一種新型襯底固定裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及到微納米技術領域，尤其涉及一種新型襯底固定裝置。該新型襯底固定裝置，包括底座、推塊導板、推塊、卡件固定板、復位彈簧、卡件和連桿，所述推塊導板和推塊固定在底座上。本實用新型所涉及的一種新型襯底固定裝置能夠方便快捷的將襯底固定在底座和卡件之間，從而方便快捷的實現在襯底上的加工操作，并且能夠有效保證襯底的完整性。此外，該襯底固定裝置結構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
【專利說明】
一種新型襯底固定裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及到微納米技術領域，尤其涉及一種新型襯底固定裝置。
【背景技術】
[0002]在微納米技術領域，經常要用到襯底。襯底多數有玻璃或陶瓷制備成的薄片，由于襯底較薄，并且容易破碎，在襯底的使用過程中，為了在襯底表面進行加工處理，怎么將襯底快速的固定，并且保證襯底的完整性，是一個急需解決的問題。
[0003]為了解決上述技術問題，本實用新型設計了一種新型襯底固定裝置，該新型襯底固定裝置能夠方便快捷的將襯底固定在底座和卡件之間，從而方便快捷的實現在襯底上的加工操作，并且能夠有效保證襯底的完整性。此外，該襯底固定裝置結構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
【實用新型內容】
[0004]為了克服【背景技術】中存在的缺陷，本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種新型襯底固定裝置，包括底座、推塊導板、推塊、卡件固定板、復位彈簧、卡件和連桿，所述推塊導板和推塊固定在底座上，所述復位彈簧的一端通過彈簧固定柱一固定在底座上，所述復位彈簧的另一端通過彈簧固定柱二固定在推塊上，所述推塊能夠在推塊導板上滑動，所述卡件的中部通過轉軸三設置在卡件固定板上，所述卡件能夠繞轉軸三轉動，所述連桿的一端通過轉軸一與推塊可活動連接在一起，所述連桿的另一端通過轉軸二與卡件可活動連接在一起。
[0005]本實用新型所涉及的一種新型襯底固定裝置，該新型襯底固定裝置能夠方便快捷的將襯底固定在底座和卡件之間，從而方便快捷的實現在襯底上的加工操作，并且能夠有效保證襯底的完整性。此外，該襯底固定裝置結構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
【附圖說明】
[0006]下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0007]圖1是本實用新型一種新型襯底固定裝置的結構示意圖一；
[0008]圖2是本實用新型一種新型襯底固定裝置的結構示意圖二；
[0009]其中:1、底座;2、推塊導板;3、推塊;4、卡件固定板;5、復位彈簧;6、卡件;7、連桿；
8、彈簧固定柱一;9、彈簧固定柱二; 10、轉軸一;11、轉軸二; 12、轉軸三。
【具體實施方式】
[0010]現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
[0011 ]具體實施例，請參閱圖1和圖2，一種新型襯底固定裝置，包括底座1、推塊導板2、推塊3、卡件固定板4、復位彈簧5、卡件6和連桿7，其特征在于:所述推塊導板2和推塊3固定在底座I上，所述復位彈簧5的一端通過彈簧固定柱一 8固定在底座I上，所述復位彈簧5的另一端通過彈簧固定柱二 9固定在推塊3上，所述推塊3能夠在推塊導板2上滑動，所述卡件6的中部通過轉軸三12設置在卡件固定板4上，所述卡件6能夠繞轉軸三12轉動，所述連桿7的一端通過轉軸一 10與推塊3可活動連接在一起，所述連桿7的另一端通過轉軸二 11與卡件6可活動連接在一起。
[0012]本實用新型所涉及的一種新型襯底固定裝置，該新型襯底固定裝置在使用過程中，向后拉動推塊3，連桿7帶動卡件6使得卡件6和底座I之間形成襯底放置空間，將襯底放入后，放開推塊3，在復位彈簧拉力的作用下，卡件6和底座I將襯底固定住。總之，該新型襯底固定裝置能夠方便快捷的將襯底固定在底座和卡件之間，從而方便快捷的實現在襯底上的加工操作，并且能夠有效保證襯底的完整性。此外，該襯底固定裝置結構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
[0013]顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發明創造的保護范圍之中。
【主權項】
1.一種新型襯底固定裝置，包括底座(I)、推塊導板(2)、推塊(3)、卡件固定板(4)、復位彈簧(5)、卡件(6)和連桿(7)，其特征在于:所述推塊導板(2)和推塊(3)固定在底座(I)上，所述復位彈簧(5)的一端通過彈簧固定柱一 (8)固定在底座(I)上，所述復位彈簧(5)的另一端通過彈簧固定柱二 (9)固定在推塊(3)上，所述推塊(3)能夠在推塊導板(2)上滑動，所述卡件(6)的中部通過轉軸三(12)設置在卡件固定板(4)上，所述卡件(6)能夠繞轉軸三(12)轉動，所述連桿(7)的一端通過轉軸一(10)與推塊(3)可活動連接在一起，所述連桿(7)的另一端通過轉軸二(I I)與卡件(6)可活動連接在一起。
【文檔編號】H01L21/687GK205542737SQ201620053816
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月20日
【發明人】王云翔
【申請人】蘇州美圖半導體技術有限公司