層疊型壓電元件及使用其的噴射裝置的制作方法

專利名稱：：層疊型壓電元件及使用其的噴射裝置的制作方法
技術領域：
：本發明涉及一種層疊型壓電元件(下面有時也簡稱"元件")及噴射裝置，特別是涉及一種適于在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的層疊型壓電元件及噴射裝置。
背景技術：
：目前，作為使用了層疊型壓電元件的裝置有使壓電層和金屬層交互層疊的壓電驅動器。通常，壓電驅動器可分為兩種類型，即，同時燒成型，和將由一個壓電體組成的壓電磁體和板狀體金屬層交互層疊而成的層疊型。其中，從低電壓化及降低制造成本的觀點出發，大多采用同時燒成型的壓電驅動器。同時燒成型壓電驅動器薄層化簡單，小型化及耐久性也優良。圖21(a)是表示現有的層疊型壓電元件的立體圖，圖21(b)是表示圖21(a)的壓電體層和金屬層之間的層疊狀態的局部立體圖。圖22及圖23是表示現有的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大圖。如圖21所示，該層疊型壓電元件由層疊體103和相互相對的形成于側面的1對外部電極105構成。層疊體103是將壓電體層101和金屬層102交互層疊而成。在層疊體103的層疊方向的兩端面分別層疊有非活性層104。金屬層102不是形成于壓電體層101的整個主面而是形成所謂的部分電極構造。該部分電極構造的金屬層102以在每一層都從層疊體103不同側面露出的方式層疊，分別在每一層與1對的外部電極105連接。作為現有的層疊型壓電元件的制造方法，有下述的幾種。g卩，首先在包含壓電體層101的原料的陶瓷印制電路基板上，按照成為如圖21(b)所示的規定的金屬層構造的圖形來印刷金屬糊料。接著，層疊多層印刷有金屬糊料的印制電路基板制作層疊成型體，對其燒成得到層疊體103。然后，在與層疊體103相對的側面涂敷金屬糊料，之后，進行燒成形成l對的外部電極105，得到如圖21(a)的層疊型壓電元件(例如參考專利文獻l)。在此，作為金屬層102通常多使用銀和鈀的合金。另外，為了同時燒成壓電體層101和金屬層102，大多情況下是金屬層102的金屬組成設定為銀占70質量％、鈀占30質量％(例如參考專利文獻2)。這樣，不僅使用只是由銀構成的金屬層，而是使用由銀一鈀合金組成的金屬層102，這是是基于下述的原因。艮P，這是由于若使金屬層102形成不含有鈀的只有銀的組成，則當在相對的金屬層102之間賦予電位差時，在相對的金屬層102上會產生金屬層102中的銀離子順著元件表面從正極向負極轉移的所謂的離子遷移現象。這種現象有在高溫高濕環境中明顯發生的趨勢。另一方面，目前以形成金屬充填率基本相同的金屬層102為目的，廣泛使用將金屬成分比及金屬濃度調制成基本相同的金屬糊料。在將該金屬糊料絲網印刷于陶瓷印制電路基板上時，將網眼密度及抗蝕劑厚度設定為大致同一的條件來制作層疊體103。如圖22所示，用該金屬糊料形成的金屬層102所形成的空隙(空孔)102'基本均勻。另外，如圖23所示，以形成厚度基本相同的金屬層102為目的，目前使用將金屬成分比及金屬濃度調制成基本相同的金屬糊料。在將該金屬糊料絲網印刷于陶瓷印制電路基板上時，使網眼密度及抗蝕劑厚度形成基本一樣來制作層疊體103。另外還有提案提出一種方法，在壓緊陶瓷印制電路基板進行層疊時，由于金屬層102成為部分電極構造，因而在金屬層102重合的部分和不重合的部分壓緊狀態是不同的。其結果就是，使在金屬層102的同一面內，由于金屬密度不均勻，因而在形成金屬層102的部分的陶瓷印制電路基板上形成凹部，以使金屬充填率變得均勻(例如參考專利文獻3)。可是，在將上述層疊型壓電元件作壓電驅動器使用的情況下，外部電極105上用焊料連接固定有引線(未圖示)，在外部電極105之間施加規定的電位使其驅動。在這樣的用途中所使用的層疊型壓電元件，近來已實現小型化，同時正在追求在大的壓力下確保大的位移量。因此，要求上述層疊型壓電元件在施加更高的電場(電壓)同時在使其長時間連續驅動的嚴格條件下也可使用。為了適應上述要求，即為了適應在高電壓、高壓力下長時間連續驅動這一要求，專利文獻4中提出了一種元件，其設置了使壓電元件101的厚度變化的層。即，利用由于厚度不同與其它層位移量變化，實現應力緩和。在同時燒成型的層疊型壓電元件中，正在嘗試形成均勻的金屬層，以在所有的壓電體上均勻地施加電壓。特別是正在試驗使各金屬層的導電率變得均勻，及為了使與壓電體接觸的部分的表面積變得均勻而使金屬層的金屬組成變得均勻。另外，為了使與壓電體接觸的部分的表面積變得均勻，正在試驗使金屬層的厚度變得均勻。有提案提出在層疊類型的層疊型壓電元件中，以將電極和壓電的界面的接觸電阻在層疊型壓電元件的層疊方向的中央部位做成高電阻，向兩端逐漸變小的形式進行控制，以使應力不集中在層疊型壓電元件的層疊方向的中央部位(例如參考專利文獻5)。但是，與電容器等通常的層疊型電子部件不同，層疊型壓電元件在驅動時元件自身連續地發生尺寸變化，因此，若所有的壓電體通過金屬層密合驅動，則層疊型壓電元件作為整體發生驅動變形。因此，元件變形產生的應力集中在壓縮時寬拉伸時細的元件中央部位的外周部分。當在高電壓、高壓力下長時間連續驅動這樣的層疊型壓電元件時，因上述原因有時在壓電體層和金屬層之間的界面(層疊界面)發生脫層(層間剝離)。特別是應力集中在發生壓電位移的活性層和不發生壓電位移的非活性層之間的界面上，該界面就成了脫層的起點。另外，有時因發生各壓電體層的位移舉動一致的共振現象而產生節拍聲，或者因發生驅動頻率的整數倍的高頻信號而產生干擾成分。另外，若連續地長時間驅動發生尺寸變化的層疊型壓電元件則使元件溫度上升，若該溫度上升部分的能量超過發熱量，則產生使元件溫度加速上升的所謂的熱失控現象，而隨著溫度上升使壓電體的位移量降低，另外還有下述的問題，即由于壓電體層達到壓電體材料的居里點以上的高溫，而使壓電體的位移量急劇下降。因此，為了控制元件溫度的上升而尋求電阻率小的金屬層。另外，由于壓電體的位移量具有隨環境溫度變化的特征，所以在將現有的層疊型壓電元件作為應用于燃料噴射裝置等驅動元件的驅動器使用的情況下，有時因元件溫度的上升而使壓電體的位移量發生變化。S卩，由于產生所希望的位移量逐漸變化的問題，而要求控制長時間連續運轉中的位移量的變化及提高耐久性。作為上述問題的改善方法，雖然有如專利文獻4、5所示的方法，但是在高電壓、高壓力下，在長時間連續驅動這一嚴格條件下，還不能說改善很充分，有時應力集中在元件中央部位的外周，產生裂縫或產生剝離而使位移量發生變化。專利文獻l:特開昭61—133715號公報專利文獻2:實開平l一130568號公報專利文獻3:特開平10—199750號公報專利文獻4:特開昭60—86880號公報專利文獻5:特開平6—326370號公報
發明內容本發明的課題是提供一種層疊型壓電元件及使用了該元件的噴射裝置，其中層疊型壓電元件在高電壓、高壓力下具有大的位移量，并且在長時間連續驅動的情況下也可抑制上述位移量的變化，耐久性優良。本發明者們反復銳意研究可解決上述課題的結果是，得到下述新的發現，從而完成了本發明。本發明所的新的發現是，在層疊型壓電元件中的多個金屬層包括多個具有與在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層不同的特定的金屬充填率的金屬層的情況下，由于可使加在元件的應力分散，因而可得到大的位移量、控制共振現象，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，也可抑制位移量的變化，且可抑制層疊部分的脫層，進而得到耐久性優良的層疊型壓電元件。艮P，本發明提供一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層低的低充填金屬層。本發明層提供一種疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個上述金屬層包括多個構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層高的高充填金屬層。本發明提供一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與上述非活性層鄰接的金屬層是在該金屬層中的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的金屬層中的金屬的充填率低的低充填金屬層。本發明提供一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與上述非活性層鄰接的金屬層是在該金屬層中的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的金屬層中的金屬的充填率高的高充填金屬層。另外，本發明者們反復銳意研究可解決上述課題的結果是，發現了下述新的事實，以至完成了本發明。本發明所發現的新的事實是，在層疊型壓電元件中的多個金屬層包括多層具有與層疊方向相鄰的兩側的金屬層不同的厚度的金屬層的情況下，由于可使加在元件的應力分散，因而可得到大的位移量、控制共振現象，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，也可抑制位移量的變化，且可抑制層疊部分的脫層，進而得到耐久性優良的層疊型壓電元件。艮口，本發明再提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，多個上述金屬層包括多個厚度在比層疊方向上相鄰的兩側的金屬層薄的薄型金屬層。本發明再提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，多個上述金屬層包括多個厚度比層疊方向相鄰的兩側的金屬層厚的厚型金屬層。本發明再提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和金屬層交互層疊多層而成，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與上述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層的厚度比在層疊方向上相鄰的金屬層的厚度薄的薄型金屬層。本發明再提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與上述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層的厚度比在層疊方向上相鄰的金屬層的厚度厚的厚型金屬層。再有，本發明者們反復銳意研究可解決上述課題的結果是，發現了下述新的事實，以至完成了本發明。本發明所發現的新的事實是，不是以現有的形式使以合金為主成分的所有金屬層形成均勻的組成，而是通過使多個金屬層的一部分包含多層構成合金的一種成分的比率比相鄰的兩側的金屬層高的高比率金屬層，從而可得到大的位移量、控制共振現象，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，也可抑制位移量的變化，且可抑制層疊部分的脫層，進而得到耐久性優良的層疊型壓電元件。艮卩，本發明還提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和以合金為主成分的金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，多個上述金屬層包括多層構成上述合金的一種成分的比率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層高的高比率金屬層。本發明中，多層的金屬層，不僅僅是由合金構成的情況，也可以是其一部分由單一金屬構成的形式。艮口，本發明還提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，多個上述金屬層包括多層構成金屬層的至少一種成分的比率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層高的高比率金屬層。本發明還提供一種層疊型壓電元件，將壓電體層和金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，多個上述金屬層包括主成分不同的至少兩種以上的金屬層，其中的一種金屬層以隔著多層其它金屬層的狀態配置有多層。本發明提供一種噴射裝置，其特征在于，其構成為，具備有噴射孔的容器、收納于該容器內的上述層疊型壓電元件，并且，充填于上述容器內的液體通過上述層疊型壓電元件的驅動從上述噴射孔噴出。根據本發明的層疊型壓電元件，由于多個金屬層包括多層具有與層疊方向相鄰的兩側的金屬層不同的金屬的充填率的規定金屬層，因而將位移舉動不同的金屬層配置于元件內。即，使低充填金屬層周邊的壓電體層位移變小，使高充填金屬層周邊的壓電體層位移變大，使元件內位移不同的部位分散。這樣若將位移舉動不同的金屬層分散于元件內來配置，由于可緩和因應力集中造成的元件變形的壓抑，因而可使壓電元件整體的位移量變大。而且，由于可抑制因壓電元件的變形造成的應力集中，因而即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況，也可抑制層疊部分所產生的脫層。另外，由于通過配置多層規定的金屬層，可抑制在壓電元件的位移(尺寸變化)一致時所產生的共振現象，因而可防止產生節拍聲，同時，可防止高頻信號的發生，進而可抑制控制信號的噪聲。根據本發明的另一層疊型壓電元件，由于多個金屬層包括多層具有與在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層不同的厚度的規定金屬層，因而將位移舉動不同的金屬層配置于元件內。即，由于薄型金屬層周邊的壓電體層可通過使薄型金屬層易于變形來吸收壓電體位移的局部應力，而使壓電體層的位移變大，使元件內位移不同的部位分散。另外，由于厚型金屬層周邊的壓電體層不是使厚型金屬層變形來回彈壓電體位移的局部應力的，因而使壓電體層的位移變大，使元件內位移不同的部位分散。如果以這種形式將位移舉動不同的金屬層分散于元件內來配置，由于可緩和因應力集中造成的元件變形的壓抑，因而可使壓電元件整體的位移量變大。由此，可防止產生節拍聲，同時，可防止高頻信號的發生，進而可抑制控制信號的噪聲°根據本發明的再另一層疊型壓電元件，由于多個金屬層包括多層構成合金的一種成分的比率比相鄰的兩側的金屬層高的高比率金屬層，因而可將硬度不同的金屬層配置于局部，進而使壓電元件承受的應力分散。由此，由于可緩和因應力集中而造成的元件變形的壓抑，因而可使壓電元件整體的位移量變大。另外，由于可抑制因壓電元件的變形造成的應力集中，因而即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，也能抑制層疊部分的脫層。另外，由于通過配置多層高比率金屬層，可抑制壓電元件的位移(尺寸變化)一致時所發生的共振現象，因而不僅可防止發生節拍聲還可防止高頻信號的發生，進而可制止控制信號的噪聲。本發明的層疊型壓電元件由于即使連續驅動也不會使所希望的位移量發生實質變化，因而可提供一種耐久性優良的高可靠性的噴射裝置。圖l(a)是表示本發明第一實施方式的層疊型壓電元件的立體圖，(b)是表示(a)中的壓電體層與金屬層之間的層疊狀態的局部立體圖；圖2是表示第一實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖；圖3是表示第一實施方式的高充填金屬層的局部放大剖面圖；圖4是表示第一實施方式的另一種層疊構造的局部放大剖面圖；圖5是表示第一實施方式的另一種層疊構造的局部放大剖面圖；圖6是用于說明第一實施方式的壓電體層的空隙的簡要說明圖；圖7是表示第二實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖圖；圖8是表示第五實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖圖；圖9是表示第五實施方式的厚型金屬層的局部放大剖面圖；圖IO是表示第五實施方式的其它層疊構造的局部放大剖面圖；圖11是表示第五實施方式的其它層疊構造的局部放大剖面圖；圖12是用于說明第五實施方式的壓電體層的空隙的簡要說明圖；圖13是表示第六實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖；圖14是表示第九實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖；圖15是表示第十實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖；圖16是表示第十一實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖；圖17是表示實施例中的表15中的試樣No.m—35的金屬層的銀組成的圖表；圖18是表示與第十二實施方式的層疊型壓電元件的壓電體層接觸的金屬層的層疊構造示意剖面圖；圖19(a)是表示第十三實施方式的層疊型壓電元件的立體圖，(b)是表示(a)中的壓電體層與金屬層之間的層疊狀態的局部立體圖；圖20是表示本發明的一實施方式的噴射裝置的示意剖面圖；圖21(a)是現有的層疊型壓電元件的立體圖，(b)是表示(a)中的壓電體層與金屬層之間的層疊狀態的局部立體圖；圖22是表示現有的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖；圖23是表示現有的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖。具體實施方式層疊型壓電元件第一實施方式下面，參照附圖詳細說明本發明的層疊型壓電元件的第一實施例。圖1(a)是表示本實施例的層疊型壓電元件的立體圖，圖1(b)是表示圖1(a)中的壓電體層和金屬層的層疊狀態的局部立體圖。圖2是表示本實施例的層疊型壓電元件的層疊結構的局部放大剖面圖。圖3是表示本實施例的高充填金屬層的局部放大剖面圖。圖4是表示本實施例的層疊型壓電元件的其它層疊結構的局部放大剖面圖。圖5是表示本實施例的層疊型壓電元件的其它層疊結構的局部放大剖面圖。圖6是用于說明本實施例的壓電體層的空隙的概略說明圖。如圖1所示，本實施例的層疊型壓電元件具有將多個壓電體層11和多個金屬層12交互層疊而成的層疊體13，在該層疊體13的相對的側面配設有一對外部電極15(—側的外部電極未圖示)。金屬層12如圖1(b)所示，為不在壓電體層11的整個主面上形成的所謂的部分電極結構。該部分電極結構的多個金屬層12按照在每一層分別在層疊體13的相對的側面露出的方式配置。由此，金屬層12在每一層與一對外部電極15電連接。需要說明的是，一對外部電極15也可以在相鄰的側面形成。如圖1(a)所示，在層疊體13的層疊方向的兩端層疊有由壓電體層形成的非活性層14。在將該層疊型壓電元件作壓電驅動器使用的情況下，在成對的外部電極15上通過釬焊分別連接固定引線，使引線與外部電壓供給部連接即可。通過從該外部電壓供給部經由引線在相鄰的金屬層12之間施加規定的電壓，使各壓電體層11因反壓電效果而產生位移。這具有下述的作用，即，由于金屬層12是由下述的銀一鈀合金等金屬材料形成的，因而若經由金屬層12對各壓電體11施加規定的電壓，則因反壓電效果而使壓電體層11發生位移。另一方面，由于只是在一個主面側配置有金屬層12而在另一個主面側沒有配置金屬層12，因而即使施加電壓非活性層14也不發生位移。在此，如圖2所示，本實施方式的多個金屬層12包含多層構成該金屬層12的金屬的充填率比層疊方向相鄰的兩側的金屬層(金屬層12a)還低的低充填金屬層12b。由此，可使低充填金屬層12b周邊的壓電體層位移變小，使金屬充填率比低充填金屬層12b大的金屬層12a周邊的壓電體層位移變大。因此，由于使位移不同的金屬層分散配置于元件內，可使壓電元件整體的位移量變大，同時，即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，也可抑制層疊部分所產生的脫層。另外，由于可抑制共振現象，因而可防止產生節拍聲。另外，由于防止了高頻信號的發生，因而也可抑制控制信號的噪聲。多個壓電體層11中發生驅動變形的部位是被金屬層12所夾持的部分。因此，優選多個金屬層12中在隔著壓電體層重合的部分形成低充填金屬層12b。由此，可有效抑制在壓電元件的位移(尺寸變化)相一致的情況下所發生的共振現象。優選隔著低充填金屬層12b之外的多個其它金屬層來分別配置多個低充填金屬層12b。本實施方式的其它金屬層是如圖2所示的金屬層12b和如圖3所示的下述的高充填金屬層12c。在此，低充填金屬層12b，其金屬的充填率低于其它的金屬層(金屬層12a、高充填金屬層12c)。因此，由于低充填金屬層12b比其它的金屬層柔軟性優良，因而若應力施加在驅動中心可發生變形緩和該應力(應力緩和效果)。即，低充填層12b作為應力緩和層發揮作用。特別是在本實施方式中，優選在層疊方向有規則地配置該多層低充填金屬層12b。這是由于，為了使施加于元件整體的應力分散而使應力緩和層有規則地配置才有效果的緣故。另外，優選層疊體13層疊至少三層以上的壓電體層11而構成，同時，低充填金屬層12b具有按規定的順序重復配置的部分。所謂的在層疊方向有規則地配置上述多個低充填金屬層12b，是包含下述情況的一個概念，即，低充填金屬層12b之間存在的其它金屬層(金屬層12a、高充填金屬層12c)的層數在任意低充填金屬層12b之間都相同的情況；低充填金屬層12b之間存在的其它金屬層12的層數相近似使應力均勻地分散于層疊方向的程度的情況。具體而言，就是存在于低充填金屬層12b之間的其它金屬層12的層數，相對于各層數的平均值在±20%的范圍，優選相對于各層數的平均值在±10%的范圍，更優選都是相同的數。上述其它金屬層即金屬層12a，是金屬的充填率高于低充填金屬層12b的充填率的金屬層。該金屬層12a是主要的金屬層。所謂該主要的金屬層其含義是，金屬層在金屬層12中由具有相同的充填率的多個金屬層構成，其層數多于低充填金屬層12b及高充填金屬層12c。優選該主要的金屬層即金屬層12a，從接近全部金屬層的平均金屬充填率起按順序占據全部金屬層數的1/3以上的層數。這是由于，主要金屬層所要求的功能，是作為驅動層疊型壓電元件的電極來穩定地發揮功能的，因此，要求將施加于元件的電壓均勻地加在各壓電體層11進而均勻地進行壓電位移的緣故。因此，若主要金屬層12a是從接近全部金屬層的平均的金屬充填率起按順序達到全部金屬層數的1/3以上，則由于施加于元件的電壓均勻地加在各壓電體層ll，因而壓電體層11不會極度不均勻地發生驅動變形，元件整體基本均勻地發生驅動變形，成為有耐久性的元件。另外，與主要的金屬層12a接觸的壓電體層11因不會使應力集中因而使其位移量變大。另外，由于與低充填金屬層12b接觸的壓電體層11成為應力緩和層，因而在保持元件的驅動位移的同時，可避免元件的應力集中一點。其結果就是在使位移量變大，同時耐久性優良。為了使位移的相位一致加快響應速度，主要的金屬層12a從接近全部金屬層的平均的金屬充填率起按順序達到全部金屬層數的70%以上，優選80以上，更優選90%以上，最優選9099%。主要的金屬層12a在全部金屬層數的90%以上，就可使位移相位一致還得到高速的響應速度。另一方面，若超過99%則由于因使相位完全一致元件產生噪聲，故而不予考慮。另外，金屬層12的總數通常可根據用途任意設定，并無特別限制，但一般是210000層，優選51000層。優選在多個金屬層12中，主要的金屬層12a的層數最多。由此，為了將施加于元件的電壓均勻地加在各壓電體層11，而通過不能使壓電體層11不均勻地發生變形還使位移的相位相一致，就形成了不僅使元件均勻地發生驅動變形、提高響應速度，而且具有耐久性的層疊性壓電元件。主要的金屬層12a優選是在金屬層12中金屬充填率最高的金屬層和金屬充填率最低的金屬層之外的金屬層。這是由于，驅動中的層疊性壓電元件的應力具有加在位于金屬充填率最高的金屬層12附近的壓電體層11上的趨勢，只要主要的金屬層12a在金屬充填率最高的金屬層之外，就可形成使金屬層12a和與此接觸的壓電體層11之間牢固密合的耐久性高的層疊型壓電元件。另外，由于與低的金屬充填率的金屬層接觸的壓電體層11的元件位移小，因而只要主要的金屬層12a在金屬充填率最低的金屬層以外，就不能使層疊型壓電元件的位移變得過小。即，通過在所有金屬層12中將主要的金屬層12a設置金屬充填率最高的金屬層和最低的金屬層之外，就可形成驅動位移大、具有耐久性的層疊型壓電元件。再者，由于通過使金屬層12的金屬充填率發生變化可控制壓電體層11的位移大小，因而還不必改變壓電體層11的厚度，批量生產性優良。另外，優選由基本同一的金屬充填率構成主要的金屬層12a(多個金屬層12a)。由此，還增大了位移、提高靈敏性、提高了耐久性。如圖3所示，優選多個金屬層12包含多個構成該金屬層的金屬充填率比層疊方向相鄰的兩側的金屬層高的高充填金屬層12c。如圖6所示，這是由于，金屬充填率高的高充填金屬層12c，在金屬層內空隙(孔率)12c'等未被金屬充填的缺陷部分少，因而在對元件施加電壓時，與該金屬層12c接觸的壓電體層11就成了位移大的部位。因此，由于在驅動元件時成了位移大的部位，因而使應力集中在高充填金屬層12c附近(應力集中效果)。通過將這樣的電極層分散配置于元件內，就使應力不能集中在元件的一點而是使應力分散。因此，形成了耐久性優良的高可靠性的層疊型壓電元件。