一種粉末狀材料專用等離子處理裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，包括真空艙體、電極、粉末瓶和傳動軸。通過磁流體密封裝置將傳動軸的一端伸入真空艙體內部，在所述傳動軸的一端連接安裝法蘭和粉末瓶裝卡系統，通過固定螺栓固定并一體化安裝法蘭和粉末平裝卡系統后，連接并固定粉末瓶；所述傳動軸的另一端與減速機和電機連接，使電機能夠帶動粉末瓶轉動，同時隨著粉末瓶的轉動，粉末或小顆粒產品在粉末瓶內翻滾，從而使粉末或小顆粒產品的表面輪流暴露出來處在等離子的轟擊之下，使得粉末或小顆粒樣品得到充分和均勻的處理。
【專利說明】
一種粉末狀材料專用等離子處理裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種等離子處理裝置，特別是涉及一種粉末狀材料專用等離子處理裝置。
【背景技術】
[0002]等離子表面處理是一種新興的高科技表面處理方法，通過處理可以使材料表面實現親水、疏水等特殊功能，以便大幅度增強表面的粘合、焊接、涂鍍或者是防水防腐蝕等能力。這一處理手段目前被廣泛地應用于電子、芯片、航空航天、兵器、汽車等領域，而且隨著科技的發展此技術的應用也越來越廣泛。
[0003]現有通常的等離子表面處理技術是，在真空艙體內，導入射頻或高頻電源，連接到并聯的、水平布置(或垂直)的一個或者數個電極板上。電極板之間有一定的間隙，可以在間隙處放入水平托盤，需要處理的樣品就放置在托盤上。進行處理時，樣品放入托盤并把托盤置入艙體，用真空栗把艙體內的真空度抽到0.1?0.6mbar左右，通入處理氣體并接通射頻電源。因為接入的射頻電源一般電壓在1000V至1600V之間，艙體內的電極板被接通射頻電源后會擊穿艙體內通入的處理氣體，將氣體分子電離產生等離子，電極板和艙體之間存在電位差，等離子在電位差的作用下從電極板向艙體或者接地的陰極運動，并轟擊放置在托盤上的樣品，從而使樣品得到處理。
[0004]但是這種常用的等離子處理設備結構對粉末或者小顆粒的材料處理是非常困難的，主要是三個因素:一、以目前的技術，材料必須放置在真空艙體中才能得到處理，但是因為粉末或小顆粒材料的單體質量都很輕，在抽真空時會隨著艙體內的空氣一起被抽走，造成真空栗內雜質的聚集從而損壞，同時樣品被真空栗抽走造成的材料損失也很大;二、在真空艙體內只有暴露在表面的材料才能得到處理;三、由于等離子處理的同時，材料表面被極度活化，處理同時伴隨產生熱量，堆放或層鋪在艙體內的材料會被輕度燒結并結塊，給材料的性能和處理帶來負面效果。
【發明內容】
[0005]為了解決以上問題，本實用新型采用了粉末瓶技術，該裝置不僅能夠使粉末或小顆粒材料得到均勻的等離子處理，還能夠有效的保護真空栗，同時防止粉末或小顆粒粘結在托盤或者容器表面。
[0006]為了達到上述目的，本實用新型實現所采用的的技術方案是:一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，包括真空艙體、電極、粉末瓶和傳動軸。
[0007]可選地，在傳統的等離子清洗機的基礎上，從所述真空艙體后部通一根傳動軸進入真空艙體內，所述傳動軸通過專用的磁流體密封裝置深入真空艙體內部。
[0008]可選地，所述傳動軸在真空艙體外的一端連接電機和減速機，所述電機的輸出軸連接減速機的輸入軸，所述減速機的輸出軸連接所述傳動軸而提供旋轉動力;所述傳動軸在真空艙體內的一端設有安裝法蘭和粉末瓶裝卡系統，所述安裝法蘭和粉末瓶裝卡系統通過固定螺栓固定，并連為一體。
[0009]可選地，所述粉末瓶設置在所述真空艙體的內部，其底部向內，卡接固定于所述粉末瓶裝卡系統，從而使粉末瓶為懸臂結構，電機啟動時，旋轉就會通過減速機-傳動軸-粉末瓶裝卡系統傳遞至粉末瓶，并以粉末瓶軸為中心旋轉。
[0010]可選地，所述粉末瓶轉速為0.1?lOOrpm。
[0011 ]可選地，所述粉末瓶可以從粉末瓶裝卡系統取下。
[0012]可選地，所述粉末瓶的瓶口向外，瓶口的直徑小于瓶身徑向尺寸，所述瓶口設置有能透氣的瓶蓋。
[0013]可選地，所述粉末瓶的形狀采用四方形或者六角形，以便在旋轉時粉末或小顆粒材料能夠隨著粉末瓶的轉動而翻動。
[0014]可選地，所述電極設置在所述真空艙體內部上端，固定在絕緣柱。
[0015]可選地，所述電極作為陽極，真空艙體作為陰極。
[0016]可選地，所述傳動軸的上側設置有真空栗接口，下側設置有高頻電源入口。
