一種可防止晶片滑落的晶片花籃的制作方法
【專利摘要】一種可防止晶片滑落的晶片花籃，屬于太陽能電池、IC 集成電路、LED發光二極管芯片等生產技術領域，本實用新型在每塊側板的上表面覆蓋一齒板，齒板上成排設置與插槽的齒寬和齒距一致的鋸齒，齒板沿著側板的長度方向可移動式連接在側板上。無外力作用時，齒板上鋸齒一一對應地排列在相鄰的插槽中，可以有效防止在機械或人工搬動、翻轉時晶片發生滑落的意外發生。通過外力使齒板沿著側板的長度方向移動，使齒板上鋸齒與插槽重疊，即可實現晶片的取出或插入。本實用新型適用于晶片的存放、搬運，涂膠、光刻、顯影等工藝，方便晶片的作業、搬運及存儲，提高了晶片的安全性。
【專利說明】
一種可防止晶片滑落的晶片花籃
技術領域
[0001]本實用新型屬于太陽能電池、IC集成電路、LED發光二極管芯片等生產技術領域，特別涉及用于存放晶片的花籃。
【背景技術】
[0002]花籃是一種在半導體制造領域廣泛使用的生產制具。例如在太陽能電池、IC集成電路、LED發光二極管芯片等被用于晶片的存放、搬運，涂膠，光刻，顯影，清洗等工藝。對于LED發光二極管芯片制造來說，所用的花籃主要分為方形及圓形兩種。早期多以使用圓形花籃為主，用于濕法蝕刻、去膠、光刻、以及批次性的晶片存放。
[0003]隨著自動化設備的大力推廣，方形花籃被越來越多的半導體制造商接受。在實際生產制造過程中，自動化機臺往往需要配套使用方形花籃，機臺內部可以通過機械手臂搬運晶片，相對比較安全。
[0004]現有的結構是:一塊U形端板和一塊H形端板分別布置在藍體的兩端，在U形端板和H形端板之間連接兩塊側板，沿側板的長度方向、在兩塊側板相對的面上分別對稱開設若干插槽，各晶片就從側板的上表面向下對應地插入各插槽中。當從機臺中取下完成作業的晶片時，往往需要人為將豎直放立的花籃翻轉，在人為翻轉過程中往往疏忽會發生翻轉反向導致晶片自插槽中滑落，而且在不同機臺間周轉、搬運時更加容易發生一些類似的事故，造成一定的產品損失。
【實用新型內容】
[0005]為了能夠防止晶片從插槽中滑落而影響自動化機臺使用，本實用新型提出一種可防止晶片滑落的晶片花籃。
[0006]本實用新型包括一塊U形端板和一塊H形端板，在U形端板和H形端板之間連接兩塊側板，沿各側板的長度方向、在所述兩塊側板相對的面上分別對稱開設若干插槽，其特征在于:在每塊側板的上表面覆蓋一齒板，所述齒板上成排設置與插槽的齒寬和齒距一致的鋸齒，所述齒板沿著側板的長度方向可移動式連接在側板上。
[0007]無外力作用時，齒板上鋸齒對應地排列在相鄰的插槽中，可以有效防止在機械或人工搬動、翻轉時晶片發生滑落的意外發生。通過外力使齒板沿著側板的長度方向移動，使齒板上鋸齒與插槽重疊，即可實現晶片的取出或插入。本實用新型所提供的晶片花籃適用于太陽能電池芯片、IC芯片、LED芯片等半導體制造領域。適用于晶片的存放、搬運，涂膠、光刻、顯影等工藝，方便晶片的作業、搬運及存儲，提高了晶片的安全性。
[0008]實現齒板沿著側板的長度方向可移動式連接在側板上的一種具體結構是:在朝向U形端板的側板上端面設置軸向平行于側板的長度方向的插孔，在朝向H形端板的側板上端固定連接一垂直于側板上端面的鉚釘，在朝向U形端板的齒板端部連體設置一插銷，在朝向H形端板的齒板端部連體設置一平板，在平板上開設與側板長度方向平行的長槽，在長槽外端的平板上設置有推柄;所述插銷插置于插孔內，所述鉚釘配合在長槽內；在齒板的中部連接一拉桿，所述拉桿與彈簧的一端連接，彈簧的另一端與一固定銷連接，所述固定銷固定連接在側板上，拉桿較固定銷遠離H形端板。
[0009]無外力時在彈簧的拉力下，齒板上鋸齒一一對應地排列在相鄰的插槽中，達到阻擋的作用，通過推柄，可使齒板克服彈簧拉力向U形端板一側移動，即可方便地使齒板上鋸齒與插槽重疊。
[0010]由于設計用于存放晶片的量較大，側板和齒板也相應地較長，為了加強齒板移動時的導向，本實用新型還在齒板上還設置I至3根垂直于側板長度方向的副插銷，各副插銷對應地插置于設置在側板上端面的副插孔中，各副插孔設有與平板上長槽平行的長形孔。
