柔性基板的固化裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供的柔性基板的固化裝置，其包括密封腔室、進氣口、出氣口和抽真空裝置，其中，在密封腔室內設置有支架，用于承載柔性基板。在密封腔室內且位于支架的周圍設置有紅外加熱體，用以向柔性基板輻射熱量。進氣口用于向密封腔室內輸入惰性氣體。出氣口用于排出密封腔室內的惰性氣體。抽真空裝置用于通過控制惰性氣體的輸入和排出時間，而置換出在密封腔室內揮發形成的溶劑揮發物。本實用新型提供的柔性基板的固化裝置，通過置換出溶劑揮發物，減少了溶劑凝結在腔室壁的可能性，減少了溶劑分解成為固體顆粒物數量，從而可以減少設備的維護頻次，提高設備的使用效率，進而可以提高產能。
【專利說明】
柔性基板的固化裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及顯示器件加工技術領域，具體地，涉及一種柔性基板的固化裝置。
【背景技術】
[0002]在柔性顯示面板(例如柔性AMOLED顯示面板)的生產工藝中，通常使用聚酰亞胺(PI)材料制作柔性基板。由于聚酰亞胺材料的固化需要通過高溫處理，傳統的熱風固化裝置因其部件材質等原因易產生固體顆粒物，因此，需要使用紅外固化裝置對柔性顯示基板進行固化，這是因為:紅外固化裝置的部件通常由石英或陶瓷等的不易產生固體顆粒物的材質組成，其與傳統的熱風固化裝置相比，可以減少產生的固體顆粒數量，從而可以提高產品良率。
[0003]圖1為現有的柔性基板的固化裝置的結構示意圖。請參閱圖1，固化裝置包括外殼
1、內腔2、紅外燈6、支架5、出氣口7和進氣口3。其中，內腔2位于外殼I的內部，且采用石英或陶瓷材料制作。支架5設置在內腔2中，用以承載柔性基板4。紅外燈6為多個，且在內腔2中環繞排列在支架5的周圍，每個紅外燈6采用條形燈管狀結構，用以朝向柔性基板4輻射熱量。進氣口 3及出氣口 7相對設置在內腔2的兩側腔室壁上，進氣口 3用于向內腔2內通入氮氣，出氣口7用于將內腔2中的氮氣及溶劑等揮發物排出，從而可以降低內腔2中的溶劑殘留量和殘留的固體顆粒，進而可以提尚柔性基板的良率。
[0004]上述固化裝置在實際應用中不可避免地存在以下問題:
[0005]在進行固化工藝的過程中，上述固化裝置僅通過進氣口 3連續不斷地向內腔2內通入氮氣，來將內腔2內產生的大量溶劑揮發物吹出腔室，由于氣流存在死角，這種方式很難使溶劑揮發物全部隨氮氣自出氣口7排出，往往會有部分揮發物凝結在腔室壁上，凝結的溶劑會造成腔室污染，并會因為長期受熱分解成為固體顆粒物。在對基板進行固化量產時，腔室壁上的溶劑以及固體顆粒物不斷累積，從而需要定期對設備進行維護，進而降低了產能。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種柔性基板的固化裝置，其可以減少產生的溶劑凝結以及固體顆粒物數量，從而可以減少設備的維護頻次，提尚設備的使用效率，進而可以提尚廣能。
[0007]為實現本實用新型的目的而提供一種柔性基板的固化裝置，包括密封腔室、進氣口和出氣口，在所述密封腔室內設置有支架，用于承載所述柔性基板;在所述密封腔室內且位于所述支架的周圍設置有紅外加熱體，用以向所述柔性基板輻射熱量;所述進氣口用于向所述密封腔室內輸入惰性氣體;所述出氣口用于排出所述密封腔室內的所述惰性氣體，還包括抽真空裝置，所述抽真空裝置用于通過控制所述惰性氣體的輸入和排出時間，而置換出在所述密封腔室內揮發形成的溶劑揮發物。
[0008]優選的，所述抽真空裝置包括第一真空閥、第二真空閥和真空栗，其中，所述第一真空閥安裝在所述出氣口處，用以開啟或封閉所述出氣口；所述第二真空閥安裝在所述進氣口處，用以開啟或封閉所述進氣口；所述真空栗與所述出氣口連接，用以通過所述出氣口抽取所述密封腔室內的惰性氣體。