高充填金屬層12c是金屬的充填率比低充填金屬層12b及主要金屬層12a的充填率高的金屬層。即，主要的金屬層12a、低充填金屬層12b及高充填金屬層12c的金屬充填率之間的關系如下，§卩，高充填金屬層12c〉主要的金屬層12a〉低充填金屬層12b。因此，由于主要的金屬層12a在所有的金屬層12中成了金屬充填率最高的金屬層和最低的金屬層之外的金屬層，因而可形成驅動位移大、具有耐久性的層疊型壓電元件。艮P，低充填金屬層12b周邊的壓電體層11其位移變小，高充填金屬層12c周邊的壓電體層11其位移變大。其結果就是，可更有效地得到將位移不同的金屬層配置于元件內的效果。具體而言，就是在設除了低充填金屬層12b及高充填金屬層12c之外的其它金屬層(即主要的金屬層12a)中的金屬充填率為X1，設低充填金屬層12b中的金屬充填率為Yl時，充填率之比(Y1/X1)在0.10.9的范圍，優選在0.30.9的范圍，更優選在0.50.8的范圍。由此可更加可靠地得到低充填金屬層12b的應力緩和效果，同時，可確保元件形狀(可防止元件的機械強度過低)。特別是，若上述比值(Y1/X1)為0.30.9，由于與低充填金屬層12b相鄰的壓電體層11也產生位移驅動，因而可形成元件的位移大、耐久性高的層疊型壓電元件。上述X1及Yl的具體數值可根據金屬層12的組成等任意設置，并無特別限制，但一般最好X1為4590%，優選5585%，更優選6080%，Yl為360%，優選2060%，更優選3050%，XI及Yl在該范圍內最好滿足上述比值Y1/X1。另一方面，若使上述比值Y1/X1變得小于0.1，則由于壓電體層11和金屬層難以密合，有可能使層疊體產生脫層，若變得大于0.9則有可能降低低充填金屬層12b的應力緩和效果，出現使應力集中于元件的一點的部位，就有可能降低元件的耐久性。另外，在設除了低充填金屬層12b及高充填金屬層12c之外的其它金屬層(即主要的金屬層12a)中的金屬充填率為X1，設高充填金屬層12c中的金屬充填率為Z1時，充填率之比(Z1/X1)最好在1.052的范圍，優選在1.051.5的范圍，更優選在1.11.2的范圍。由此可出現高充填金屬層12c的應力集中效果，同時，可確保元件形狀。特別是，若上述比值(Z1/X1)為1.051.5，由于與高充填金屬層12c相鄰的壓電體層11和與主要金屬層12a相鄰的壓電體層11也發生基本相同的位移驅動，因而可做成耐久性高的層疊型壓電元件。另外，若上述比值(Z1/X1)為1.11.2，則可形成元件位移更大、耐久性更高的層疊型壓電元件。上述X1及Zl的具體數值與上述比值(Y1/X1)中的XI及Yl—樣，可根據金屬層12的組成等任意設置，并無特別限制，但一般最好X1為4590。/。，優選5585%，更優選6080%，Zl為60100%，優選70100%，更優選7295%。另一方面，若上述比值(Z1/X1)大于2,則因應力集中在高充填金屬層12c，有可能高充填金屬層12c和壓電體層11之間的界面被剝離，進而有可能造成層疊體脫層，若小于1.05，則有可能降低高充填金屬層12c的應力集中效果，出現應力集中于元件的一點的部位，有可能降低元件的耐久性。構成金屬層12的金屬的充填率是在沿層疊方向切斷層疊型壓電元件的面上測量得到的數值。具體而言，就是在該切斷面上用掃描型電子顯微鏡(SEM)及金屬顯微鏡等觀察金屬層12，不僅調查金屬成分，還調査由空隙及陶瓷等金屬之外的要素構成的情況。因此，在任意一層金屬層的截面上，測量只由金屬構成的部分的面積，用其金屬層的總面積除以只由該金屬構成的部分的面積的總和，以該值作金屬充填率。通過對金屬層12a、低充填金屬層12b及高充填金屬層12c分別測量該金屬充填率，可區別各層。如圖4所示，優選金屬充填率比主要的金屬層12a高的高充填金屬層12c和金屬充填率比主要的金屬層12a低的低充填金屬層12b夾著壓電體層11相對配置。由此，使元件驅動中的應力分別集中在金屬充填率高的多個高充填金屬層12c以分散施加于元件的應力，再者，通過將作為應力緩和層的金屬充填率低的低充填金屬層12b與高充填金屬層12c相鄰配置，可有效地分散緩和施加于元件的應力。特別是如圖5所示，相對于第充填率金屬層12b優選在層疊方向相鄰的兩側的金屬層是高充填金屬層12c。由此，使元件驅動中的應力分別集中在金屬充填率高的多個高充填金屬層12c以分散施加于元件的應力，再者，通過將作為應力緩和層的金屬充填率低的低充填金屬層12b與高充填金屬層12c相鄰配置，可更可靠地分散緩和施加于元件的應力。另外，若用應力集中的層即高充填金屬層12b夾持作為應力緩和層的低充填金屬層12b，則可將應力封閉在低充填金屬層12b中，分散緩和元件整體的應力。其結果就是，在將該元件應用于壓電驅動器時，可提供一種耐久性優良的、高可靠性的壓電驅動器。另外，由于更能達到使應力封閉在層數少的一方，因而被夾持的低充填金屬層12b的層數為一層最合適。另外，在層疊體13的層疊方向，分別隔著壓電體層ll按照低充填金屬層12b、高充填金屬層12c、主要的金屬層12a的順序配置在其間，而且優選按金屬充填率高的順序層疊主要的金屬層12a。由此，通過使元件驅動中的應力集中在高充填金屬層12c，使施加于元件的應力分散，再者，通過將作為應力緩和層的低充填金屬層12b與應力集中的金屬層相鄰配置，不僅可分散緩和加在元件的應力，還由于使主要的金屬層12a按金屬充填率高的順序配置，因而可慢慢分散集中于高充填金屬層12c的應力。在此基礎上，由于通過提高金屬充填率可使相鄰的壓電體層11的位移量變大，因而可制作位移量大、耐久性優良、高可靠性的層疊型壓電元件。高充填金屬層12c是金屬的充填率的峰值，從該高充填金屬層12c起最好在層疊方向穿過兩層以上，優選穿過25層以上的金屬層具有使金屬的充填率逐漸降低的傾斜區域。由此，使元件驅動中的應力集中在金屬充填率高的高充填金屬層12c，而如果具有規定的傾斜區域，則可使集中在該高充填金屬層12c的應力慢慢分散。如圖6所示，金屬層12優選具有規定的空隙(孔率)12a'、12b'、12c'。這是由于，若金屬層12含有金屬成分以外的絕緣物質，在驅動元件時由于在壓電體層產生不能施加電壓的部分，因而有可能不能使壓電位移變大，使驅動時的應力集中在該金屬層12而形成破壞的起點的緣故。若金屬層12具有規定的空隙(孔率)，則在應力加在金屬部分時，由于存在空隙(孔率)部分而使金屬易于變形進而可有效地分散緩和應力。另外，在使與金屬層12接觸的壓電體層11發生壓電位移時，由于存在空隙(孔率)部分而形成局部夾緊壓電體層11，在整個面上，束縛壓電體層11的力比夾緊時變小而易于位移，可使位移量變大。其結果是，可制作元件的位移更大、耐久性更高的層疊型壓電元件。特別是，最好在主要金屬層12a上設置空隙(孔率)12a'，相對于該金屬層12的截面的整個截面面積的空隙(孔率)12a'所占的面積比(孔隙率)為57%，優選770%，更優選1060%。由此，由于使位移量變大，因而可得到位移量優良的層疊型壓電元件。特別是若上述空隙率為770%或者1060%，則可壓電體層11更順滑地變形，同時，由于金屬層12具有充分的導電性，因而可使層疊型壓電元件的位移量增大。另一方面，若上述空隙率小于5%，則在施加電壓使壓電體層ll發生變形時，由于從金屬層12受到束縛，抑制壓電體層ll的變形，進而使層疊型壓電元件的變形量變小使所產生的內部應力變大，因而有可能對耐久性也帶來不利影響。另外，若上述空隙率大于70%，則由于在電極部分產生極細的部分，從而有可能降低金屬層12自身的強度、易于在金屬層12產生裂縫、發生斷路等，故而不宜采用。與金屬層12的面積相對的上述空隙所占據的比例(空隙率)是在沿平行于層疊方向的面或者垂直于層疊方向的面切斷層疊型壓電元件的截面上測量得到的數值。具體而言，就是在該截面上測量存在于金屬層12的部分的空隙(孔率)的面積，用金屬層12的面積除以該孔率的面積的總和，使得到的值乘以ioo倍的值。更具體的孔隙率的測量方法如下。5卩，測量孔隙率的方法大致分為下述兩種。第一種方法是在沿平行于層疊方向的面切開層疊體13時觀察截面的方法，第二種方法是沿垂直于層疊方向的面切開層疊體13時觀察截面的方法。用第一種方法測量空隙率時，例如只要以下述的形式進行即可。首先，使平行于層疊方向的截面露出，使用現有的研磨裝置對層疊體13進行研磨處理。具體而言，例如可使用^"乂、乂卜-亇八°乂(日本)(株)公司制臺式研磨機KEMET—V—300作研磨裝置，利用金剛石研磨膏進行研磨。例如使用掃描型電子顯微鏡(SEM)、光學顯微鏡、金屬顯微鏡等觀察利用該研磨處理露出的截面得到截面圖像，通過對該截面圖像進行圖像處理可測量金屬層的孔隙率。列舉具體實例，例如對于用光學顯微鏡拍攝的金屬層的圖像，將空隙部分涂上黑色，空隙以外的部分涂上白色，求出黑色部分的比率，即求出(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，可通過用百分率表示計算出孔隙率。例如在截面圖像為彩色的情況下，最好轉換為灰色標度以區分成黑色部分和白色部分。此時，在需要設定用于對黑色部分和白色部分進行雙調諧的邊界的閾值的情況下，只要通過圖像處理軟件及目測來設定界限的閾值并設為二值化即可。另外，在用第二種方法測量孔隙率時，例如只要以下述的形式進行即可。首先，直至使要測量的金屬層的截面(垂直于層疊方向的截面)露出，使用現有的研磨裝置在層疊體13的層疊方向進行研磨。具體而言，例如可使用夂^、7卜^亇Ay(日本)(株)公司制臺式研磨機KEMET—V一300作研磨裝置，利用金剛石研磨膏進行研磨。使用掃描型電子顯微鏡(SEM)、光學顯微鏡、金屬顯微鏡等觀察通過該研磨處理露出的截面得到截面圖像，通過對該截面圖像進行圖像處理可測量金屬層的孔隙率。列舉具體實例，例如對于用光學顯微鏡拍攝的金屬層的圖像，將空隙部分涂上黑色，空隙以外的部分涂上白色，求出黑色部分的比率，即求出(黑色部分的面積)/(黑色部分的面積+白色部分的面積)，可通過用百分率表示計算出孔隙率。例如在截面圖像為彩色的情況下，最好轉換成灰色標度以分為黑色部分和白色部分。此時，在需要設定用于對黑色部分和白色部分進行雙調諧的界限的閾值的情況下，只要通過圖像處理軟件及目測規定界限的閾值并設為二值化即可。另外，在觀察金屬層的截面時，優選研磨至其厚度的約1/2的位置，由此來觀察露出的截面。但是，在金屬層的厚度薄且厚度的差別比較大的情況下，有時通過研磨處理不能使金屬層的截面整體露出來。在這樣的情況下，也可以在研磨處理直至金屬層的一部分露出來的時刻，觀察其露出部分得到截面圖像，之后，再繼續研磨反復多次觀察除已觀察的部分之外的其他部分這一操作。這樣，只要補足在多次操作中得到的觀察圖像并可觀察金屬層的截面整體即可。具有上述空隙(孔率)的金屬層12主要由金屬和空隙(孔率)構成。若以該形式構成金屬層12，則由于相對于應力不論金屬還是空隙都可能變形，因而可制作耐久性更高的層疊型壓電元件。特別是若低充填金屬層12b主要由金屬和空隙構成，則可制作耐久性更高的層疊型壓電元件。即，如圖6所示，優選低充填金屬層12b由在隔著空隙(孔率)12b'彼此離開的狀態下配置的多個部分金屬層構成。由此，若與低充填金屬層12b接觸的壓電體層11即使在金屬層內也與空隙(孔率)12b'等未被金屬充填的部分接觸，則即使在元件上施加電壓該部分的壓電體層也不發生位移，在此基礎上若在驅動中施加應力可發生形變以緩和應力(應力緩和效果)。即，由部分金屬層構成的低充填金屬層12b作為應力緩和層發揮作用。因此，使與該金屬層接觸的壓電體層11的驅動位移變小，可避免元件的應力集中在一點。其結果就是可制作耐久性優良、可靠性高的層疊型壓電元件。具體而言，就是優選與低充填金屬層12b的截面的整個截面面積相對的空隙(孔率)12b'所占據的面積比(孔隙率)為20卯％。由此，可使位移量變得更大，得到位移量優良的層疊型壓電元件。優選金屬層12以選自元素周期表第811族元素中的金屬為主成分。這是由于，上述金屬組成物具有高的耐熱性，因而可同時燒成溫度高的壓電體層11和金屬層12的緣故。因此，由于可在使外部電極15的燒成溫度比壓電體層11的燒成溫度低的低溫下制作，因而可抑制壓電體層11和外部電極15之間的劇烈的相互擴散。另外，設金屬層12中的元素周期表第810族元素的含量為Ml(質量％)，設元素周期表第11族元素的含量為M2(質量％)，此時，優選以滿足下述關系，即0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100的金屬為主成分。這是由于，若元素周期表第810族元素的含量即Ml超過15質量％，則電阻率變大，在連續驅動層疊型壓電元件的情況下，由于金屬層12發熱，該熱量作用于具有溫度依賴性的壓電體層11使位移特性降低，因而有時使層疊型壓電元件的位移量變小。另外，在形成外部電極15時，外部電極15和金屬層12相互擴散而接合，但由于若Ml超過15質量％，則在外部電極15中擴散有金屬層成分的部位的硬度變高，因而在驅動時尺寸發生變化的層疊型壓電元件中，有可能降低耐久性。特別是為了抑制向金屬層12中的11族元素的壓電體層11的離子遷移，優選將Ml設為0.001質量。/。以上15質量。/。以下。在提高層疊型壓電元件的耐久性的基礎上，優選將Ml設為0.1質量％以上10質量％以下。在需要熱傳導優良、更高的耐久性的情況下，優選將Ml設為0.5質量％以上9.5質量％以下。在需要特別高的耐久性的情況下，優選將M1設為2質量％以上8質量％以下。另一方面，若11族元素的含量即M2不足85質量。/。，則使金屬層12的電阻率變大，在連續驅動層疊型壓電元件的情況下，有時使金屬層12發熱，故而不為優選。特別是為了抑制向金屬層12中的11族元素的壓電體層11的離子遷移，優選將M2設為85質量％以上99.999質量％以下。在提高層疊型壓電元件的耐久性的基礎上，優選將M2設為90質量％以上99.9質量％以下。在需要更高的耐久性的情況下，優選將M2設為90.5質量％以上99.5質量％以下。在需要特別高的耐久性的情況下，優選將M2設為92質量％以上98質量％以下。特別是所謂的低充填金屬層12緩和應力時對所施加的應力盡心緩和，是指將所施加的動能轉換為熱能以使應力釋放，而使應力緩和部分保持熱量。若壓電體的溫度上升就會使壓電位移的力變小，一旦溫度上升到居里點，則即使進行冷卻也不會有極化的效果并且壓電位移的力很大地損失。于是，若低充填金屬層12b可起到散熱器的作用，則可使熱量從應力緩和部分向元件外散逸。在此，由于使用本實施方式的組成金屬而熱量的散逸效果變大，從而可保持高的耐久性長時間維持應力緩和效果。特別是在高濃度包含熱傳導優良的銀的組成中，極大地提升了熱量散逸效果，另外即使發生氧化熱傳導率也不衰減，而且由于使電傳導特性也未衰減，因而可制作極高的耐久性的應力緩和層。表示金屬層12中的金屬成分的質量百分率的810族元素的Ml、11族元素的M2可分別用EPMA(ElectronProbeMicroAnalysis)法等分析方法來特定。優選金屬層12中的金屬成分，810族元素的金屬是選自Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru及Os中的至少一種以上，第11族元素的金屬是選自Cu、Ag及Au中的至少一種以上。舉例所示的這些金屬是在近年來的和金粉末合成技術中批量生產率優良的金屬組成。在上述舉例所示的金屬層12中的金屬成分中，優選第810族元素的金屬是選自Pt、Pd至少一種以上，第11族元素的金屬是選自Ag、Au中的至少一種以上。由此就有可能形成耐熱性優良、電阻率小的金屬層12。特別是金屬層12的金屬成分優選第810族元素的金屬是Ni。由此，就有可能形成耐熱性優良的金屬層12。另外，優選第ll族元素的金屬是Cu。由此就有可能形成硬度低、熱傳導性優良的金屬層12。特別是Cu不僅熱傳導特性高，而且在施加的應力來自一個方向的情況下，由于具有結晶方向在施加有應力的單方向定向的特征，因而產生難以破裂的堅韌的應力緩和效果。再者，若同時燒成而制作元件，則由于在Cu表面形成抗腐蝕性強的CuO覆蓋層，因而可制作耐久性強的元件(就普通的銅金屬而言，表面可逐漸形成Cu20皮膜，然后與空氣中的水分結合形成銅綠進而受到腐蝕)。另外，優選金屬層12是以上述金屬為主成分的合金。作為該合金例如進行銀一鈀合金(銀7099.999質量％—鈀0.00130質量°/。)等全率固溶的合金可在任意的組成比率下控制燒成溫度，故而優選。另外，優選在金屬層12中與上述的金屬組成物一起添加氧化物、氮化物或者碳化物。這樣，就增加了金屬層12的強度，進而提高了層疊型壓電元件的耐久性。特別是使氧化物與壓電體層11相互擴散提高了金屬層12與壓電體層11之間的密合強度，故而更為優選。就上述氧化物而言，由于提高了與壓電體層11的密合強度，因而優選以由PbZr03—PbTi03構成的鈣鈦礦型氧化物為主成分。而所添加的氧化物等的含量，可根據層疊型壓電元件的截面SEM圖像中的金屬層中的組成的面積比計算出來。相對于金屬，優選上述無機組成物(即與金屬組成物一起添加的氧化物、氮化物或者碳化物)為50體積％以下。由此，可使金屬層12與壓電體層11之間的粘接強度比壓電體層11的強度小，由于更優選在30體積％以下，因此可提高層疊型壓電元件的耐久性。另外，構成金屬層12的金屬層12a、低充填金屬層12b及高充填金屬層12c的各自的厚度，只要根據金屬層12的組成等任意選擇即可，并無特別限制，但一般情況下，金屬層12a的厚度最好是0.1100nm，優選0.510|iim，更優選l5|im;低充填金屬層12b的厚度最好是0.05lOOprn,優選0.1l(Hmi，更優選0.55pm;高充填金屬層12a的厚度最好是0.120(Him，優選0.515pm，更優選l10|im。優選壓電體層11以鈣鈦礦型氧化物為主成分。這是由于，若壓電體層ll例如由以鈦酸鋇(BaTi03)為代表的鈣鈦礦型壓電陶瓷材料等形成，則由于表示其壓電特性的壓電變形常數(133高，因而可使位移量變大，再者，也可同時燒成壓電體層11與金屬層12。作為如上所述的壓電體層11，優選以由壓電變形常數d33比較高的PbZr03—PbTi03構成的鈣鈦礦型氧化物為主成分。另外，優選在層疊體13的側面使金屬層12露出。這是由于，因為在未使金屬層12在元件側面上露出的部分驅動時不能位移，從而使驅動時發生位移的區域封閉于元件內部，因此，易于使位移時的應力集中在上述界限內，在耐久性上發生問題，故而不為優選。優選層疊體13為多棱柱體。這是由于，若層疊體13為圓柱體，則由于假如不是正圓中心軸就會搖動，因此就必須做成高精度的圓而層疊，從而難以使用同時燒成的批量生產型的制造方法。另外，即使層疊了大致圓形的層疊體之后，或者在燒成之后研磨外周以形成圓柱狀，也難以使金屬層12的中心軸高精度地一致。與此相對，若層疊體13為多棱柱體，則可在確定了基準線的壓電體層11上形成金屬層12，再者，由于可沿著基準線進行層疊，因而因為可使用批量生產型的制造方法形成驅動的軸即中心軸，從而可制作耐久性高的元件。另外，如上所述，在本實施方式的層疊型壓電元件的側面交互構成端部露出的金屬層12與端部未露出的金屬層12，但是，優選在上述端部未露出的金屬層12與外部電極15之間的壓電體層11上形成有槽，在該槽內形成有樣式模量比壓電體層11低的絕緣體。由此，因為可緩和因驅動過程中的位移而產生的應力，所以即使連續驅動層疊型壓電元件也可抑制金屬層12的發熱。(第二實施方式)下面，參照附圖來詳細說明本發明的層疊型壓電元件的第二實施方式。圖7是表示本實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖。圖7中，對于與上述的圖1圖6的構成相同或者相等的部分添加相同的符號，省略說明。如圖7所示，本實施方式的層疊型壓電元件與在上述作了說明的第一實施方式一樣，是交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12而成的層疊型壓電元件。在此，多層的金屬層12包括構成該金屬層12的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層(金屬層12a)高的高充填金屬層12c。由于是這樣的構成，使高充填金屬層12c周邊的壓電體層11的位移變大，使金屬充填率比高充填金屬層12c小的主要金屬層12a周邊的壓電體層11的位移變小，成為將位移不同的金屬層層配置于元件內的構成，因而可到達與在上面做了說明的第一實施方式同樣的效果。本實施方式的多層高充填金屬層12c，與在上面做了說明的第一實施方式一樣，優選隔著該高充填金屬層12c之外的其它金屬層(即主要金屬層12a、低充填金屬層12b)分別配置。另外，優選多個高充填金屬層12c在層疊方向有規則地配置。再者，優選多個金屬層12包含多層構成該金屬層12的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層低的低充填金屬層12b。由于上述之外的構成與在上面做了說明的第一實施方式同樣，因此省略說明。(第三實施方式)下面說明本發明的層疊型壓電元件的第三實施方式。本實施方式的層疊型壓電元件交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12而成。在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層14，與該非活性層14相鄰的金屬層12是在該金屬層12中的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的金屬層12中的金屬的充填率低的低充填金屬層(低充填金屬層12b)。由此，可避免使元件的應力集中于一點。作為該原因據推測為下面的原因。艮P，由于即使施加電壓也不能使未完全被電極夾持的非活性層發生驅動變形，因而由于以與非活性層14相鄰的金屬層12為界，與發生驅動變形的部分和未發生驅動變形的部分接觸，而使應力集中于該界限部分。此時，若所有的金屬層12都是相同的金屬充填率，則由于具有使應力在上述界限部分集中一點的趨勢，因而在高電壓、高壓力下長時間里續驅動層疊型壓電元件的情況下，就有可能發生脫層。因此，若使與非活性層14相鄰的金屬層12(第充填率金屬層12b)的金屬充填率比在層疊方向相鄰的金屬層12的金屬充填率低，則低充填金屬層12b的柔韌性比其它的金屬層優良。由此，在驅動元件使壓電體層11發生變形時，可使低充填金屬層12b自身發生變形以緩和應力(應力緩和效果)。另外，由于與低充填金屬層12b相鄰的非活性層14由壓電材料形成，所以可利用施加應力發生變形來緩和應力。即，低充填金屬層12b與非活性層14產生應力緩和效果相加作用。而且，由于低充填金屬層12b自身發生變形，因而被與低充填金屬層12b相鄰的金屬層12夾持的壓電體層11同時存在因施加電壓發生的驅動變形和因施加應力發生的變形，但由于為了緩和應力而使低充填金屬層12b自身發生變形，因而使因施加應力而發生的變形受到控制，為緩和應力而發生變形。因此，可使驅動位移變小，避免元件的應力集中于一點。再者，相對于低充填金屬層12b，優選在層疊方向相鄰的金屬層為高充填金屬層12c。由此，將元件驅動過程中的應力集中于高充填金屬層12c而使施加于元件的應力分散在端部，再通過將作為應力緩和層的低充填金屬層12b與集中應力的金屬層相鄰配置，可在端部分散緩和施加于元件的應力。另外，若用集中應力的層即高充填金屬層12c和非活性層14來夾持作為應力緩和層的低充填金屬層12b，則可將應力封閉在低充填金屬層12b中，進一步提高分散緩和元件整體的應力的效果。其結果是，在將該元件應用于壓電驅動器的情況下，可提供一種耐久性優良、高可靠性高的壓電驅動器。特別是現在，在形成層疊數例如少于50層的層疊數的層疊型壓電元件時，非活性層14附近的壓電體層11的金屬含有率越靠近非活性層14越高，以抑制變形量進而抑制應力集中于界限部分。因此，為了形成壓電體層ll，就要準備多種類型的金屬含有率的壓電薄板，成為高成本的制品。另一方面，就本發明而言，只是將與非活性層14接觸的金屬層12做成金屬充填率比在層疊方向相鄰的金屬層12的金屬充填率低的低充填金屬層12b，就能以低成本制作具有高的耐久性的層疊型壓電元件。再者，通過將與兩端部的非活性層14接觸的金屬層12的金屬的充填率做成比在層疊方向相鄰的金屬層12的金屬的充填率低的低充填金屬層12b，可以用更低的成本制作具有高的耐久性的層疊型壓電元件。另一方面，由于通過在層疊數多的層疊型壓電元件中包含金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層(金屬層12a)低的低充填金屬層12b，低充填金屬層12b周邊的壓電體層可通過使低充填金屬層容易變形吸收壓電體位移的局部的應力，因而使周邊的壓電體層的位移變小，使位移不同的金屬層分散配置于元件內。因此，由于即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，也緩和了因應力集中造成的元件變形的壓抑，因而可抑制發生于層疊部分的脫層。另外，由于可抑制共振現象，進而可防止產生節拍聲。再者，由于可防止發生高頻信號進而也可抑制控制信號的噪聲。而由于上述之外的構成與在上面做了說明的第一及第二實施方式一樣，因而省略說明。(第四實施方式)下面來說明本發明的層疊型壓電元件的第四實施方式。本實施方式的層疊型壓電元件，交互層疊有多個壓電體層11和多個金屬層12而成，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層14，與該非活性層14鄰接的金屬層12是該金屬層12的金屬充填率比在層疊方向相鄰的金屬層12的金屬充填率高的金屬層(高充填金屬層12c)。由此成為耐久性優良、高可靠性的層疊型壓電元件。作為本原因據推測為下述的原因。