一種適用于微電子行業的涂膠設備的制造方法
【專利摘要】一種適用于微電子行業的涂膠設備，包括點膠針筒、吸盤、驅動電機、抽氣設備、凈化工作腔、濕度計、壓縮氮氣瓶和抽氣風機，凈化工作腔左右端板開設氣孔，凈化工作腔的左側端板外設置有散流罩，壓縮氮氣瓶的出氣口經過減壓閥連接散流罩的進氣口，凈化工作腔的右側端板外設置有集風罩，集風罩的出氣口連接抽氣風機的進氣口，點膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設置于凈化工作腔內且位于點膠針筒的正下方。本實用新型將涂膠放置于凈化工作腔內進行，不會污染操作環境，保護人員健康；凈化工作腔為涂膠過程提供了潔凈的環境，空氣中的灰塵不會污染涂覆的膠水；濕度過大時，可以通過打開壓縮氮氣瓶，向工作腔內送入干燥的氮氣來降低工作腔內的濕度。
【專利說明】
一種適用于微電子行業的涂膠設備
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種適用于微電子行業的涂膠設備，特別適合用于微電子行業的涂膠工藝。
【背景技術】
[0002]微電子技術作為電子信息產業的核心技術之一，已經成為現代電子信息技術，尤其是計算機和通訊技術發展的驅動力。為了在新的科技革命中迎頭趕上西方發達國家，必須在微電子技術領域取得快速的發展。
[0003]涂膠是微電子行業十分常用的工藝步驟。目前現有的注膠設備要么結構簡陋，自動化程度低，工人勞動強度大;要么結構復雜，成本高昂，不利于推廣。
【發明內容】
[0004]本實用新型的目的在于，克服上述現有技術的缺陷，提供一種適用于微電子行業的涂膠設備。
[0005]上述目的由下述技術方案來實現:本實用新型提供的適用于微電子行業的涂膠設備，包括點膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅動該吸盤旋轉的驅動電機和為吸盤提供吸力的抽氣設備，其特征在于:還包括凈化工作腔、濕度計、壓縮氮氣瓶和抽氣風機，所述濕度計設置于凈化工作腔的內部;所述凈化工作腔左右端板開設氣孔，凈化工作腔的左側端板外設置有散流罩，壓縮氮氣瓶的出氣口經過減壓閥連接散流罩的進氣口，所述凈化工作腔的右側端板外設置有集風罩，集風罩的出氣口連接抽氣風機的進氣口，所述點膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設置于凈化工作腔內且位于點膠針筒的正下方;吸盤的中軸線位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設置有環形儲膠槽，吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為2mm。
[0006]本實用新型還具有如下改進:
[0007]1、吸盤的橫截面呈W型，儲膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為70°，遠離吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為50°。
[0008]2、所述濕度計懸掛固定在凈化工作腔內的頂部。
[0009]3、所述點膠針筒的針管下端設有單向閥。
[0010]4、所述單向閥為薄膜單向閥。
[0011]本實用新型將涂膠放置于凈化工作腔內進行，不會污染操作環境，保護人員健康；凈化工作腔為涂膠過程提供了潔凈的環境，空氣中的灰塵不會污染涂覆的膠水;吸盤轉動時，膠水也不會甩到凈化工作腔外部。本實用新型對吸盤的尺寸進行了改進，使其對硅片具有更好的吸附力。此外，凈化工作腔內設置有濕度計，通過觀察濕度計可以知曉工作腔內的濕度情況，濕度過大時，可以通過打開壓縮氮氣瓶，向工作腔內送入干燥的氮氣來降低工作腔內的濕度，使涂膠過程得以順利進行(一般來說，涂膠的工作環境濕度應當低于60%RH)。
[0012]本實用新型結構簡單、設計巧妙，使用方便，且易于維護。本裝置的生產成本低，功能可滿足實際生產需要，適于在微電子行業廣泛運用。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型適用于微電子行業的涂膠設備的結構示意圖。
