位置的壓電堆14，控制其加電或者掉電，并根據需要產生不同的步長和推力。壓電堆14的驅動控制電壓信號 為0-5V的直流電壓信號，驅動控制電壓信號經過高電壓線性放大電
路20線性放大，可產生0-240V的線性電壓輸出。高電壓線性放大電 路20的線性放大倍數通過調節相應的電位器來控制。利用固態繼電 器實現對位于作動器作動機構左右兩側的起嵌位作用的壓電堆15、 壓電堆3的加電控制和掉電控制。通過相對應的驅動控制信號控制固 態繼電器SSR1、固態繼電器SSR4的導通與關斷，來控制作動器的壓 電堆15和壓電堆3的加載電壓的加載與卸載。為每個壓電堆并聯一 個大功率固態繼電器，壓電堆15并聯固態繼電器SSR2，壓電堆14 并聯固態繼電器SSR3，壓電堆3并聯固態繼電器SSR5。在某個壓電 堆進入掉電時序后，在極短的時間內導通相應的固態繼電器，使其對 應的壓電堆瞬間短路，達到使該壓電堆快速放電的目的。
本發明工作原理是作動器通過一對楔形滑塊10的移動來微調 作動器運動軌道4兩壁之間的間距和平行度。分別旋動兩個全螺紋螺 栓9，推動兩個楔形滑塊10各自前進適當的位移，通過楔形滑塊IO 推動活動導軌5在與楔形滑塊10運動方向的垂直方向上產生相應的 位移，使得作動器運動軌道4的間距和軌道兩壁間的平行度得到微 調。
參照圖2、圖3，作動器中壓電堆14的驅動控制電壓信號為0-5V 的直流電壓信號。壓電堆14驅動控制電壓信號通過插座J2的6腳接 入高電壓線性放大電路20。插座J2的6腳與電位器Pl連接，電位 器Pl另一端分別接運算放大器U3A的負向輸入端、電容C6、電阻R9、電容C2。電容C6的另一端與運算放大器U3A的輸出端1腳相連。電 阻R9的另一端和電容C2的另一端連接， 一并接入高壓放電器Ul的 OUT端1腳。運算放大器U3A的正向輸入端3腳接公共地，運算放大 器U3A的輸出端1腳接高壓放大器Ul的IN端4腳，運算放大器U3A 的8腳接+12V電壓，運算放大器U3A的4腳接-12V電壓。高壓放大 器U1的OUT端1腳分別與電阻R9、電容C2、電容C1、電阻R5和插 座J3的3腳連接。電容Cl的另一端與高壓放大器Ul的8腳連接， 電阻R5的另一端與高壓放大器U1的7腳連接。電阻R1、 R2并聯， 一端接入高壓放大器Ul的OUT端1腳， 一端接入高壓放大器器Ul的 2腳。電阻R7 —端與高壓放大器Ul的OUT端1腳相連接，電阻R7 另一端與電位器P2連接。高壓放大器Ul的5腳接公共地。電位器 P2另一端與電容C7、電容C3、電阻R8、電阻R10和運算放大器U3B 的負向輸入端6腳連接。電容C7另一端與運算放大器U3B的輸出端 7腳連接。運算放大器U3B的正向輸入端5腳接公共地。電容C3的 另一端與電阻R8的另一端連接， 一并接入高壓放大器U2的OUT端1 腳。電阻R10另一端與電容C4連接，電容C4另一端接公共地。運算 放大器U3B的輸出端7腳接入高壓放大器U2的IN端4腳。高壓放大 器U2的0UT端1腳與電阻R3、電阻R4、電阻R6、電容C5連接。電 阻R3的另一端和電阻R4的另一端連接， 一并接入高壓放大器U2的 2腳。電容C5的另一端接入高壓放大器U2的8腳，電阻R6的另一 端接入高壓放大器U2的7腳。高壓放大器U2的OUT端1腳與插座 J3的4腳連接。插座Jl的1腳引入-12V電壓，-12V電壓由外部電源提供。插座J1的2腳引入+12V電壓，+12V電壓由外部電源提供。 插座Jl的3腳引入-HV電壓，與高壓放大器Ul的6腳和高壓放大器 U2的6腳相連，-HV由外部電源供電，供電電壓為-200V。插座Jl的 4腳引入+HV電壓，與高壓放電器Ul的3腳和高壓放大器U2的3腳 相連，+，由外部電源供電，供電電壓200V。高壓放大器U2的5腳 接公共底。自恢復保險Fl的一端連接插座J2的8腳，自恢復保險 Fl的另一端分別與固態繼電器SSR1的2腳、固態繼電器SSR4的2 腳連接。插座J2的9腳接公共地，分別與固態繼電器SSR2的1腳、 固態繼電器SSR5的1腳和插座J3的1、5腳相連接。