改善方阻均勻性的石英舟的制作方法
【專利摘要】一種改善方阻均勻性的石英舟，該石英舟包括兩個側板，側板上設置有套管，兩個側板之間通過槽棒連接，槽棒上沿其軸向對應于硅片間隔設置有槽齒；所述側板、槽棒、套管及槽齒上均開設有通孔，其中：所述側板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟內部設置，所述槽齒上通孔的兩端開口分別朝向兩側相鄰槽齒設置。本實用新型在石英舟實體材料部分增設通孔，增強了擴散爐管內反應氣體的流動性，硅片方阻均勻性因而得到改善。
【專利說明】
改善方阻均勻性的石英舟
技術領域
[0001]本實用新型涉及太陽能電池生產，尤其涉及一種改善方阻均勻性的石英舟。
【背景技術】
[0002]常規的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽電池中，晶體硅太陽電池是得到大范圍商業推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量，同時晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優異的電學性能和機械性能，因此，晶體硅太陽電池在光伏領域占據著重要的地位。
[0003]現有技術中，晶體硅太陽能電池的制備工藝主要包括:清洗、去損傷層、制絨、擴散制結、刻蝕、沉積減反射膜、印刷、燒結、電池片測試。其中，擴散制結是晶體硅太陽能電池生產過程中的一道核心工序。現有的擴散工序普遍采用高溫擴散爐進行擴散，即把硅片放置在爐管中，這需要使用石英舟。現有的石英舟包括兩個側板，兩側板上設置有套管，兩側板之間通過槽棒連接，槽棒上設置有用于定位硅片的槽齒。相比于舊的200片擴散石英舟，業界現今推廣的400片擴散石英舟硅片片與片之間間隙更小，不利于氣流流動，方阻均勻性也因此變差，從而影響到現場的方阻管控，對于電池片的電性能也會有負面影響。
【發明內容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種改善方阻均勻性的石英舟。
[0005]為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種改善方阻均勻性的石英舟，該石英舟包括兩個側板，側板上設置有套管，兩個側板之間通過槽棒連接，槽棒上沿其軸向對應于硅片間隔設置有槽齒；
[0006]所述側板、槽棒、套管及槽齒上均開設有通孔，其中:所述側板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟內部設置，所述槽齒上通孔的兩端開口分別朝向兩側相鄰槽齒設置。
[0007]上述方案中，所述側板、槽棒、套管及槽齒上的通孔的內徑依次遞減。
[0008]上述方案中，各側板上通孔在側板上均勻分布，通孔的總體積占該側板體積的10?50%。
[0009]上述方案中，各槽棒上通孔在槽棒上均勻分布，通孔的總體積占該槽棒體積的10?50%。
[0010]上述方案中，各套管上通孔在套管上均勻分布，通孔的總體積占該套管體積的10?50%。
[0011]上述方案中，各槽齒上通孔在槽齒上均勻分布，通孔的總體積占該槽齒體積的10?50%。
[0012]上述方案中，所述通孔為圓孔，所述側板、槽棒、套管及槽齒上通孔的內徑依次為1?6暈米、6?3暈米、3?I暈米、I?0.5暈米。
[0013]上述方案中，所述槽棒上通孔的軸線水平且垂直于槽棒的軸線布置。
[0014]上述方案中，所述槽齒上通孔的軸線水平且平行于槽棒的軸線布置。
[0015]上述方案中，所述通孔的截面形狀不限，除了圓孔以外，也可以是方孔、多邊形孔或者其他形狀的通孔。
[0016]由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點:
[0017]1.本實用新型在石英舟實體材料部分增設通孔，增強了擴散爐管內反應氣體的流動性，硅片方阻均勻性因而得到改善；
[0018]2.本實用新型大大減輕了重量，有利于現場的搬運等操作；
[0019]3.本實用新型結構簡單，只需在現有的石英舟上做加工即可。
【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型實施例一結構示意圖。
[0021]圖2為圖1的A-A向剖視圖。
[0022]圖3為圖1的B-B向剖視圖。
[0023]圖4為圖3的C處放大圖。
[0024]圖5為圖3的C處剖視放大圖。
[0025]其中:1、側板;2、套管;3、槽棒;4、槽齒;5、通孔。
【具體實施方式】
