一種用于真空系統的基板傳送裝置以及真空系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于真空系統的基板傳送裝置以及真空系統，真空系統包括多個級聯的密閉腔體，基板傳送裝置包括：貫穿各密閉腔體的用于提供由高頻電流轉換成磁能的電力傳輸線；在各密閉腔體內部傳送基板的靜電吸附裝置；以及與靜電吸附裝置固定連接的用于將電力傳輸線提供的磁能轉換為電能的供電裝置；其中，供電裝置與電力傳輸線之間具有設定距離。通過供電裝置將電力傳輸線提供的磁能轉換為電能，并將電能提供給靜電吸附裝置，從而可以在基板傳送的過程中始終保持供電，消除基板掉落的可能性，并且供電裝置和電力傳輸線之間具有設定距離，實現了非接觸式供電，也防止了因為機械傳輸產生顆粒的幾率，實現了現實批量使用的可能。
【專利說明】
一種用于真空系統的基板傳送裝置以及真空系統
技術領域
[0001]本實用新型涉及基板傳送領域，尤指一種用于真空系統的基板傳送裝置以及真空系統。
【背景技術】
[0002]目前真空濺射或者蒸鍍機臺的主流真空系統基板傳送裝置，使用的基板固定的方法主要是粘性物粘貼，少數使用靜電吸附裝置，但各自都有較大缺陷:
[0003]使用粘性物粘貼基板，由于粘性物有一定使用壽命，使用中粘性會逐步降低，如果不進行更換會持續有基板掉落的風險，頻繁更換粘性物或者頻繁出現掉片現象，都不利于批量生產和成本控制。并且，基板和粘性物有接觸和無接觸的區域成膜質量有差異，容易形成Mura(顯示不良)。此外，基板沒有和粘性物接觸的區域會因為自重下垂，嚴重影響基板的平整度，造成成膜的膜質不均勻。
[0004]使用靜電吸附裝置具有吸附性強，基板平整度好，不易形成Mura等優點，但是，現有的真空傳送系統不能保證持續供電，是采取供電-傳送(靜電自保持)_供電的方式，傳送過程中無法保證靜電吸附力始終保持，基板掉落的可能較大。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型實施例提供一種用于真空系統的基板傳送裝置以及真空系統，用以解決現有技術中存在的靜電吸附系統不能保證持續供電，導致基板傳送過程中無法保證靜電吸附力始終保持，基板掉落的可能較大的問題。
[0006]因此，本實用新型實施例提供的了一種用于真空系統的基板傳送裝置，所述真空系統包括多個級聯的密閉腔體，所述基板傳送裝置包括:
[0007]貫穿各所述密閉腔體的用于提供由高頻電流轉換成磁能的電力傳輸線；
[0008]在各所述密閉腔體內部傳送基板的靜電吸附裝置；
[0009]以及與所述靜電吸附裝置固定連接的用于將所述電力傳輸線提供的磁能轉換為電能的供電裝置;其中，
[0010]所述供電裝置與所述電力傳輸線之間具有設定距離。
[0011]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述供電裝置包括:
[0012]與所述電力傳輸線保持設定距離的用于將磁能轉換為交流電的能量轉換模塊；
[0013]以及與所述能量轉換模塊連接的用于將交流電轉換為直流電的整流模塊。
[0014]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述能量轉換模塊，具體包括:
[0015]具有設定形狀的磁鐵，以及纏繞在所述磁鐵上的與所述整流模塊連接的線圈。
[0016]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述磁鐵的形狀為口字型或山字型。
[0017]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述磁鐵為山字型，所述電力傳輸線貫穿所述山字型相鄰兩豎之間的空隙；
[0018]所述磁鐵為口字型，所述電力傳輸線貫穿口字型的開口。
[0019]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述供電裝置，還包括:
[0020]分別與整流模塊和所述靜電吸附裝置連接的用于將儲存的電量向所述靜電吸附模塊供電的儲能模塊。
[0021]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述基板傳送裝置，還包括:與所述電力傳輸線連接的用于將低頻電流轉換為高頻電流輸入至所述電力傳輸線的輸入模塊。