艮口，由于即使施加電壓也不能使未完全被電極夾持的非活性層發生驅動變形，因而由于以與非活性層14相鄰的金屬層12為界，與發生驅動變形的部分和未發生驅動變形的部分相接，而使應力集中于該界限部分。此時，若所有的金屬層12都是相同的金屬充填率，則由于具有使應力在上述界限部分集中一點的趨勢，因而在高電壓、高壓力下長時間里續驅動層疊型壓電元件的情況下，就有可能發生脫層。因此，若使與非活性層14鄰接的金屬層12中的金屬充填率比在層疊方向相鄰的金屬層12中的金屬充填率變高，則在驅動元件使壓電體層11發生變形時，由于高充填金屬層12c拘束與該高充填金屬層12c接觸的壓電體層ll，同時拘束與高充填金屬層12c相接的非活性層14的力強，因而由于不使高充填金屬層發生形變就反彈壓電體位移的局部的應力，所以使該高充填金屬層12c相接的壓電體層11發生更強的位移。由此，可增大元件的壓電位移量。再者，由于在驅動元件時因上述原因高充填金屬層12c自身未發生變形，因而施加于元件整體的應力全都集中在高充填金屬層12c附近(應力集中效果)。因此，若將這樣的高充填金屬層12c配置于元件驅動部分的端部，則不會使應力集中在元件的驅動部分而是使應力分散于元件的端部，制成耐久性優良的、高可靠性的層疊型壓電元件。特別是現在，在形成層疊數例如少于50層的低的層疊數層疊型壓電體元件時，使非活性層14附近的壓電體層11的金屬含有率越靠近非活性層14而增加，以抑制變形量進而抑制應力集中于界限部分。因此，為了形成壓電體層ll，就要準備多種類型的壓電薄板，成為高成本的制品。另一方面，就本發明而言，只是將與非活性層14鄰接的金屬層12的金屬充填率做成比在層疊方向相鄰的金屬層12的金屬充填率高的金屬層(高充填金屬層12c)，就能以低成本制作具有高的驅動力和高耐久性的層疊型壓電元件。再者，通過將與兩端部的非活性層14鄰接的金屬層12中的金屬的充填率做成比在層疊方向相鄰的金屬層12i中的金屬的充填率低的低充填金屬層(高充填金屬層12b)，可以用更低的成本制作具有高的耐久性的層疊型壓電元件。而由于上述之外的構成與在上面做了說明的第一第三實施方式一樣，因而省略說明。下面來說明在上面做了說明的第一第四實施方式的層疊型壓電元件的制造方法。首先，對由PbZrO廣PbTi03等構成的鈣鈦礦型氧化物的壓電陶瓷的準燒成粉末和由改性聚丙烯腈纖維、丁酸鹽類等有機高分子構成的粘合劑及DBP(二丁基丁酸)、DOP(二辛基丁酸)等可塑劑進行混合制作糊膏，利用共知的刮刀片法及壓光滾筒法等帶成形法將該糊膏制作成多個作為壓電體層11的陶瓷印制電路基板。然后，例如在構成銀一鈀合金等金屬層12的金屬粉末中，含有在丙烯酸顆粒等干燥時粘接固定、在燒成時揮發的有機物，添加混合粘接劑及可塑劑等制作導電性糊料，利用絲網印刷等將其在上述各印制電路基板上印刷成l40pm的厚度。在此，通過改變上述有機物和金屬粉末之比，可使金屬層12的金屬充填率發生變化。即，由于上述有機物在燒成時揮發，因而在金屬層12中形成有空隙(孔率)。因此，若上述有機物少則金屬充填率高，若上述有機物增多則金屬充填率變低。作為具體的各金屬層12a12c中的有機物的含量，相對于金屬粉末100質量分，金屬層12a最好是0.110質量分，優選15質量分；相對于金屬粉末100質量分，低充填金屬層12b最好是0.150質量分，優選210質量分；相對于金屬粉末100質量分，高充填金屬層12c最好是05質量分，優選02質量分。作為上述有機物，只要是燒成時表現出良好的熱分解行為的物質即可，并無特別限制，但除了上述舉例所示的丙烯酸顆粒之外，最好是改性聚丙烯腈纖維、OC—甲基苯乙烯系等樹脂。聚丙烯顆粒及樹脂顆粒也可以是中空構造。優選聚丙烯顆粒及樹脂顆粒的平均粒徑為0.013pm左右。另外，將聚丙烯顆粒等有機物添加粘合劑及可塑劑等進行混合制作聚丙烯顆粒糊劑，在構成銀一鈀等金屬層12的金屬粉末中添加粘合劑及可塑劑等進行混合制作導電性糊劑，也可以用絲網印刷等將聚丙烯顆粒和導電性糊劑層疊印刷在上述各印制電路基板的上面。由此，能夠進行批量生產性更優良的印刷。接著，層疊多層印刷有導電性糊劑的印制電路基板，在加載壓重物的狀態下在規定的溫度對層疊體實行脫粘合劑，之后，以在金屬層形成有空隙的形式通過不加載壓重物進行燒成制作出層疊體13。燒成溫度最好為9001200°C，優選9001000。C。這是由于，若燒成溫度在卯0。C以下，由于燒成溫度低而造成燒成不充分，致使難以制作致密的壓電體。另外，若燒成溫度超過120(TC，則使金屬層與壓電體之間的粘接強度變大的緣故。此時，在構成非活性層14的印制電路基板中，添加構成銀一鈀等金屬層12的金屬粉末，或者在對非活性層14的局部的印制電路基板進行層疊時，通過將由構成銀一鈀等金屬層12的金屬粉末及無機化合物、粘合劑及可塑劑構成的糊膏印刷在印制電路基板上，可使非活性層14與其他部分燒成時收縮行為及收縮率接近，因此可形成致密的層疊體層13。需要說明的是，層疊體層13并非僅局限于利用上述制造方法來制作，只要可制作交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12而成的層疊體，就可以使用任意的制造方法來形成。然后，在層疊型壓電元件的側面交互形成露出端部的金屬層12和未露出端部的金屬層12，在未露出端部的金屬層12和外部電極15之間的壓電體部分形成槽，在該槽內形成楊氏模量比壓電體層11低的樹脂或者橡膠等絕緣體。在此，用內部劃線裝置等在層疊體13的側面形成上述槽。然后，在玻璃粉末中加入粘合劑制作銀玻璃導電性糊劑，將其定型為薄板狀，將干燥的(使溶劑飛散)薄板的原始密度控制在69g/cm3。接著，將該薄板復印在柱狀層疊體13的外部電極形成面，通過用比玻璃的軟化點高的溫度且銀的熔點(965°C)以下的溫度，而且用層疊體13的燒成溫度(°C)的4/5以下的溫度進行燒成，使使用銀玻璃導電性糊劑制作的薄板中的粘合劑成分飛散消失，可形成由成為三維網眼構造的多孔質導電體構成的外部電極15。此時，既可以在將構成外部電極15的糊劑層疊在多層薄板之后進行燒成，也可以每層疊一層就進行燒成，而層疊于多層的薄板之后一起進行燒成的方法批量生產性優良。而且，在每一層改變玻璃成分的情況下，只要使用在每個薄板上改變玻璃成分的量的方法即可，而要想在最接近壓電體層11的面上構成極薄且玻璃濃的層的情況下，只要用絲網印刷等方法將玻璃濃的糊劑印刷在層疊體13上之后層疊多層的薄板即可。此時，也可以替代印刷而使用5pm以下的薄板。而基于有效地形成頸口部(晶粒中間細的部分)，使銀玻璃導電性糊劑中的銀與金屬層擴散粘接，另外，基于有效保留外部電極15中的空隙，再者，基于局部粘接外部電極15和柱狀層疊體13側面這一觀點，上述銀玻璃導電性糊劑的燒成溫度優選50080(TC。另外，銀玻璃導電性糊劑中的玻璃成分的軟化點優選500800°C。另一方面，在燒成溫度高于80(TC的情況下，銀玻璃導電性糊劑的銀粉末的燒成過度，不能形成成為有效的三維網眼構造的多孔質導電體，造成外部電極15過于致密，其結果是，外部電極15的楊氏模量過高，不能充分吸收驅動時的應力因而有可能造成外部電極15斷路。優選的方法是，用玻璃軟化點的1.2倍以內的溫度進行燒成。另外，在燒成溫度低于500'C的情況下，由于在金屬層12端部和外部電極15之間不能形成充分的擴散粘接，因而不能形成頸口部，有可能在驅動時在金屬層12和外部電極15之間引起火花。然后，將形成有外部電極15的層疊體13浸漬于硅酮橡膠溶液，同時，通過對硅酮橡膠溶液進行真空脫氣，使硅酮橡膠充填于層疊體13的槽槽內，然后從硅酮溶液撈出層疊體13，將硅酮橡膠涂敷于層疊體13的側面。然后，通過使充填于槽槽內部及涂敷于層疊體13的側面的上述硅酮橡膠硬化，得到層疊型壓電元件。在將該層疊型壓電元件應用于壓電驅動器的情況下，將引線連接于外部電極15，通過該引線在成對的外部電極15上施加0.13kV/mm的支流電壓，通過對層疊體13進行極化處理，得到使用了本發明的層疊型壓電元件的壓電驅動器。將該壓電驅動器的引線連接于外部的電壓供給部，若通過引線及外部電極15對金屬層12施加電壓，則各壓電體層11因反壓電效果而發生大的位移，由此，例如作為向發動機噴射供給燃料的汽車用燃料噴射閥發揮功能。另外，該壓電驅動器由于具備本發明的層疊型壓電元件，因而在高電壓、高壓力下具有大的位移量，而且即使在長時間連續驅動的情況下也可抑制上述位移量的變化。本發明中的所謂高電壓、高壓力下，是指對壓電驅動器(層疊型壓電元件)在室溫條件下用1300Hz的頻率施加0+300￥的交流電壓的意思。再者，也可以在外部電極15的外面形成由埋設有金屬的網格或者網格狀的金屬板的導電性粘接劑構成的導電性輔助構件。這種情況下，由于通過在外部電極15的外面設置導電性輔助構件，即使在對驅動器接通大電流用高速驅動時，也可使大電流通過導電性構件，因此，可降低通過外部電極15的電流，因而可防止發生局部發熱致使外部電極15斷路，進而可大幅提高耐久性。再者，由于在導電性粘接劑中埋設有金屬的網格或者網格狀的金屬板，因而可防止上述導電性粘接劑發生龜裂。所謂的金屬網格是指編織金屬線，所謂的網格狀的金屬板是指在金屬板上形成孔做成網眼狀的意思。構成上述導電性輔助構件的導電性粘接劑，優選由分散有銀粉末的聚酰亞胺樹脂構成。即，通過將電阻率低的銀粉末分散于耐熱性高的聚酰亞胺樹脂，即使在高溫下使用時，也可形成電阻值低且保持高的粘接強度的導電性輔助構件。優選上述導電性粒子是鱗片狀及針狀等非球形的粒子。這是由于，通過將導電性粒子的形狀做成鱗片狀及針狀等非球形的粒子，可加強該導電性粒子之間的聚合度，可進一步提高該導電性粘接劑的抗剪斷強度的緣故。本發明的層疊型壓電元件并非僅局限于這些，在不超出本發明的要旨的范圍可有各種變更。例如，就上述實施方式而言，雖然以在與層疊體13相對的側面形成有外部電極15為例進行了說明，但就本發明而言，例如也可以在相鄰的側面形成有一對外部電極15。(第五實施方式)下面，參照附圖來詳細說明本發明的層疊型壓電元件的第五實施方式。圖8是表示本實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖。圖9是表示本實施方式的厚型金屬層的局部放大剖面圖。圖10是表示本實施方式的層疊向壓電元件的另一種層疊構造的局部放大剖面圖。圖11是表示本實施方式的層疊型壓電元件的另一種層疊構造的局部放大剖面圖。圖12是用于說明本實施方式的雅典體層的空隙的示意說明圖。在圖8圖12中，對于與上述的圖1圖7的構成相同或者同等的部分添加相同的符號而省略說明。如圖8所示，本實施方式的多個金屬層12包含多層厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層(金屬層12d)薄的薄型金屬層12e。薄型金屬層12e周邊的壓電體層11由于易于使薄型金屬層12e發生變形可吸收壓電體位移的局部的應力。由此，使薄型金屬層12e周邊的壓電體層11的位移變小。另外，就厚度比薄型金屬層12e厚的下述的厚型金屬層12f(參照圖9)周邊的壓電體層而言，由于難以變形的厚型金屬層反彈壓電體位移的局部的應力，因而使厚型金屬層12f周邊的壓電體層11的位移變大。因此，由于成為位移不同的金屬層分散配置于元件內，因而可提高壓電元件整體的位移量，同時，由于即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，也可緩和因應力集中引起的元件變形的壓抑，因而可抑制層疊部分發生的脫層。另外，由于可抑制共振現象，因而還可防止產生節拍聲。再者，由于可防止高頻信號的發生，因而還可抑制控制信號的噪聲。再者，由于通過用印刷等制造方法使金屬層12的厚度發生變化，就可不改變壓電體層11的厚度制造具有應力緩和效果的元件，因此可作成量產性優良的構成。多個壓電體層11中發生驅動變形的部位是被金屬層12所夾持的部分。因此，優選在多個金屬層12中隔著壓電體層11重疊的部分形成有薄型金屬層12e。由此，可有效抑制在壓電元件的位移(尺寸變化)相一致時所產生的共振現象。優選多個薄型金屬層12e夾著多層厚度比該薄型金屬層12e厚的其它金屬層分別配置。本實施方式的其他金屬曾是如圖8所示的金屬層12d和如圖9所示的下述的厚型金屬層12f。在此，薄型金屬層12e的厚度比其它的金屬層(金屬層12d、厚型金屬層12f)薄。因此，由于薄型金屬層12e柔軟性優于其它的金屬層，因而在驅動元件而使壓電體層11發生變形時，可使薄型金屬層12e自身發生變形以緩和應力(應力緩和效果)。艮P，薄型金屬層12e作為應力緩和層發揮作用。再者，與薄型金屬層12e接觸的壓電體層11上同時存在因施加電壓引起的驅動變形和因施加應力引起的變形。薄型金屬層12e自身為了緩和應力而發生變形。因此，由于因施加應力引起的變形成為可控制的，且為緩和應力而發生變形，因而減小驅動位移，避免使元件的應力集中于一點。其結果就是制作成耐久性優良、高可靠性的層疊型壓電元件。特別是若夾持多個厚型金屬層12f，則由于厚型金屬層12f不僅增強了約束與該厚型金屬層12f粘接的壓電體層11的力，而且不增大厚型金屬層12f的變形就可反彈使壓電體位移的局部的應力，因而使與厚型金屬層12f粘接的壓電體層11發生更強的位移。由此，可增大元件的壓電位移量。再者，在驅動元件時，由于因上述原因厚型金屬層12f自身難以發生變形，因而使施加于元件整體的應力集中在厚型金屬層12f附近(應力集中效果)。因此，在元件內設置使應力局部集中的部分，用具有應力緩和效果的薄型金屬層12e包圍應力集中部位，因而可使元件整體的應力緩和效果極大。特別是在本實施方式中，優選該多層薄型金屬層12e在層疊方向有規則地配置。這是由于，為了使施加于元件整體的應力分散，有規則地配置應力緩和層才有效果的緣故。另外，優選層疊體13的構成為層疊至少三層以上的壓電體層ll，同時，薄型金屬層12e具有按規定的順序重復配置的部分。上述所謂的多個薄型金屬層12e在層疊方向有規則地配置是這樣一個概念，即其包括存在于薄型金屬層12e之間的其它的金屬層(金屬層12d、厚型金屬層12f)的層數在任意的薄型金屬層12e之間都是相同的情況，同時，還包括在使應力基本均勻地分散在層疊方向的限度內，存在于薄型金屬層12e之間的其它的金屬層12的層數近似的情況。具體而言，就是存在于薄型金屬層12e之間的其它的金屬層12的層數，相對于各層數的平均值最好在±20%范圍內，優選相對于各層的平均值為±10%范圍內，更優選層數都相同。作為上述其它的金屬層的金屬層12d是厚度比薄型金屬層12e厚的金屬層，該金屬層12d為主要的金屬層。所謂的該主要的金屬層，其含義是在金屬層12中層數比由具有同等厚度的多層金屬層構成的薄型金屬層12e及厚型金屬層12f多的金屬層。優選作為該主要金屬層的金屬層12d從接近所有金屬層的平均厚度起按順序占到所有金屬層數的1/3以上的層數。這是由于對主要的金屬層12d所要求的功能是作為驅動層疊型壓電元件的電極穩定地發揮功能的，因此，可要求施加于元件的電壓均勻地加在各壓電體層11以均勻地發生壓電位移的緣故。因此，若主要的金屬層12d從接近所有金屬層的平均厚度起按順序占到所有金屬層數的1/3以上，則由于施加于元件的電壓平均地加在各壓電體層11，因而可使壓電體層11部發生過度不均勻驅動變形，而是使元件作為整體基本均勻地發生啟動變形，進而形成具有耐久性的元件。再者，由于與主要的金屬層12d粘接在一起的壓電體層11不會使應力集中，因而增大了位移量。另外，由于與主要的金屬層12d粘接在一起的壓電體層11成為應力緩和層，因而可保持元件的驅動位移，同時可避免元件的應力集中在一點。其結果是，位移量變大，同時耐久性優良。為了使位移的相位一致并提高響應速度，主要金屬層12d最好從接近全部金屬層的平均厚度起按順序達到全部金屬層數的70%以上，優選80%以上，更優選90%以上，最優選9099%。若主要的金屬層12d在全部金屬層數的90%以上，則可得到位移相位一致且高速的響應速度。另一方面，由于若超過99%則使相位完全一致，因而使元件產生節拍聲，故而不為優選。另外，在多個金屬層12中，優選主要的金屬層12d的層數最多。由此，因為使施加于元件的電壓均勻地施加在各壓電體層ll，而不會使壓電體層11發生不均勻的驅動變形，而且使位移的相位一致，因而不僅使元件發生基本均勻的驅動變形、響應速度快，進而形成具有耐久性的層疊型壓電元件。優選主要的金屬層12d在金屬層12中是厚度最厚的金屬層和厚度最薄的金屬層以外的金屬層。這是由于，驅動中的層疊型壓電元件的應力具有施加在位于厚度最厚的金屬層12的附近的壓電體層11的趨勢，因而主要的金屬層12d若在最厚的金屬層之外，則可做成在金屬層12d和與此粘接的壓電體層11之間牢固粘接的、耐久性高的層疊型壓電元件。再者，由于與厚度薄的金屬層12粘接的壓電體層11的元件位移小，因而若主要的金屬層12d在厚度最薄的金屬層以外，則不能使層疊型壓電元件的位移變得過小。即，通過將主要的金屬層12d做成在所有的金屬層12中厚度最厚的金屬層和厚度最薄的金屬層以外，就可制作成驅動位移大、具有耐久性的層疊型壓電元件。再者，由于通過使金屬層12的厚度發生變化可控制壓電體層11的位移的大小，因而不必改變壓電體層11的厚度，批量生產性優良。如圖9所示，優選多個金屬層12包含多層厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層(金屬層12d)厚的金屬層12f。由此，由于在驅動元件而使壓電體層11發生變形時，不僅厚型金屬層12f約束與該厚型金屬層12f相接的壓電體層11的力強，而且不使金屬層12f發生變形就反彈壓電體位移的局部的應力，因而可使與該后型金屬層12f相接的壓電體層11發生更強的位移，增加元件的壓電位移量。再者，由于在驅動元件時因上述原因厚型金屬層12f自身不發生變形，因而使施加于元件的應力集中于厚型金屬層12f附近(應力集中效果)。因此，若將這樣的厚型金屬層配置于元件內，則不會使應力集中于一點而是可使該應力分散，進而制成耐久性優良、高可靠性的層疊型壓電元件。需要說明的是，多個壓電體層11中發生驅動變形的部位是被金屬層12所夾持的部分，因此，優選在多個金屬層12中隔著壓電體層11重疊的部分形成厚型金屬層12f。由此，可提高使施加于元件整體的應力集中在厚型金屬層12f附近的效果。特別是若夾持多層薄型金屬層12e,則由于薄型金屬層12e的柔軟性比其它的金屬層優良，因而在驅動元件使壓電體層11發生變形時，可使薄型金屬層12e自身發生變形以緩和該應力(應力緩和效果)。即，薄型金屬層12e作為應力緩和層發揮作用。再者，與薄型壓電體層12e相接的壓電體層11同時存在因施加電壓而發生的驅動變形和因施加應力而發生的變形，但由于為了使用于緩和應力的薄型金屬層12e自身發生變形，使因施加應力的變形成為可控制的、并為了緩和應力而發生變形，因而可使驅動位移變小進而避免元件的應力集中在一點。因此，由于在元件內設置有局部性集中應力的部分，并用應力集中部位包圍具有應力緩和高價的薄型金屬層12e，因而可使元件整體的引力緩和的效果極強且驅動轉矩大。特別是在本實施方式中，優選該多層厚型金屬層12f在層疊方向有規則地配置。這是由于，在使施加于元件整體的應力分散時，有規則地配置應力緩和層更有效的緣故。另外，由于層疊體13至少層疊三層以上的壓電體層ll而成，同時，厚型金屬層12f具有安順序重復配置的部分。所謂的上述多層厚型金屬層12f在層疊方向有規則地配置是這樣一個概念，即其包括存在于厚型金屬層12f之間的其它的金屬層(金屬層12d、薄型金屬層12e)的層數在任意的厚型金屬層12f之間都是相同的情況，同時，還包括在使應力基本均勻地分散在層疊方向的限度內，存在于厚型金屬層12f之間的其它的金屬層12的層數近似的情況。具體而言，就是存在于厚型金屬層12f之間的其它的金屬層12的層數，相對于各層數的平均值最好在±20%范圍內，優選相對于各層的平均值為±10%范圍內，更優選層數都相同。厚型金屬層12f是厚度比薄型金屬層12e及主要的金屬層12d厚的金屬層，即，主要的金屬層12d、薄型金屬層12e及厚型金屬層12f的各個厚度具有下述關系，即，厚型金屬層12^主要的金屬層12d〉薄型金屬層12e。由此，因為主要的金屬層12d在所有的金屬層12中就成了厚度最厚的金屬層及厚度最薄的金屬層以外的金屬層，因而可制作驅動位移大、具有耐久性的層疊型壓電元件。另外，就成為確保將位移不同的金屬層12配置于元件內。即，使薄型金屬層12e周邊的壓電體層11的位移變小，使厚型金屬層12f周邊的壓電體層U的位移變大。其結果是，可更有效地得到因將位移不同的金屬層配置于元件內所產生的效果。具體而言之，就是在設除了薄型金屬層12e及厚型金屬層12f之外的其它的金屬層(即主要的金屬層12d)的厚度為X2、設薄型金屬層12e的厚度為Y2時，厚度之比(Y2/X2)最好在0.10.9的范圍，優選在0.30.9的范圍，更優選在0.50.8的范圍。由此可更確實地得到薄型金屬層12e的應力緩和效果，同時，可保持元件形狀(可防止過度降低元件的機械強度)。特別是若上述比(Y2/X2)為0.30.9，則由于與薄型金屬層12e相鄰的壓電體層ll也發生位移驅動，因而可制成元件的位移大、耐久性高的層疊型壓電元件。再者，若上述比(Y2/X2)為0.50.8，則可制成元件的位移更大、耐久性高的層疊型壓電元件。上述X2及Y2的具體的數值可根據金屬層12的組成等任意設定，并無特別限制，但通常X2最好為0.110(Him,優選0.510nm，更優選15pm;Y2最好為0.05100|im，優選0.110^im，更優選0.55pm;優選X2及Y2在該范圍內并滿足上述比(Y2/X2)。另一方面，若上述比(Y2/X2)小于O.l，則由于薄型金屬層12e的應力緩和效果變得過強，則因為每逢驅動元件薄型金屬層12e都發生很大的位移，或者因金屬疲勞造成斷裂，或者在與外部電極15的界面上產生龜裂，有可能使耐久性變差，若大于0.9，則有可能降低薄型金屬層12e的應力緩和效果，并出現應力集中于一點的部位進而有可能降低元件的耐久性。另外，在設除了薄型金屬層12e及厚型金屬層12f之外的其它的金屬層(即主要的金屬層12d)的厚度為X2、設厚型金屬層12f的厚度為Z2時，厚度之比(Z2/X2)最好在1.052的范圍，優選在1.051.5的范圍，更優選在1.11.2的范圍。由此可更確實地得到厚型金屬層12f的應力集中效果，同時，可保持元件形狀。特別是若上述比(Z2/X2)為1.051.5，則由于與厚型金屬層12f相鄰的壓電體層llh和與主要的金屬層12d相鄰的壓電體層11也發生幾乎同樣的位移驅動，因而可制成耐久性高的層疊型壓電元件。另外，若上述比(Z2/X2)為1.11.2，則可制成元件的位移更大、耐久性高的層疊型壓電元件。上述X2及Z2的具體的數值與上述比(Y2/X2)中的X2及Y2—樣，可根據金屬層12的組成等任意設定，并無特別限制，但通常X2最好為0.1100pm，優選0.510pm，更優選15pm;Z2最好為0.1200nm，優選0.515jim，更優選110pm。另一方面，若上述比(Z2/X2)大于2，則有可能使應力集中于厚型金屬層12f，造成厚型金屬層12f和壓電體層ll之間的界面剝離，使層疊體發生脫層；若小于1.05，則有可能降厚薄型金屬層12f的應力集中效果，并出現應力集中于一點的部位進而有可能降低元件的耐久性。另外，優選以基本相同的厚度來形成主要的金屬層12d。由此，在進一步增大位移的同時，也加快了相應速度、提高耐久耐久性。另外，還優選薄型金屬層12e及厚型金屬層在同一層中的厚度基本相同。這是由于在施加有相反極性的電壓的金屬層內，若在隔著壓電體層11重合的金屬層部分同一個層中的厚度基本一樣，則可抑制在使元件的尺寸變化即位移相一致的情況下所產生的共振現象的緣故。另一方面，若在薄型金屬層12e內存在局部薄的部分，則在為了元件驅動變形時緩和應力而使薄型金屬層12e發生變形時，應力將集中于局部薄的部分。因此，在連續使用的情況下，將出現異常發熱，故而極不理想。另外，在厚型金屬層12f內存在局部厚的部分及薄的部分的情況下，在元件驅動變形時應力將之中在局部厚的部分及薄的部分，在連續使用的情況下將出現異常發熱，故而不為優選。在此，所謂的金屬層(金屬層12d12f)的厚度是指在沿著層疊方向切開層疊型壓電元件的面上測量得到的值。具體而言，就是在該切開剖面上用掃描性電子顯微鏡(SEM)及金屬顯微鏡等觀察金屬層12時，所弄清的金屬成分及由空隙、陶瓷等金屬成分以外的要素構成的情況。因此，在任意的一層金屬層的剖面上，在以金屬為主成分的層中選擇任意的五個部位，測量可用任意的兩條平行線夾持的厚度，將其平均值作為金屬層厚度。這樣，通過測量金屬層12d、薄型金屬層12e及厚型金屬層12f的厚度，就可得到各金屬層12d12f的厚度。如圖IO所示，本實施方式中，優選厚度比主要的金屬層12d厚的厚型金屬層12f和厚度比主要的金屬層12d薄的金屬層12e隔著壓電體層11相對配置。由此，通過使元件驅動中的應力集中于厚型金屬層12f以分散施加于元件的應力，再在匯聚應力的金屬層的隔壁配置作為應力緩和層的薄型金屬層12e，就可有效地分散緩和施加于元件的應力。特別是如圖11所示，相對于薄型金屬層12e，優選在層疊方向相鄰的兩側的金屬層為厚型金屬層12f。由此，通過使元件驅動過程中的應力集中于厚型金屬層12f以分散施加于元件的應力，再將作為應力緩和層的薄型金屬層配置于匯聚應力的金屬層的隔壁，可分散緩和施加于元件的應力。另外，若用匯聚應力的層即厚型金屬層12f夾持作為應力緩和層的薄型金屬層12e，則可將應力關在薄型金屬層12e內，分散緩和元件整體的應力。其結果是，在將該元件應用于壓電驅動器的情況下，可提供一種耐久性優良、高可靠性的壓電驅動器。需要說明的是，由于受夾持的薄型金屬層12e的層數少的一方更能實現將應力圈在里面的效果，因而該層數為一層最為合適。