[0014]圖中標號示意如下:
[0015]1-凈化工作腔;2-散流罩;3-集風罩;4-壓縮氮氣瓶;5-抽氣風機;6_減壓閥；7_抽氣設備;8-吸盤;9-驅動電機;10-點膠針筒;11-單向閥；12-硅片；13-濕度計。
【具體實施方式】
[0016]如圖1所述，本實施例適用于微電子行業的涂膠設備，包括點膠針筒10、用于承載硅片12的吸盤8、用于驅動該吸盤8旋轉的驅動電機9和為吸盤8提供吸力的抽氣設備7，凈化工作腔1、濕度計13、壓縮氮氣瓶4和抽氣風機5，點膠針筒10的針管下端設有單向閥11(選用薄膜單向閥)，濕度計13懸掛固定在凈化工作腔內的頂部，凈化工作腔I左右端板開設氣孔，凈化工作腔I的左側端板外設置有散流罩2，壓縮氮氣瓶4的出氣口經過減壓閥6連接散流罩2的進氣口，凈化工作腔I的右側端板外設置有集風罩3，集風罩3的出氣口連接抽氣風機5的進氣口，點膠針筒10固定在凈化工作腔I的頂部，吸盤8設置于凈化工作腔I內且位于點膠針筒10的正下方;吸盤8的中軸線位置設有與抽氣設備7相連的吸氣管，吸盤8的吸氣管頂端周圍設置有環形儲膠槽，吸盤8的吸氣管頂端至吸盤8上表面的距離為2mm。如圖1所示，吸盤8的橫截面呈W型，儲膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為70°，遠離吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為50°。
[0017]吸盤帶動硅片旋轉，從點膠針筒滴下的膠水在離心力的作用下向外移動，從而實現自動勻膠，由于硅片的親水性，甩至硅片邊緣的膠水容易流到吸盤的背面，并且因重力作用向中間聚攏。環形儲膠槽能夠有效阻擋該部分膠水流入吸氣管，從而確保勻膠機的正常運轉，提高勻膠效率。
[0018]通過觀察濕度計可以知曉工作腔內的濕度情況，濕度過大時，可以通過打開壓縮氮氣瓶，向工作腔內送入干燥的氮氣來降低工作腔內的濕度。
[0019]除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本實用新型要求的保護范圍。
【主權項】
1.一種適用于微電子行業的涂膠設備，包括點膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅動該吸盤旋轉的驅動電機和為吸盤提供吸力的抽氣設備，其特征在于:還包括凈化工作腔、濕度計、壓縮氮氣瓶和抽氣風機，所述濕度計設置于凈化工作腔的內部;所述凈化工作腔左右端板開設氣孔，凈化工作腔的左側端板外設置有散流罩，壓縮氮氣瓶的出氣口經過減壓閥連接散流罩的進氣口，所述凈化工作腔的右側端板外設置有集風罩，集風罩的出氣口連接抽氣風機的進氣口，所述點膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設置于凈化工作腔內且位于點膠針筒的正下方;吸盤的中軸線位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設置有環形儲膠槽，吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為2mm。2.根據權利要求1所述的適用于微電子行業的涂膠設備，其特征在于:吸盤的橫截面呈W型，儲膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為70°，遠離吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為50°。3.根據權利要求1所述的適用于微電子行業的涂膠設備，其特征在于:所述濕度計懸掛固定在凈化工作腔內的頂部。4.根據權利要求1所述的適用于微電子行業的涂膠設備，其特征在于:所述點膠針筒的針管下端設有單向閥。5.根據權利要求4所述的適用于微電子行業的涂膠設備，其特征在于:所述單向閥為薄膜單向閥。
【文檔編號】H01L21/683GK205508779SQ201620334854
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年4月20日
【發明人】曹小峰, 程實
【申請人】南通大學