[0011]另外，所述鋸齒的齒尖短于插槽的齒尖，可以很好地阻擋晶片滑落，同時又節約制作材料，符合美觀要求。
[0012]花籃的材料包括但不限于特氟龍、金屬或者PP材質等。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的一種結構示意圖。
[0014]圖2為圖1的俯視圖。
【具體實施方式】
[0015]如圖1、2所示，本實用新型由一塊U形端板1、一塊H形端板2和兩側側板3依次相互連接形成矩形(現行行業中統稱為方形)的晶片花籃本體，兩塊側板3的兩端連接在U形端板I和H形端板2之間。在兩塊側板3相對的面上分別對稱開設若干插槽3-1。
[0016]本實用新型的特點是:
[0017]在每塊側板3的上表面覆蓋一齒板4，齒板4上成排設置與插槽3-1的齒寬和齒距一致的鋸齒4-1。
[0018]在朝向U形端板I的側板3上端面設置軸向平行于側板3的長度方向的插孔5，在朝向H形端板2的側板3上端固定連接一垂直于側板3上端面的鉚釘6，在朝向U形端板I的齒板4端部連體設置一插銷4-2，在朝向H形端板2的齒板4端部連體設置一平板4-3，在平板4-3上開設置與側板3長度方向平行的長槽4-4，在長槽4-4外端的平板4-3上連體設置有推柄4-5。插銷4-2插置于插孔5內，鉚釘6配合在長槽4-4內。
[0019]在齒板4的中部連體設置一拉桿4-6，在拉桿4-6的兩側的齒板4上還連體設置與拉桿4-6平行且垂直于側板3長度方向的兩根副插銷4-7。拉桿4-6與彈簧7的一端連接，彈簧7的另一端與一固定銷8連接，固定銷8固定連接在側板3上，拉桿4-6較固定銷8遠離H形端板
2。各副插銷4-7對應地插置于設置在側板3上端面的副插孔9中，各副插孔9設有與平板4-3上長槽4-4平行的長形孔，以使副插孔9在相應的副插孔9內沿側板3的長度方向移動。
[0020]為滿足花籃H型端向下放置時，推柄4-5可以完全縮回，不影響端面平整性，推柄4-5伸出長度(或者叫行程)L3應該小于等于L4、L5、L6、L7。
[0021 ]鋸齒4-1的齒尖LI小于插槽的齒尖L2，當L1:L2= 1: 2時最佳。以一種常見的2寸晶片花籃為例，花籃開口距離約為54mm，鋸齒距離約為38mm，當設計的鋸齒為1:2時，開口距離為46mm，晶片滑向花藍任意一側的時候，距離為46+4=50mm，正常2寸晶片尺寸為50.8 土
0.025_，大于開口尺寸，可以很好地阻擋晶片滑落，同時又節約制作材料，符合美觀要求。
【主權項】
1.一種可防止晶片滑落的晶片花籃，包括一塊U形端板和一塊H形端板，在U形端板和H形端板之間連接兩塊側板，沿各側板的長度方向、在所述兩塊側板相對的面上分別對稱開設若干插槽，其特征在于:在每塊側板的上表面覆蓋一齒板，所述齒板上成排設置與插槽的齒寬和齒距一致的鋸齒，所述齒板沿著側板的長度方向可移動式連接在側板上。2.根據權利要求1所述可防止晶片滑落的晶片花籃，其特征在于在朝向U形端板的側板上端面設置軸向平行于側板的長度方向的插孔，在朝向H形端板的側板上端固定連接一垂直于側板上端面的鉚釘，在朝向U形端板的齒板端部連體設置一插銷，在朝向H形端板的齒板端部連體設置一平板，在平板上開設與側板長度方向平行的長槽，在長槽外端的平板上設置有推柄;所述插銷插置于插孔內，所述鉚釘配合在長槽內；在齒板的中部連接一拉桿，所述拉桿與彈簧的一端連接，彈簧的另一端與一固定銷連接，所述固定銷固定連接在側板上，拉桿較固定銷遠離H形端板。3.根據權利要求2所述可防止晶片滑落的晶片花籃，其特征在于在齒板上還設置I至3根垂直于側板長度方向的副插銷，各副插銷對應地插置于設置在側板上端面的副插孔中，各副插孔設有與平板上長槽平行的長形孔。4.根據權利要求1或2或3所述可防止晶片滑落的晶片花籃，其特征在于所述鋸齒的齒尖短于插槽的齒尖。
【文檔編號】H01L21/673GK205428884SQ201521080140
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年12月23日
【發明人】李波, 李俊承, 郭冠軍, 楊凱, 林洪亮, 徐洲, 王英
【申請人】揚州乾照光電有限公司