一種通用型掛架機構的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種通用型花籃掛架，屬于對晶圓片進行酸洗的放置機構領域。
【背景技術】
[0002]根據客戶要求，有的機臺需要滿足多種規格的花籃清洗，不同規格的花籃往往需要制造多種對應的花籃掛架，成本較高。
[0003]因為在以往的機臺中，花籃的掛架比較單一，不同的花籃需要專用的掛架，掛架通用性差，在清洗時，需要根據不同的花籃來更換掛架，所以在更換時會占用一些時間，更換過程中也會產生好多不確定因素，如碰撞、摩擦等，會造成零部件的損傷。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型要解決的技術問題是:根據所做設備的經驗及使用中所產生的問題缺陷，提供一種掛架可以滿足至少三種規格的花籃使用。
[0005]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:
[0006]一種通用型掛架機構，包括花籃和掛架，在所述花籃的軸向兩端各設置有一個滑槽，所述滑槽包括設置在花籃兩側擋板上的缺口，所述缺口包括設置在缺口頂部的卡塊；
[0007]所述掛架包括一個掛鉤組件以及設置在掛鉤組件軸向兩端與滑槽對應的兩個掛板，在所述掛板上設置有與所述缺口對應的卡條，所述卡條的一端設置有與所述卡塊對應的卡槽，在卡條定一端設置有一個厚度小于等于卡條的凸臺，凸臺與卡條之間的夾角大于90。。
[0008]作為本實用新型的進一步創新，所述凸臺背向卡條的一端設置有倒角。
[0009]作為本實用新型的進一步創新，掛架機構還包括用于固定掛架的移動臂，在所述移動臂上設置有用于固定掛架的矩形卡塊，所述掛架的掛鉤組件包括一個與矩形卡塊對應的矩形掛鉤。
[0010]作為本實用新型的進一步創新，所述掛鉤組件包括一個掛鉤板，所述掛鉤板與掛板之間通過螺釘固定連接。
[0011]作為本實用新型的進一步創新，所述卡塊的軸向兩端同軸設置有兩個限位板。
[0012]作為本實用新型的進一步創新，所述掛板之間通過一個連接板固定連接。
[0013]作為本實用新型的進一步創新，在所述連接板上設置有一個提拉用開口。
[0014]作為本實用新型的進一步創新，在所述連接板朝向掛板的一端設置有一個三角形的開口狀缺口。
[0015]本實用新型的有益效果是:
[0016]1、此掛架橫向凸臺的設計方式取代了之前的縱向卡槽，在保證花籃裝夾穩定的同時，結構也更加簡單，同時降低了生產的難度和成本。最終實現來了一種掛架適用多種花候
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[0017]2、連接板上的缺口可以引導液體流動，防止殘留在掛架上的液體滴到花籃上，流到花籃中，影響產品的潔凈度。
[0018]3、采用螺絲連接，若掛架出現問題，只需擰開螺絲，把壞掉的那邊掛架取下，換上新的即可。同時可以節約大量的時間和成本。
[0019]4、掛板掛鉤出設計了一個提拉用開口，方便手動裝載和拆卸。
【附圖說明】
[0020]下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0021]圖1是本實用新型的結構總圖；
[0022]圖2是掛板的結構示意圖；
[0023]圖3是花籃的結構示意圖。
[0024]圖中:掛板1、卡條2、卡槽3、凸臺4、連接板5、開口 6、限位板7、缺口 8。
【具體實施方式】
[0025]現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
