柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法

柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法
【專利摘要】本發明涉及一種柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法，其中，柔性基板剝離裝置包括：控制器、第一傳送載臺及激光器。第一傳送載臺用于承載并傳送待剝離的柔性器件，且襯底基板用于接觸第一傳送載臺。第一傳送載臺包括第一傳送區域及激光照射區域，且第一傳送載臺至少在位于激光照射區域的部位設有間隙。激光器用于通過間隙對待剝離的柔性器件進行激光照射。控制器與第一傳送載臺電連接，且控制器用于控制第一傳送載臺按照由第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送待剝離的柔性器件。該柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法在對待剝離的柔性器件進行剝離時，柔性基板上的顯示器件不會接觸到剝離設備。
【專利說明】
柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法
技術領域
[0001]本發明涉及柔性顯示技術領域，特別是涉及一種柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法。
【背景技術】
[0002]柔性顯示器具有耐沖擊、重量輕、攜帶方便等優點，其具有傳統顯示器不能實現的功能和用戶體驗的優勢，因此柔性顯示技術越來越受到人們的重視。
[0003]在柔性顯示器的制備過程中，以柔性OLED顯示器為例，首先需將柔性基板制備或吸附于硬性的襯底基板(例如玻璃基板)表面，再在柔性基板上制備OLED器件。當OLED器件制備完成后，需將柔性基板利用激光剝離、藥液剝離等剝離技術從襯底基板上剝離。
[0004]然而，傳統的剝離技術在剝離過程中，柔性基板上的顯示器件容易接觸到剝離設備，嚴重的甚至可能損壞顯示器件，從而造成資源浪費。

【發明內容】

[0005]基于此，有必要針對傳統剝離技術在剝離過程中柔性基板上的顯示器件容易接觸到剝離設備的問題，提供一種柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法。
[0006]—種柔性基板剝離裝置，用于對待剝離的柔性器件進行剝離，所述待剝離的柔性器件包括襯底基板及形成于所述襯底基板上的柔性基板，所述柔性基板剝離裝置包括:控制器、第一傳送載臺及激光器；
[0007]所述第一傳送載臺用于承載并傳送所述待剝離的柔性器件，且所述襯底基板用于接觸所述第一傳送載臺；所述第一傳送載臺包括第一傳送區域及激光照射區域，且所述第一傳送載臺至少在位于所述激光照射區域的部位設有間隙;所述激光器用于通過所述間隙對所述待剝離的柔性器件進行激光照射;所述控制器與所述第一傳送載臺電連接，且所述控制器用于控制所述第一傳送載臺按照由所述第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送所述待剝離的柔性器件。
[0008]在其中一個實施例中，所述第一傳送載臺為滾輪傳送裝置。
[0009]在其中一個實施例中，所述第一傳送載臺還包括第二傳送區域，且所述激光照射區域位于所述第一傳送區域和第二傳送區域之間；所述控制器還用于在所述待剝離的柔性器件被剝離完畢后，控制所述第一傳送載臺按照由所述激光照射區域至第二傳送區域的方向傳送剝離完成后的所述襯底基板及柔性基板。
[0010]在其中一個實施例中，所述柔性基板剝離裝置還包括第二傳送載臺及吸附組件；所述第二傳送載臺位于所述第二傳送區域上方，且所述第二傳送載臺與所述第一傳送載臺之間的距離大于或等于所述襯底基板的厚度;所述吸附組件與所述控制器電連接；
[0011]所述吸附組件用于在所述控制器的控制下通過吸附所述剝離完成后的柔性基板中的非器件區域，將所述剝離完成后的柔性基板放置于所述第二傳送載臺上;所述第二傳送載臺用于在所述控制器的控制下傳送所述剝離完成后的柔性基板;所述第一傳送載臺還用于在所述控制器的控制下傳送所述剝離完成后的襯底基板。
[0012]在其中一個實施例中，所述第二傳送載臺為滾輪傳送裝置。