[0026]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
[0027]實施例一:
[0028]參見圖1?5所示，一種改善方阻均勻性的石英舟，該石英舟包括兩個側板I，側板I上設置有套管2，兩個側板I之間通過槽棒3連接，槽棒3上沿其軸向對應于硅片間隔設置有槽齒4;
[0029]所述側板1、槽棒3、套管2及槽齒4上均開設有通孔5，其中:所述側板1、槽棒3及套管2上的通孔5朝向石英舟內部設置，所述槽齒4上通孔5的兩端開口分別朝向兩側相鄰槽齒
4設置。
[0030]所述槽棒3上通孔5的軸線水平且垂直于槽棒3的軸線布置。
[0031 ]所述槽齒4上通孔5的軸線水平且平行于槽棒3的軸線布置。
[0032]所述側板I上通孔5的軸線水平且平行于槽棒3的軸線布置。
[0033]所述套管2上通孔5的軸線水平且平行于槽棒3的軸線布置。
[0034]所述側板1、槽棒3、套管2及槽齒4上的通孔5的內徑依次遞減。
[0035]各側板I上通孔5在側板I上均勻分布，通孔5的總體積占該側板I體積的40%。
[0036]各槽棒3上通孔5在槽棒3上均勻分布，通孔5的總體積占該槽棒3體積的30%。
[0037]各套管2上通孔5在套管2上均勻分布，通孔5的總體積占該套管2體積的25%。
[0038]各槽齒4上通孔5在槽齒4上均勻分布，通孔5的總體積占該槽齒4體積的20%。
[0039]所述通孔5為圓孔，所述側板1、槽棒3、套管2及槽齒4上通孔5的內徑依次為8毫米、5毫米、2毫米、0.8毫米。
[0040]所述通孔5的截面形狀不限，除了圓孔以外，也可以是方孔、多邊形孔或者其他形狀的通孔5。
【主權項】
1.一種改善方阻均勻性的石英舟，該石英舟包括兩個側板，側板上設置有套管，兩個側板之間通過槽棒連接，槽棒上沿其軸向對應于硅片間隔設置有槽齒;其特征在于: 所述側板、槽棒、套管及槽齒上均開設有通孔，其中:所述側板、槽棒及套管上的通孔朝向石英舟內部設置，所述槽齒上通孔的兩端開口分別朝向兩側相鄰槽齒設置。2.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:所述側板、槽棒、套管及槽齒上的通孔的內徑依次遞減。3.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:各側板上通孔在側板上均勻分布，通孔的總體積占該側板體積的10?50%。4.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:各槽棒上通孔在槽棒上均勻分布，通孔的總體積占該槽棒體積的10?50%。5.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:各套管上通孔在套管上均勻分布，通孔的總體積占該套管體積的10?50%。6.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:各槽齒上通孔在槽齒上均勻分布，通孔的總體積占該槽齒體積的10?50%。7.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:所述通孔為圓孔，所述側板、槽棒、套管及槽齒上通孔的內徑依次為10?6毫米、6?3毫米、3?I毫米、I?0.5毫米。8.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:所述槽棒上通孔的軸線水平且垂直于槽棒的軸線布置。9.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:所述槽齒上通孔的軸線水平且平行于槽棒的軸線布置。10.根據權利要求1所述的改善方阻均勻性的石英舟，其特征在于:所述通孔的截面為多邊形。
【文檔編號】H01L31/18GK205680665SQ201620599396
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月17日 公開號201620599396.0, CN 201620599396, CN 205680665 U, CN 205680665U, CN-U-205680665, CN201620599396, CN201620599396.0, CN205680665 U, CN205680665U
【發明人】徐義勝, 黃浩, 衡陽, 鄭旭然, 刑國強
【申請人】蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司