[0017]可選地，所述真空艙體的外部上端設置有處理氣體接口。
[0018]在進行等離子處理時，關閉真空艙門，真空艙體被抽真空至0.1?0.6mbar以達到等離子發生時所需要的真空度，啟動處理氣體輸入，并維持真空度保持穩定。啟動設定好了功率的射頻電源，這時與射頻電源連接的電極帶電，并電離處理氣體，產生等離子，等離子充滿整個真空艙體包括粉末瓶內部，并轟擊裸露在表面的粉末或小顆粒樣品。啟動電機，粉末瓶開始旋轉，粉末或小顆粒產品在粉末瓶內翻滾，裸露在表面的粉末或小顆粒產品被等離子轟擊并得到處理。為了保證粉末或小顆粒產品得到充分處理，粉末瓶內粉末或小顆粒產品裝入量不宜超過粉末瓶容積的30%，同時處理時間要足夠長，以使處理充分。達到處理時間后，關閉電機和射頻電源，粉末瓶停止旋轉。通入空氣以使真空艙體內的真空與大氣連通，使真空艙體內恢復常壓。打開艙門，將粉末瓶從粉末瓶裝卡系統上取下拿出，將處理后的粉末或小顆粒產品倒出，完成處理。
[0019]本實用新型的有益效果是:由于抽真空的口一般接在真空艙體的后部，而粉末瓶的開口向前，同時開口較小，這樣在抽真空時粉末或小顆粒就不會被真空栗抽走，又能夠使真空艙體和粉末瓶內得到需要的真空度;等離子處理開始時同時啟動電機旋轉，這樣粉末或小顆粒材料在粉末瓶內處于翻滾狀態，使得粉末或小顆粒材料都有暴露在等離子輝光之下的機會，粉末或小顆粒材料得到均勻處理，同時因為粉末瓶旋轉，粉末或小顆粒隨著粉末瓶旋轉而翻滾，粉末或小顆粒材料也不會板結；因為粉末不會被真空栗抽到粉末瓶外面，也就不會進入真空栗內部，從而保障了真空栗的順利使用;本實用新型的裝置同樣適用于其它真空設備，如真空鍍膜設備、真空干燥機、真空沉積設備、真空清洗機等;裝置使用的零件均可現成采購，易于實現。
【附圖說明】
[0020]圖1是本實用新型的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置的結構示意圖；
[0021 ]圖中:1、真空艙體(陰極)，2、電極(陽極)，3、粉末瓶，4、瓶蓋，5、傳動軸，6、粉末瓶裝卡系統，7、磁流體密封裝置，8、真空栗接口，9、絕緣柱，1、高頻電源入口，11、處理氣體接口，12、安裝法蘭。
【具體實施方式】
[0022]下面結合附圖對本實用新型進一步說明。
[0023]如圖1所述，一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，包括真空艙體1、電極2、粉末瓶
3、傳動軸5。
[0024]從所述真空艙體I后部通一根傳動軸5進入真空艙體I內，所述傳動軸I通過專用的磁流體密封裝置7伸入真空艙體I內部。
[0025]具體地，所述傳動軸5在真空艙體I外的一端連接電機和減速機，所述電機的輸出軸連接減速機的輸入軸，所述減速機的輸出軸連接所述傳動軸5而提供旋轉動力，所述傳動軸5在真空艙體I內的一端設有安裝法蘭12和粉末瓶裝卡系統6，所述安裝法蘭12和粉末瓶裝卡系統6通過固定螺栓固定，并連為一體。
[0026]所述粉末瓶3設置在所述真空艙體I的內部，其底部向內，卡接固定于所述粉末瓶裝卡系統6，從而使粉末瓶3為懸臂結構，電機啟動時，旋轉就會通過減速機-傳動軸5-粉末瓶裝卡系統6傳遞至粉末瓶3，并以粉末瓶3軸為中心旋轉。
[0027]所述粉末瓶3轉速為0.1?lOOrpm。
[0028]所述粉末瓶3可從粉末瓶裝卡系統6取下。
[0029]所述粉末瓶3的瓶口向外，瓶口的直徑小于瓶身徑向尺寸，所述瓶口設置有能透氣的瓶蓋4。
[0030]所述粉末瓶3的形狀采用四方形或者六角形，以便在旋轉時粉末或小顆粒材料能夠隨著粉末瓶3的轉動而翻動。
[0031 ]所述電極2設置在所述真空艙體I內部上端，固定在絕緣柱9。
[0032]所述電極2作為陽極，真空艙體I作為陰極。
[0033]所述傳動軸5的上側設置有真空栗接口8，下側設置有高頻電源入口 10。
[0034]所述真空艙體I的外部上端設置有處理氣體接口11。