[0022]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述電力傳輸線為一對分別與所述輸入模塊連接構成回路的傳輸線。
[0023]在一種可能的實施方式中，本實用新型實施例提供的上述基板傳送裝置中，所述真空系統中相鄰的所述密閉腔體之間通過門閥連接，所述電力傳輸線僅設置在所述密閉腔體內部。
[0024]本實用新型實施例還提供了一種真空系統，包括上述基板傳送裝置。
[0025]本實用新型有益效果如下:
[0026]本實用新型實施例提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置以及真空系統，真空系統包括多個級聯的密閉腔體，基板傳送裝置包括:貫穿各密閉腔體的用于提供由高頻電流轉換成磁能的電力傳輸線;在各密閉腔體內部傳送基板的靜電吸附裝置；以及與靜電吸附裝置固定連接的用于將電力傳輸線提供的磁能轉換為電能的供電裝置;其中，供電裝置與電力傳輸線之間具有設定距離。本實用新型提供的基板傳送裝置，通過供電裝置將電力傳輸線提供的磁能轉換為電能，并將電能提供給靜電吸附裝置，從而可以在基板傳送的過程中始終保持供電，消除基板掉落的可能性，并且供電裝置和電力傳輸線之間具有設定距離，實現了非接觸式供電，也防止了因為機械傳輸產生顆粒的幾率，實現了現實批量使用的可能。
【附圖說明】
[0027]圖1為本實用新型實施例提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置的結構示意圖之一；
[0028]圖2為為本實用新型實施例提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置的結構示意圖之二；
[0029]圖3圖為本實用新型實施例提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置的結構示意圖之三；
[0030]圖4圖為本實用新型實施例提供的電力傳輸線和山字型磁鐵的位置關系示意圖；
[0031]圖5圖為本實用新型實施例提供的電力傳輸線和口字型磁鐵的位置關系示意圖；
[0032]圖6圖為本實用新型實施例提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置的結構示意圖之四。
【具體實施方式】
[0033]針對現有技術中存在的靜電吸附系統不能保證持續供電，導致基板傳送過程中無法保證靜電吸附力始終保持，基板掉落的可能較大的問題，本實用新型實施例提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置，如圖1所示，該真空系統包括多個級聯的密閉腔體100，該基板傳送裝置可以包括:
[0034]貫穿各密閉腔體100的用于提供由高頻電流轉換成磁能的電力傳輸線200;
[0035]在各密閉腔體100內部傳送基板的靜電吸附裝置400;
[0036]以及與靜電吸附裝置400固定連接的用于將電力傳輸線200提供的磁能轉換為電能的供電裝置300;其中，
[0037]供電裝置300與電力傳輸線200之間具有設定距離。
[0038]本實用新型提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置，通過供電裝置300將電力傳輸線200提供的磁能轉換為電能，并將電能提供給靜電吸附裝置400，從而可以在基板傳送的過程中始終保持供電，消除基板掉落的可能性，并且供電裝置300和電力傳輸線200之間具有設定距離，實現了非接觸式供電，也防止了因為機械傳輸產生顆粒的幾率，實現了現實批量使用的可能。
[0039]圖1中只畫出了兩個密閉腔體100作為示意，圖中省略號表示左邊和右邊分別還可以包括多個密閉腔體100，電力傳輸線200貫穿各密閉腔體，并且該電力傳輸線200內通有高頻電流，會在電力傳輸線200的附近形成磁場，即將電能轉換為磁能，供電裝置300不斷地將該電力傳輸線200提供的磁能轉換為電能，從而為靜電吸附裝置400持續的提供電能，使靜電吸附裝置400始終吸附基板，保證基板不會掉落。其中，電力傳輸線200內的高頻電流為頻率高于50Hz的電流。