固態繼電器SSR3 的1腳與插座J3的3腳相連。插座J2的1腳接信號地，并與固態繼 電器SSR1的4腳、固態繼電器SSR2的4腳、固態繼電器SSR3的4 腳、固態繼電器SSR4的4腳、固態繼電器SSR5的4腳相連接。插座 J2的2腳接固態繼電器SSR5的3腳。插座J2的3腳接固態繼電器 SSR3的3腳。插座J2的4腳接固態繼電器SSR2的3腳。插座J2的 5腳接固態繼電器SSR4的3腳。插座J2的7腳接固態繼電器SSR1 的3腳。固態繼電器SSR1的1腳與固態繼電器SSR2的2腳和插座 J3的6腳相連接。固態繼電器SSR3的2腳和插座J3的4腳相連接。 固態繼電器SSR4的1腳與固態繼電器SSR5的2腳和插座J3的2腳 相連接。插座J3的6腳通過引線直接連接壓電堆15的正極，插座 J3的5腳通過引線直接連接壓電堆15的負極。插座J3的4腳通過 引線直接連接壓電堆14的正極，插座J3的3腳通過引線直接連接壓 電堆14的負極。插座J3的2腳通過引線直接連接壓電堆3的正極，插座J3的1腳通過引線直接連接壓電堆3的負極。
權利要求
1. 大位移大推力壓電作動器，包括一個U型底座(19)，U型底座(19)具有上底邊(1)和下底邊(11)，其特征在于U型底座(19)上配置一塊活動導軌(5)和兩塊定位鋼塊(7)，定位鋼塊(7)通過定位螺栓(6)固定在U型底座(19)上，U型底座(19)的上底邊(1)與活動導軌(5)之間設置為作動器的運動軌道(4)，運動軌道(4)內配置有U字型部件(13)和U字型部件(2)，U字型部件(13)內固定壓電堆(15)，U字型部件(2)內固定壓電堆(3)，U字型部件(13)與U字型部件(2)之間通過與壓電堆(14)的兩個端面粘接固定而連接為一體，U型底座(19)的下底邊(11)與活動導軌(5)和定位鋼塊(7)之間的空腔內放置兩個楔形滑塊(10)，全螺紋螺栓(9)通過楔形滑塊(10)內部的螺紋與之連接在一起；固定桿(16)位于活動導軌(5)的開孔之中，彈簧(18)通過套筒(17)穿過U型底座(19)的下底邊(11)，一頭掛在固定桿(16)上，一頭掛在固定桿(12)上。
2. 根據權利要求1所述的大位移大推力壓電作動器，其特征在 于壓電堆(14)的驅動控制電壓信號接入高電壓線性放大電路(20 )， 高電壓線性放大電路(20)的電壓輸出加載到作動器的壓電堆(14) 上，壓電堆(15)和壓電堆(3)的240V加載電壓由外部電源提供， 并分別接入壓電堆(15)加載控制電路(19)和壓電堆(3)加載控 制電路(21)，壓電堆(15)的加載控制電壓信號接入壓電堆(15)加載控制電路(19)，壓電堆(15)加載控制電路(19)的電壓輸出 加載到作動器的壓電堆(15)上，壓電堆(3)的加載控制電壓信號 接入壓電堆(3)加載控制電路(21)，壓電堆(3)加載控制電路(21) 的電壓輸出加載到作動器的壓電堆(3)上。
3 .根據權利要求1或2所述的大位移大推力壓電作動器，其特 征在于壓電堆(14)z驅動控制電壓信號通過插座(J2)的6腳接入 高電壓線性放大電路(20)，插座(J2)的6腳與電位器(Pl)連接， 電位器(Pl)另一端分別接運算放大器(U3A)的負向輸入端、電容 (C6)、電阻(R9)、電容(C2)，電容(C6)的另一端與運算放大器 (U3A)的輸出端1腳相連。電阻(R9)的另一端和電容(C2)的另 一端連接， 一并接入高壓放電器(Ul)的OUT端1腳，運算放大器(U3A) 的正向輸入端3腳接公共地，運算放大器(U3A)的輸出端1腳接高 壓放大器(Ul)的IN端4腳，運算放大器(U3A)的8腳接+12V電 壓，運算放大器(U3A)的4腳接-12V電壓。高壓放大器(Ul)的0UT 端1腳分別與電阻(R9)、電容(C2)、電容(Cl)、電阻(R5)和插 座(J3)的3腳連接，電容(Cl)的另一端與高壓放大器(Ul)的8 腳連接，電阻(R5)的另一端與高壓放大器(Ul)的7腳連接。