[0035]在進行等離子處理時，關閉真空艙門，真空艙體I被抽真空至0.1?0.6mbar以達到等離子發生時所需要的真空度，啟動處理氣體輸入，并維持真空度保持穩定。啟動設定好了功率的射頻電源，這時與射頻電源連接的電極2帶電，并電離處理氣體，產生等離子，等離子充滿整個真空艙體I包括粉末瓶3內部，并轟擊裸露在表面的粉末或小顆粒樣品。啟動電機，粉末瓶3開始旋轉，粉末或小顆粒產品在粉末瓶3內翻滾，裸露在表面的粉末或小顆粒產品被等離子轟擊并得到處理。為了保證粉末或小顆粒產品得到充分處理，粉末瓶3內粉末或小顆粒產品裝入量不宜超過粉末瓶3容積的30%，同時處理時間要足夠長，以使處理充分。達到處理時間后，關閉電機和射頻電源，粉末瓶3停止旋轉。通入空氣以使真空艙體I內的真空與大氣連通，使真空艙體I內恢復常壓。打開艙門，將粉末瓶3從粉末瓶裝卡系統6上取下拿出，將處理后的粉末或小顆粒產品倒出，完成處理。
[0036]本實用新型的有益效果是:由于抽真空的口一般接在真空艙體的后部，而粉末瓶的開口向前，同時開口較小，這樣在抽真空時粉末或小顆粒就不會被真空栗抽走，又能夠使真空艙體和粉末瓶內得到需要的真空度;等離子處理開始時同時啟動電機旋轉，這樣粉末或小顆粒材料在粉末瓶內處于翻滾狀態，使得粉末或小顆粒材料都有暴露在等離子輝光之下的機會，粉末或小顆粒材料得到均勻處理，同時因為粉末瓶旋轉，粉末或小顆粒隨著粉末瓶旋轉而翻滾，粉末或小顆粒材料也不會板結；因為粉末不會被真空栗抽到粉末瓶外面，也就不會進入真空栗內部，從而保障了真空栗的順利使用；本實用新型的裝置同樣適用于其它真空設備，如真空鍍膜設備、真空干燥機、真空沉積設備、真空清洗機等;裝置使用的零件均可現成采購，易于實現。
[0037]以上結合附圖對本實用新型的實施方式進行了詳細說明，但本實用新型不限于上述實施方式，凡依據本實用新型申請專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應屬本實用新型的涵蓋范圍。
【主權項】
1.一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于:包括真空艙體(I)、電極(2)、粉末瓶(3)和傳動軸(5);所述傳動軸(5)—端通過專用的磁流體密封裝置(7)伸入真空艙體(1)內，伸入真空艙體(I)內部的一端設置有安裝法蘭(12)和粉末瓶裝卡系統(6);所述安裝法蘭(12)和粉末瓶裝卡系統(6)依靠固定螺栓固定并連為一體;所述粉末瓶(3)設置在所述真空艙體(I)內部，其底部向內，并卡接固定于所述粉末瓶裝卡系統(6)，使粉末瓶(3)為懸臂結構，所述粉末瓶(3)的瓶口向外。2.根據權利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述粉末瓶(3)的瓶口直徑小于瓶身徑向尺寸，瓶口設置有透氣型瓶蓋(4)。3.根據權利要求1或2所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述粉末瓶(3)為四方形或六角形，可從所述粉末瓶裝卡系統(6)取下。4.根據權利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述傳動軸(5)在真空艙體外的另一端連接電機和減速機，所述電機的輸出軸連接減速機的輸入軸，所述減速機的輸出軸連接所述傳動軸(5)而提供旋轉動力，電機啟動時，旋轉就會通過減速機-傳動軸(5)-粉末瓶裝卡系統(6)傳遞至所述粉末瓶(3)，并以粉末瓶(3)軸為中心旋轉。5.根據權利要求1、2或4所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述粉末瓶(3)轉速為0.1?lOOrpm。6.根據權利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述電極(2)設置在所述真空艙體(I)內部上端，固定在絕緣柱(9)。7.根據權利要求1或6所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述電極(2)作為陽極，真空艙體(I)作為陰極。8.根據權利要求1或4所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述傳動軸(5)的上側設置有真空栗接口(8)，下側設置有高頻電源入口(10)。9.根據權利要求1所述的一種粉末狀材料專用等離子處理裝置，其特征在于，所述真空艙體(I)的外部上端設置有處理氣體接口( 11)。
【文檔編號】H01J37/32GK205582881SQ201620340829
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年4月21日
【發明人】鄭亮
【申請人】鄭亮