一種半導體晶片清洗花籃的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種半導體晶片清洗花籃，包括一個中部設有晶片槽的底座、兩個與底座側壁通過螺釘連接套合的側支架、一個固定于側支架上部的提桿和兩個固定于側支架中部的檔桿，其中晶片槽兩側的底座上分別設有與晶片相配的晶片齒，側支架的中間部位設有與提桿相連的提桿架，提桿架的兩側設有對稱于提桿架的擋桿架，擋桿架的上部設有與擋桿相配的擋桿槽，擋桿通過螺母固定于擋桿架的擋桿槽內，該擋桿上設有與晶片相配的晶片齒。本實用新型的花籃載片量顯著增加，減少了人員反復清洗的作業量；擋桿可自由從支架上取出，方便晶片的裝載和取出；晶片槽的旁邊設有導流孔，盡可能少的使清洗液殘留在花籃上，提高清洗質量。
【專利說明】
一種半導體晶片清洗花籃
技術領域
[0001]本實用新型屬于半導體晶片清洗裝置技術領域，具體涉及一種半導體晶片清洗提候
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【背景技術】
[0002]半導體生產過程中對硅片的清洗過程是必不可少的。所謂清洗是指硅片表面雜質的清除、定點定向腐蝕等。目前，硅片生產過程中專用的方形聚四氟乙烯花籃，因其結構固定，容量小，生產效率低，占用大量的空間且成本較高;而且硅片邊緣接觸面積大，在一些清洗環節又會引起大范圍的邊緣腐蝕印記，導致產品失效。
【發明內容】
[0003]本實用新型解決的技術問題是提供了一種適用于靜止和抖動狀態下的半導體晶片清洗花籃。
[0004]本實用新型為解決上述技術問題采用如下技術方案，一種半導體晶片清洗花籃，其特征在于包括一個中部設有晶片槽的底座、兩個與底座側壁通過螺釘連接套合的側支架、一個固定于側支架上部的提桿和兩個固定于側支架中部的檔桿，其中晶片槽兩側的底座上分別設有與晶片相配的晶片齒，側支架的中間部位設有與提桿相連的提桿架，提桿架的兩側設有對稱于提桿架的擋桿架，擋桿架的上部設有與擋桿相配的擋桿槽，擋桿通過螺母固定于擋桿架的擋桿槽內，該擋桿上設有與晶片相配的晶片齒。
[0005]進一步優選，所述的半導體晶片為圓形半導體晶片。
[0006]進一步優選，所述的底座上設有漏液孔。
[0007]進一步優選，所述提桿架的上部設有固定槽，提桿的兩側分別通過設置于提桿上的通孔活動安裝于提桿架的固定槽內。
[0008]本實用新型與現有技術相比具有以下優點:花籃載片量顯著增加，減少了人員反復清洗的作業量;擋桿可自由從側支架上取出，方便晶片的裝載和取出；晶片槽的旁邊設有漏液孔，盡可能少的使清洗液殘留在花籃上，提高清洗質量;鏤空設計的側支架使得清洗液能更好的在硅片上流動，清洗效果比目前常用標準花籃更佳，且花籃與硅片的接觸面更小，在一定程度降低了失效率，從而提高產品的成品率。另外采用螺釘套合側支架與底板，以及提桿和側支架的卡套方式使得花籃更結實牢固，承重量大大提高。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0010]圖2是圖1的側視圖；
[0011]圖3是本實用新型中側支架的結構示意圖；
[0012]圖4是本實用新型中提桿的結構示意圖；
[0013]圖5是本實用新型中擋桿的結構示意圖；
[0014]圖6是本實用新型中底座的結構示意圖。
[0015]圖中:1、底座，2、側支架，201、提桿架，202、擋桿架，3、提桿，4、擋桿，5、螺釘，6、漏液孔，7、螺母。
【具體實施方式】
[0016]結合附圖詳細描述本實用新型的具體內容。一種半導體晶片清洗花籃，包括一個中部設有晶片槽的底座1、兩個與底座I側壁通過螺釘5連接套合的側支架2、一個固定于側支架2上部的提桿3和兩個固定于側支架2中部的檔桿4，其中晶片槽兩側的底座I上分別設有與晶片相配的晶片齒，側支架2的中間部位設有與提桿3相連的提桿架201，提桿架201的兩側設有對稱于提桿架201的擋桿架202，擋桿架202的上部設有與擋桿4相配的擋桿槽，擋桿4通過螺母7固定于擋桿架202的擋桿槽內，該擋桿4上設有與晶片相配的晶片齒。所述的半導體晶片為圓形半導體晶片。所述的底座I上設有漏液孔6。所述提桿架201的上部設有固定槽，提桿3的兩側分別通過設置于提桿3上的通孔活動安裝于提桿架201的固定槽內。
[0017]本實用新型的具體操作過程為:首先將兩個側支架通過設置于提桿架上部的固定槽插入提桿兩側的通孔內，分別旋轉側支架實現側支架與提桿的活動連接，然后根據硅片尺寸的大小先將一根擋桿固定于擋桿架上，開始安裝硅片，裝好硅片后，由于三個點的支撐，硅片基本固定，再將另一個擋桿通過螺母固定于擋桿架上，擋桿上的晶片齒和底座上的晶片齒使得硅片上下與花籃各保持兩個固定點，從而避免了硅片粘附在一起，然后放入清洗液體中進行清洗，如需抖動，可晃動提桿使清洗反應更均勻，清洗效果更佳。
[0018]本實用新型增加了清洗花籃的載片數，提高了硅片的清洗效率，降低了工人作業量和生產成本，同時防止了因硅片間距縮小帶來的硅片間粘附損壞問題的發生，并且適用于某些場合提拉抖動花籃時防止硅片脫落。由于采用晶片齒的方式，縮小了硅片與花籃的接觸面積，降低了產品的失效比例，并且側邊完全鏤空，便于清洗液體的流動，使得清洗效果更佳。
[0019]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理，主要特征和優點，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍。
【主權項】
1.一種半導體晶片清洗花籃，其特征在于包括一個中部設有晶片槽的底座、兩個與底座側壁通過螺釘連接套合的側支架、一個固定于側支架上部的提桿和兩個固定于側支架中部的檔桿，其中晶片槽兩側的底座上分別設有與晶片相配的晶片齒，側支架的中間部位設有與提桿相連的提桿架，提桿架的兩側設有對稱于提桿架的擋桿架，擋桿架的上部設有與擋桿相配的擋桿槽，擋桿通過螺母固定于擋桿架的擋桿槽內，該擋桿上設有與晶片相配的晶片齒。2.根據權利要求1所述的半導體晶片清洗花籃，其特征在于:所述的半導體晶片為圓形半導體晶片。3.根據權利要求1所述的半導體晶片清洗花籃，其特征在于:所述的底座上設有漏液孔。4.根據權利要求1所述的半導體晶片清洗花籃，其特征在于:所述提桿架的上部設有固定槽，提桿的兩側分別通過設置于提桿上的通孔活動安裝于提桿架的固定槽內。
【文檔編號】H01L21/673GK205508774SQ201620223468
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月22日
【發明人】杜志民, 王宇, 王一宇, 郭立洲
【申請人】河南芯睿電子科技有限公司