另外，優選在層疊體13的層疊方向按照薄型金屬層12e、厚型金屬層12f、主要的金屬層12d的順序在其之間分別隔著壓電體層11來配置，而且主要的金屬層12d按照厚度的厚的順序進行層疊。由此，通過使元件驅動過程中的應力集中于厚型金屬層12f以分散施加于元件的應力，在通過將作為應力緩和層的薄型金屬層12e與匯集應力的金屬層相鄰配置，不僅可分散緩和施加于元件的應力，而且通過使主要的金屬層12d按照厚度厚的順序來配置，可慢慢分散匯集于厚型金屬層12f的應力，同時由于通過增加厚度可增大相鄰的壓電體層11的位移量，因而可制作位移大、耐久性優良、高可靠性的層疊型壓電元件。優選在對多層金屬層12的厚度進行比較時，在厚型金屬層12f的厚度上具有最高值，從該厚型金屬層12f起在層疊方向穿過兩層以上，優選穿過25層以上的金屬層具有厚度逐漸減少的傾斜區域。由此，元件驅動過程中的應力集中在厚型金屬層12f，但如果具有規定的傾斜區域，則可使集中于該厚型金屬層12f的應力逐漸分散。如圖12所示，優選金屬層12具有規定的空隙(孔率)12d'、12e'、12f'。特別是在主要的金屬層12d上設置有空隙(孔率)12d'，相對于該金屬層12d的剖面中的整個界面面積的空隙(孔率)12d'所占據的面積比(空隙率)最好為570%，優選770%，更優選1060%。由此，由于位移量變到，可得到位移量優良的層疊型壓電元件。特別是，若上述的空隙率為770%或者1060%，則可使壓電體層ll更順滑地變形，同時，由于金屬層12的導電性非常充足，因而可增大層疊型壓電元件的位移量。另一方面，若上述空隙率小于5%，則由于在施加電壓使壓電體層11發生形變時壓電體受到金屬層12束縛，抑制壓電體層ll的變形，進而使層疊型壓電元件的變形量變小，使所發生的內部應力也變大，因而有可能對耐久性也帶來不利的影響。另外，若上述空隙率大于70。/。，則由于在電極部分產生極細的部分，因而有可能降低金屬層12自身的強度、在金屬層12上易于產生龜裂、發生斷路等。特別是若薄型金屬層12e主要由金屬和空隙構成，則可形成耐久性更高的層疊型壓電元件。即，如圖12e所示，優選薄型金屬層12e由在隔著空隙(孔率)12e'彼此隔離的狀態下配置的多個局部金屬層構成。由此，與薄型金屬層12e相接的壓電體層ll若與金屬層中空隙(孔率)12e'等未被金屬充填的部分相接，則該部分的壓電在對元件施加電壓也不發生位移，而在驅動過程中若施加壓力則發生變形以緩和應力(應力緩和效果)。即，由局部金屬層構成的薄型金屬層12e作為應力緩和層發揮作用。因此，可使與該金屬層相接的壓電體層11的驅動位移變小、避免元件的應力集中于一點。其結果是，可制作耐久性優良的高可靠性的壓電元件。具體而言之，優選與薄型金屬層12的截面的總截面面積相對的空隙(孔率)12e'所占的面積比(空隙率)為2090%。由此可得到位移量更大、位移量優良的層疊型壓電元件。而在本實施方式中也優選金屬層12以選自元素周期表第811族元素中的金屬為主成分。再者，設金屬層12中的元素周期表第S10族元素的含量為M1(質量％)，設元素周期表第11族元素的含量為M2(質量%)時，優選以滿足下述關系，即0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2二100的金屬為主成分。特別是在薄型金屬層12e緩和應力時，所謂的緩和所施加的應力是指將所施加的動能轉換為熱能以釋放應力，使應力緩和部分保持熱量。若壓電體的溫度上升，則使壓電位移的力變小，一旦溫度上升到居里點，則即使進行冷卻也變得無極化的效果從而影響壓電位移的力變大。因此，若薄型金屬層12e可具有散熱器的作用，則能將熱量從應力緩和部分排到元件的外側。在此，通過使用本實施方式的組成的金屬，從而可增大熱量的散逸效果，且可長時間高耐久性地維持應力緩和效果。特別是在高濃度地含有熱傳導性高的銀的組成中，熱量的逸散效果最強，再者即使發生氧化也不降低熱的傳導率，而且由于也不降低電傳導特性，因而可制作極高的耐久性的應力緩和層。另外，上述之外的構成由于與在上面做了說明的第一第四實施方式同樣，所以說明從略。(第六實施方式)下面，參照附圖來說明本發明的層疊型壓電元件的第六實施方式。圖13是表示本法實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖，而在圖13上，對與上述的圖1圖12的構成相同或者同等的部分添加相同的符號而說明從略。如圖13所示，本實施方式的層疊型壓電元件與在上面做了說明的實施方式一樣，都是交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12而成。在此，多層金屬層12包含厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層(12d)厚的金屬層12f。由于這樣的構成也可使厚型金屬層12f周邊的壓電體層11的位移變大，使厚度比厚型金屬層12f薄的薄型金屬層12d周邊的壓電體層11的位移變小，形成將位移不同的金屬層配置于元件內的構成，因而可達到與在上述作了說明的實施方式相同的效果。本實施方式的多層厚型金屬層12f與在上面做了說明的第五實施方式一樣，優選隔著多個厚度比該厚型金屬層12f薄的其它金屬層(即主要的金屬層12d、薄型金屬層12e)分別配制。另外，優選在層疊方向有規則地配置多層厚型金屬層12f。再者，優選多層金屬層12包含多層厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層薄的薄型金屬層12e。另外，在上面做了說明的以外的構成由于與在上面做了說明的第一第五實施方式同樣，所以說明從略。(第七實施方式)下面說明本發明的層疊型壓電元件的第七實施方式。本實施方式的層疊型壓電元件，是交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12而成，在層疊方向的兩端形成有由壓電體層構成的非活性層14，與該非活性層14相鄰的金屬層12的厚度是比在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度薄的薄型金屬層(薄型金屬層12e)。由此，可避免元件的應力集中于一點。其原因可推測為下述的原因。艮口，由于即使施加電壓也不會使未被電極完全隔著的非活性層發生驅動變形，因而由于以與非活性層14相鄰的金屬層12為界相接有發生驅動變形的部分和未發生驅動變形的部分，因而使應力集中于該界限內。此時，若金屬層為相同的厚度，則由于應力集中于該界限內，因而在高電壓、高壓力下長時間連續驅動層疊型壓電元件的情況下，有可能造成脫層。因此，若使與非活性金屬層14相鄰的金屬層12的厚度形成比與在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度薄的薄型金屬層(薄型金屬層12e)，則由于薄型金屬層12e的柔軟性優于其它的金屬層，因而在因驅動元件而使壓電體層11發生變形之際，可使薄型金屬層12e自身發生變形來緩和應力(應力緩和效果)。再者，因為與薄型金屬層12e相接的非活性層14由壓電材料形成，因而可通過施加應力發生變形而緩和應力。即，薄型金屬層12e和非活性層14產生出應力緩和效果的幾何相加作用。在此基礎上，由于薄型金屬層12e自身發生變形，所以被與薄型金屬層12e相鄰的金屬層12夾持的壓電體層11同時存在因施加電壓而發生的驅動變形和因施加應力而發生的變形，但由于為了緩和應力使薄型金屬層12e自身發生變形，因而可控制因印施加應力而發生的變形，使其為緩和應力而發生變形。因此，可使驅動位移變小，避免元件的應力集中于一點。再者，優選相對于薄型金屬層12e在層疊方向相鄰的金屬層為厚型金屬層12f。由此，通過使元件驅動過程中的應力集中于厚型金屬層12f進而使施加于元件的應力分散，并將作為應力緩和層的薄型金屬層12e與匯集應力的金屬層相鄰而配置，就可在端部分散緩和施加于元件的應力。另外，若用作為匯集應力的層的厚型金屬層12f和非活性層14夾持作為應力緩和層的薄型金屬層12e，則可將應力圈在薄型金屬層12e中以分散緩和元件整體的應力。其結果是，在將該元件應用于壓電驅動器時，可提供一種耐久性優良的高可靠性的壓電驅動器。特別是，現在，在形成層疊數例如少于50層的層疊數的層疊型壓電元件的情況下，使非活性層14近旁的壓電體層11的層厚越靠近非活性層14厚度越大，以抑制變形量進而抑制應力集中于界限內。因此，為了形成壓電體層11就要預先準備數種類型的厚度的壓電薄板以進行層疊，形成成本高的制品，但通過只是將與非活性層14相鄰的金屬層12形成比在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度薄的薄型金屬層(薄型金屬層12e)，就可做成具有低成本且高耐久性的層疊型壓電元件。再者，通過將與兩端部的非活性層14相鄰的金屬層12的厚度形成比在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度薄的薄型金屬層(薄型金屬層12e)，可以制作具有更低成本且更高耐久性的層疊型壓電元件。另一方面，由于在層疊數多的層疊型壓電元件中，還包含厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層(金屬層12d)薄的薄型金屬層12e，所以由于薄型金屬層12e周邊的壓電體層可通過使薄型金屬層容易變形以吸收壓電體位移的局部的應力，因而使周邊的壓電體層的位移變小成為將位移不同的金屬層分散于元件內配置。因此，由于即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動也可緩和因應力集中而造成的元件應力的壓抑，因而可抑制在層疊部分所產生的脫層。另外，由于可抑制共振現象，因而可防止產生節拍聲。再者由于可防止發生高頻信號，因而可抑制控制信號的噪聲。另外，在上面做了說明的以外的構成由于與在上面做了說明的第一第六實施方式同樣，所以說明從略。(第八實施方式)下面說明本發明的層疊型壓電元件的第八實施方式。本實施方式的層疊型壓電元件，是交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12而成，在層疊方向的兩端形成有由壓電體層構成的非活性層14，與該非活性層14鄰接的金屬層12的厚度是比在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度厚的厚型金屬層(薄型金屬層12f)。由此，可形成耐久性優良的高可靠性的層疊型壓電元件。其原因可推測為下述的原因。艮P，由于即使施加電壓也不會使未被電極完全隔著的非活性層發生驅動變形，因而由于以與非活性層14相鄰的金屬層12為界相接有發生驅動變形的部分和未發生驅動變形的部分，因而使應力集中于該界限內。此時，若金屬層為相同的厚度，則由于應力集中于該界限內，因而在高電壓、高壓力下長時間連續驅動層疊型壓電元件的情況下，有可能造成脫層。因此，若將與非活性金屬層14鄰接的金屬層12的厚度形成比與在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度厚的厚型金屬層(厚型金屬層12f)，則由于在因驅動元件而使壓電體層11發生變形之際，因為厚型金屬層12f約束與厚型金屬層12f接觸得壓電體層11和約束與厚型金屬層12f接觸的非活性層14的力都強，因而由于使厚型金屬層不發生變形來反彈壓電體位移的局部的應力，所以與該厚型金屬層12f接觸的壓電體層11因發生更強的位移，因而可增加元件的壓電位移量。再者，由于在驅動元件時因上述原因厚型金屬層12f自身不發生變形，所以使施加于元件整體的應力集中于厚型金屬層12f近旁(應力集中效果)。因此若將這樣的厚型金屬層12f配置于元件驅動部分的端部，則可使應力不集中于元件的驅動部分而是分散于元件的端部，進而形成耐久性優良的高可靠性的層疊型壓電元件。特別是，現在，在形成層疊數例如少于50層的層疊數的層疊型壓電元件的情況下，使非活性層14近旁的壓電體層11的層厚越靠近非活性層14厚度越大，以抑制變形量進而抑制應力集中于界限內。因此，為了形成壓電體層11就要預先準備數種類型的厚度的壓電薄板以進行層疊，形成成本高的制品，但通過只是將與非活性層14相鄰的金屬層12做成比在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度厚的厚型金屬層(厚型金屬層12f)，就可形成具有低成本且高耐久性的層疊型壓電元件。再者，通過將與兩端部的非活性層14相鄰的金屬層12的厚度做成比在層疊方向相鄰的金屬層12的厚度薄的薄型金屬層(薄型金屬層12e)，可以制作具有更低成本且更高耐久性的層疊型壓電元件。另外，在上面做了說明的以外的構成由于與在上面做了說明的第一第七實施方式同樣，所以省略說明。下面來說明在上面做了說明的第一第八實施方式的層疊型壓電元件的制造方法。首先，與第一第四實施方式一樣，制作多層作為壓電體層11的陶瓷印制電路基板。然后，在例如構成銀一鈀合金等金屬層12的金屬粉末中添加混合粘合劑及可塑劑等，制作了導電性糊劑，利用絲網印刷等將其在上述各印制電路基板的上面印刷成l40|am的厚度。在此，可改變上述粘合劑及可塑劑等和上述金屬粉末之比、可改變用于絲網印刷的絲網的網眼的度數、可改變形成絲網的圖形的抗蝕劑厚度、可改變金屬層12的厚度。其中，尤其是通過改變抗蝕劑厚度，即使使用單一的導電性糊劑也可形成不同厚度的金屬層12。或者，即使是單一的制版、單一的導電性糊劑的情況，也可通過在同一個部位重復印刷形成厚的金屬層12。另外，在金屬層12上形成空隙(孔率)時，只要制作使上述金屬粉末中包含在丙烯酸顆粒等干燥時粘接固定、在燒成時揮發的有機物的導電性糊劑即可。為了使金屬層12的空隙率達到規定的值，例如可列舉改變上述有機物和金屬粉末之比的方法。即，由于通過使上述有機物在燒成時揮發可在金屬層12中形成空隙(孔率)，因而若上述有機物少則空隙率低，若上述有機物多則空隙率高。作為具體到各金屬層12d12f中的有機物的含量，相對于金屬粉末IOO質量分，金屬層12d最好為0.110質量分，優選15質量分；相對于金屬粉末100質量分，薄形金屬層12e最好為0.150質量分，優選210質量分；相對于金屬粉末100質量分，厚形金屬層12f最好為0.015質量分，優選0.12質量分。作為上述有機物可列舉與如在'C例示的相同的有機物。接著，層疊多層印刷有導電性糊劑的印制電路基板，在加載壓重物的狀態下用規定的溫度對該層疊體進行脫粘接劑，之后，通過以使金屬層12的厚度達到規定的厚度的形式不加載壓重物進行燒成制作層疊體13。燒成溫度最好為9001200°C，優選9001000。C。這是由于若燒成溫度在900。C以下，則由于燒成溫度低致使燒成不充分，進而難以制作致密的壓電體。另外，若燒成溫度超過120(TC，則在1200'C以上接合熱膨脹系數不同的壓電體層11和金屬層12之后，或者使因冷卻而產生的層間的應力變大，或者使壓電體潔凈粒子生長為異常粒子，從而存在電極材料達到熔點以上發生熔融的問題。然后，交互形成在層疊型壓電體元件的側面端部露出的金屬層12和端部未露出的金屬層12，在端部未露出的金屬層12和外部電極15之間的壓電體部分形成槽，在該槽內形成楊氏模量比壓電體層11低的樹脂或者橡膠等絕緣體。在此，上述槽用通過內部劃線裝置等形成于層疊體13的側面。然后，與第一第四實施方式一樣來形成外部電極15，而且將形成有外部電極15的層疊體13做成與第一第四實施方式一樣，使硅酮橡膠充填于層疊體13的槽內部。其后，通過使充填于槽內部及涂敷于層疊體13的側面的上述硅酮橡膠硬化，得到層疊型壓電元件。在將該層疊型壓電元件應用于壓電驅動器時，通過在外部電極15上連接引線，經由該引線對一對外部電極15施加0.13kV/mm的直流電壓對層疊體13進行極化處理，就可得到使用了本發明的層疊型壓電元件的壓電驅動器。另外，在上面做了說明的以外的構成由于與在上面做了說明的第一第四實施方式同樣，所以說明從略。(第九實施方式)下面，參照附圖來說明本發明的層疊型壓電元件的第九實施方式。圖14是表示本實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖。而在圖14上，對于與上述的圖1圖13的構成相同或者同等的部分添加相同的符號而省略說明。如圖14所示，本實施方式的層疊型壓電元件，多層金屬層12以合金為主成分，其包含多層構成和金的一種成分的比率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層12g高的高比率金屬層12h。S卩，由于可利用組成自如地改變合金的軟度(硬度)，因而通過將多層的金屬層12中的一部分做成高比率金屬層12h，可在局部配置軟度不同的金屬層。由此，由于可分散施加于壓電元件的應力，因而可緩和因應力集中造成的元件變形的壓抑，使元件整體的位移變大。另外，可抑制因元件的變形造成的應力集中，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，也可抑制在層疊界面因發生脫層造成破損。如上所述，本實施方式中的"高比率金屬層12h"是構成合金的一種成分的比率(例如，構成銀鈀合金的銀的比率)比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層12g高的金屬層。高比率金屬層12h中的一種成分的比率B的設定只要比與此相鄰的兩側的金屬層12g中的一種成分的比率A高即可(B>A)，但其設定優選比率B比比率A高0.1質量％以上，更優選高0.510質量％，最優選高13質量％。在規定比率B比比率A高0.1質量％以上時，可得到很高的使施加于元件的應力分散的效果，特別是在比率B比比率A高0.5質量。/。以上時該效果更高。另一方面，若將比率B在比比率A高出10質量％的范圍內高范圍地設定時，由于高比率金屬層12h的熱膨脹系數與相鄰的兩側的金屬層12g的熱膨脹系數不同，從而有可能造成在壓電體層與金屬層之間的熱膨脹系數之差而引起的應力產生分布而產生應力集中于元件內的部位。另外，本實施方式的層疊型壓電元件中，發生驅動變形的區域，是壓電體層11中隔著壓電體層11配置于該壓電體層11的兩側的主面上的金屬層在層疊方向重合的區域。因此為了得到本實施方式的效果，只要在隔著壓電體層11在層疊方向相重合的區域，高比率金屬層12h中的一種成分的比率B及金屬層12g中的一種成分的比率A滿足上述關系即可。由此，由于可緩和因應力集中而造成的元件變形的壓抑，因而可提高壓電元件整體的位移量。另外，由于可抑制因壓電元件的變形而造成的應力集中，因而即使在高電壓、高壓力條件下長時間連續驅動的情況下，也可抑制層疊部分的脫層。再者，由于可抑制在使壓電元件的位移(尺寸變化)相一致時所產生的共振現象，因而不僅可防止發生節拍聲，而且可防止發生高頻信號。由此，可抑制控制信號的噪聲。再者，由于通過配置多層高比率金屬層12h，可控制層疊型壓電元件13的位移的大小，因而不必改變壓電體層11的厚度，就可在批量生產上形成有效的構造。金屬層12的合金組成可通過下面所述的形式進行測量。即，使金屬層露出，通過沿金屬層12和壓電體層11的界面切斷層疊體13，提取金屬層12的一部分，進行ICP(電感耦合等離子體)發光分析等化學分析來測量。另外，也可以使用EPMA(ElectronProbeMicroAnalysis)法等分析方法來分析沿層疊方向切斷層疊型壓電元件的截面。若在層疊型壓電元件的切斷面上用SEM(掃描型電子顯微鏡)及金屬顯微鏡觀察金屬層，則通常不僅包含金屬成分而且還包含空隙及陶瓷成分等金屬以外的要素。在這樣的情況下，只要利用EPMA等方法來分析只是由金屬構成的部分即可。由此，可特定高比率金屬層12h及其之外的金屬層12g的合金比率。另外，多個高比率金屬層12h隔著一層或者多層該高比率金屬層12h以外的其他金屬層12g分別配置。例如在構成金屬層12的合金為銀鈀、上述一種成分為銀的情況下，因下述的原因，優選多層高比率金屬層12h隔著多層該高比率金屬層12h以外的其他金屬層12g分別配置。g口，若一層一層交互地連續配置高比率金屬層12h與其它的金屬層12g，則其優點在于，使層疊型壓電元件13內部的應力相對于所有的金屬層12均勻地分散。另一方面，由于與其它的金屬層12g相比較，高比率金屬層12h發生銀比率高而使層自身柔軟，因而若高比率金屬層12h以與其它的金屬層12g同樣程度的層數存在，則有使緩和驅動位移的作用變大。降低驅動位移量的趨勢。因此，通過隔著多層高比率金屬層以外的其它的金屬層12g分別配置多層高比率金屬層12h，可在被多層其它金屬層12g夾持的部分提高壓電位移。再者，在多層高比率金屬層12h部分可得到應力緩和效果。由此，不僅可提高元件整體的位移，而且可抑制因元件的變形造成的應力集中，即使在高電壓、高壓力條件下長時間連續驅動時離層疊部分也不會剝。另外，由于構成金屬層12的合金以化學周期表第810族元素金屬和/或11族金屬為主成分，因而同時燒成壓電體層和金屬層就成為可能，不僅可牢固地結合粘接面，而且由于使元件發生位移，即使應力施加于金屬層，金屬層自身也可伸縮，所以，不能使應力集中于一點，進而可提供一種耐久性優良的高可靠性的壓電驅動器。特別是優選構成金屬層12的合金為銀鈀合金，上述一種成分為銀。這是由于，不僅在氧化環境中進行燒成可得到層疊型壓電元件13，而且由于銀與鈀都是全率固溶的金屬，因而不可能穿過金屬層一面形成不穩定的金屬間化合物，而是有可能形成具有應力緩和效果的柔軟的高比率金屬層12h。特別是，由于作為高比率成分的金屬為銀，因而在燒成層疊型壓電元件時，陶瓷的液相成分中固溶有銀，進而有可能降低液相形成溫度進行燒成。由此，可加強金屬層12與壓電體層11之間的相互結合力。再者，通過進行合金化，就有可能形成抗遷移性比單元素強的金屬層12，進而可制作具有耐久性的層疊型壓電元件。優選有規則地配置多層高比率金屬層12h，若是不規則地配置，則施加于層疊型壓電元件整體的應力有可能集中在高比率金屬層之間的間隔寬的部分，不能充分得到應力分散的效果。通過有規則地配置高比率金屬層12h，可使施加于層疊型壓電元件的應力有效地分散。在此，本實施方式中所謂的"有規則地配置高比率金屬層"這一概念包含下述兩層含義，即，包含存在于高比率金屬層12h之間的其他的金屬層12g的層數在所有的高比率金屬層12h之間都是相同的情況，以及在不使應力集中于局部的限度內，存在于高比率金屬層12h之間的其他的金屬層12g的層數相近的情況。具體而言，就是存在于高比率金屬層12h之間的其他的金屬層12g的層數，優選相對于各層數的平均值為±20%的范圍，更優選相對于各層數的平均值為±10%的范圍。由于存在于高比率金屬層12h之間的其他的金屬層12g的層數在上述范圍內，因而可更有效地分散施加于層疊型壓電元件的應力。優選規定高比率金屬層12h與壓電體層11之間的密合力低于高比率金屬層以外的其它金屬層12g與壓電體11之間的密合力。由此，由于高比率金屬層12h的密合力比其它的金屬層12g低，因而在應力施加于層疊型壓電元件時，可使密合力弱的高比率金屬層12h發生變形以緩和應力。另外，由于使與密合力弱的高比率金屬層12h接觸的壓電體層11與該高比率金屬層12h的接觸面積變小，因而可減小約束壓電體ll的力。由此，由于可緩和施加于層疊型壓電元件的應力，同時可避免應力集中于一點，進而可制作耐久性優良的層疊型壓電元件。優選規定高比率金屬層12h的維氏硬度(Hv)低于其它的金屬層12g。由于高比率金屬層12h的維氏硬度(Hv)低于其它的金屬層12g，即將高比率金屬層12h形成比其它的金屬層12g柔軟的金屬層，因而在驅動壓電元件時，高比率金屬層12h約束與其接觸的壓電體層11的力變弱，從而有可能提高壓電體層11的位移。因此，可制作耐久性高、位移大的層疊型壓電元件。就本實施方式的層疊型壓電元件而言，由于金屬層12的層疊方向的厚度薄，因而以下面的形式來測量金屬層12的維氏硬度。即，在測量維氏硬度時，例如使用明石制造公司制造的MVK—H3型等微維氏硬度測量儀。在測量金屬層12的維氏硬度時，可在金屬層12與壓電體層11的界面附近切斷層疊型壓電元件，在金屬層12的局部插入金剛石壓頭來測量，但為了不受基底壓電體層11的影響，優選從垂直于金屬層12的層疊方向對金屬層12插入金剛石壓頭。在金屬層12從壓電元件的側面露出的情況下，以金剛石壓頭與金屬層12的層疊方向相垂直的形式設置層疊型壓電元件，將金剛石壓頭直接壓入金屬層12來測量硬度。另一方面，在金屬層12未從壓電元件的側面露出的情況下，研磨元件直到看見金屬層12，之后，以與上述同樣的形式來測量硬度。為了使金屬層露出來，除上述研磨外，還可考慮用小塊切割機切斷及晶格滑移等的利用，但只要是不產生裂縫等并可形成平坦面的方法，就不對方法做特別限制。另外，在兩層高比率金屬層12h之間配置有多層該高比率金屬層以外的其它的金屬層12g，由該其它金屬層組成的組中，優選構成合金的一種成分的濃度具有從高比率金屬層側起逐漸減少的傾斜濃度區域。由于存在這樣的傾斜濃度區域，因而層疊型壓電元件的應力不僅集中于高比率金屬層12h，而且可使應力分散在其近旁的金屬層12g(傾斜濃度區域的金屬層12g)，從而可制作耐久性更高的層疊型壓電元件。再者，在所有的高比率金屬層12h之間存在上述傾斜濃度區域，還可提高耐久性，故而優選。另一方面，若構成合金的一種成分的比率在高比率金屬層12h和與此相鄰的金屬層12g極不相同，則有可能使應力變得易于集中在作為應力緩和層的高比率金屬層12h。本實施方式中，與在上面做了說明的實施方式一樣，優選金屬層12具有多個空隙。特別是，優選將空隙設置于高比率金屬層以外的其它金屬層12g，與該金屬層的截面的總截面面積相對的空隙所占的面積比為570%。