[0040]上述供電裝置300與電力傳輸線200之間具有設定距離，即供電裝置300和電力傳輸線200之間非接觸，只要保持設定的距離就能使供電裝置300持續的將電力傳輸線200提供的磁能轉換為電能，該設定距離一般在10mm-30mm范圍內。
[0041]上述供電裝置300和靜電吸附裝置400固定連接，供電裝置300可以隨著靜電吸附裝置400的移動而移動，保證隨時為靜電吸附裝置400提供電能。靜電吸附裝置400可以包括電極和臺板(圖中未示出)，電極可以為臺板提供靜電荷，從而在臺板附近產生靜電場，臺板可以通過靜電吸附力將基板平整的吸附在臺板上。在具體實施時，該基板傳送裝置還可以包括和靜電吸附裝置的固定連接的傳送軌道，如圖2所示，圖中靜電吸附裝置400和掩模板框架600固定連接，掩模板框架600用于固定掩模板，掩模板框架600下面設置有傳送輪700，整個裝置可以在傳送輪700的帶動下沿傳送軌道移動。
[0042]如圖3所示，本實用新型實施例提供的供電裝置可以包括:
[0043]與電力傳輸線200保持設定距離的用于將磁能轉換為交流電的能量轉換模塊310;
[0044]以及與能量轉換模塊310連接的用于將交流電轉換為直流電的整流模塊320。
[0045]其中，能量轉換模塊310，可以具體包括:
[0046]具有設定形狀的磁鐵311，以及纏繞在磁鐵311上的與整流模塊連接的線圈312。
[0047]能量轉換模塊310的工作原理和變壓器的原理類似，電力傳輸線200的作用類似于變壓器的初級線圈，線圈312的作用類似于變壓器的次級線圈，在本實用新型提供的實施例中電力傳輸線200可以不纏繞在磁鐵311上，電力傳輸線200和磁鐵311只要保持在預設的距離即可。
[0048]上述能量轉換模塊310包括磁鐵311，從而可以通過磁鐵311在電力傳輸線200周圍的磁場內產生的磁力來維持電力傳輸線200和能量轉換模塊310的設定距離。纏繞在磁鐵311上的線圈312和整流模塊320相連，可以將磁能轉換得到的電能直接提供給整流模塊，整流模塊將能量轉換模塊310得到的交流電轉換為直流電提供給靜電吸附裝置400，該直流電優選為300V，也可以根據實際應用設置為其他數值。整流模塊320可以通過整流器來實現，也可以使用其他器件或電路實現，此處不做限定。本實用新型實施例中的能量轉換模塊310包括磁鐵311以及纏繞在磁鐵上的線圈312，是本實用新型的一種優選的實施方式，在具體實施時，也可以通過其他方式將磁能轉換為電能，在此不做限定。
[0049]圖3中將磁鐵311畫為條形，只是為了更方便的示意磁鐵311的位置，在實際應用中磁鐵311還可以為其他形狀。磁鐵311的形狀優選為口字型或山字型。磁鐵311為山字型時，電力傳輸線貫穿山字型相鄰兩豎之間的空隙，如圖4所示，圖4為山字型磁鐵的截面圖，圖中山字型相鄰兩豎之間的空隙處的兩個圓圈代表電力傳輸線200的橫截面，這種位置關系的設置既保證了電力傳輸線200和能量轉換模塊310保持設定距離，也能夠有效的進行能量轉換。磁鐵311為山字型時，線圈312優選為纏繞在山字型中間的豎線，也可以纏繞在其他位置。磁鐵311為口字型時，電力傳輸線貫穿口字型的開口，如圖5所示，在具體實施時，電力傳輸線也可以不穿過口字型封閉的位置。采用口字型或者山字型的磁鐵311只是本實用新型提供的優選的實施方式，在具體實施時，也可以使用其他形狀的磁鐵311，例如，可以使用條形磁鐵311或U型磁鐵311等。
[0050]同樣參照圖3，本實用新型實施例提供的供電裝置300，還可以包括:
[0051]分別與整流模塊320和靜電吸附裝置400連接的用于將儲存的電量向靜電吸附裝置400供電的儲能模塊330。
[0052]該儲能模塊330可以將多余的電量或者不傳送基板時產生的電量儲存起來，也可以向靜電吸附裝置400提供電能，此外，該儲能模塊也可以在電流突然增大時，防止電流產生大的波動。
[0053]如圖6所示，本實用新型實施例提供的基板傳送裝置，還可以包括:與電力傳輸線200連接的用于將低頻電流轉換為高頻電流輸入至電力傳輸線200的輸入模塊800。