[0013]在其中一個實施例中，所述第一傳送載臺與第二傳送載臺的表面與重力方向垂直。
[0014]在其中一個實施例中，所述第一傳送載臺與所述第二傳送載臺的傳送速度相同。
[0015]在其中一個實施例中，所述吸附組件包括相連接的真空吸盤及移動機構;所述真空吸盤用于吸附所述剝離完成后的柔性基板中的非器件區域;所述移動機構用于在所述控制器的控制下控制所述真空吸盤相對于所述第一傳送載臺平行或垂直移動。
[0016]在其中一個實施例中，所述移動機構包括移動滑桿、驅動單元及支撐桿；
[0017]所述移動滑桿與所述第一傳送載臺的傳送方向平行;所述支撐桿垂直于所述移動滑桿，且所述支撐桿的一端連接所述真空吸盤，所述支撐桿的另一端連接所述驅動單元;所述驅動單元安裝于所述移動滑桿上并與所述控制器電連接，且所述驅動單元用于在所述控制器的控制下控制所述支撐桿沿所述移動滑桿進行滑動或垂直于所述移動滑桿移動。
[0018]—種柔性基板剝離方法，基于上述柔性基板剝離裝置;其中，所述控制器在進行剝離時的執行步驟包括:
[0019]控制所述第一傳送載臺按照由所述第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送所述待剝離的柔性器件；
[0020]當所述待剝離的柔性器件的設定部位到達所述激光照射區域時，控制所述第一傳送載臺停止傳送;之后，所述激光器在設定時間內發射激光以剝離所述柔性基板；
[0021]經過所述設定時間后判斷所述待剝離的柔性器件是否存在沒有經過所述激光照射區域的部位，若是，繼續執行控制所述第一傳送載臺開始按照由所述第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送所述待剝離的柔性器件的步驟;否則，結束。
[0022]上述柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法具有的有益效果為:第一傳送載臺用于承載并傳送待剝離的柔性器件，且襯底基板用于接觸第一傳送載臺，因此首先在進行剝離時柔性基板不會接觸到第一傳送載臺。同時，第一傳送載臺包括第一傳送區域及激光照射區域，且第一傳送載臺至少在位于激光照射區域的部位設有間隙。激光器用于通過該間隙對待剝離的柔性器件進行激光照射。控制器用于控制第一傳送載臺按照由第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送待剝離柔性器件。
[0023]那么，當待剝離的柔性器件運行至激光照射區域后，激光器即能通過相應的間隙直接照射襯底基板，并穿過襯底基板直至襯底基板與柔性基板之間的接觸面，從而降低襯底基板與柔性基板之間的附著力以將柔性基板剝離。因此，該柔性基板剝離裝置及柔性基板剝離方法在對待剝離的柔性器件進行剝離時，柔性基板上的顯示器件不會接觸到剝離設備，從而克服了傳統剝離技術在剝離過程中柔性基板上的顯示器件容易接觸到剝離設備的問題，提高了柔性器件的制造良率。
【附圖說明】
[0024]圖1為一實施例提供的柔性基板剝離裝置承載有待剝離的柔性器件時的結構示意圖；
[0025]圖2為圖1所示實施例的柔性基板剝離裝置承載有待剝離的柔性器件時的另一結構示意圖；
[0026]圖3為圖2所示實施例的柔性基板剝離裝置將柔性基板的一部分結構剝離完畢后的結構示意圖；
[0027]圖4為由圖1所示實施例的柔性基板剝離裝置中的控制器執行的柔性基板剝離方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0028]為了便于理解本發明，下面將參照相關附圖對本發明進行更全面的描述。附圖中給出了本發明的較佳實施例。但是，本發明可以以許多不同的形式來實現，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對本發明的公開內容的理解更加透徹全面。
[0029]除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于發明的技術領域的技術人員通常理解的含義相同。本文中在發明的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在限制本發明。本文所使用的術語“和/或”包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。