這是由于，相對于高比率金屬層以外的其它金屬層12g的面積，若使空隙占570%，則可增大位移量，進而得到位移特性優良的層疊型壓電元件的緣故。另一方面，若其它的金屬層12g的空隙率小于5。/。，則在施加電場壓電體層11發生變形時，有可能受到金屬層12g很大的約束力，進而抑制了壓電體層11的變形，使層疊型壓電元件的位移量變小，而使所產生的內部應力變大。另外，若其它的金屬層12g的空隙率大于70%，則由于在電極部分產生極細的部分，因而有可能降低金屬層自身的強度、易于在金屬層12g產生裂縫、發生斷路等。空隙率優選770%，更優選1060%。這樣，由于可使壓電體層ll更平穩地變形，同時，金屬層12具有充分的導電性，因而可增大層疊型壓電元件的位移量。另外，優選與高比率金屬層12h的截面的總截面面積相對的空隙所占的面積比為2090%。這是由于，相對于高比率金屬層12h的面積，若空隙占2090%，則可進一步增加位移量，進而可得到位移量優良的層疊型壓電元件的緣故。另外，若金屬層12主要由金屬和空隙構成，則由于不論是金屬還是空隙都有可能相對于應力發生變形，因而可得到耐久性更高的層疊型壓電元件。特別是，若比高比率金屬層以外的其它金屬層12g高的高比率金屬層12h主要由金屬和空隙構成，則由于不論是金屬還是空隙都有可能相對于應力發生變形，因而可提高應力緩和效果，進而可得到耐久性更高的層疊型壓電元件。優選高比率金屬層12h為分布有多個合金的狀態。l卩，高比率金屬層12h的構成最好是呈島狀分布有多個導體區域。由于高比率金屬層12h為分布有多個導體區域的狀態，因而由于即使層疊型壓電元件13的應力施加于金屬層12，也可抑制在高比率金屬層12h內的應力傳播，即使在高比率金屬層12h的內部也不會產生應力特別集中的部位，因而可兼得應力緩和與耐久性。另一方面，在高比率金屬層12h由連續的一層構成的情況下，在層疊型壓電元件13的應力集中于高比率金屬層12h時，在與壓電體層11的界面內，其應力傳播集中于面向壓電元件的側面的部分，因此有可能產生應力特別集中的部位。另外，在本實施方式，設金屬層12中的鈀的含量為Ml(質量％)，設銀的含量為M2(質量％)時，也優選以滿足下述關系，即0〈M1《15、85《M2<100、Ml+M2二100的金屬組成物為主成分。下面，來說明第九實施方式的層疊型壓電元件的制造方法。首先，與第一第八實施方式一樣，制作多層作為壓電體層11的陶瓷印制電路基板。然后，在例如構成銀一鈀合金等金屬層12的金屬粉末中添加混合粘合劑及可塑劑等，制作了導電性糊劑，接著，利用絲網印刷等將其在上述各印制電路基板的上面印刷成140pm的厚度。在此，形成高比率金屬層12h的導電性糊劑，使包含于該導電性糊劑的金屬粉末內的一種成分的量高于包含于形成其它金屬層12g的導電性糊劑的一種成分的量。具體而言，就是使用銀一鈀作為合金并提高高比率金屬層12h的銀成分的情況下，用合金組成中銀成分多的金屬糊劑形成高比率金屬層12h，用合金組成中銀成分少的金屬糊劑形成高比率金屬層以外的其它的金屬層12g。此時，也可以不是用合金粉末而是使用銀粉末與鈀粉末的混合粉末以調整組成，另外，也可以通過在銀鈀的合金中添加銀粉末或者鈀粉末來調整組成，但從開始就使用不同的組成的合金粉末的方法，由于使糊劑中的金屬分散變得均勻，使金屬層12的同一個面內的組成分布均勻，故而優選。然后，按照所希望的配置層疊多層印刷有導電性糊劑的印制電路基板，在用規定的溫度進行脫粘接劑，之后，通過在卯01200。C下進行燒成，制作成層疊體13。另外只要以與上述實施方式18相同的形式形成非活性層14即可。然后，與第一第八實施方式一樣來形成外部電極15，而且將形成有外部電極15的層疊體13做成與第一第四實施方式一樣，使硅酮橡膠充填于層疊體13的槽內部，并將通過使充填于槽內部及涂敷于層疊體13的側面的上述硅酮橡膠硬化，得到本實施方式的層疊型壓電元件。最后，通過在外部電極15上連接引線，經由該引線對一對外部電極15施加0.13kV/mm的直流電壓對層疊體13進行極化處理，就得到使用了本發明的層疊型壓電元件的壓電驅動器。另外，在上面做了說明的以外的構成由于與在上面做了說明的第一第八實施方式同樣，所以省略說明。上面對第九實施方式進行了說明，但本發明的層疊型壓電元件并非僅局限于第九實施方式，在不超出本發明的要旨的范圍內可有各種變更。例如，在上述第九實施方式，對金屬層都是由合金構成的情況進行了說明，但如下述的第十實施方式所述，也可以是一部分金屬層由合金構成、剩余的金屬層由單一金屬構成的形態。另外，在上述第九實施方式，對于金屬層包含相同的成分的情況進行了說明，但如下述的第十一實施方式所述，也可以是金屬層由主成分不同的至少兩種以上的層構成的形態。(第十實施方式)下面，參照附圖來詳細說明本發明的層疊型壓電元件的第十實施方式。圖15是表示本實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖。在圖15上，對于與上述的圖1圖14的構成相同或者同等的部分添加同樣的符號而省略說明。就本實施方式的層疊型壓電元件而言，其具有交互層疊多個壓電體層11和多個金屬層12(12i、12j)的層疊體13，多個金屬層12包含多層構成金屬層12的至少一種成分的比率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層12i高的高比率金屬層12j。由于通過包含多層這樣的高比率金屬層12j，可在層疊體13配置局部軟度(硬度)不同的金屬層，因而可分散施加于壓電元件的應力。因此，通過緩和因應力集中造成的元件變形的壓抑，不僅可提高元件整體的位移，而且可抑制因元件的變形造成的應力集中，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況，也抑制層疊部分的剝離。另外，在壓電體層ll中，發生驅動變形的部位是被金屬層12夾持的部位，因此，優選的是，由于通過在金屬層內隔著壓電體層11重合的部分形成有金屬組成不同的金屬層，從而可抑制在使元件的尺寸變化即位移一致時所產生的共振現象，因而不僅可防止發生節拍聲，而且由于可防止發生高頻信號，因而可抑制控制信號的噪聲。再者，由于通過改變金屬層12的金屬組成可控制層疊型壓電元件13的位移的大小，因此不必通過改變壓電體層11的厚度就能夠作成量產性高的構造。在此，金屬層的金屬組成可用與上述同樣的方法來測量。另外，優選多層的高比率金屬層12j夾著該高比率金屬層12j之外的其它金屬層12i分別配置。若使高比率金屬層12j與其它的金屬層12i—層一層地交互連續配置，則層疊型壓電元件13內部的應力將均勻地分散于所有的金屬層，而在同時驅動層疊型壓電元件時，就成了也緩和了驅動位移量。因此，通過夾著多層其它的金屬層12i來分別配置多層的高比率金屬層12j，可在夾持多層其它的金屬層12i的部分提高壓電位移，而在多層的高比率金屬層12j部分就能緩和應力。由此，不僅可提高元件整體的位移，而且可抑制因元件的變形造成的應力集中，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，也可抑制層疊部分的剝離。.具體而言，就是優選構成金屬層12的一種成分為銀，其它的金屬層12i由銀鈀合金構成，高比率金屬層12j由銀構成。這是由于，不僅可在氧化環境下燒成構成層疊型壓電元件13，而且由于銀鈀合金為全率固溶的金屬，因而就可在金屬層單面不是形成不穩定的金屬間化合物而是形成具有應力緩和效果的柔軟的金屬層。特別是，由于作為高比率成分的金屬為銀，因而在燒成層疊型壓電元件時，陶瓷的液相成分中固溶有銀，進而有可能降低液相形成溫度進行燒成。由此，可加強金屬層12與壓電體層11之間的相互結合力。再者，通過進行合金化，就有可能形成抗遷移性比單元素強的金屬層，進而可制作具有耐久性的層疊型壓電元件。由此，由于高比率金屬層12j主要由銀構成，高比率金屬層之外的其它金屬層12i主要由銀鈀合金構成，因而進一步提高了應力緩和效果。在夾著壓電體層11主要由銀構成的高比率金屬層12j相鄰的情況下，有時由于銀的遷移而產生絕緣不良，但這種情況下，由于主要由銀組成的高比率金屬層12j的隔壁的金屬層為主要由銀鈀合金組成的金屬層12i，因而即使銀發生遷移也會與鈀結合而消滅游離的銀離子進而穩定化，因此不會發生因遷移造成的絕緣不良，進而可形成耐久性高的層疊型壓電元件。另外，基于與第九實施方式一樣的原因，優選有規則地配置多層高比率金屬層12j，再者，優選高比率金屬層12j與壓電體層ll之間的密合力小于其它的金屬層12i與壓電體層11之間的密合力。另外，在兩層高比率金屬層12j之間配置有多層其它的金屬層12i，在由該其它的金屬層12i組成的群組中，優選存在一種成分的濃度從高比率金屬層側起逐漸減少的傾斜濃度區域。另外，優選金屬層12具有多個空隙，還優選高比率金屬層12j由呈島狀分布的多個導體膜構成。另外，在本實施方式，設金屬層12j中的鈀的含量為M1(質量％)，設銀的含量為M2(質量％)時，優選以滿足下述關系，即0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分。第十實施方式的層疊型壓電元件的制造方法，除了在形成高比率金屬層12j的導電糊劑中配合銀粉末之外，只要與第九實施方式同樣即可。而上述之外的構成由于與在上面做了說明的第一第九實施方式一樣，因而說明從略。(第十一實施方式)下面，參照附圖來詳細說明本發明的層疊型壓電元件的第十一實施方式。圖16是表示本實施方式的層疊型壓電元件的層疊構造的局部放大剖面圖。在圖16上，對于與上述的圖1圖15的構成相同或者同等的部分添加同樣的符號而省略說明。本實施方式的層疊型壓電元件中，其具有交互層疊多個壓電體層11和多個金屬層12的層疊體13，多個金屬層12由主成分不同的兩種金屬層12k及121構成，其中金屬層121在夾著多層其它金屬層12k的狀態下配置有多層。可通過金屬層的組成自如地改變其軟度(硬度)。就本實施方式而言，由于通過以上述的形式來配置主成分不同的兩種金屬層12k及121，可在局部配置軟度不同的金屬層，因而可分散施加于元件的應力。因此，通過抑制因應力集中造成的元件變形的壓抑，不僅可增大元件整體的位移，而且可抑制因元件的變形造成的應力集中，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，也可抑制層疊部分的剝離。具體而言，就是優選金屬層121以銀鈀合金為主成分，其它的金屬層12k以銅為主成分。通過形成這樣的形態，不僅可在氮氣環境等還原環境下燒成構成層疊型壓電元件13，而且由于銀和鈀都是全率固溶的金屬，因而可在金屬層單面上不是形成不穩定的金屬間化合物而是能夠形成具有應力緩和效果的柔軟的金屬層。特別是通過使夾持多層其它的金屬層12k的金屬層121以銀鈀合金為主成分，在燒成層疊型壓電元件時，陶瓷的液相成分中固溶有銀，進而有可能降低液相形成溫度進行燒成。由此，可加強金屬層12與壓電體層11之間的相互結合力。再者，通過進行合金化，就有可能形成抗遷移性比單元素強的金屬層，進而可制作具有耐久性的層疊型壓電元件。另外，由于金屬層121主要由銀構成，其他的金屬層12k主要由銅構成，因而進一步提高了應力緩和效果。在夾持壓電體層11并主要由銀構成的金屬層121相鄰的情況下，雖然有時由于銀的遷移而產生絕緣不良，但在本實施方式的情況下，由于主要由銀構成的金屬層121的隔壁的金屬層是由銅構成的金屬層12k，因而由于即使銀發生遷移也會與銅結合而消滅游離的銀離子使其穩定，所以不會發生因遷移造成的絕緣不良，進而可制作耐久性高的層疊型壓電元件。另外，基于與第九實施方式一樣的原因，優選有規則地配置多層de金屬層121，再者，優選金屬層121與壓電體層11之間的密合力小于其它的金屬層12k與壓電體層ll之間的密合力。另外，在兩層金屬層121之間配置有多層其它的金屬層12k，在由該其它的金屬層12k組成的群組中，優選存在一種成分的濃度從金屬層121側起逐漸減少的傾斜濃度區域。另外，優選金屬層12具有多個空隙。特別是，優選在其它的金屬層12k設置空隙，與該金屬層的截面的總截面面積相對的空隙所占的面積比為570%。這是由于，相對于金屬層12k的面積，若使空隙占570%，則可提高位移量，進而可得到位移量優良的層疊型壓電元件的緣故。若金屬層12k的空隙率小于5%，則在施加電場使壓電體層11發生形變時，由于受到金屬層束縛，抑制壓電體層11的位移，減小層疊型壓電元件的變形量，進而也使產生的內部應力變大，因而對耐久性帶來不利影響。另一方面，若金屬層12k的空隙率大于70%，則由于電極部分產生極細的部分，因而有可能降低金屬層自身的強度、使金屬層易于發生裂縫，直至發生斷路等，故而極不理想。另外，空隙率優選770%，更優選1060%。這樣，由于可使壓電體層ll平穩地變形，同時，使金屬層12具有充分的導電性，因此，可增大層疊型壓電元件的位移量。另外，優選與金屬層121的截面的總截面面積相對的空隙所占的面積比為2490%。這是因為，相對于金屬層121的面積，若使空隙占2490%，則可進一步提高位移量，進而可得到位移量優良的層疊型壓電元件的緣故。另外，若金屬層12主要由金屬與空隙構成，則由于不論金屬還是空隙都能對應力發生變形，因而可形成耐久性更高的層疊型壓電元件。特別是，若比率比金屬層12k高的金屬層121主要由金屬與空隙構成，則由于不論金屬還是空隙都能對應力發生變形，因而可提高應力緩和效果，進而可形成耐久性更高的層疊型壓電元件。另外，優選金屬層121是分布有多個金屬的形態。S卩，優選金屬層121的多個導體區域呈島形分布而構成。由于金屬層121是分布有多個導體區域的形態，因而即使層疊型壓電元件13的應力施加于金屬層12，也可抑制在金屬層121內的應力傳播，即使在金屬層121內也不會產生應力特別集中的部位。由此，可兼得應力緩和與耐久性。另外，在本實施方式中，設金屬層121中的鈀的含量為M1(質量％)，設銀的含量為M2(質量％)時，優選以滿足下述關系，即0《M1《15、85《M2《100、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分。這是由于，若鈀超過15質量％，則使電阻率變大，在連續驅動層疊型壓電元件的情況下，由于使金屬層12發熱，使該熱量作用于具有溫度依賴性的壓電體層11而降低位移特性，因而有時會降低層疊型壓電元件的位移量的緣故。另外，在形成外部電極15時，雖然使外部電極15與金屬層12相互擴散而粘接，但若鈀超過15質量％，則外部電極15中擴散有金屬成分的部位的硬度變高，因此，對于在驅動時發生尺寸變化的層疊型壓電元件而言，可能耐久性會降低。第十一實施方式的層疊型壓電元件的制造方法中，除了在形成其它的金屬層12k的導電糊劑中配合銅粉末之外，只要與第九實施方式同樣即可。而為了提高外部電極15與金屬層12之間的粘接強度，作為構成外部電極15的金屬優選使用以銅為主成分的金屬糊劑。為了構成外部電極15，而通過不論銀電極還是銅電極一起在氮氣環境等還原環境中進行燒成，可抑制金屬層12的氧化，進而可形成耐久性高的金屬層12。另外，就上述第十一實施方式而言，對于多個金屬層由主成分不同的兩種金屬層構成情況進行了說明，而就本發明而言，多層的金屬層由主成分不同的至少兩種以上的金屬層構成，只要其中的一種金屬層以夾著多層其它的金屬層的狀態配置有多層，就可得到本發明的效果。即，通過使加在壓電元件的應力集中于金屬成分不同的金屬層近旁，再以金屬層周邊的壓電體層作應力緩和層包圍匯集的應力，就可將匯集的應力關在金屬組成高的兩層金屬層之間。由此，可緩和加在元件整體的應力。其結果是，可提供一種耐久性優良的、高可靠性的壓電驅動器。(第十二實施方式)下面，來說明本發明的層疊型壓電元件的第十二實施方式。現有的層疊型壓電元件以在所有的壓電體上均勻地施加電場的形式試圖形成均勻的金屬層。特別是為了或者使各金屬層的導電率變得均勻，或者使與壓電體接觸的部分的表面積變得均勻而嘗試使金屬層的金屬充填率變得均勻。因此，與位移相伴的應力將集中在層疊型壓電元件的層疊方向的中央部位的外周，從而產生裂縫等問題。特別是就同時燒成型的層疊型壓電元件及約束壓電體外周的至少一部分類型的層疊型壓電元件而言，在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，產生下述問題的擔憂更高，即，應力集中于元件中央部的外周，或者發生裂縫，或者造成剝離，使位移量發生變化。本發明者們發現下述新的事實，從而完成了本發明，即，通過配置多層電阻比在相鄰的兩側的金屬層高的高電阻金屬層，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動，也不會使位移量發生變化，進而可得到耐久性優良的層疊型壓電元件。艮P，本實施方式的層疊型壓電元件具有下述的構成。(1)一種層疊型壓電元件，將壓電體層和多層金屬層交互層疊多層而成，其特征在于，上述多層的金屬層包含多層電阻比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層高的高電阻金屬層。(2)如上述(1)所述的層疊型壓電元件，其中，上述多層的高電阻金屬層夾著多層該高電阻金屬層之外的其它的金屬層分別配置。(3)如上述(1)或者(2)所述的層疊型壓電元件，其中，上述高電阻金屬層有規則地配置。(4)如上述(1)(3)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，上述高電阻金屬層的內部的空襲度比上述其它的金屬層中的空隙率大。(5)如上述(1)(3)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，上述高電阻金屬層包含電阻比上述其它的金屬層高的高電阻成分，該高電阻成分的含有率比上述其它的金屬層中的高電阻成分的含有率高。(6)如上述(1)(5)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，上述高電阻金屬層的厚度比上述其它的金屬層薄。(7)如上述(1)(6)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，與上述高電阻金屬層的上述壓電體層相對的電阻之比為1/101000倍。(8)如上述(1)(7)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，上述高電阻金屬層的電阻是其它的金屬層的電阻的1000倍以上。根據本實施方式，多層的金屬層包含多層電阻比在相鄰方向的兩側的金屬層高的高電阻金屬層。由此，通過配置多層高電阻金屬層，就減小了與該高電阻金屬層接觸的壓電體層的位移。由于在層疊型壓電元件內存在多層這樣的位移小的壓電體層，因而由于可使因位移產生的應力的分布分散，因而可抑制裂縫的發生，即使產生裂縫也可抑制其發展。因此，由于即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況，也可抑制使所希望的位移量發生變化，因而可提供一種耐久性優良、可靠性高的層疊型壓電元件。另外，通過使用本實施方式的層疊型壓電元件，可提供一種耐久性優良、可靠性高的噴射裝置。即該噴射裝置通常是在具有噴射孔的收納容器內部收納有上述(1)(8)任一項所述的層疊型壓電元件。下面，參照附圖來詳細說明本實施方式的層疊型壓電元件。圖18是表示與本實施方式的層疊型壓電元件的壓電體層接觸的金屬層的層疊構造的示意剖面圖。在圖18上，對于與上述的圖1圖17的構成相同或者同等的部分添加同樣的符號而省略說明。如圖18所示，就本實施方式的層疊型壓電元件而言，多層的金屬層12包含多層電阻比相鄰的兩側的金屬層高的高電阻金屬層12m，這些高電阻金屬層12m夾著多層該高電阻金屬層12m以外的其它的金屬層12n配置。即，多層的金屬層12由多層金屬層12n和電阻比該金屬層12n高的多層高電阻金屬層12m構成。現有的層疊型壓電元件中，由于以在所有的壓電體層11上均勻地施加電場的形式來形成基本均勻的金屬層，因而為了在驅動時元件自身連續發生尺寸變化，而夾著金屬層12密合地驅動所有的壓電體層11。因此，因元件的變形產生的應力集中在壓縮時寬拉伸時窄的元件中央部的外周，在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，會產生下述問題，即，或者層疊部分(壓電體層與金屬層的界面)被剝離，或者產生裂縫。另一方面，如本實施方式，由于通過配置多層高電阻金屬層12m，來分散因位移產生的應力，因而即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動時，由于也可抑制裂縫的產生、減小位移量的變化，所以可謀求耐久性的提高。與高電阻金屬層12m接觸的壓電體層11的位移量變得比與其它的金屬層12n接觸的壓電體層ll還小。因此，不是使元件作為整體發生驅動變形，而是成為使被高電阻金屬層12m隔開的多個區域分別發生驅動變形的狀態。由此，過去集中于元件中央部的應力，在本實施方式的元件中被分散到多個的每一個區域，因而即使在高電壓、高壓力下也可得到優良的耐久性。另外，比如即使或者局部剝離層疊部分，或者發生裂縫，也可利用位移小的壓電體11的部分來抑制裂縫的發展。根據上述原因推斷，可提高耐久性、形成可靠性高的元件。雖然高電阻金屬層12m的層數越多越可分散應力、提高耐久性，但由于若高電阻金屬層12m的層數過多則有減小位移量的趨勢，因而優選其層數為所有壓電體層11總數的20%以下。優選高電阻金屬層12m在層疊型壓電元件的層疊方向有規則地配置。通過使高電阻金屬層12m與高電阻金屬層12m之間包含多層其它的金屬層12n，多層的高電阻金屬層12m在層疊方向大致有規則地配置，與位移相伴隨的應力的發生將基本均勻地分散在分別被高電阻金屬層12m所隔開的部分。這樣，通過有計劃地進行應力的分散，抑制了裂縫的發生。運轉時的位移量的變化得以抑制，提高了耐久性。在此，本實施方式的所謂的"有規則地配置高電阻金屬層"，是包含下述情況的概念，即，包含存在于高電阻金屬層12m之間的其它金屬層12n的層數在所有的高電阻金屬層12m之間都是一樣的情況，和以使應力基本均勻地分散在層疊方向的程度，使存在于高電阻金屬層12m之間的其它金屬層12n的層數相近的情況。具體而言，就是存在于高電阻金屬層12m之間的其它的金屬層12n的層數，優選相對于各層數的平均值為±20%的范圍內，更優選相對于各層數的平均值為±10%的范圍內，最優選為層數相同。優選高電阻金屬層12m的內部的空隙率比其它的金屬層12n內的空隙率大。通過使高電阻金屬層12m的空隙率比其它的金屬層12n的空隙都大，進而使與高電阻金屬層12m接觸得壓電體層11的位移量變得比兩主面與其它的金屬層12n接觸的壓電體層11的位移量小。由此，在被該位移量小的壓電體層11分割的區域，變得比層疊型壓電元件整體的位移量小，進而可抑制產生于層疊型壓電元件的外周的裂縫，提高耐久性。另外，由于通過提高空隙率可吸收應力，由此進一步提高了耐久性。優選高電阻金屬層12m的空隙率(孔率)為40%99%，更優選50%卯％。這是由于，若空隙率小于40%，則不能提高金屬層的電阻，有可能使與其接觸的壓電體層11的位移量不能變得足夠小的緣故。另一方面，若空隙率大于99%,則有可能降低高電阻金屬層12m的強度繼而破壞高電阻金屬層12m的緣故。按照在上面作了說明的方法，空隙率(孔率)在沿著平行于層疊方向的面或者垂直于層疊方向的面切斷層疊型壓電元件的剖面來測量。通過在一層高電阻金屬層的截面上，測量空隙的截面面積，使其除以高電阻金屬層12m的截面面積的總面積在乘以100倍而求得。空隙的直徑并無特別限制，但優選310(^m，更優選570pm。優選高電阻金屬層12m包含電阻比其它的金屬層12n高的高電阻成份，高電阻成分的含量比其它的金屬層12n中的高電阻成份的含量高。由此，通過在高電阻金屬層12m加入更多的高電阻成分，實際上即使減少空隙的量也可形成電阻高的金屬層。即使通過配置多層這樣形成的高電阻金屬層12m，也可使位移的變化量變得更小。高電阻成分的直徑并無特別限制，但優選0.1100pm，更優選0.150jam。優選高電阻成分的含量為40%99%，更優選50%90%。而高電阻成分的含量可通過下述方法求得，即，拍攝平行于高電阻金屬層12的面的SEM照片，測量占據該面的高電阻成分的面積，再除以總面積后乘以100倍。作為上述高電阻成分，例如可列舉鋯酸鈦酸鉛(PZT)、鈦酸鉛、氧化鋁、二氧化鈦、氮化硅、二氧化硅等。優選高電阻金屬層12m的厚度比其它的金屬層12n的厚度薄。這是由于，由于高電阻金屬層12m的厚度比其它的金屬層12n的厚度薄，因而比其它的金屬層12n更易于發生變形，進而可減輕產生于與高電阻金屬層相鄰的壓電體層11的應力，繼而可提高耐久性。另外，在將高電阻金屬層的厚度做得比其它的金屬層薄時，由于金屬層易于變形、吸收應力、難以剝離，因而提高了耐久性。在此，本實施方式中的所謂的金屬層的厚度根據沿層疊方向切斷層疊型壓電元件的面來測量。選擇其它的金屬層的任意的五個部位，用任意兩條平行的直線夾持來測量厚度。即，將兩條平行線的一條置于金屬層和壓電體層的界限上，使另一條線在另一個界限上移動，來測量兩條平行線之間的距離。用同樣的方法測量高電阻金屬層12m確定金屬層的厚度。高電阻金屬層12m的厚度不受特別限制，但優選300.1nm，更優選20lpm。另外，其它的金屬層12n的厚度，相對于高電阻金屬層優選為103%以上，更優選為110%以上。另外，優選高電阻金屬層12m與壓電體層11相對的電阻之比為1/10(即O.l)1000倍。由于在這樣的范圍內，因而可適度調整與高電阻金屬層12接觸的壓電體層11的位移量。若高電阻金屬層12m與壓電體層11相對的電阻之比小于1/10，則與高電阻金屬層12m接觸的壓電體層11的位移量就不能變成其它的壓電體層11的位移量，有可能得不到充分的分散應力的效果。