[0009]優選的，所述固化裝置還包括控制器，所述控制器用于控制所述第二真空閥的開啟或封閉，并控制所述第二真空閥開啟或關閉的時長;以及，控制所述第一真空閥的開啟或關閉，并控制所述第一真空閥開啟或關閉的時長。
[0010]優選的，所述密封腔室包括外殼和內腔體，其中，所述外殼包覆在所述內腔體的周圍;所述內腔體采用透明材料制作，且所述支架設置在所述內腔體的內部;所述紅外加熱體設置在所述外殼與所述內腔體之間，用以透過所述內腔體向所述柔性基板輻射熱量。
[0011]優選的，所述透明材料包括石英。
[0012]優選的，所述支架采用石英或陶瓷材料制作。
[0013]優選的，所述惰性氣體包括氮氣。
[0014]本實用新型具有以下有益效果:
[0015]本實用新型提供的柔性基板的固化裝置，其借助抽真空裝置通過控制惰性氣體的輸入和排出時間，而置換出在密封腔室內揮發形成的溶劑揮發物，即，定時定量地向密封腔室內輸入氮氣，然后在每完成單次惰性氣體的輸入之后，進行一次抽真空，以將產生的溶劑揮發物隨惰性氣體一起抽出。這樣，不存在氣流死角的問題，可以確保密封腔室內的溶劑揮發物全部隨惰性氣體排出，從而可以減少溶劑凝結在腔室壁的可能性，進而減少溶劑分解形成的固體顆粒物數量，從而可以減少設備的維護頻次，提高設備的使用效率，進而可以提
會 K。
【附圖說明】
[0016]圖1為現有的柔性基板的固化裝置的結構示意圖；
[0017]圖2為本實用新型實施例提供的柔性基板的固化裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖來對本實用新型提供的柔性基板的固化裝置進行詳細描述。
[0019]圖2為本實用新型實施例提供的柔性基板的固化裝置的結構示意圖。請參閱圖2，固化裝置包括密封腔室12、進氣口 13、出氣口 16和抽真空裝置。其中，密封腔室包括外殼10和內腔體11，外殼10包覆在內腔體11的周圍。內腔體11采用諸如石英等的透明材料制作，且在內腔體11內設置有支架19，用于在工藝過程中承載柔性基板20。支架19優選采用諸如石英或陶瓷材料等的不易產生固體顆粒物的材料制作。并且，在外殼10與內腔體11之間的環形空間12內設置有紅外加熱體，用于透過內腔體11向柔性基板20輻射熱量。在本實施例中，紅外加熱體由多個紅外加熱燈管15組成，多個紅外加熱燈管15對稱地圍繞在支架19的周圍，用以均勻地加熱柔性基板20。
[0020]進氣口 13和出氣口 16相對設置在內腔體11的兩側腔室壁上，其中，進氣口 13用于向內腔體11內輸入惰性氣體，例如氮氣。出氣口 16用于排出內腔體11內的惰性氣體。
[0021]抽真空裝置用于通過控制惰性氣體的輸入和排出時間，置換出在內腔體11內揮發形成的溶劑揮發物。所謂控制惰性氣體的輸入和排出時間，具體是指在整個固化過程中，定時定量地向內腔體11內輸入惰性氣體，并在每完成單次惰性氣體的輸入之后，進行一次定時抽真空。以將產生的溶劑揮發物隨惰性氣體一起抽出。這樣，不存在氣流死角的問題，可以確保內腔體11內的溶劑揮發物全部隨惰性氣體排出，即，置換出在內腔體11內揮發形成的溶劑揮發物，從而可以減少溶劑凝結在內腔體11的腔室壁的可能性，進而減少溶劑分解形成的固體顆粒物數量，從而可以減少設備的維護頻次，提高設備的使用效率，進而可以提|^廣1會K。
[0022]具體地，在本實施例中，抽真空裝置包括第一真空閥17、第二真空閥14和真空栗18，其中，第一真空閥17安裝在出氣口 16處，用以對出氣口 16開啟或封閉。第二真空閥14安裝在進氣口 13處，用以對進氣口 13開啟或封閉。真空栗18通過氣路與出氣口 16連接，用以通過出氣口 16抽取內腔體11內的惰性氣體。
