一種掩膜條固定結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種掩膜條固定結構，包括固定支架，所述固定支架相對的兩側設有固定夾，所述固定夾用于夾持掩膜條，所述固定支架的長度大于所述掩膜條的長度。本實用新型實施例提供的固定支架避免了運輸轉移過程中對掩膜條的損傷。
【專利說明】
一種掩膜條固定結構
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種掩膜條固定結構。
【背景技術】
[0002]OLED(Organic Light-Emitting D1de，有機發光二極管)顯示具有輕薄、低功耗、高對比度、高色域、可以實現柔性顯示等優點，是下一代顯示器的發展趨勢。高像素密度的OLED顯示面板的生產需要采用厚度很薄、熱膨脹系數小的精細金屬掩膜版(Fine MetalMask，簡稱FMM)來作為掩膜版。精細金屬掩膜模式是通過蒸鍍方式將OLED材料按照預定程序蒸鍍到低溫多晶娃(Low Temperature Poly-silicon;簡稱LTPS)背板上，利用精細金屬掩膜版上的圖形，形成紅綠藍器件。設計上必須考慮制作掩膜條及焊接時拉伸掩膜條的形變，設計緩沖區及不同拉伸系數的材料的選擇，像素尺寸一般為微米級，增加了掩膜條的制作難度。精細金屬掩膜是由框架及內部的掩膜條通過激光焊接技術組合而成的，焊接過程中框架的張力釋放會對掩膜條產生拉伸。
[0003]掩膜條屬于消耗品，而大多數OLED面板廠商不具備自主生產的能力，因此控制OLED的成本有利于降低OLED器件的生產成本。
[0004]現有技術中掩膜條的運輸時通過時多個掩膜條以紙相隔，放置在盒內運輸，運輸中若發生撞擊，掩膜條存在滑動可能甚至引起折痕，在進行來料質量檢測時，也可能由于設備間掩膜條的轉移或裝卸而引起掩膜條的變形，這些都會造成掩膜條的無法使用，增加成本。
【實用新型內容】
[0005](一)要解決的技術問題
[0006]本實用新型要解決的技術問題是解決現有技術中掩膜條運輸過程中容易造成損傷問題。
[0007](二)技術方案
[0008]為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種掩膜條固定結構，包括固定支架，所述固定支架相對的兩側設有固定夾，所述固定夾用于夾持掩膜條，所述固定支架的長度大于所述掩膜條的長度。
[0009]根據本實用新型，所述固定夾通過彈簧與所述固定支架連接。
[0010]根據本實用新型，所述固定夾包括第一夾板、第二夾板、轉軸及扭簧，所述第一夾板和第二夾板通過轉軸鉸接，所述扭簧套設于所述轉軸上，且所述扭簧的兩端分別抵持于所述第一夾板和第二夾板之間。
[0011]根據本實用新型，所述第一夾板和所述第二夾板的夾持端相對的內表面上均設有海綿層。
[0012]根據本實用新型，所述固定支架為矩形。
[0013]根據本實用新型，所述固定支架的長度可調節。
[0014]根據本實用新型，所述固定支架的每條長邊均包括第一桿段和第二桿段，所述第一桿段上間隔設有多個凹孔，所述第二桿段上對應地設有至少一個按壓凸起，所述按壓凸起與所述凹孔相配合。
[0015]根據本實用新型，所述固定支架的側邊上間隔設有多個固定夾。
[0016]根據本實用新型，所述固定支架采用不銹鋼制成。
[0017]根據本實用新型，所述固定支架采用PVC材質制成。
[0018](三)有益效果
[0019]本實用新型的上述技術方案與現有技術相比具有如下優點:本實用新型實施例提供的固定支架設有固定夾，運輸時采用固定夾夾持住掩膜條，由于固定支架的長度大于掩膜條的長度，固定支架對掩膜條本體起平展作用，避免了運輸轉移過程中對掩膜條的損傷，如出現折痕變形等，使用時還可以將固定支架固定在存儲物上，避免運輸過程中撞擊造成的滑動損傷。在進行來料質量檢測時，固定支架對掩膜條本體起到了平展的作用，可以不拆除固定支架直接進行檢測，提高了工作效率。
【附圖說明】
[0020]圖1是本實用新型實施例提供的掩膜條固定結構的的俯視圖；
[0021 ]圖2是本實用新型實施例提供的固定夾的結構示意圖；
[0022]圖3是本實用新型實施例提供的固定支架的結構示意圖。
[0023]圖中:1:固定支架；11:第一桿段；111:凹孔；12:第二桿段；121:按壓凸起;2:固定夾;21:第一夾板;22:第二夾板;23:轉軸;24:扭簧;25:海綿層;3:彈簧。
【具體實施方式】
[0024]為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0025]如圖1所示，本實用新型實施例提供的一種掩膜條固定結構，包括固定支架I，固定支架I相對的兩側設有固定夾2，固定夾3用于夾持掩膜條，固定支架I的長度大于掩膜條的長度。本實用新型實施例提供的固定支架I設有固定夾2，運輸時采用固定夾2夾持住掩膜條，由于固定支架I的長度大于掩膜條的長度，固定支架I對掩膜條本體起平展作用，避免了運輸轉移過程中對掩膜條的損傷，如出現折痕變形等，使用時還可以將固定支架I固定在存儲物上，避免運輸過程中撞擊造成的滑動損傷。在進行來料質量檢測時，固定支架I對掩膜條本體起到了平展的作用，可以不拆除固定支架I直接進行檢測，提高了工作效率。