另外，若高電阻金屬層12m與壓電體層ll相對的電阻之比為IOOO倍以上，則與高電阻金屬層12m接觸的壓電體層11的位移量變得過小，反倒易于接受應力的集中。另外，基于同樣的理由，優選高電阻金屬層12m與壓電體層11相對的電阻之比為11000倍。需要說明的是，本實施方式的電阻(Q)可用皮可安培計在各層將探針置于高電阻金屬層12m的兩端或者壓電體層11的兩端來測量(例如匕二一^:y卜八。:y力一K公司制造4140B等)。在此，所謂的"高電阻金屬層12m的兩端"是指在層疊體13中的相對的兩個側面上露出的高電阻金屬層12m的端部。在高電阻金屬層12m的端部未從層疊體13的側面露出的情況下，也可以用現有的研磨裝置等進行研磨直至高電阻金屬層12m的端部露出。然后，將皮可安培計的探頭分別置于高電阻金屬層12m的兩端來測量電阻。測量此時的電阻時的溫度最好在25'C。另外，優選高電阻金屬層12m的電阻為其它的金屬層12n的電阻的IOOO倍以上。由此，與其它的金屬層12n接觸的壓電體層ll相比較，與高電阻金屬層12m接觸的壓電體層11的位移量變小，利用高電阻金屬層12m，分開了層疊型壓電元件，使應力分散，提高了耐久性。下面，說明本實施方式的層疊型壓電元件的制造方法。首先，制作作為壓電體層11的陶瓷印制電路基板。然后，使構成銀一鈀等高電阻金屬層12m的金屬粉末包含干燥時粘接固定、燒成時揮發的有機物(例如丙烯酸顆粒等)，并添加粘合劑及可塑劑等進行混合，制作導電性糊劑，通過絲網印刷等將其在上述印制電路基板中的一部分印制電路基板的上面印刷成l40pm的厚度。在此，通過改變丙烯酸顆粒和金屬粉末的比例，可使高電阻金屬層的空隙率發生變化。即，若丙烯酸多則空隙率變高，若丙烯酸少則空隙率變小。空隙的直徑可通過改變顆粒的直徑來調整。另外，通過下述工序，艮P，在丙烯酸顆粒等內添加粘合劑及可塑劑等進行混合來制作丙烯酸顆粒糊劑，在構成銀一鈀等高電阻金屬層的金屬粉末中添加粘合劑及可塑劑等進行混合制作大導電性糊劑，通過絲網印刷等將丙烯酸顆粒糊劑和導電性糊劑層疊印刷在上述印制電路基板中的一部分印制電路基板的上面，使批量生產性優良的印刷成為可能。作為上述有機物，可列舉與在上面做了說明的第一第四實施方式的層疊型壓電元件的制造方法中所例示的相同的有機物。另外，通過對上述銀一鈀等金屬層進行加熱處理，使表面暫且氧化，就易于控制高電阻金屬層12m的空隙率。另外，也可以在上述銀一鈀等金屬層中添加PZT、鈦酸鉛、氧化鋁等高電阻成分。利用絲網印刷等，在形成有高電阻金屬層12m的印制電路基板以外的其余印制電路基板上，印刷用于形成其它的金屬層12n的導電性糊劑。在該高電性糊劑中也可以根據需要添加丙烯酸顆粒等有機物及高電阻成分。接著，層疊多層印刷有導電性糊劑的各印制電路基板，得到層疊體，在對該層疊體加載壓重石的狀態下用規定的溫度進行脫粘合劑處理，之后，為了可在高電阻金屬層12A上形成空隙，通過在不加載壓重石時用900120(TC溫度進行燒成，制作成層疊體13。另外，非活性層14也可以與上述第一第十一實施方式同樣的方法來形成。然后，使用與上述第一第十一實施方式同樣的方法形成外部電極15。接著，使形成有外部電極15的層疊體13與上述第一第十一實施方式同樣的方法，在層疊體13的槽內部充填硅酮橡膠，并將硅酮橡膠涂敷于層疊體13的側面。之后，通過使充填于槽內部及涂敷于層疊體13的側面的上述硅酮橡膠硬化，得到本實施方式的層疊型壓電元件。最后，通過在外部電極15上連接引線，經由該引線對一對外部電極15施加0.13kV/mm的直流電壓，對層疊體13進行極化處理，就得到使用了本實施方式的層疊型壓電元件的壓電驅動器，若將引線連接于外部的電壓供給部，經由引線及外部電極15對金屬層12施加電壓，則各壓電體層因逆壓電效果而發生大的位移，由此，例如作為向發動機噴射供給燃料的汽車用燃料噴射閥而發揮功能。另外，上述以外的構成由于與在上面做了說明的第一第十一實施方式同樣，所以省略說明。(第十三實施方式)下面，說明本發明的層疊型壓電元件的第十三實施方式。本實施方式的層疊型壓電元件由下述構成組成。(1)一種層疊型壓電元件，具有將壓電體層和多層金屬層交互層疊多層而成的層疊體，其特征在于，上述多層金屬層中的至少一層由配置于上述壓電體層之間的多個局部金屬層構成。(2)如上述(1)所述的層疊型壓電元件，其中，上述層疊體的側面形成有與上述多層金屬層連接的一對外部電極。(3)如上述(1)或者(2)所述的層疊型壓電元件，其中，上述多個局部金屬層的一部分，該金屬層的厚度方向的兩端連接于相鄰的兩側的壓電體層，上述多個局部金屬層的剩余部分，只有該局部金屬層的厚度方向的一端連接于壓電體層。(4)如上述(1)(3)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，具備多層由上述局部金屬層構成的金屬層。(5)如上述(4)所述的層疊型壓電元件，其中，由上述局部金屬層構成的多層金屬層夾著多層壓電體層分別配置。(6)如上述(4)或者(5)所述的層疊型壓電元件，其中，由上述局部金屬層構成的多層金屬層有規則地配置。(7)如上述(1)(6)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，上述局部金屬層越靠近與該金屬散布層相鄰的壓電體層寬度逐漸變小或者逐漸變大。(8)如上述(1)(7)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，上述局部金屬層由銀或者鈀或者它們的合金構成。(9)如上述(1)(8)任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在相鄰的上述局部金屬層之間存在空隙。根據本實施方式，由于多個金屬層中的至少一層由配置于壓電體層之間的多個局部金屬層構成，因而有該局部金屬層構成的金屬層可在壓電體層位移時吸收因其位移產生的應力。另外，由于存在由該局部金屬層構成的金屬層，因而由于是該金屬層周邊的壓電體層的自由度變大，進而可使這些壓電體層的位移變大。由此，不僅可緩和因應力集中造成的元件變形的壓抑、增大元件整體的位移，而且由于可抑制因元件變形引起的應力的集中，因而可得到大的位移量，抑制共振現象，即使在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況下，也可抑制位移量的變化，得到耐久性優良的層疊型壓電元件。另外，多個局部金屬層的一部分，其該局部金屬層的厚度方向的兩端連接于鄰接的兩側的壓電體層，在多個局部金屬層的剩余部分，只有該局部金屬層的厚度方向的一端連接于壓電體層時，可進一步提高壓電體層位移時緩和產生于厚度方向的應力的效果。另外，在局部金屬層越靠近與該局部金屬層相鄰的壓電體層寬度逐漸變小或逐漸變大時，可抑制局部金屬層的輪廓成為銳角，進而可抑制與該銳角部分產生的元件變形相伴隨的應力集中。因此，即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況，也可提供一種耐久性優良、可靠性高的噴射裝置。即，該噴射裝置一般是在具有噴射孔的收納容器內部收納有上述(1)(9)任一項所述的層疊型壓電元件。上述噴射裝置的特征在于，具備具有噴射孔的容器、上述(1)(9)任一項所述的層疊型壓電元件，其構成為，充填于上述容器內的液體通過上述層疊型壓電元件的驅動從上述噴射孔噴出。下面，參照附圖來詳細說明本實施方式的層疊型壓電元件。圖19(a)是表示本實施方式的層疊型壓電元件的立體圖，圖19(b)是表示圖19中的壓電體層和金屬層的層疊狀態的局部立體圖。在圖19上，對于與上述的圖1圖18的構成相同或者同等的部分添加相同的符號，而省略說明。如圖19(a)、(b)所示，本實施方式的層疊型壓電元件具有交互層疊有多層壓電體層11和多層金屬層12(12o、12p)而成的層疊體13，在該層疊體的相對的側面配置有一對外部電極15(其中的一個外部電極未圖示)。各金屬層12并未形成于壓電體層11的整個主面，而是形成所謂的局部電極構造。該局部電極構造的多個金屬層12以在層疊體13的相對的側面每隔一層分別露出的形式配置。由此，金屬層12每隔一層與一對外部電極15電連接。在此，如圖19(a)、(b)所示，本實施方式的層疊型壓電元件，多個金屬層12中的至少一層是配置于壓電體層11之間的有多個局部金屬層12q構成的金屬層12p，由于至少存在一層這樣的金屬層12p，因而不僅可提高層疊型壓電元件整體的位移，而且可提高層疊型壓電元件的耐久性。即，如現有的層疊型壓電元件，若為了對所有的壓電體均勻地施加電場，而使所有的金屬層形成基本均勻，則在驅動時元件自身將連續發生尺寸變化。因此，所有的壓電體層夾著金屬層粘接，驅動時，層疊型壓電元件作為整體發生驅動變形。因此，就使因元件變形而產生的應力易于集中在壓縮時變寬、拉伸時變窄的元件中央部位的外周。特別是，具有使應力集中在發生壓電位移的活性層和不發生壓電位移的廢活性層的分界上的趨勢。另外，還存在下述問題，即，或者產生各壓電體層的位移舉動相一致的共振現象進而產生節拍聲，或者因產生驅動頻率的整數倍的高頻信號而形成噪聲成分。與此相對，就本實施方式的層疊型壓電元件而言，通過將金屬層12的至少一層形成金屬層12p,可使金屬層12p周邊的壓電體層的位移變小，使金屬層12o周邊的壓電體層11的位移變大，使位移大的部位和小的部位分散于元件內。通過將這樣的金屬層配置于元件內，可使施加于元件的應力分散。由此，通過緩和因應力集中造成的元件變形的壓抑，不僅可提高元件整體的位移，而且可抑制因元件的變形造成的應力的集中，即使是在高電壓、高壓力下長時間連續驅動的情況，也可發揮優良的耐久性。優選構成金屬層12p的多層局部金屬層12q大致均勻地配置于壓電體層之間。在將多層局部金屬層12q大致均勻地配置于壓電體層之間時，不會使與元件變形相伴隨的應力集中于一部分，而是在元件的整個截面區域以金屬層12p作為壓電體層的應力緩和層發揮作用。就本實施方式而言，在層疊體13中存在有多層金屬層12p。各金屬層12p夾著多層壓電體層11及多層金屬層12o配置，且在層疊體13的厚度方向有規則地配置。由于多層壓電體層11中發生驅動變形的是被金屬層12o夾持的層，因而通過在金屬層12中夾著數片壓電體層11的部位形成有金屬層12p，由于在確保元件的位移量的幅度的同時，還可抑制在使元件的尺寸變化即位移相一致時所發生的共振現象，因而可防止產生節拍聲。另外，由于可防止高頻信號的發生，因而可抑制控制信號的噪聲。另外，由于通過改變金屬層12的厚度可控制壓電體層11的位移大小，因而可不必改變壓電體層11的厚度而形成批量生產性高效的構造。在本實施方式中，優選構成金屬層12p的多個局部金屬層12q的一部分，其該局部金屬層12q的厚度方向的兩端與鄰接的兩側的壓電體層11相接，構成金屬層12p的多層局部金屬層12q的剩余部分，只有該局部金屬層12q的厚度方向的一端與壓電體層11相接。對金屬層12p所要求的功能之一是增大層疊型元件驅動時的位移。因此，構成金屬層12p的多層局部金屬層12q，其厚度方向的兩端或者一端需要與鄰接的兩側的壓電體層11相接。構成金屬層12p的多層局部金屬層12q中的厚度方向的兩端，并未同時與鄰接的兩側的壓電體層11相接的情況下，由于不能得到充分的與鄰接的壓電體層11相接的彈性功能，因而有時得不到充分的增大層疊型壓電元件驅動時的位移的效果。另外，優選在相鄰的壓電體層11的附近區域，構成金屬層12p的多層局部金屬層12q，越靠近該壓電體層寬度越窄或者越寬。在此，對金屬層12p所要求的另一個功能，是緩和壓電體層驅動、位移時所產生的應力。為了得到該功能，在層疊型壓電元件發生驅動變形時，緩和壓電體11和金屬層的街面上所產生的應力使其不至于集中在一點。就本實施方式而言，由于進一步提高了該應力緩和功能，因而使構成金屬層12p的多層局部金屬層12q的輪廓，特別是在相鄰的壓電體層11的附近區域，越靠近該壓電體層寬度逐漸變小或逐漸變大，以抑制應力集中于一點。由此，與金屬層12p相接的壓電體層11不會集中應力，因而可增加位移量，在保持元件的驅動位移的同時，可避免元件的應力集中于一點，進而可提供一種位移量大且耐久性優良、高可靠性的壓電驅動器。另外，優選在金屬層12p中相鄰的多個局部金屬層12q之間存在有空隙。這是由于，若金屬層12p內存在有金屬成分以外的絕緣物質，則在驅動時，有時在壓電體11上產生不能施加電壓的部分進而不能使壓電位移充分大，還易于使驅動時的應力集中。另一方面，若構成局部金屬層12p的多個局部金屬層12q之間存在有空隙，則應力加在金屬部分時，可通過具有空隙部分使局部金屬層12p發生變形以分散緩和應力。另外，在與金屬層12p相接的壓電體層11發生壓電位移時，通過具有空隙的部分局部夾緊壓電體層ll，在整個面上，使束縛壓電體層11的力比夾緊時變小，因而易于使壓電體層11發生位移進而可增加位移量。由此，可得到元件的位移更大且耐久性高的層疊型壓電元件。另外，在本實施方式中，優選構成金屬層12p的金屬為銀或者鈀或者銀鈀的化合物。這是由于這些金屬具有高的耐熱性，因而能夠對燒成溫度高的壓電體層11和金屬層12同時進行燒成。因此，由于可在燒成溫度比壓電體11的燒成溫度低的低溫進行制作，因而可抑制壓電體層11和外部電極11之間的劇烈的相互擴散。下面，來說明第十三實施方式的層疊型壓電元件的制造方法。首先，與第一第十二實施方式一樣，制作了作為壓電體11的陶瓷印制電路基板。然后，在構成銀一鈀等金屬層12的金屬粉末中添加混合粘合劑及可塑劑等制作了導電性糊劑，利用絲網印刷等將其在各印制電路基板的上面印刷成140pm的厚度。在此，可改變粘合劑及可塑劑與金屬粉末的比例、改變絲網的網眼度數、改變形成絲網的圖案的保護膜厚度，以改變金屬層12的厚度及金屬層中的空隙等。接著，層疊多層印刷有導電性糊劑的印制電路基板，在加載壓重石的狀態下用規定的溫度對該層疊體進行脫粘合劑，之后，以使金屬層的厚度可產生差別的形式，在不加載壓重石時通過用卯0120(TC進行燒成制作成層疊體B。另外，只要用與上述第一第十二實施方式同樣的方法形成非活性層14即可。然后，在層疊型壓電元件的側面交互形成端部露出的金屬層12和端部未露出的金屬層12(12o或者12p)，在端部位露出的金屬層12和外部電極15之間的壓電體部分形成槽，在該槽內形成遷移率比壓電體層11低的樹脂或者橡膠等絕緣體。在此，上述槽用內部劃線裝置等形成于層疊體13的側面。然后，與第一第十二實施方式一樣形成外部電極15。接著使形成有外部電極15的層疊體13與第一第十二實施方式一樣，將硅酮橡膠充填到層疊體13的槽內部，再將硅酮橡膠涂敷于層疊體13的側面。然后，通過使充填于槽內部及涂敷于層疊體13的側面的上述硅酮橡膠硬化，得到本實施方式的層疊型壓電元件。最后，將引線連接于外部電極15，通過該引線對一對外部電極15施加0.13kV/mm的直流電壓，對層疊體13進行計劃處理，由此，得到了使用了本實施方式的層疊型壓電元件的壓電驅動器。另外，由于上述之外的構成與上述說明過的第一第十二實施方式是一樣的，因此省略說明。(噴射裝置)下面，參照附圖來詳細說明具備有上述作過說明的本發明的層疊型壓電元件的噴射裝置之一實施方式進行說明。圖20是表示本實施方式的噴射裝置的示意剖面圖。如圖20所示，本實施方式的噴射裝置，在一端具有噴射孔33的收納容器31的內部，收納有壓電驅動器43，該壓電驅動器43具備有代表上述實施方式的本發明的層疊型壓電元件。具體而言，就是在收容容器31內部配置有可開關噴射孔33的針型閥35。在噴射孔33上配置有根據針型閥35的動作可連通的燃料通道37。該燃料通道37與外部的燃料供給源連接，燃料通常是用規定的高壓提供給燃料通道37。因此，針型閥35的構成為，若開啟噴射孔33，則提供給燃料通道37的燃料在規定的高壓下噴射到未圖示的內燃機的燃料室內。針型閥35的上端部的內經變大，配置有形成于收納容器31的氣缸39和可滑動的活塞41，而且在收納容器31內收納有具備上述的層疊向壓電元件的壓電驅動器43。就這樣的噴射裝置而言其構成為，若施加電壓而使壓電驅動器43伸長，則活塞41被擠壓，使針型閥35關閉噴射孔33，停止燃料的供給；另外，老停止施加電壓，則使壓電驅動器43收縮，碟形彈簧45將活塞41推回去，使噴射孔33與燃料通道33連通后進行燃料的噴射。上面，只是展示了本發明的一實施方式，但本發明并非僅局限于上述的實施方式。例如就上述實施方式而言，只是說明了將層疊型壓電元件應用于噴射裝置的情況，但本發明并非僅局限于此，例如可應用于搭載于汽車發動機的燃料噴射裝置、噴墨等液體噴射裝置、光學裝置等精密定位裝置及防震裝置等的驅動元件，或者搭載于燃燒壓力傳感器、爆燃傳感器、加速度傳感器、載重傳感器、超聲波傳感器、壓敏傳感器、偏航速率傳感器等的傳感器元件，以及搭載于壓電陀螺儀、壓電接線器、壓電變壓器、壓電斷路器等的電路元件。另外，即使在上述之外，只要是使用壓電特性的元件都可實施。下面，列舉實施例來更為詳細地說明本發明，但本發明并非僅局限于下面的實施例。(實施例I一a)(壓電驅動器的制作)按照下述的形式，制作了由層疊型壓電元件構成的壓電驅動器。首先，將以平均粒徑為0.4pm的鋯鈦酸鉛(PbZr03—PbTi03)為主成分的壓電陶瓷的準燒成粉末、粘合劑及可塑劑進行混合制作糊劑，利用刮刀片法制作了數片形成為厚度150jLim的壓電體層ll的陶瓷印制電路基板。接著，在用絲網印刷法該陶瓷印制電路基板的單面上分別印刷了主金屬層12a、低充填金屬層12b及高充填金屬層12c。具體而言，主金屬層12a、低充填金屬層12b及高充填金屬層12c的印刷分別以下述的形式進行。'主金屬層12a:在銀一鈀合金(銀95質量％，鈀5質量％)中相對于銀一鈀合金100質量分按10質量分的比例加進平均粒徑0.2pm的丙烯酸顆粒，再將加入了粘合劑的導電性糊劑印刷在薄板單面上形成厚度3pm。M氐充填金屬層12b:將在銀一鈀合金(銀95質量％，鈀5質量％)中加進了粘合劑的導電性糊劑，印刷在薄板單面上形成厚度lpm，再將在平均粒徑1,的丙烯酸顆粒中加進了粘合劑的丙烯酸顆粒糊劑層疊印刷在其上面形成10pm厚度。另外，丙烯酸顆粒以相對于銀一鈀合金IOO質量分按5質量分的比例進行摻合。.高充填金屬層12c:將在銀一鈀合金(銀95質量％，鈀5質量％)中加進了粘合劑的導電性糊劑，印刷在薄板單面上形成厚度3pm。預先備好按上述方法印刷有各金屬層的薄板300片。預先備好與此有別的作為非活性層14的印制電路基板，以將它們自下開始按順序形成非活性層30層、層疊體300層、非活性層30層的形式進行層疊，得到層疊成型體。另外，在進行層疊時按表1所示的組合進行了層疊。表1中的詳情如下。金屬層12a的層數比例是與總金屬層數相對的主金屬層12a的層數的比例(％)低充填金屬層12b、高充填金屬層12c的相對配置低充填金屬層12b與高充填金屬層12c是不是夾著至少一層壓電體層11相對配置，金屬層12a按金屬充填率高的順序層疊是否是在層疊方向，按照低充填金屬層12b、高充填金屬層12c、主金屬層12a的順序其間分別夾著壓電體層11配置，而且主金屬層12a自高充填金屬層12c側其按金屬充填率高的順序進行層疊另外，在表1中的"有無低充填金屬層12b"—欄所填寫的各數值，表示低充填金屬層12b配置于層疊體的層疊方向的第幾層。同理，在表l中的"有高充填金屬層12c"—欄所填寫的各數值，表示高充填金屬層12c配置于層疊體的層疊方向的第幾層。對該層疊成型體進行擠壓之后，進行脫脂、燒成。燒成在用80(TC保持2個小時之后，再用IOO(TC、2小時燒成，得到層疊體13。對于該層疊體13，測量各金屬層12a12c的金屬充填率的結果如下。主金屬層12a中的金屬充填率Xl:70%M氐充填金屬層12b中的金屬充填率Yh45%高充填金屬層12c中的金屬充填率Zl:85%然后，在平均粒徑2pm的片狀銀粉末和剩余部分為以平均粒徑2pm的硅為主成分的軟化點64(TC的非晶質的玻璃粉末的混合物中，相對于銀粉末和玻璃粉末的總合質量100質量分，添加粘合劑8質量分，使其充分混合制作了銀玻璃導電性糊劑。接著，利用絲網印刷使該銀玻璃導電性糊劑形成于起模薄膜上，干燥后，從起模薄膜剝離，得到了銀剝離導電性糊劑的薄片。將該銀玻璃糊劑的薄片復制于層疊體13的外部電極15面上進行層疊，用70(TC進行39分鐘燒成，形成外部電極15后得到層疊型壓電元件。另外，片狀的粉末的平均粒徑一般按下述方法測量。即，使用掃描型電子顯微鏡(SEM)拍攝粉末的照片，在該照片上拉上直線，測量50個粒子和直線相交的長度，取其平均值作為平均粒徑。在由上面得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加15分鐘3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖l所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表l中的樣品No.I—l9)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓的位置，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器都進行了連續驅動試驗。評價方法如下所述，同時，其結果如表l所示。(連續驅動試驗的評價方法)將各壓電驅動器置于室溫下，用150Hz的頻率施加0+170V的交流電壓進行了連續驅動達1乂109次的試驗。具體而言，就是試驗按各樣品100個為一組進行。位移量用光學式非接觸微量位移計來測量。所謂初始狀態的位移量是指第一次驅動時的位移量。使用金屬顯微鏡、SEM等觀察連續驅動后的層疊部，以觀察有無脫層。再者，評價了有無產生高頻成分的噪聲及在lkHz下有無發生節拍聲。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage77</column></row><table>從表1表明，比較例樣品N0.I—9，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層(層間剝離)，同時，產生了節拍聲。與此相對，本發明的樣品No.1—18，即使在連續驅動了1X1()S次后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可以說能夠制作具有優良的耐久性的壓電驅動器。特別可知將應力緩和層(低充填金屬層12b)和應力集中層(高充填金屬層12c)夾著壓電體層11彼此相鄰地配置的樣品No.1—3、4，不僅可提高元件的位移量，而且可制作出位移量穩定的層疊型壓電驅動器。再者，夾著壓電體層夾持著應力緩和層的樣品No.I—58，由于不僅使元件的位移量變得最大，而且元件的位移量幾乎不變，耐久性極佳，因而可制作出元件位移量穩定的壓電驅動器。(實施例No.I—b)將上述實施例No.I—a中的樣品No.I—8的壓電驅動器的金屬層12的組成(Y1/X1及Z1/X1)改變為如表2所示的形式，得到了各壓電驅動器(表2中的樣品Na1—1015)。另外，作為比較例，對實施例No.I—a中的樣品No.I—9的壓電驅動器也作了記載(表2中的樣品No.I—15)。在對得到的層疊型壓電元件施加170V的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。另外，樣品No.I—15的壓電驅動器由于所有的金屬層的充填率都設定為約70%，因而在表中記為乂1=70%、￥1=70%、Zl=70%，充填率的比率記為Y1/X1=1、Z1/X1=1。對于在上面得到的各壓電驅動器(表2中的樣品No.I—1015)，與上述實施例No.I—a—樣進行了連續驅動試驗。其結果如表2所示。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage78</column></row><table>1)標記表示本發明之外的樣品。從表2表明，Y1/X1大于0.9、Z1/X1小于1.05的樣品No.1—15，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層(層間剝離)，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，由于樣品No.1—1014，Y1/X1為0.10.9的范圍，Z1/X1為1.052的范圍，因而不僅使元件的位移量變得最大，而且元件的位移量幾乎不變，耐久性極佳，所以可制作出元件位移量穩定的壓電驅動器。特別是由于樣品No.1—12、13，Y1/X1為0.50.8的范圍，Z1/X1為1.11.2的范圍，因此可制成具有優良的元件位移的層疊型驅動器。(實施例No.I—c)將上述實施例No.I—a中的樣品No.I—8的壓電驅動器的金屬層12的組成改變為如表3所示的形式，得到了各壓電驅動器(表3中的樣品No.I—1633)。在對得到的層疊型壓電元件施加170V的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例No.I—a—樣進行了連續驅動試驗，將初始狀態的位移量和連續驅動后的位移量代入式[l一(連續驅動后的位移量/初始狀態的位移量)]XIOO，計算出位移量變化率(％)。其結果如表3所示。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage79</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage80</column></row><table>從表3表明，由于比較例樣品No.I—32、33，金屬層12中的金屬組成物的810族金屬的含量超過15質量％，而11族金屬的含量不足85質量％，因而金屬層12的電阻率高，連續驅動層疊型壓電元件時發熱，降低了壓電驅動器的位移量。