一種石英舟托盤的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種石英舟托盤,包括:石英舟托盤主體,所述托盤主體底面向下延伸至少一對相對設置的凸耳,所述凸耳上設有通孔;滾輪組件,所述滾輪組件包含套設于滾軸上并與之形成轉動連接的滾輪,所述滾軸穿過所述通孔架設于所述凸耳上。本實用新型的石英舟托盤采用滾輪結構后,石英舟底部與石英管內管壁之間由滑動摩擦變為滾動摩擦,摩擦力小,使得安裝方便、省力;且滾輪結構與石英舟托盤主體可分開加工,降低加工難度。
【專利說明】
一種石英舟托盤
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種石英舟托盤,特別是一種安裝方便的石英舟托盤。
【背景技術】
[0002]太陽能電池作為新興的清結可再生能源,因其具有直接將太陽能轉換為電能,且壽命長、維護簡單等優點而備受矚目。在太陽能電池生產工藝中包括擴散工序,需將硅片置于擴散爐中完成,而石英管是硅片擴散爐膛中的重要部件。使用時,把硅片裝載在石英舟托盤上,石英舟托盤設于石英管內,石英管放置于擴散爐內。
[0003]現有的石英舟托盤下部采用與石英管壁配合的環形結構,安裝時石英舟托盤與石英管內管壁摩擦力大,安裝不便,且環形結構與石英舟托盤主體為一體,環形結構的底部弧度需與石英管內管壁相適應,精度要求較高,加工復雜。所以急需一種安裝方便、加工簡單的石英舟托盤結構。
【實用新型內容】
[0004]為了克服上述現有技術的不足,本實用新型提供了一種石英舟托盤,其特征在于,包括:托盤主體,所述托盤主體底面向下延伸至少一對相對設置的凸耳,所述凸耳上設有通孔;滾輪組件,所述滾輪組件包含套設于滾軸上并與之形成轉動連接的滾輪,所述滾軸穿過所述通孔架設于所述凸耳上。
[0005]在一較佳實施例中,所述托盤主體為長方形,其上表面形成有凹槽。
[0006]在一較佳實施例中,所述托盤主體四角均導圓角,所述凹槽為兩個圓形凹槽。
[0007]在一較佳實施例中,所述凸耳為兩對,且設置于所述托盤主體底面兩端。
[0008]在一較佳實施例中,所述托盤主體的表面為拋光面。
[0009]與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:采用滾輪結構后,石英舟底部與石英管內管壁之間由滑動摩擦變為滾動摩擦,摩擦力小,使得安裝方便、省力;且滾輪結構與石英舟托盤主體可分開加工,降低加工難度。
【附圖說明】
[0010]圖1為現有技術中石英舟托盤的結構示意圖;
[0011]圖2為本實用新型中石英舟托盤的結構示意圖;
[0012]圖3為本實用新型中石英舟托盤另一角度的結構示意圖。
[0013]其中:I’托盤主體;2’環形結構;I托盤主體;11凹槽;12凸耳;13通孔;21滾軸;22滾輪。
【具體實施方式】
[0014]在下文的細節描述中,組件符號會標示在隨附的圖示中成為其中的一部份,并且以可實行該實施例之特定范例描述方式來表示。這類實施例會說明足夠的細節俾使該領域的一般技藝人士得以具以實施。閱者須了解到本實用新型中亦可利用其他的實施例或是在不悖離所述實施例的前提下作出結構性、邏輯性、及電性上的改變。因此,下文之細節描述將不欲被視為是一種限定,反之,其中所包含的實施例將由權利要求范圍來加以界定。
[0015]圖1所示為現有技術中的石英舟托盤,包括石英舟托盤主體I’和環形結構2’,石英舟托盤主體I’與環形結構2’一體成型。環形結構2’的底面弧度與石英管內管壁相配合。
[0016]如圖2和圖3所示,本實用新型中的石英舟托盤,包括石英舟托盤主體I和滾輪組件。石英舟托盤主體I上表面形成有凹槽11,用以裝載硅片。石英舟托盤主體I的底面向下延伸形成凸耳12,在本實施例中,兩對相對設置的凸耳12分別位于長方形石英舟托盤主體I的兩端,每個凸耳12上設有通孔13。每根滾軸21上套設有兩個滾輪22,滾軸21與滾輪22之間轉動連接,滾軸21通過通孔13架設在一對相對設置的凸耳12之間。
[0017]使用時,將待加工的硅片放置于凹槽11之內,石英舟托盤置入石英管內部。由于本實用新型中的石英舟托盤設置了滾輪結構,可輕松地將石英舟托盤推入石英管內部。
[0018]以上所述僅為本實用新型的實施例,其并非用以限定本實用新型的專利保護范圍。任何熟習相像技藝者,在不脫離本實用新型的精神與范圍內,所作的更動及潤飾的等效替換,仍為本實用新型的專利保護范圍。
【主權項】
1.一種石英舟托盤,其特征在于,包括:托盤主體,所述托盤主體底面向下延伸至少一對相對設置的凸耳,所述凸耳上設有通 孔;滾輪組件,所述滾輪組件包含套設于滾軸上并與之形成轉動連接的滾輪,所述滾軸穿 過所述通孔架設于所述凸耳上。2.根據權利要求1所述的石英舟托盤,其特征在于:所述托盤主體為長方形,其上表面 形成有凹槽。3.根據權利要求2所述的石英舟托盤,其特征在于:所述托盤主體四角均導圓角,所述 凹槽為兩個圓形凹槽。4.根據權利要求2所述的石英舟托盤,其特征在于:所述凸耳為兩對,且設置于所述托 盤主體底面兩端。5.根據權利要求1所述的石英舟托盤,其特征在于:所述托盤主體的表面為拋光面。
【文檔編號】H01L21/673GK205609487SQ201620220064
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年3月22日
【發明人】沈根法, 宋偉宏
【申請人】湖州奧博石英科技有限公司