[0026]進一步地，本實施例中固定夾2通過彈簧3與固定支架I連接。固定夾2與固定支架I之間設置彈簧3能夠對掩膜條有較好的展平效果。并且也增加了本實用新型提供的固定支架I的適用范圍，能夠應用于不同長度的掩膜條的運輸轉移，在掩膜條較短時可以通過拉長彈簧3實現固定夾2與掩膜條的固定。
[0027]進一步地，如圖2所示，本實施例中固定夾2包括第一夾板21、第二夾板22、轉軸23及扭簧24，第一夾板21和第二夾板22通過轉軸23鉸接，扭簧24套設于轉軸23上，且扭簧24的兩端分別抵持于第一夾板21和第二夾板22之間。具體地，本實施例中第一夾板21和第二夾板22的夾持端相對的內表面上均設有海綿層25，防止掩膜條的滑落以及避免夾持力對掩膜條造成損傷。尤其是在固定夾2通過彈簧3與固定支架I連接時，避免掩膜條的滑落。
[0028]進一步地，本實施例中的固定支架I為矩形。固定支架I設置為矩形，掩膜條位于矩形框內，能夠夠掩膜條起到周向的全范圍保護，避免掩膜條在運輸過程中的損傷。
[0029]進一步地，如圖3所示，本實施例中的固定支架I的長度可調節。固定支架I的長度可調節能夠進一步地提高其適用范圍，適用于更大尺寸范圍的掩膜條的固定以及運輸。具體地，本實施例中固定支架I的每條長邊均包括第一桿段11和第二桿段12，第一桿段11上間隔設有多個凹孔111，第二桿段12上對應地設有至少一個按壓凸起121，按壓凸起121與凹孔111相配合。通過調節不同凹孔111與按壓凸起121的配合可以方便地實現固定支架I長度的調節。當然，固定支架I的長度調節也可以采用其他的調節方式。
[0030]進一步地，本實施例中的固定支架I的側邊上間隔設有多個固定夾2。設置多個固定夾2可以使得掩膜條的受力較為均勻，避免掩膜條的變形。
[0031]進一步地，本實施例中固定支架I采用不銹鋼制成。固定支架I采用不銹鋼制成使用壽命長。具體地，本實施例中的固定支架I也可以采用聚氯乙稀(Polyvinyl chloride，簡稱PVC)材質制成，PVC材質的重量輕，便于掩膜條的運輸。
[0032]最后應說明的是:以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換;而這些修改或者替換，并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的精神和范圍。
【主權項】
1.一種掩膜條固定結構，其特征在于:包括固定支架，所述固定支架相對的兩側設有固定夾，所述固定夾用于夾持掩膜條，所述固定支架的長度大于所述掩膜條的長度。2.根據權利要求1所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定夾通過彈簧與所述固定支架連接。3.根據權利要求1所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定夾包括第一夾板、第二夾板、轉軸及扭簧，所述第一夾板和第二夾板通過轉軸鉸接，所述扭簧套設于所述轉軸上，且所述扭簧的兩端分別抵持于所述第一夾板和第二夾板之間。4.根據權利要求3所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述第一夾板和所述第二夾板的夾持端相對的內表面上均設有海綿層。5.根據權利要求1所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定支架為矩形。6.根據權利要求5所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定支架的長度可調節。7.根據權利要求6所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定支架的每條長邊均包括第一桿段和第二桿段，所述第一桿段上間隔設有多個凹孔，所述第二桿段上對應地設有至少一個按壓凸起，所述按壓凸起與所述凹孔相配合。8.根據權利要求1所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定支架的側邊上間隔設有多個固定夾。9.根據權利要求1所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定支架采用不銹鋼制成。10.根據權利要求1所述的掩膜條固定結構，其特征在于:所述固定支架采用PVC材質制成。
【文檔編號】H01L51/00GK205645892SQ201620504572
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月27日
【發明人】王彤, 黃俊杰, 尚躍東, 靳福江
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司, 京東方科技集團股份有限公司