一種針測機光學影像系統降溫裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造設備技術領域，尤其涉及一種針測機光學影像系統降溫裝置。
【背景技術】
[0002]晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。半導體的生產和制造在不斷的發展中形成了完善的生產流程。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。通常晶圓測試會需要承載托盤提供一個高溫環境，承載托盤可能將晶圓加熱到135攝氏度。當承載托盤將晶圓移動到光學影像系統下接受定位監測時，晶圓與光學影像系統之間只有不到500um的間距，光學影像系統受到承載托盤的高溫烘烤，會導致光學影像誤差。光學影像系統在光信號轉成數字信號時，轉換信號受到溫度影響會存在一定的誤差，這些誤差會使得測試過程中晶圓本身、探針卡本身及測試結果的準確性受到相當大的影響，會出現晶圓刮傷、探針卡針撞傷及測試結果不準確等問題。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的針對上述現有技術的問題，提供一種針測機光學影像系統降溫裝置，在針測機的光學影像系統內部加裝了一個主動散熱的降溫裝置，使得光學影像系統內部一旦工作起來就會有急速的常溫空氣流過，帶走光學影像系統內部的熱量，不會因為承載托盤的烘烤而在光學影像系統內部囤積熱量，發生測量誤差。
[0004]為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是:
[0005]一種針測機光學影像系統降溫裝置，包括直流電源、光信號傳感器、光敏電阻R2、三極管Tl、繼電器、電磁氣壓閥，所述直流電源通過電阻Rl與光信號傳感器相連，所述繼電器的線圈與直流電源相連，所述光信號傳感器與光敏電阻R2相連，所述光敏電阻R2的兩端分別與晶體管Tl的基極b和發射極e相連，所述晶體管Tl的集電極c與繼電器的線圈相連，所述繼電器的開關與電磁氣壓閥相連。
[0006]進一步地，所述電磁氣壓閥上設有進氣口和出氣口。
[0007]進一步地，所述進氣口通過氣管與風機相連，所述出氣口通過氣管與光學影像系統相連。
[0008]進一步地，所述風機為變頻風機。
[0009]進一步地，所述直流電源為12V電源。
[0010]進一步地，有電阻R3與二極管Dl串聯后并聯在所述繼電器的線圈上。
[0011]進一步地，所述三極管Tl為NPN三極管。
[0012]本實用新型的有益效果:一種針測機光學影像系統降溫裝置，在針測機的光學影像系統內部加裝了一個主動散熱的降溫裝置，使得光學影像系統內部一旦工作起來就會有急速的常溫空氣流過，帶走光學影像系統內部的熱量，不會因為承載托盤的烘烤而在光學影像系統內部囤積熱量，發生測量誤差；確保光學影像系統在高溫環境下的精確度和穩定性，改善晶圓測試質量；避免光學影像系統因承載托盤烘烤造成的量測誤差導致的晶圓刮傷、探針卡撞傷及測試結果不準確等問題。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型降溫裝置原理圖。
【具體實施方式】
[0014]為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
[0015]具體實施時，結合圖1，一種針測機光學影像系統降溫裝置，包括直流電源、光信號傳感器、光敏電阻R2、三極管Tl、繼電器、電磁氣壓閥。直流電源通過電阻Rl與光信號傳感器相連，繼電器的線圈與直流電源相連。光信號傳感器與光敏電阻R2相連，光敏電阻R2的兩端分別與晶體管Tl的基極b和發射極e相連，晶體管Tl的集電極c與繼電器的線圈相連，繼電器的開關與電磁氣壓閥相連。電磁氣壓閥上設有進氣口和出氣口。電磁氣壓閥的進氣口通過氣管與風機相連，電磁氣壓閥的出氣口通過氣管與光學影像系統相連。直流電源為12V電源。三極管Tl為NPN三極管。
[0016]為了節約能源，風機可以采用變頻風機。
[0017]為了便于繼電器的線圈放電，有電阻R3與二極管Dl串聯后并聯在所述繼電器的線圈上。
[0018]具體工作時，光信號傳感器安裝在光學影像系統內，攝像頭啟動光源發光位置，以接受系統開始工作的光信號。光信號由信號放大器將光源開啟和關閉的信息轉換成O和I的數字信號接入繼電器。繼電器接電磁氣壓閥電源，用于控制開啟和閉合電磁氣壓閥。電磁氣壓閥進氣口接針測機本身的壓縮空氣風機，出氣口接入光學影像系統內部，實現了光學影像系統一啟動就會有干燥常溫的急速氣流開啟穿過整個系統內部，系統定位結束后，自動關閉氣流，節省資源，能有效的控制系統內的溫度隨承載托盤的烘烤而上升。
[0019]針測機光學影像系統降溫裝置，在針測機的光學影像系統內部加裝了一個主動散熱的降溫裝置，使得光學影像系統內部一旦工作起來就會有急速的常溫空氣流過，帶走光學影像系統內部的熱量，不會因為承載托盤的烘烤而在光學影像系統內部囤積熱量，發生測量誤差；確保光學影像系統在高溫環境下的精確度和穩定性，改善晶圓測試質量；避免光學影像系統因承載托盤烘烤造成的量測誤差導致的晶圓刮傷、探針卡撞傷及測試結果不準確等問題。
[0020]上面所述的實施例僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述，并非對本實用新型的構思和范圍進行限定。在不脫離本實用新型設計構思的前提下，本領域普通人員對本實用新型的技術方案做出的各種變型和改進，均應落入到本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:包括直流電源、光信號傳感器、光敏電阻R2、三極管Tl、繼電器、電磁氣壓閥，所述直流電源通過電阻Rl與光信號傳感器相連，所述繼電器的線圈與直流電源相連，所述光信號傳感器與光敏電阻R2相連，所述光敏電阻R2的兩端分別與晶體管Tl的基極b和發射極e相連，所述晶體管Tl的集電極c與繼電器的線圈相連，所述繼電器的開關與電磁氣壓閥相連。2.按照權利要求1所述的一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:所述電磁氣壓閥上設有進氣口和出氣口。3.按照權利要求2所述的一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:所述進氣口通過氣管與風機相連，所述出氣口通過氣管與光學影像系統相連。4.按照權利要求3所述的一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:所述風機為變頻風機。5.按照權利要求1所述的一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:所述直流電源為12V電源。6.按照權利要求1所述的一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:有電阻R3與二極管Dl串聯后并聯在所述繼電器的線圈上。7.按照權利要求1所述的一種針測機光學影像系統降溫裝置，其特征在于:所述三極管Tl為NPN三極管。
【專利摘要】本實用新型公開了一種針測機光學影像系統降溫裝置，包括直流電源、光信號傳感器、光敏電阻R2、三極管T1、繼電器、電磁氣壓閥，所述直流電源通過電阻R1與光信號傳感器相連，所述繼電器的線圈與直流電源相連，所述光信號傳感器與光敏電阻R2相連，所述光敏電阻R2的兩端分別與晶體管T1的基極b和發射極e相連，所述晶體管T1的集電極c與繼電器的線圈相連，所述繼電器的開關與電磁氣壓閥相連。本實用新型降溫裝置，在光學影像系統內部加裝了一個主動散熱的降溫裝置，使得光學影像系統內部一旦工作起來就會有急速的常溫空氣流過，帶走光學影像系統內部的熱量，不會因為承載托盤的烘烤而在光學影像系統內部囤積熱量、發生測量誤差。
【IPC分類】H01L21/66
【公開號】CN205177789
【申請號】CN201520828731
【發明人】沈順金
【申請人】安徽超元半導體有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年10月22日