[0030]如圖1所示，一實施例提供的柔性基板剝離裝置，用于對待剝離的柔性器件進行剝離。待剝離的柔性器件包括襯底基板110及形成于襯底基板110上的柔性基板120，且該柔性基板120上設有相關的顯示器件。柔性基板剝離裝置包括控制器(圖中未示出)、第一傳送載臺210及激光器220。
[0031]其中，第一傳送載臺210用于承載并傳送待剝離的柔性器件，且襯底基板110用于接觸第一傳送載臺210。由于柔性基板120形成于襯底基板110上，因此在進行剝離時柔性基板120不會接觸到第一傳送載臺210。另外，第一傳送載臺210包括第一傳送區域211及激光照射區域212。第一傳送載臺210至少在位于激光照射區域212的部位設有間隙。該間隙便于激光器200發出的激光穿過第一傳送載臺210照射并穿過襯底基板110直至襯底基板110與柔性基板120之間的接觸面。
[0032]具體的，第一傳送載臺210為滾輪傳送裝置。由于滾輪傳送裝置是通過若干滾輪在驅動機構的驅動下實現傳送，將位于激光照射區域212的相鄰滾輪間隔設置即可形成上述間隙，因此滾輪傳送裝置結構簡單，便于實現。可以理解的是，根據實際情況第一傳送載臺210也可采用其他類型的傳送裝置，只要能夠傳送待剝離的柔性器件，并在激光照射區域212設有間隙即可。
[0033]激光器220用于通過上述間隙對待剝離的柔性器件進行激光照射。同時，激光器220與待剝離的柔性器件分別位于第一傳送載臺210的兩側。因此，對待剝離的柔性器件進行剝離時，激光器220同樣也不會接觸到柔性基板120。
[0034]控制器與第一傳送載臺210電連接，且控制器用于控制第一傳送載臺210按照由第一傳送區域211至激光照射區域212的方向傳送待剝離的柔性器件。當待剝離的柔性器件的任一部位被傳送至激光照射區域212后，激光器220即可通過上述間隙向襯底基板110的相應部位發射激光，并直至襯底基板110與柔性基板120之間的接觸面，從而降低襯底基板110與柔性基板120之間的附著力，以達到將柔性基板120的對應部位剝離的目的。那么，當待剝離的柔性器件的所有部位均經過激光照射區域212并被激光器220照射后，即可將柔性基板120完全從襯底基板110上剝離。
[0035]因此，上述柔性基板剝離裝置在對待剝離的柔性器件進行剝離時，柔性基板120中的顯示器件沒有接觸任何剝離設備，從而克服了傳統剝離技術在剝離過程中使柔性基板上的顯示器件容易接觸到相關的剝離設備的問題，提高了柔性器件的制造良率。
[0036]具體的，如圖1所示，第一傳送載臺210還包括第二傳送區域213。激光照射區域212位于第一傳送區域211和第二傳送區域213之間。同時，第一傳送區域211、第二傳送區域213的長度均大于或等于待剝離的柔性器件的長度，因此第一傳送載臺210的整體長度大于或等于待剝離的柔性器件長度的兩倍。
[0037]控制器還用于在待剝離的柔性器件被剝離完畢后，控制第一傳送載臺210按照由激光照射區域212至第二傳送區域213的方向傳送剝離完成后的襯底基板110及柔性基板120，從而保證剝離完成后的襯底基板110及柔性基板120仍處于被承載狀態而不會向下滑落。
[0038]由于柔性基板120在剝離過程中各部位是依次經過激光照射區域212并進行剝離的，因此剝離完成后的一部分柔性基板120仍處于被承載的狀態時，能夠避免因重力的作用而向下拉扯其他還未被剝離的柔性基板120及襯底基板110，從而提高該柔性基板剝離裝置的工作可靠性。
[0039]可以理解的是，第一傳送載臺210的結構不限于上述一種情況，只要能夠對待剝離的柔性器件中的柔性基板120正常完成剝離操作即可。例如，第一傳送載臺210包括兩個相連接且高度相同的傳送單元，其中，第一個傳送單元包括第一傳送區域和激光照射區域，第二個傳送單元包括第二傳送區域。待剝離的柔性器件在第一個傳送單元上進行剝離。同時，第二個傳送單元則傳送剝離完成后的柔性基板及襯底基板。
[0040]進一步的，如圖2所示，柔性基板剝離裝置還包括第二傳送載臺230及吸附組件。第二傳送載臺230位于第二傳送區域213上方。同時，第二傳送載臺230與第一傳送載臺210之間的間隔大于或等于襯底基板110的厚度。吸附組件與控制器電連接。
