一種多晶硅片單面制絨系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及太陽能硅片制絨領域,具體涉及一種多晶硅片單面制絨系統。
【背景技術】
[0002]在太陽能電池的生產環節中,制絨是一個非常關鍵的工序。多晶硅片的制絨是利用酸性腐蝕液對硅片表面進行刻蝕,該反應為各向同性反應,會在多晶硅片表面形成粒狀的腐蝕坑,這些腐蝕坑有助于入射光在其表面多次反射,增加了入射進硅片的幾率,從而降低了反射率,提高太陽能電池的光電轉換效率。目前多晶制絨的設備分為鏈式和槽式兩種,鏈式占據80%以上的份額。無論采用哪種設備,在制絨時硅片兩面都需要浸沒在藥液中,在制絨完成后,硅片的正反兩面都會被刻蝕形成絨面。正面的絨面有利于光線吸收,是有益的。但背面的絨面并沒有益處。一方面,背面的絨面減少了背反射,使得長波段的光線更少地反射回硅片內部進行二次吸收,從而降低光電轉換效率;另一方面,背面的絨面會使得硅片的減薄提高約4個微米,這既增加了藥液的反應消耗,提高了生產成本,又使得硅片厚度變薄,碎片率會隨之上升。
【發明內容】
[0003]本實用新型目的在于提供一種多晶硅片的單面制絨系統,該系統克服了現有雙面制絨裝置的不足,更加適合應用于電池片的工業化生產中。
[0004]為實現上述發明目的,本實用新型采取的技術方案為:
[0005]一種多晶硅片單面制絨系統,所述系統包括滾輪、噴淋器、硅片探測器、循環控溫系統、槽體及藥液,所述噴淋器位于所述滾輪的上方。
[0006]作為優選,所述噴淋器的前端和后端至少各設置一個硅片探測器。
[0007]作為優選,所述滾輪與所述槽體中的藥液沒有直接接觸。
[0008]由于采用了上述技術方案,與現有設備相比,本實用新型的有益效果包括:
[0009]本實用新型相比傳統的雙面制絨裝置,硅片不是浸沒在藥液中進行制絨,而是將藥液通過噴淋器噴灑在硅片上表面,而硅片的下表面不與藥液接觸,從而僅對硅片的上表面進行單面制絨。這樣一方面減少了藥液的消耗,降低了生產成本;另一方面減少了硅片的去損量,提高了制絨后硅片的厚度,從而降低了制絨工序的碎片率。
【附圖說明】
[0010]下面結合附圖對本實用新型進一步說明。
[0011]圖1是本實用新型實施例的系統結構示意圖;
[0012]附圖標記:1-滾輪,2-噴淋器,3-硅片探測器,4-循環控溫系統,5-槽體,6_藥液,
7-娃片。
【具體實施方式】
[0013]下面結合實例對本實用新型進行詳細的說明。
[0014]具體實施例僅僅是對本實用新型的解釋,并不是對本實用新型的限制,本領域技術人員在閱讀完本說明書后可以根據需要對本實施例做出沒有創造性貢獻的修改,但只要在本實用新型的權利要求范圍內都受到專利法的保護。
[0015]實施例:
[0016]如圖1所示,多晶硅片單面制絨系統包括滾輪1、噴淋器2、硅片探測器3、循環控溫系統4、槽體5及藥液6。噴淋器2設置在滾輪1的上方,用于對硅片上表面噴灑藥液。滾輪的材質為不銹鋼內芯外部包裹PVDF ;槽體材質為PVDF ;硅片探測器4為耐酸光電開關。
[0017]本系統在使用時,硅片隨滾輪的滾動向前移動,當硅片探測器探測到硅片進入槽體范圍時,噴淋器開始工作,向硅片上表面噴淋藥液直至其離開槽體。藥液只對硅片的上表面進行腐蝕制絨。多余的藥液會排入槽體中重復使用,循環控溫系統從槽體中抽取藥液,達到工藝溫度后將藥液栗送至噴淋器。槽體中藥液的高度始終低于滾輪,從而保證滾輪不會將藥液帶至硅片下表面。
【主權項】
1.一種多晶硅片單面制絨系統,所述系統包括滾輪(1)、噴淋器(2)、硅片探測器(3)、循環控溫系統(4)、槽體(5 )及藥液(6 ),其特征在于,所述噴淋器(2 )位于所述滾輪(1)的上方。2.如權利要求1所述的多晶硅片單面制絨系統,其特征在于:所述噴淋器(2)的前端和后端至少各設置一個硅片探測器(3 )。3.如權利要求1所述的多晶硅片單面制絨系統,其特征在于:所述滾輪(1)與所述槽體(5)中的藥液(6)沒有直接接觸。
【專利摘要】本實用新型提供了一種多晶硅片單面制絨系統,包括滾輪、噴淋器、傳感器、循環控溫系統、槽體及藥液。本實用新型結構合理,構造簡單,可以實現多晶硅片的單面制絨。相比傳統的雙面制絨裝置,本實用新型裝置僅對硅片的上表面進行制絨,一方面減少了藥液的消耗,降低了生產成本;另一方面減少了硅片的去損量,提高了制絨后硅片的厚度,從而降低了制絨工序的碎片率。
【IPC分類】C30B33/10, H01L31/18
【公開號】CN205016550
【申請號】CN201520788310
【發明人】季根華, 劉鋒, 李翔
【申請人】蘇州旭環光伏科技有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月14日