與此相對，由于樣品No.I—1628，在設金屬層12中的金屬組成物810族金屬的含量為Ml質量％，設lib族金屬的含量為M2質量％時，以滿足下述關系0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分，因而可降低金屬層12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在金屬層12所產生的發熱，因此，可制作出元件位移量穩定的層疊型驅動器。另外，由于也可降低樣品No.I—2931的金屬層12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在金屬層12所產生的發熱，因而也可制作出元件位移量穩定的層疊型驅動器。(實施例I一d)(壓電驅動器的制作)按照下述的方法制作了由層疊型壓電元件構成的壓電驅動器。首先，預先備好與上述實施例I一a相同的印刷有各金屬層的薄片30張。接著，預先備好有別于此的方法形成非活性層14的印制電路基板，將其自下開始按照順序非活性層5片、層疊體層30片、非活性層5片進行層疊，得到了層疊成型體。另外，在進行層疊時，按照表4所示的組合進行了層疊。表4中的詳情如下。"低充填金屬層12b、高充填金屬層12c的配置低充填金屬層12b與高充填金屬層12c是否為至少夾持一層壓電體層11相對配置對該層疊成型體進行擠壓之后，進行脫脂、燒成。燒成是在800'C保持2個小時，之后，再用IOO(TC、2小時燒成，得到層疊體13。對于該層疊體13，測量各金屬層12a12c的金屬充填率的結果如下。主金屬層12a中的金屬充填率Xl:70%*低充填金屬層1213中的金屬充填率￥1:45%高充填金屬層12c中的金屬充填率Z1:85%然后，與上述實施例I一a—樣，在層疊體13上形成外部電極15，得到層疊型壓電元件。接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加15分鐘3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖1所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表4中的樣品No.I—3437)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓的位置，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例I一a—樣，進行了連續驅動試驗。其結果如表4所示。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage81</column></row><table>1)"*"標記表示本發明的權利要求范圍之外的樣品。從表4表明，比較例樣品I一37，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層(層間剝離)，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，本發明的樣品No.1—3436，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可以說能夠制作出具有優良的耐久性的壓電驅動器。特別是表l表明，將應力緩和層(低充填金屬層12b)和應力集中層(高充填金屬層12c)夾著壓電體層11彼此相鄰地配置的樣品No.1—36，不僅可提高元件的位移量，而且可制作出位移量穩定的層疊型壓電驅動器°(實施例n—a)(壓電驅動器的制作)按照下述的方法制作了由層疊型壓電元件構成的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I一a相同的方法，制作了多片形成有厚度150,的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。接著，在該陶瓷印制電路基板的單面上，使用銀—鈀合金(銀95質量％，鈀5質量％)中加有粘合劑的導電性糊劑，利用絲網印刷分別印刷主金屬層12d、薄形金屬層12e及厚型金屬層12f。具體而言，主金屬層12d、薄型金屬層12e及厚型金屬層12f的印刷分別以下述的形式進行。主金屬層12d:以形成5pm的厚度的形式在保護膜厚度10pm的制版上進行印刷。*薄型金屬層12e:以形成lpm的厚度的形式在保護膜厚度2pm的制版上進行印刷。-厚型金屬層12c:以形成l(Him的厚度的形式在保護膜厚度20pm的制版上進行印刷。預先備好按上述方法印刷有各金屬層的薄板300片。預先備好與此有別的作為非活性層14的印制電路基板，以將它們自下開始按順序形成非活性層30層、層疊體300層、非活性層30層的形式進行層疊，得到層疊成型體。另外，在進行層疊時按表5所示的組合進行了層疊。表5中的詳情如下。金屬層12d的層數比例是與總金屬層數相對的主金屬層12a的層數的比例(％)薄型金屬層12e、厚型金屬層12f的相對配置薄型金屬層12e與厚型金屬層12f是不是夾著至少一層壓電體層11相對配置，薄形金屬層12e的兩側金屬層為厚型金屬層12f:相對于薄形金屬層12e在層疊方向相鄰的兩側的金屬層的厚度是否為厚型金屬層12f，金屬層12d按厚度大的順序層疊是否是在層疊方向，按照薄型金屬層12e、厚型金屬層12f、主金屬層12d的順序其間分別夾著壓電體層11配置，而且主金屬層12d按厚度大的順序進行層疊對該層疊成型體進行擠壓之后，進行脫脂、燒成。燒成在用SO(TC保持2個小時之后，再用IOO(TC、2小時燒成，得到層疊體13。對于該層疊體13，測量了各金屬層12d12f的金屬充填率，其結果如下。主金屬層12d的厚度X2:5pm薄型金屬層12e的厚度Y2:2pm厚型金屬層12f的厚度Z2:7pm然后，使用與上述實施例I一a相同的方法，在層疊體13上形成外部電極15后得到層疊型壓電元件。接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖1所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表5中的樣品No.II—19)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。評價對于在上面得到的各壓電驅動器，使用與上述實施例I一a—樣的方法，進行了連續驅動試驗。其結果如表5所示。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage84</column></row><table>1)標記表示本發明之外的樣品。從表5表明，比較例樣品No.II—9，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層(層間剝離)，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，本發明的樣品No.II—l8，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可以說能夠制作具有優良的耐久性的壓電驅動器。特別是可知將應力緩和層(薄型金屬層12e)和應力集中層(厚型金屬層12f)夾著壓電體層11彼此相鄰地配置的樣品No.II—3，不僅可提高元件的位移量，而且可制作出位移量穩定的層疊型壓電驅動器。再者，夾著壓電體層11夾持著應力緩和層的樣品No,II—48，由于不僅使元件的位移量變得最大，而且元件的位移量幾乎不變，耐久性極佳，因而可制作出元件位移量穩定的壓電驅動器。其中，在與非活性層的交界設置有緩和層(薄型金屬層12e)和應力集中層(厚型金屬層12f)的樣品No.II—6、7，其耐久性極佳。(實施例No.II—b)將上述實施例No.II—a中的樣品No.II—8的壓電驅動器的金屬層12的厚度之比(Y2/X2及Z2/X2)改變為如表6所示，得到了各壓電驅動器(表6中的樣品No.II—1014)。另外，作為比較例，對實施例No.11—a中的樣品No.II—9的壓電驅動器也作了記載(表6中的樣品No.II—15)。在對得到的層疊型壓電元件施加170V的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。另外，樣品No.II—15的壓電驅動器由于所有的金屬層都設定為約5nm，因而在表中記為X2-5pm、Y2=5|am、Z2=5pm，厚度的比率記為Y2/X2=l、Z2/X2=l。對于在上面得到的各壓電驅動器(表6中的樣品No.II—1015)，與上述實施例No.I—a—樣進行了連續驅動試驗，其結果如表6所示。表6<table>tableseeoriginaldocumentpage85</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>1)"*"標記表示本發明的權利要求之外的樣品。從表6表明，Y2/X2大于0.9、Z2/X2小于1.05的樣品No.II—15，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層(層間剝離)，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，由于樣品No.II—1014,Y2/X2為0.10.9的范圍，Z2/X2為1.052的范圍，因而不僅使元件的位移量變得最大，而且元件的位移量幾乎不變，耐久性極佳，所以可制作出元件位移量穩定的壓電驅動器。特別是由于樣品No.II—12、13，Y2/X2為0.50.8的范圍，Z2/X2為1.11.2的范圍，因此可制成具有優良的元件位移量的層疊型驅動器。(實施例No.II—c)將上述實施例No.II—a中的樣品No.II—8的壓電驅動器的金屬層12的材料組成改變為如表7所示，得到了各壓電驅動器(表7中的樣品No.II一1633)。在對得到的層疊型壓電元件施加170V的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例No.I—a—樣進行了連續驅動試驗，使用與實施例I一c一樣的方法計算了位移量變化率(％)，其結果如表7所示。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage87</column></row><table>從表7表明，由于樣品No.II—32、33，金屬層12中的金屬組成物的810族金屬的含量超過15質量％，而11族金屬的含量不足85質量％，因而金屬層12的電阻率高，連續驅動層疊型壓電元件時造成發熱，降低了壓電驅動器的位移量。與此相對，由于樣品No.II—1628，在設金屬層12中的金屬組成物810族金屬的含量為Ml質量％，設lib族金屬的含量為M2質量％時，以滿足下述關系0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分，因而可降低金屬層12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在金屬層12所產生的發熱，因此，可制作出元件位移量穩定的層疊型驅動器。另外，由于也可降低樣品No.I—2931的金屬層12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在金屬層12所產生的發熱，因而也可制作出元件位移量穩定的層疊型驅動器。(實施例n-d)(壓電驅動器的制作)按照下述的方法制作了由層疊型壓電元件構成的壓電驅動器。艮P，首先，預先備好印刷有與上述實施例II-a相同的各金屬層的薄板30張。接著，預先備好形成于此有別的非活性層14的印制電路基板，將它們自下開始按順序以形成非活性層5層、層疊體30層、非活性層5層的形式進行層疊，得到層疊成型體。另外，在進行層疊時，按照表8所示的組合進行了層疊，表8中的詳情如下。薄型金屬層12e、厚型金屬層12f的配置薄型金屬層12e與厚型金屬層12f是否至少夾著一層壓電體層11而相對配置對該層疊成型體進行擠壓之后，進行脫脂、燒成。燒成用80(TC保持2個小時，之后，再用IOO(TC、2小時燒成，得到層疊體13。對于該層疊體13，測量了各金屬層12d12f的金屬充填率，其結果如下。主金屬層12d的厚度X2:5jim薄型金屬層12e的厚度Y2:2pm厚型金屬層12f的厚度Z2:7pm然后，使用與上述實施例I一a相同的方法，在層疊體13上形成外部電極15后，得到層疊型壓電元件。接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖1所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表8中的樣品No.II—3437)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。評價對于在上面得到的各壓電驅動器，使用與上述實施例I一a—樣的方法，進行了連續驅動試驗。其結果如表8所示。表8<table>tableseeoriginaldocumentpage88</column></row><table>1)"*"標記表示本發明的權利要求范圍之外的樣品。從表8表明，比較例樣品No.II—37，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層(層間剝離)，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，本發明的樣品No.II—3436，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可以說能夠制作具有優良的耐久性的壓電驅動器。特別是表8表明，將應力緩和層(薄型金屬層12e)和應力集中層(厚型金屬層12f)夾著壓電體層11彼此相鄰地配置的樣品NoJI—36，不僅可提高元件的位移量，而且可制作出位移量穩定的層疊型壓電驅動器。(實施例III-a)(壓電驅動器的制作)按照下述方式制作了構成第九實施方式的層疊型壓電元件的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I一a相同的方法，制作了形成于厚度15(Him的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。接著，在該陶瓷印制電路基板的單面上，將使用絲網印刷形成有主要由銀一鈀構成的合金中加有粘合劑的導電性糊劑的薄片層疊300層，進行燒成得到層疊體13。燒成條件為S00。C、保持2個小時，之后，再用100(TC、2小時燒成。此時，在形成有高比率金屬層12h的部分，以達到如表9所示的組成的形式，用在銀一鈀合金中加有粘合劑的導電性糊劑進行印刷，形成3pm的厚度，并以形成于第50層、第100層、第150層、第200層、第250層的形式來配置高比率金屬層12h。然后，使用與上述實施例I一a相同的方法，在層疊體13上形成外部電極15，接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖l所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表9中的樣品No.III—16)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例I一a相同也進行了連續驅動試驗，其結果如表9所示。另外，如表9所示，高比率金屬層之外的其他金屬層12g，所有的層都是同一組成。表9<table>tableseeoriginaldocumentpage90</column></row><table>1)標記表示本發明之外的樣品。如表9所示，比較例樣品No.m—6，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，本發明的實施例樣品No.III—15，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可以說能夠制作具有優良的耐久性的壓電驅動器。(實施例m-b)(壓電驅動器的制作)按照下述方式制作了構成第十實施方式的層疊型壓電元件的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I一a相同的方法，制作了形成于厚度150pm的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。在該陶瓷印制電路基板的單面上，以達到表10的組成的形式，將使用絲網印刷法形成的在銀一鈀合金中加有粘合劑的導電性糊劑的薄板層疊300層，進行燒成，得到層疊體3。燒成條件為80(TC、保持后，再用100(TC燒成。此時，在形成有高比率金屬層12j的部分，用銀100%的導電性糊劑進行印刷，形成3pm的厚度，并以形成于第50層、第100層、第150層、第200層、第250層的形式來配置高比率金屬層12j。然后，使用與上述實施例I一a相同的方法，在層疊體13上形成外部電極15，接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖l所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表10中的樣品No.ni—712)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例I—a相同也進行了連續驅動試驗，其結果如表10所示。另外，如表10所示，高比率金屬層之外的其他金屬層，所有的層都是同一組成。<table>tableseeoriginaldocumentpage92</column></row><table>1)"*"標記表示本發明的權利要求之外的樣品如表10所示，比較例樣品No.m—12，施加在層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，本發明的實施例樣品No.III—711，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可制作具有優良的耐久性的壓電驅動器。(實施例m-c)(壓電驅動器的制作)按照下述方式制作了構成第十一實施方式的層疊型壓電元件的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I一a相同的方法，制作了形成于厚度150pm的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。在該陶瓷印制電路基板的單面上，將使用絲網印刷法形成有在銅粉末中加有粘合劑的導電性糊劑的薄片層疊300層，在氮氣環境中進行燒成得到層疊體3。燒成條件為80(TC、保持后，再用IOO(TC燒成。此時，在形成有金屬層121的部分，用達到如表11所示的組成的銀-鈀合金的導電性糊劑進行印刷，形成3pm的厚度，并以形成于第50層、第100層、第150層、第200層、第250層的形式來配置高比率金屬層121。然后，使用與上述實施例I—a相同的方法，在層疊體13上形成外部電極15，接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖l所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表11中的樣品No.III—1319)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例I一a相同也進行了連續驅動試驗，其結果如表ll所示。另外，如表11所示，主成分相同的金屬層其所有的層都是同一組成。表11<table>tableseeoriginaldocumentpage93</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage94</column></row><table>1)"*"標記表示本發明的權利要求之外的樣品。如表11所示，比較例樣品No.III—18、19，施加在該層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，本發明的實施例樣品No.III—1317，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可制作具有優良的耐久性的壓電驅動器。(實施例m-d)改變實施例III-a中的樣品No.III—5的壓電驅動器的金屬層12的組成，按照與實施例I一a—樣的方法計算了位移量變化率(％)。其結果如表12所示。表12<table>tableseeoriginaldocumentpage94</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage95</column></row><table>*111一3301000100因遷移而破損1)"*"標記表示本發明的權利要求之外的樣品。從表12表明，如樣品No.III—34，在將所有的金屬層12都做成銀100%的情況下，發生了銀的離子遷移，造成層疊型壓電元件因破損而不能連續驅動。另夕卜，樣品No.m—32、33，因其金屬層12中的金屬組成無中的鈀含量超過了15質量％，而銀的含量不足85質量％，因而由于金屬層12的電阻率大而在連續驅動層疊型壓電元件時造成發熱，進而降低了壓電驅動器的位移量。與此相對，由于樣品No.m—2031，在設金屬層12中的金屬組成物的810族金屬的含量為Ml質量％，設11族金屬的含量為M2質量％時，以滿足下述關系即0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2二100的金屬組成物為主成分，因而可降低金屬層12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在金屬層12所產生的發熱，從而可制作元件位移量穩定的層疊型驅動器。特別是對于樣品No.III—2527，在設金屬層12中的金屬組成物的810族金屬的含量為Ml質量％，設11族金屬的含量為M2質量％時，以滿足下述關系即2《M1《8、92《M2《98、Ml+M2=100的金屬組成物為主成分，因而可降低金屬層12的電阻率，即使連續驅動也可抑制在金屬層12所產生的發熱，從而可制作元件位移量一點也不變化的、極為穩定的層疊型驅動器。(實施例III-e)在表9所示的層疊型壓電元件中，每種樣品各取一個，將金屬層12的電極面以基本垂直于樣品片的長度方向的形式加工成3mmX4mmX36mm，用JISR1601的四點彎曲測量了彎曲強度。此時，通過確認哪一部分遭到破壞來特定層疊型壓電元件的粘合力弱的部位。艮P，若壓電體層11內遭到破壞，則表現為壓電體的強度弱，若金屬層12內遭到破壞則表現為金屬層12的強度弱，若壓電體層11與金屬層12的界面遭到破壞，則表現為壓電體層11與金屬層12的界面的強度弱。其結果如表13所示。另外，將使各個樣品作為驅動器發揮功能時的耐久性記入表9，而為了比較也記入表13。表13<table>tableseeoriginaldocumentpage96</column></row><table>1)"*"標記表示本發明之外的樣品。比較例樣品No.III—6在壓電體層11內遭到破壞。艮p，表示所有的壓電體層11和金屬層12都是高強度地粘接在一起的。由此，若作為驅動器連續驅動1X10"欠，則由于施加于界面的應力集中于一點，而使負荷增大進而產生剝離。與此相對，本發明的實施例樣品No.III—15，壓電體層11與高比率金屬層的界面受到破壞。即，表示高比率金屬層與壓電體層11的粘合力最弱。因此可認為，在施加了連續驅動時的應力時，使粘合力弱的高比率金屬層發生變性而發生應力緩和的現象，即使作為驅動器連續驅動ixio9次后也不發生剝離，從而具有優良的耐久性。(實施例m-f)在表9所示的層疊型壓電元件中，每種樣品各取一個，測量了金屬層部分的維氏硬度。在維氏硬度的測量時，使用了明石制造所制造的MVK一H3型微型維氏硬度測量計。在進行測量時，為了不受基底壓電體層ll的影響，而使用了自垂直于金屬層12的層疊方向向金屬層12壓進金剛石壓頭的方法。其結果如表14所示。另外，雖然將以各個樣品作為驅動器發揮了功能的情況下的耐久性記入表9，但為了對比也記入了表14。表14<table>tableseeoriginaldocumentpage97</column></row><table>1)"*"標記表示本發明之外的樣品。由于其所有的金屬層都是相同的構成，因而比較例樣品No.III—6都表現出一樣的硬度。即，表示所有的壓電體層11都粘接于相同硬度的金屬層。就該樣品No.III—6而言，若作為驅動器連續驅動1X10"欠，貝U由于施加于層疊界面的應力集中于一點，而使負荷增大進而產生了剝離。與此相對，本發明的實施例樣品No.in—l5的結果是，高比率金屬層的硬度比其它的金屬層低。即，表示高比率金屬層比其它的金屬層柔軟。因此可認為，在施加了連續驅動時的應力時，使柔軟的高比率金屬層發生變性而發生應力緩和的現象，即使作為驅動器連續驅動1X10"火后也不發生剝離，從而具有優良的耐久性。