一種新型加熱盤與腔體定位工裝的制作方法
【專利說明】
[0001]技術領域:本實用新型涉及一種加熱盤和腔體的中心定位結構，尤其是一種新型加熱盤與腔體定位工裝，主要應用于半導體設備
[0002]【背景技術】:半導體設備中，設備安裝時腔體需要與加熱盤保持同心。這樣設備在做工藝的時候才能實現晶元表面膜的沉積的均勻性，保證工藝的穩定性。如果腔體與加熱盤安裝時不同心，做工藝時的不穩定性。這樣一來，不易于工藝沉積的結果。
[0003]【實用新型內容】:針對上述現有技術的不足，本實用新型提供了一種新型加熱盤與腔體定位工裝。
[0004]為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種新型加熱盤與腔體定位工裝，包括上支撐，下支撐，定位銷軸，上滑塊和下滑塊。三角形的上支撐通過定位銷軸與下支撐連接。上滑塊固定在上支撐上，下滑塊固定在下支撐上。上支撐的末端設有與腔體內表面接觸的上接觸塊。下支撐的末端設有與加熱盤外表面接觸的下接觸塊。
[0005]優選的，所述的上滑塊通過上螺栓固定在上支撐上。
[0006]優選的，所述的下滑塊通過下螺栓固定在下支撐上。
[0007]本實用新型結構緊湊合理，由于采用上下兩個定位工裝分別實施定位中心，實現腔體與加熱盤同心的目的，滿足設備安裝后加熱盤與腔體保持同心的新型結構。通過定位銷軸來定位兩個工裝的中心，進而能滿足腔體與加熱盤同心的目的，以滿足使用要求，保證工藝的穩定性。
【附圖說明】
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[0008]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
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[0009]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0010]如圖1所示:一種新型加熱盤與腔體定位工裝，包括上支撐1，下支撐6，定位銷軸2，上滑塊3和下滑塊9。三角形的上支撐I通過定位銷軸2與下支撐6連接。上滑塊3通過上螺栓4固定在上支撐I上，下滑塊9塊通過下螺栓8固定在下支撐6上。上支撐I的末端設有與腔體內表面接觸的上接觸塊5。下支撐6的末端設有與加熱盤外表面接觸的下接觸塊7。
[0011]設備安裝時，需要腔體與加熱盤保持同心。首先安裝工裝下半部分定位加熱盤的下支撐6，然后安裝下滑塊9，使下接觸塊7和下滑塊9的內表面與加熱盤外表面充分接觸，然后鎖緊下螺栓8使工裝下半部分與加熱盤同心。然后安裝工裝上半部分的上支撐I及上滑塊3，使上接觸塊5和上滑塊3的外表面與腔體內表面充分接觸，然后鎖緊上螺栓4使工裝上半部分與腔體同心。最后插入定位銷軸2，實現工裝上半部分與下半部分同心，進而達到腔體與加熱盤同心的目的。兩者同心之后固定加熱盤。這樣就保證加熱盤安裝之后與腔體同心，以滿足使用要求，保證工藝的穩定性。
【主權項】
1.一種新型加熱盤與腔體定位工裝，其特征在于:包括上支撐，下支撐，定位銷軸，上滑塊和下滑塊；三角形的上支撐通過定位銷軸與下支撐連接，上滑塊固定在上支撐上，下滑塊固定在下支撐上，上支撐的末端設有與腔體內表面接觸的上接觸塊，下支撐的末端設有與加熱盤外表面接觸的下接觸塊。2.如權利要求1所述的一種新型加熱盤與腔體定位工裝，其特征在于:所述的上滑塊通過上螺栓固定在上支撐上。3.如權利要求1所述的一種新型加熱盤與腔體定位工裝，其特征在于:所述的下滑塊通過下螺栓固定在下支撐上。
【專利摘要】一種新型加熱盤與腔體定位工裝，包括上支撐，下支撐，定位銷軸，上滑塊和下滑塊。三角形的上支撐通過定位銷軸與下支撐連接。上滑塊固定在上支撐上，下滑塊固定在下支撐上。上支撐的末端設有與腔體內表面接觸的上接觸塊。下支撐的末端設有與加熱盤外表面接觸的下接觸塊。本實用新型結構緊湊合理，由于采用上下兩個定位工裝分別實施定位中心，實現腔體與加熱盤同心的目的，滿足設備安裝后加熱盤與腔體保持同心的新型結構。通過定位銷軸來定位兩個工裝的中心，進而能滿足腔體與加熱盤同心的目的，以滿足使用要求，保證工藝的穩定性。
【IPC分類】H01L21/68
【公開號】CN204741008
【申請號】CN201520364144
【發明人】馬壯, 劉憶軍
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年5月29日