一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池片加工設備領域，特別涉及一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管。
【背景技術】
[0002]石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，在進行鍍膜時，將插有未鍍膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空鍍膜設備腔體內且利用PECVD工藝進行放電鍍膜。鍍膜結束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。
[0003]目前的石墨舟一般包括石墨舟片、陶瓷管、石墨棒、石墨隔塊等石墨配件構成，如中國專利申請公布號CN102354676A(申請公布日2012.02.15)公開了一種石墨舟，其包括交錯分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間通過石墨棒及石墨螺母串接后緊固連接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間均通過陶瓷管相隔離；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間端部的石墨棒上套有石墨塊；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均設置有石墨棒安裝孔。但是目前這種結構的石墨舟的陶瓷管與石墨棒之間通過間隙配合，使得陶瓷管內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成一空氣腔，而在進行PECVD工藝時，需要要求設備內為無氧環境，但是該空氣腔內的空氣在鍍膜過程中會緩慢釋放氧氣，影響設備內的無氧環境，從而影響鍍膜效果。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于針對現有的石墨舟的陶瓷管的上述不足和缺陷，提供一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，該陶瓷管可以避免陶瓷管內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成空氣腔，以解決上述問題。
[0005]本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現:
[0006]一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設置在相鄰兩石墨舟片之間且與石墨棒間隙配合的陶瓷管本體，所述陶瓷管本體內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成一空氣腔，其特征在于，所述陶瓷管本體上開設有與所述空氣腔連通的通孔。
[0007]在本實用新型的一個優選實施例中，所述通孔包括設置在所述陶瓷管本體一端或兩端的缺口。
[0008]在本實用新型的一個優選實施例中，所述陶瓷管本體的每一端均設置有兩個所述缺口，且同一端的兩個所述缺口關于所述陶瓷管本體的中軸線對稱設置。
[0009]在本實用新型的一個優選實施例中，所述陶瓷管本體的至少一端外壁為漸縮錐形面。
[0010]由于采用了如上的技術方案，本實用新型在進行PECVD工藝時，空氣腔內部可被抽成真空，所以該陶瓷管可以避免陶瓷管內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成空氣腔，保證設備內為無氧環境，保證利用PECVD工藝鍍膜的效果。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本實用新型的實施例1的結構示意圖。
[0013]圖2是圖1的左視圖。
[0014]圖3是圖1的俯視圖。
[0015]圖4是本實用新型的實施例1的使用狀態結構示意圖。
[0016]圖5是本實用新型的實施例2的結構示意圖。
[0017]圖6是圖5的左視圖。
[0018]圖7是圖6的右視圖。
[0019]圖8是圖6的俯視圖。
[0020]圖9是本實用新型的實施例2的使用狀態結構示意圖。
【具體實施方式】
[0021]為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面進一步闡述本實用新型。
[0022]實施例1
[0023]參見圖1至圖4所示的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設置在相鄰兩石墨舟片10a、10b之間且與石墨棒20間隙配合的陶瓷管本體30，陶瓷管本體30內壁31、石墨棒20外壁以及相鄰兩石墨舟片10a、1b之間所圍成區域形成一空氣腔。在陶瓷管本體30上開設有與空氣腔連通的通孔。本實施例中的通孔為開設在陶瓷管本體30其中一端的缺口 32。
[0024]實施例2
[0025]參見圖5至圖9所示的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設置在相鄰兩石墨舟片10a’、10b’之間且與石墨棒20’間隙配合的陶瓷管本體30’，陶瓷管本體30’內壁31’、石墨棒20’外壁以及相鄰兩石墨舟片10a’、10b’之間所圍成區域形成一空氣腔。在陶瓷管本體30’上開設有與空氣腔連通的通孔。本實施例中的通孔為分別開設在陶瓷管本體30’兩端的一對缺口 32’，且同一端的兩個缺口 32’關于陶瓷管本體30’的中軸線對稱設置，陶瓷管本體30’兩端的一對缺口 32’的中心連線相互垂直。為了使得陶瓷管本體30’與相鄰兩石墨舟片10a’、10b’之間的配合更加緊密，本實施例中的陶瓷管本體30’的其中一端外壁為漸縮錐形面33’。
[0026]本實用新型在進行PECVD工藝時，空氣腔內部可被抽成真空，所以該陶瓷管可以避免陶瓷管內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成空氣腔，保證設備內為無氧環境，保證利用PECVD工藝鍍膜的效果。
[0027]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設置在相鄰兩石墨舟片之間且與石墨棒間隙配合的陶瓷管本體，所述陶瓷管本體內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成一空氣腔，其特征在于，所述陶瓷管本體上開設有與所述空氣腔連通的通孔。
2.如權利要求1所述的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，其特征在于，所述通孔包括設置在所述陶瓷管本體一端或兩端的缺口。
3.如權利要求2所述的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，其特征在于，所述陶瓷管本體的每一端均設置有兩個所述缺口，且同一端的兩個所述缺口關于所述陶瓷管本體的中軸線對稱設置。
4.如權利要求1至3任一權利要求所述的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，其特征在于，所述陶瓷管本體的至少一端外壁為漸縮錐形面。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設置在相鄰兩石墨舟片之間且與石墨棒間隙配合的陶瓷管本體，所述陶瓷管本體內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成一空氣腔，所述陶瓷管本體上開設有與所述空氣腔連通的通孔。本實用新型在進行PECVD工藝時，空氣腔內部可被抽成真空，所以該陶瓷管可以避免陶瓷管內壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區域形成空氣腔，保證設備內為無氧環境，保證利用PECVD工藝鍍膜的效果。
【IPC分類】H01L21-673
【公開號】CN204558430
【申請號】CN201520257122
【發明人】張孟彤
【申請人】上海弘楓實業有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年4月24日