[0023]在進行固化工藝的過程中，定時開啟第二真空閥14，此時通過進氣口13向內腔體11內輸入一定量的惰性氣體。在經過一定的時間之后，關閉第二真空閥14，同時開啟第一真空閥17，并開啟真空栗18，此時真空栗18通過出氣口 16抽取內腔體11內的惰性氣體，以使在內腔體11內產生的溶劑揮發物隨惰性氣體一起抽出。在經過一定的時間(確保溶劑揮發物被全部抽出即可)之后，關閉第一真空閥17和真空栗18。在經過一定的時間間隔之后，或者在關閉第一真空閥17的同時，重新開啟第二真空閥14，重復循環進行上述過程。這樣，可以確保溶劑揮發物不會凝結在腔室壁上，從而可以減少內腔體11內的溶劑殘留量，進而減少產生的固體顆粒物數量。
[0024]優選的，固化裝置還包括控制器(圖中未示出)，該控制器用于控制第二真空閥14的開啟或封閉，并控制第二真空閥14開啟或關閉的時長；以及，控制第一真空閥的17開啟或關閉，并控制第一真空閥17開啟或關閉的時長。借助控制器，可以實現惰性氣體的輸入/排出以及輸入和排出時間的自動控制。在實際應用中，控制器可以為諸如PLC、計算機等的微處理器。
[0025]需要說明的是，本實施例中，密封腔室包括外殼10和內腔體U。但是本實用新型并不局限于此，在實際應用中，密封腔室還可以采用其他任意結構構成可進行固化工藝的密封腔室。
[0026]還需要說明的是，抽真空裝置的具體結構并不局限于本實用新型實施例中所采用的上述結構，在實際應用中，還可以采用其他任意結構的抽真空裝置，只要其能夠控制惰性氣體的輸入和排出時間，以置換出在內腔體11內揮發形成的溶劑揮發物即可。
[0027]綜上所述，本實用新型提供的柔性基板的固化裝置，其不存在氣流死角的問題，可以確保密封腔室內的溶劑揮發物全部隨惰性氣體排出，從而可以減少溶劑凝結在腔室壁的可能性，進而減少溶劑分解形成的固體顆粒物數量，從而可以減少設備的維護頻次，提高設備的使用效率，進而可以提尚廣能。
[0028]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種柔性基板的固化裝置，包括密封腔室、進氣口和出氣口，在所述密封腔室內設置有支架，用于承載所述柔性基板;在所述密封腔室內且位于所述支架的周圍設置有紅外加熱體，用以向所述柔性基板輻射熱量;所述進氣口用于向所述密封腔室內輸入惰性氣體;所述出氣口用于排出所述密封腔室內的所述惰性氣體，其特征在于，還包括抽真空裝置，所述抽真空裝置用于通過控制所述惰性氣體的輸入和排出時間，而置換出在所述密封腔室內揮發形成的溶劑揮發物。2.根據權利要求1所述的柔性基板的固化裝置，其特征在于，所述抽真空裝置包括第一真空閥、第二真空閥和真空栗，其中， 所述第一真空閥安裝在所述出氣口處，用以開啟或封閉所述出氣口； 所述第二真空閥安裝在所述進氣口處，用以開啟或封閉所述進氣口 ； 所述真空栗與所述出氣口連接，用以通過所述出氣口抽取所述密封腔室內的惰性氣體。3.根據權利要求2所述的柔性基板的固化裝置，其特征在于，所述固化裝置還包括控制器，所述控制器用于控制所述第二真空閥的開啟或封閉，并控制所述第二真空閥開啟或關閉的時長；以及，控制所述第一真空閥的開啟或關閉，并控制所述第一真空閥開啟或關閉的時長。4.根據權利要求1-3任意一項所述的柔性基板的固化裝置，其特征在于，所述密封腔室包括外殼和內腔體，其中， 所述外殼包覆在所述內腔體的周圍； 所述內腔體采用透明材料制作，且所述支架設置在所述內腔體的內部;所述紅外加熱體設置在所述外殼與所述內腔體之間，用以透過所述內腔體向所述柔性基板輻射熱量。5.根據權利要求4所述的柔性基板的固化裝置，其特征在于，所述透明材料包括石英。6.根據權利要求1-3任意一項所述的柔性基板的固化裝置，其特征在于，所述支架采用石英或陶瓷材料制作。7.根據權利要求1-3任意一項所述的柔性基板的固化裝置，其特征在于，所述惰性氣體包括氮氣。
【文檔編號】H01L21/67GK205452250SQ201620238926
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年3月25日
【發明人】王和金, 謝明哲
【申請人】京東方科技集團股份有限公司