(實施例III-g)(壓電驅動器的制作)按照下述的方法制作了具備有具有傾斜濃度區域的層疊型壓電元件的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I一a相同的方法，制作了形成于厚度150pm的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。接著，將利用絲網印刷法形成有在銀一鈀合金(銀80質量％，鈀20質量％)中加有粘合劑的導電性糊劑的薄板層疊300片，進行燒成，得到層疊體3。燒成條件為80(TC、保持2個小時，之后，再用100(TC、2小時燒成。此時，在形成有高比率金屬層12h的部分，使用銀一鈀合金(銀85質量％、鈀15質量％)的導電性糊劑進行印刷，形成3nm的厚度，再如圖17所示，以使銀濃度自高比率金屬層12h側起逐漸減小的形式進行配置。以使高比率金屬層12形成于第50層、第100層、第150層、第200層、第250層的形式進行了配置。然后，使用與上述實施例I一a相同的方法，在層疊體13上形成外部電極15，接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖l所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例I一a相同也進行了連200680021047.X說明書第92/100頁續驅動試驗。另外，與上述實施例I一a相同計算了位移量變化率(％)。其結果如表15所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage99</column></row><table>1)"*"標記表示本發明之外的樣品。從該表15表明，比較例樣品No.III—37，施加在該層疊界面的應力集中于一點，因負載增加而產生脫層，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，結果表明，本發明的實施例樣品No.III—35、36各方面都優良。特別是樣品No.II:I—35與樣品No.ni—36不同，即使在連續驅動了1X10V火后也幾乎未降低元件位移量，而是具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量。因此，可制作具有極其優良的耐久性的壓電驅動器。(實施例IV)(壓電驅動器的制作)按照下述的方法制作了由第十二實施方式的層疊型壓電元件構成的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I—a相同的方法，制作了多個形成于厚度150(im的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。接著，在該陶瓷印制電路基板的單面上，利用絲網印刷法印刷上在銀一鈀合金(銀95質量％，鈀5質量％)中加有粘合劑的導電性糊劑。預先備好這樣印刷有導電性糊劑的薄板層疊300片。另外，預先備好用與此不同的方法形成有保護層的印制電路基板300片，以降氣自下開始形成保護層30層、層疊體層300層、保護層30層的形式進行層疊，之后，進行脫脂、燒成，得到層疊體13。燒成條件為80(TC、保持2個小時，之后，再用100(TC、2小時燒成。此時，在形成有其它的金屬層的部分，使用在銀一鈀合金(銀95質量％、鈀5質量％)中加有粘合劑的導電性糊劑，在燒成后進行印刷，形成5或者10,的厚度。另夕卜，根據情況，在上述導電性糊劑中添加0.2,的丙烯酸顆粒以在金屬層中形成空隙。另外，在形成有高電阻金屬層的部分，在對銀一鈀合金(銀95質量％、鈀5質量％)的表面進行了氧化處理的粒子中酌量添加平均粒徑0.2!Lim的丙烯酸顆粒，再在燒成后用加有粘合劑的導電性糊劑進行印刷，形成14pm的厚度。由此，形成了如表16所示的空隙率。另外，將層疊體13中的高電阻金屬層12m做成如表16所示的層數。另外，該高電阻金屬層12m的配置，除樣品No.IV—9之外都是有規則的。具體而言，就是高電阻金屬層的層數為一層的樣品No.IV—l，是將高電阻金屬層配置于自層疊體之上開始的第150層。另外，高電阻金屬層的層數為兩層的樣品No.IV—2，是將高電阻金屬層有規則地配置于自層疊體之上開始的第IOO、200層。高電阻金屬層的層數為五層的樣品No.IV—3，是從層疊體之上每50層規則地配置高電阻金屬層。高電阻金屬層的層數為14層的樣品每20層有規則地配置，高電阻金屬層的層數為59層的樣品每5層有規則地配置。再者，高電阻金屬層的層數為IO層的樣品，從層疊體制上開始按照26、27、28、28、28、28、28、27、27的間隔來有規則地配置高電阻金屬層。另外，層數39層的樣品，從層疊體制上開始以7、8、7、8的形式交互層疊有7層和8層的間隔，來有規則地配置高電阻金屬層。高電阻金屬層的層數為20的樣品，按照13、13、13、13、14、14、15、15、15、16、16、16、16、16、15、15、14、14、13、13、13的間隔來有規則地配置高電阻金屬層。在高電阻金屬層的層數為20的樣品中，高電阻金屬層的配置無規則的樣品No.IV一9，自層疊體之上開始按照5、5、25、25、15、10、20、20、10、10、10、10、10、20、20、10、15、25、25、5的間隔配置高電阻金屬層。也可以根據情況，預先在高電阻金屬層12m中加進PZT、鈦酸鉛、氧化鋁、二氧化鈦、氮化硅、二氧化硅等高電阻成分。然后，與上述實施例I一a—樣，使層疊體13形成有一對外部電極15。接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖18所示的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表16中的樣品No.IV—l32)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)將在上面得到的各壓電驅動器置于室溫下，用300Hz的頻率施加0+170V的交流電壓，進行了連續驅動達2乂109次的試驗。試驗按各樣品100個為一組進行。試驗后，計算了直至破壞的樣品的比例，并以此作為試驗后的破壞率填入表16。另外，使用金屬顯微鏡、SEM等同時觀察了層疊部，數出了發生剝離的層的數目。再者，用初始的層疊型壓電元件的位移量除以初始的層疊型壓電元件的位移量和試驗后的層疊型壓電元件的位移量之差的絕對值，將得到的值乘以ioo作為在驅動試驗前后的位移量的變化率，填入表16。其結果如表16所示。表16<table>tableseeoriginaldocumentpage102</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage103</column></row><table>從表16看出，比較例樣品No.IV—1，由于層疊型壓電元件中的高電阻金屬層為一個，因而不能使應力順利分散，而且由于所產生的裂縫發展到整個元件，因此試驗后的破壞率高達10%。另外，在成疊體中的層發生剝離的層的數量高達100個之多。再者，在試驗前后的位移量的變化率高達20%，耐久性低。與此相對，本發明的實施例樣品序號IV—232，進行了連續驅動達2X109次后破壞率為3%以下，與比較例樣品No.IV—l相比較，在耐久性方面非常優秀。特別是有規則地配置了高電阻金屬層的樣品，例如樣品No.IV—6，與無規則配置的樣品No.IV—9相比較，由于沒有試驗后的破壞、在試驗前后的位移量的變化率小，因而耐久性優良。另外還可看出，有規則地配置20層高電阻金屬層，高電阻金屬層的空隙率比其它的金屬層高的樣品No.IV—1016，在驅動試驗前后位移量的變化率小到2.0%以下，作為層疊型壓電元件耐久性優良。而就設高電阻金屬層的空隙率為4099%的樣品No.IV—ll16而言，在驅動試驗前后位移量的變化率更是小到1.8%以下，表明耐久性優良。另外，就有規則地配置20層高電阻金屬層、使高電阻金屬層的高電阻金屬中的高電阻成分的含量比其它的金屬層中的高電阻成分的含量高的樣品No.IV—1726而言，可看出，既無受到破壞的樣品，在驅動前后位移量的變化率又明顯地小到0.40.9%以下，表明作為層疊型壓電元件耐久性優良。而作為高電阻成分使用了PZT、鈦酸鉛、氧化鋁、二氧化鈦的樣品，耐久性更為優良。再者，就已經確認有效的改變高電阻金屬層與其它的金屬層的厚度，使高電阻金屬層的厚度比其它的金屬層的厚度小的樣品No.IV—6、No.IV一2832而言，與高電阻金屬層的厚度比其它的金屬層的厚度大的樣品No.IV—27相比較，在驅動前后的位移量的變化率小大1.6%以下，耐久性優良。再者，就將與高電阻金屬層的壓電體層相對的電阻之比控制在1/101000倍的樣品，及以示高電阻金屬層的電阻為其它的金屬層的電阻的IOOO倍以上的形式制作的樣品而言，無高電阻金屬層的剝離，表明耐久性優良。上述結果表明，收納有本實施方式的層疊型壓電元件的噴射裝置，不僅有效地進行噴射，而且耐久性優良，成為對地球環境親和的制品。(實施例V)(壓電驅動器的制作)按照下述方法制作了由第十三實施方式的層疊型壓電元件構成的壓電驅動器。首先，使用與上述實施例I一a相同的方法，制作了形成于厚度150pm的壓電體層11的陶瓷印制電路基板。在該陶瓷印制電路基板的單面上，層疊300張利用絲網印刷法形成有在銀一鈀合金(銀95質量％，鈀5質量%)中加有粘合劑的導電性糊劑的薄板，進行燒成，得到層疊體13。燒成條件為800。C、保持后，用IOO(TC燒成。此時，在形成有金屬層的部分，用保護層厚度20pm的制版以形成l(Him的厚度的形式進行印刷，在形成有局部金屬層的部分，用保護層厚度10,的制版以形成5,的厚度的形式進行印刷。以形成于第50層、第100層、第150層、第200層、第250層的形式來配置局部金屬層。將由局部金屬層構成的金屬層以如圖19(b)所示的形式做成配置有6個局部金屬層。然后，與上述實施例I一a—樣，在層疊體13上形成一對外部電極15。接著，在得到的層疊型壓電元件的外部電極15上連接引線，通過引線在正極與負極外部電極15上施加3kV/mm的直流電場15分鐘進行極化處理，制作出使用了如圖19所示的形式的層疊型壓電元件的壓電驅動器(表17中的樣品No.V—l6)。在得到的層疊型壓電元件上施加170v的直流電壓時，所有的壓電驅動器都在層疊方向得到了位移量。(評價)對于在上面得到的各壓電驅動器，與上述實施例I一a相同進行了連續驅動試驗。其結果如表17所示。表17<table>tableseeoriginaldocumentpage106</column></row><table>1)"*"標記表示本發明之外的樣品。表中的"〇"表示滿足上部所記載的條件，"X"表示不滿足上部所記載的條件。從表17表明，作為比較例的樣品No，V—6，施加在層疊界面的應力集中于一點，負載增加而產生剝離，同時，產生了節拍聲及噪聲。與此相對，作為本發明實施例的樣品No.V—l5，即使在連續驅動了1X10"欠后也未顯著降低元件位移量，具有作為壓電驅動器所必須的有效位移量，可制作不會發生誤動作的、具有優良的耐久性的壓電驅動器。特別是可以看出，隔著壓電體彼此相鄰地配置應力緩和層與應力集中層的樣品No.V—3，不僅可提高元件的位移量，而且可制作出元件位移量穩定的層疊型驅動器。另夕卜，隔著壓電體夾持應力緩和層的樣品No.V—4、^5，不僅可使元件的位移量變得最大，而且元件位移量幾乎不發生變化，耐久性極佳，因而可制作出元件位移量穩定的層疊型驅動器。權利要求1、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層低的低充填金屬層。2、如權利要求1所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述低充填金屬層夾著多層該低充填金屬層以外的其它的金屬層而分別配置。3、如權利要求1所述的層疊型壓電元件，其中，在層疊方向規則地配置有多個所述低充填金屬層。4、如權利要求1所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述金屬層包括多個構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層高的高充填金屬層。5、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層高的高充填金屬層。6、如權利要求5所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述高充填金屬層夾著多層該高充填金屬層以外的其它金屬層而分別配置。7、如權利要求5所述的層疊型壓電元件，其中，在層疊方向規則地配置有多個所述高充填金屬層。8、如權利要求5所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述金屬層包括多個構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層低的低充填金屬層。9、如權利要求4或者8所述的層疊型壓電元件，其中，相對于所述低充填金屬層在層疊方向相鄰的金屬層為所述高充填金屬層。10、如權利要求4或者8所述的層疊型壓電元件，其中，相對于所述低充填金屬層在層疊方向相鄰的兩側的金屬層為所述高充填金屬層。11、如權利要求48中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述高充填金屬層為金屬的充填率的峰值，從該高充填金屬層起在層疊方向上兩層以上的金屬層，具有金屬的充填率逐漸減少的傾斜區域。12、如權利要求14、8中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述低充填金屬層由在隔著間隙相互隔開的狀態下配置的多個局部金屬層構成。13、如權利要求18中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在多個所述金屬層中，將構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層低的金屬層作為低充填金屬層，將金屬的充填率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層高的金屬層作為高充填金屬層，將除去所述低充填金屬層及高充填金屬層之外的其它金屬層中的金屬的充填率定為XI，將所述低充填金屬層中的金屬的充填率定為Y1，此時的充填率之比Y1/X1在0.10.9的范圍內。14、如權利要求18中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在多個所述金屬層中，將構成該金屬層的金屬的充填率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層低的金屬層作為低充填金屬層，將金屬的充填率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層高的金屬層作為高充填金屬層，將除去所述低充填金屬層及高充填金屬層之外的其它金屬層中的金屬的充填率定為XI，將所述高充填金屬層中的金屬的充填率定為Zl，此時的充填率之比Z1/X1在1.052的范圍內。15、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與所述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層中的金屬的充填率比在層疊方向上相鄰的金屬層中的金屬的充填率低的低充填金屬層。16、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與所述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層中的金屬的充填率比在層疊方向相鄰的金屬層中的金屬的充填率高的高充填金屬層。17、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層薄的薄型金屬層。18、如權利要求17所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述薄型金屬層夾著多層厚度比該薄型金屬層厚的其它金屬層而分別配置。19、如權利要求17所述的層疊型壓電元件，其中，在層疊方向上規則地配置有多個所述薄型金屬層。20、如權利要求17所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層厚的厚型金屬層。21、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層厚的厚型金屬層。22、如權利要求21所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述厚型金屬層夾著多個厚度比該厚型金屬層薄的其它金屬層而分別配置。23、如權利要求21所述的層疊型壓電元件，其中，在層疊方向上規則地配置有多個所述厚型金屬層。24、如權利要求21所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述金屬層包括多個厚度比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層薄的薄型金屬層。25、如權利要求20或者24所述的層疊型壓電元件，其中，相對于所述薄型金屬層在層疊方向上相鄰的金屬層為所述厚型金屬層。26、如權利要求20或者24所述的層疊型壓電元件，其中，相對于所述薄型金屬層在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層為所述厚型金屬層。27、如權利要求2024中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在比較多個所述金屬層的厚度時，在所述厚型金屬層的厚度上具有峰值，并且從該厚型金屬層起在層疊方向上兩層以上的金屬層，具有厚度逐漸減少的傾斜區域。28、如權利要求1720、24中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述薄型金屬層由在隔著間隙相互隔開的狀態下配置的多個局部金屬層構成。29、如權利要求1724中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在多個所述金屬層中，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層薄的金屬層作為薄型金屬層，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層厚的金屬層作為厚型金屬層，將除去所述薄型金屬層及厚型金屬層之外的其它金屬層的厚度定為X2，將所述薄型金屬層的厚度定為Y2，此時的厚度之比Y2/X2在0.10.9的范圍內。30、如權利要求1724中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在多個所述金屬層中，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層薄的金屬層作為薄型金屬層，將厚度比在層疊方向相鄰的兩側的金屬層厚的金屬層作為厚型金屬層，將除去所述薄型金屬層及厚型金屬層之外的其它金屬層的厚度定為X2，將所述厚型金屬層的厚度定為Z2，此時的厚度之比Z2/X2在1.052的范圍內。31、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與所述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層的厚度比在層疊方向上相鄰的金屬層的厚度薄的薄型金屬層。32、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，在層疊方向的兩端形成有由壓電體構成的非活性層，與所述非活性層鄰接的金屬層是該金屬層的厚度比在層疊方向上相鄰的金屬層的厚度厚的厚型金屬層。33、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和以合金為主成分的金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括多個構成所述合金的一種成分的比率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層高的高比率金屬層。34、如權利要求33所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述高比率金屬層夾著多層該高比率金屬層之外的其它金屬層而分別配置。35、如權利要求33所述的層疊型壓電元件，其中，所述合金為形成全率固溶體的銀合金，所述一種成分為銀。36、如權利要求35所述的層疊型壓電元件，其中，所述合金是銀鈀O五o37、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括構成金屬層的至少一種成分的比率比在層疊方向上相鄰的兩側的金屬層高的高比率金屬層。38、如權利要求37所述的層疊型壓電元件，其中，多個所述高比率金屬層夾著多層該高比率金屬層之外的其它金屬層而分別配置。39、如權利要求38所述的層疊型壓電元件，其中，所述一種成分為銀，所述其他金屬層以形成全率固溶體的銀合金為主成分，所述高比率金屬層由銀構成。40、如權利要求39所述的層疊型壓電元件，其中，所述其它金屬層由銀鈀合金構成。41、如權利要求3340中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，規則地配置有多個所述高比率金屬層。42、如權利要求3340中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述高比率金屬層和所述壓電體層之間的密合力比高比率金屬層之外的其它金屬層和所述壓電體層之間的密合力低。43、如權利要求3340中的任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述高比率金屬層的維氏硬度比高比率金屬層之外的其它金屬層低。44、如權利要求3340中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，在兩個所述高比率金屬層之間配置有多個該高比率金屬層以外的其它金屬層，在由該其它金屬層構成的組中，存在所述一種成分的濃度從所述高比率金屬層側起逐漸減少的傾斜濃度區域。45、一種層疊型壓電元件，其交互層疊多個壓電體層和金屬層而成，其特征在于，多個所述金屬層包括主成分不同的至少兩種以上的金屬層，其中的一種金屬層以夾著多層其它金屬層的狀態配置有多個。46、如權利要求45所述的層疊型壓電元件，其中，所述一種金屬層以形成全率固溶體的銀合金為主成分，其他金屬層以銅為主成分。47、如權利要求46所述的層疊型壓電元件，其中，所述一種金屬層以銀鈀合金為主成分。48、如權利要求4547中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，規則地配置有多個所述一種金屬層。49、如權利要求4547中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述一種金屬層和所述壓電體層之間的密合力比所述其它金屬層和所述壓電體層之間的密合力低。50、如權利要求4547中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述一種金屬層的維氏硬度比所述其它金屬層低。51、如權利要求150中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述金屬層以從元素周期表第811族元素中選擇的金屬為主成分，將所述金屬層中的元素周期表第810族元素的含量定為M1(質量％)，將元素周期表第11族元素的含量定為M2(質量％)時，滿足如下關系0<M1《15、85《M2<100、Ml+M2二100。52、如權利要求51所述的層疊型壓電元件，其中，所述金屬層中的元素周期表第810族元素是從Ni、Pt、Pd、Rh、Ir、Ru及Os中選擇的至少一種，所述元素周期表第11族元素是從Cu、Ag及Au中選擇的至少一種。53、如權利要求150中任一項所述的層疊型壓電元件，其中，所述金屬層以Cu為主成分。54、一種噴射裝置，其具備具有噴射孔的容器；收納于該容器內的權利要求153中任一項所述的層疊型壓電元件，并且構成為通過驅動所述層疊型壓電元件而從所述噴射孔噴出充填于所述容器內的液體。全文摘要本發明提供一種層疊型壓電元件及噴射裝置，將壓電體層和金屬層交互層疊多個而成，其中，多個上述金屬層包括多層構成該金屬層的金屬的充填率比層疊方向相鄰的兩側的金屬層低的低充填層。在將壓電體層和金屬層交互層疊多個而成的層疊型壓電元件中，多個上述金屬層包括多個厚度比層疊方向相鄰的兩側的金屬層薄的薄型金屬層。在將壓電體層和以合金為主成分的金屬層交互層疊多個而成的層疊型壓電元件中，多個上述金屬層包括構成上述合金的一種成分的比率比層疊方向相鄰的兩側及金屬層高的高比率金屬層。文檔編號H02N2/00GK101238598SQ20068002104公開日2008年8月6日申請日期2006年6月15日優先權日2005年6月15日發明者中村成信,岡村健,寺園正喜,山元堅,川元智裕,鶴丸尚文申請人:京瓷株式會社