電阻 (Rl)、 (R2)并聯， 一端接入高壓放大器(Ul)的0UT端1腳， 一端 接入高壓放大器器(Ul)的2腳，電阻(R7) —端與高壓放大器(Ul) 的0UT端1腳相連接，電阻(R7)另一端與電位器(P2)連接，高壓 放大器(Ul)的5腳接公共地，電位器(P2)另一端與電容(C7)、 電容(C3)、電阻(R8)、電阻(R10)和運算放大器(U3B)的負向輸入端6腳連接，電容(C7)另一端與運算放大器(U3B)的輸出端7 腳連接。運算放大器(U3B)的正向輸入端5腳接公共地，電容(C3) 的另一端與電阻(R8)的另一端連接， 一并接入高壓放大器(U2)的 OUT端1腳，電阻(R10)另一端與電容(C4)連接，電容(C4)另 一端接公共地，運算放大器(U3B)的輸出端7腳接入高壓放大器(U2) 的IN端4腳。高壓放大器(U2)的OUT端1腳與電阻(R3)、電阻(R4)、 電阻(R6)、電容(C5)連接，電阻(R3)的另一端和電阻(R4)的 另一端連接， 一并接入高壓放大器(U2)的2腳，電容(C5)的另一 端接入高壓放大器(U2)的8腳，電阻(R6)的另一端接入高壓放大 器(U2)的7腳，高壓放大器(U2)的0UT端1腳與插座(J3)的4 腳連接。插座(Jl)的1腳引入-12V電壓，-12V電壓由外部電源提 供，插座(Jl)的2腳引入+12V電壓，+12V電壓由外部電源提供。 插座(Jl)的3腳引入-HV電壓，與高壓放大器(Ul)的6腳和高壓 放大器(U2)的6腳相連，-HV由外部電源供電，供電電壓為-200V， 插座(Jl)的4腳引入+HV電壓，與高壓放電器(Ul)的3腳和高壓 放大器(U2)的3腳相連，+^由外部電源供電，供電電壓200V，高 壓放大器(U2)的5腳接公共地，自恢復保險(Fl)的一端連接插座(J2)的8腳，自恢復保險(Fl)的另一端分別與固態繼電器(SSR1) 的2腳、固態繼電器(SSR4)的2腳連接。插座(J2)的9腳接公共 地，分別與固態繼電器(SSR2)的1腳、固態繼電器(SSR5)的1腳 和插座(J3)的1、 5腳相連接，固態繼電器(SSR3)的1腳與插座(J3)的3腳相連，插座(J2)的1腳接信號地，并與固態繼電器(SSR1)的4腳、固態繼電器(SSR2)的4腳、固態繼電器(SSR3)的4腳、 固態繼電器(SSR4)的4腳、固態繼電器(SSR5)的4腳相連接。插 座(J2)的2腳接固態繼電器(SSR5)的3腳，插座(J2)的3腳接 固態繼電器(SSR3)的3腳。插座(J2)的4腳接固態繼電器(SSR2) 的3腳，插座(J2)的5腳接固態繼電器(SSR4)的3腳，插座(J2) 的7腳接固態繼電器(SSR1)的3腳，固態繼電器(SSR1)的l腳與 固態繼電器(SSR2)的2腳和插座(J3)的6腳相連接。固態繼電器(SSR3)的2腳和插座(J3)的4腳相連接，固態繼電器(SSR4)的 l腳與固態繼電器(SSR5)的2腳和插座(J3)的2腳相連接，插座(J3)的6腳通過引線直接連接壓電堆(15)的正極，插座(J3)的 5腳通過引線直接連接壓電堆(15)的負極，插座(J3)的4腳通過 引線直接連接壓電堆(14)的正極，插座(J3)的3腳通過引線直接 連接壓電堆(14)的負極，插座(J3)的2腳通過引線直接連接壓電 堆(3)的正極，插座(J3)的l腳通過引線直接連接壓電堆(3)的 負極。
全文摘要
本發明公開了一種往返式可變步長的大位移大推力壓電作動器，包括基于蠕動原理設計的壓電作動機構，一端固定、一端可調的壓電作動器運動軌道，壓電作動器運動軌道兩壁之間間距及平行度的微調機構，壓電作動器的高電壓線性放大驅動控制電路，以及壓電作動器驅動控制電路，通過一對楔形滑塊的移動來微調作動器運動軌道兩壁之間的間距和平行度，能夠滿足需要較大推力的大位移精密定位要求，具有位移分辨率和工作頻率都高的特點。
文檔編號H02N2/00GK101414797SQ20081023255
公開日2009年4月22日 申請日期2008年12月3日 優先權日2008年12月3日
發明者盧天健, 張希農, 張治君, 徐明龍, 陳振茂 申請人:西安交通大學