[0054]圖6是以兩個密閉腔體100并且輸入模塊800設置在密閉腔體100外部為例，電力傳輸線200可以穿出密閉腔體100和輸入模塊800相連，也可以通過導線連接輸入模塊800和電力傳輸線200。在實際應用中，也可以將輸入模塊800設置在密閉腔體內部，可以通過導線穿過密閉腔體100為輸入模塊800提供低頻電流，可以通過3相220V的電源為輸入模塊800提供低頻電流，也可以采用其他方式為輸入模塊800提供低頻電流，此處不做限定。
[0055]電力傳輸線200為一對分別與輸入模塊800連接構成回路的傳輸線，如圖6所不。
[0056]參照圖1或圖6，真空系統中相鄰的所述密閉腔體之間通過門閥500連接，電力傳輸線200僅設置在密閉腔體100內部。電力傳輸線200僅設置在密閉腔體100內部，即電力傳輸200線貫穿密閉腔體的位置設置在非門閥處，由于電力傳輸線200和供電裝置300之間非接觸，靜電吸附裝置400在通過門閥500位置時，供電裝置300也可以從電力傳輸線200上獲得磁能，并將磁能轉換為電能后提供給靜電吸附裝置400。
[0057]基于同一構思，本實用新型實施例提供一種真空系統，包括上述基板傳送裝置，該真空系統優選為真空濺射或者蒸鍍機臺等設備，也可以為其他真空系統，此處不做限定。
[0058]本實用新型提供的一種用于真空系統的基板傳送裝置，通過供電裝置將電力傳輸線提供的磁能轉換為電能，并將電能提供給靜電吸附裝置，從而可以在基板傳送的過程中始終保持供電，消除基板掉落的可能性，并且供電裝置和電力傳輸線之間具有設定距離，實現了非接觸式供電，也防止了因為機械傳輸產生顆粒的幾率，實現了現實批量使用的可能。
[0059]顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種用于真空系統的基板傳送裝置，所述真空系統包括多個級聯的密閉腔體，其特征在于，所述基板傳送裝置包括: 貫穿各所述密閉腔體的用于提供由高頻電流轉換成磁能的電力傳輸線； 在各所述密閉腔體內部傳送基板的靜電吸附裝置； 以及與所述靜電吸附裝置固定連接的用于將所述電力傳輸線提供的磁能轉換為電能的供電裝置;其中， 所述供電裝置與所述電力傳輸線之間具有設定距離。2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述供電裝置包括: 與所述電力傳輸線保持設定距離的用于將磁能轉換為交流電的能量轉換模塊； 以及與所述能量轉換模塊連接的用于將交流電轉換為直流電的整流模塊。3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述能量轉換模塊，具體包括: 具有設定形狀的磁鐵，以及纏繞在所述磁鐵上的與所述整流模塊連接的線圈。4.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述磁鐵的形狀為口字型或山字型。5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述磁鐵為山字型，所述電力傳輸線貫穿所述山字型相鄰兩豎之間的空隙； 所述磁鐵為口字型，所述電力傳輸線貫穿口字型的開口。6.如權利要求2-5任一項所述的裝置，其特征在于，所述供電裝置，還包括: 分別與整流模塊和所述靜電吸附裝置連接的用于將儲存的電量向所述靜電吸附模塊供電的儲能模塊。7.如權利要求1-5任一項所述的裝置，其特征在于，所述基板傳送裝置，還包括:與所述電力傳輸線連接的用于將低頻電流轉換為高頻電流輸入至所述電力傳輸線的輸入模塊。8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述電力傳輸線為一對分別與所述輸入模塊連接構成回路的傳輸線。9.如權利要求1-5任一項所述的裝置，其特征在于，所述真空系統中相鄰的所述密閉腔體之間通過門閥連接，所述電力傳輸線僅設置在所述密閉腔體內部。10.—種真空系統，包括如權利要求1-9任一項所述的基板傳送裝置。
【文檔編號】H01L21/677GK205542734SQ201620365318
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年4月25日
【發明人】潘晟愷, 徐鵬, 喬永康
【申請人】合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司