[0026]如圖1所示，本實用新型為一種通用型掛架機構，包括花籃和掛架，在所述花籃的軸向兩端各設置有一個滑槽，所述滑槽包括設置在花籃兩側擋板上的缺口，所述缺口包括設置在缺口頂部的卡塊；
[0027]所述掛架包括一個掛鉤組件以及設置在掛鉤組件軸向兩端與滑槽對應的兩個掛板1，在所述掛板1上設置有與所述缺口對應的卡條2，所述卡條2的一端設置有與所述卡塊對應的卡槽3，在卡條2定一端設置有一個厚度小于等于卡條2的凸臺4，凸臺4與卡條2之間的夾角大于90°，所述凸臺4背向卡條2的一端設置有倒角；
[0028]掛架機構還包括用于固定掛架的移動臂，在所述移動臂上設置有用于固定掛架的矩形卡塊，所述卡塊的軸向兩端同軸設置有兩個限位板7，所述掛架的掛鉤組件包括一個與矩形卡塊對應的矩形掛鉤；
[0029]所述掛鉤組件包括一個掛鉤板，所述掛鉤板與掛板1之間通過螺釘固定連接，所述掛板1之間通過一個連接板5固定連接，在所述連接板5上還設置有一個提拉用開口 6，在連接板5對應提拉用開口 6下方設置有一個三角形的開口狀缺口 8 ;
[0030]利用4~6寸花籃的長度相同以及側邊都有卡口凸臺4的特點。在裝夾花籃時，各尺寸凸臺4都能很好地與掛架的卡槽3配合，使得每種花籃都能很好的固定在掛架上。
[0031]以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
【主權項】
1.一種通用型掛架機構，其特征是:包括花籃和掛架，在所述花籃的軸向兩端各設置有一個滑槽，所述滑槽包括設置在花籃兩側擋板上的缺口，所述缺口包括設置在缺口頂部的卡塊； 所述掛架包括一個掛鉤組件以及設置在掛鉤組件軸向兩端與滑槽對應的兩個掛板，在所述掛板上設置有與所述缺口對應的卡條，所述卡條的一端設置有與所述卡塊對應的卡槽，在卡條定一端設置有一個厚度小于等于卡條的凸臺，凸臺與卡條之間的夾角大于90°。2.如權利要求1所述的一種通用型掛架機構，其特征是:所述凸臺背向卡條的一端設置有倒角。3.如權利要求1所述的一種通用型掛架機構，其特征是:掛架機構還包括用于固定掛架的移動臂，在所述移動臂上設置有用于固定掛架的矩形卡塊，所述掛架的掛鉤組件包括一個與矩形卡塊對應的矩形掛鉤。4.如權利要求3所述的一種通用型掛架機構，其特征是:所述掛鉤組件包括一個掛鉤板，所述掛鉤板與掛板之間通過螺釘固定連接。5.如權利要求3所述的一種通用型掛架機構，其特征是:所述卡塊的軸向兩端同軸設置有兩個限位板。6.如權利要求1所述的一種通用型掛架機構，其特征是:所述掛板之間通過一個連接板固定連接。7.如權利要求6所述的一種通用型掛架機構，其特征是:在所述連接板上設置有一個提拉用開口。8.如權利要求6所述的一種通用型掛架機構，其特征是:在所述連接板朝向掛板的一端設置有一個三角形的開口狀缺口。
【專利摘要】本實用新型涉及一種通用型掛架機構，包括花籃和掛架，在花籃的軸向兩端各設置有一個滑槽，滑槽包括設置在花籃兩側擋板上的缺口，缺口包括設置在缺口頂部的卡塊；掛架包括一個掛鉤組件以及設置在掛鉤組件軸向兩端與滑槽對應的兩個掛板，在掛板上設置有與缺口對應的卡條，卡條的一端設置有與卡塊對應的卡槽，在卡條定一端設置有一個厚度小于等于卡條的凸臺，凸臺與卡條之間的夾角大于90°；此掛架橫向凸臺的設計方式取代了之前的縱向卡槽，在保證花籃裝夾穩定的同時，結構也更加簡單，同時降低了生產的難度和成本。最終實現來了一種掛架適用多種花籃。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN205050813
【申請號】CN201520644521
【發明人】卡爾·羅伯特·休斯特
【申請人】硅密（常州）電子設備有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年8月25日