[0041]吸附組件具有吸附性能和相對于第一傳送載臺210進行垂直或平行移動的性能。本實施例中，吸附組件用于在控制器的控制下通過吸附剝離完成后的柔性基板120中的非器件區域，將剝離完成后的柔性基板120放置于第二傳送載臺230上，如圖3所示。具體操作中，吸附組件在對剝離完成后的柔性基板120吸附完成后，進行相對于第一傳送載臺210的一系列垂直、平行移動后即可將剝離完成后的柔性基板120放置于第二傳送載臺230上。其中，由于吸附組件在整個操作過程中僅吸附剝離完成后的柔性基板120中的非器件區域，因此仍能保證剝離完成后的柔性基板120中的顯示器件不會接觸到任何剝離設備。
[0042]第二傳送載臺230，用于在控制器的控制下傳送剝離完成后的柔性基板120。同時第一傳送載臺210，還用于在控制器的控制下傳送剝離完成后的襯底基板110。因此，剝離完成后的柔性基板120和襯底基板110分別通過兩個載臺進行傳送。
[0043]由于第二傳送載臺230與第一傳送載臺210之間的距離大于或等于襯底基板110的厚度，因此在剝離完成后能夠由第一傳送載臺210、第二傳送載臺230分別傳送剝離完成后的襯底基板110、柔性基板120，從而便于后續對剝離完成后的襯底基板110、柔性基板120分別進行處理。
[0044]具體的，第二傳送載臺230同樣為滾輪傳送裝置。由于第一傳送載臺210和第二傳送載臺230均由控制器來控制運行，那么在第一傳送載臺210和第二傳送載臺230同樣為滾輪傳送裝置的情況下，控制器只需采用同一類控制驅動方式即能控制第一傳送載臺210和第二傳送載臺230，因此更便于控制器進行控制，同時提高了控制器的運行效率。可以理解的是，第二傳送載臺230的具體類型不限于上述情況，只要根據實際情況便于控制器進行控制即可。
[0045]具體的，第一傳送載臺210與第二傳送載臺230的表面均與重力方向垂直。其中，第一傳送載臺210的表面、第二傳送載臺230的表面均指用于放置待傳送物體的平面。本實施例中，上述表面具體指由所有滾輪形成的平面。因此，第一傳送載臺210與第二傳送載臺230的表面均與重力方向垂直，即均與水平方向平行。那么無論是第一傳送載臺210還是第二傳送載臺230，都能夠避免其他外力(例如若傳送面傾斜時則會產生襯底基板110或柔性基板120的重力)對傳送過程造成影響，從而增強了傳送的穩定性，且更便于第一傳送載臺210和第二傳送載臺230進行傳送。
[0046]另外，第一傳送載臺210與第二傳送載臺230的傳送速度相同，從而使柔性器件無論是被剝離前的部位還是剝離完成后的各個部位在相同時間內運行的距離都相同，從而避免了因速度不同而造成褶皺的現象。可以理解的是，第一傳送載臺210與第二傳送載臺230的結構不限于上述情況，只要能夠保證正常傳送柔性器件即可。
[0047]因此在剝離完成后，將剝離完成后的襯底基板110、柔性基板120分別放置于不同的載臺，既能進一步提高柔性基板120中的顯示器件不被損壞的可靠性能，又便于進行后續的制造工藝，從而提高了柔性器件的制造效率。
[0048]可以理解的是，柔性基板剝離裝置不限于包括第二傳送載臺230及吸附組件的一種情況，只要使剝離完成后的柔性基板120和襯底基板110能夠分別被不同的載臺傳送即可。例如，吸附組件可以采用其他類型的機械結構，只要能夠將剝離完成后的柔性基板120放置于第二傳送載臺230上即可。
[0049]具體的，如圖2所示，吸附組件包括相連接的真空吸盤241及移動機構242。真空吸盤241具有吸附性能，其連接于移動機構242的底部，并用于吸附剝離完成后的柔性基板120中的非器件區域。移動機構242用于在控制器的控制下控制真空吸盤241相對于第一傳送載臺210平行或垂直移動。
[0050]在具體運行中，控制器通過控制移動機構242使真空吸盤241進行相應的移動，以運行至剝離完成后的柔性基板241中的相關非器件區域上方。之后控制真空吸盤241朝剝離完成后的柔性基板120向下移動，即可使真空吸盤241吸附相應的非器件區域。之后，控制器再通過移動機構242控制真空吸盤241向第二傳送載臺230的方向移動，最終即可將相應剝離完成后的柔性基板120放置于第二傳送載臺230上。
[0051]具體的，移動機構242包括移動滑桿、驅動單元及支撐桿。其中，移動滑桿與第一傳送載臺210的傳送方向平行。支撐桿垂直于移動滑桿，且支撐桿的一端連接真空吸盤241，支撐桿的另一端連接驅動單元。驅動單元安裝于移動滑桿上并與控制器電連接。驅動單元用于在控制器的控制下控制支撐桿沿移動滑桿進行滑動或垂直于移動滑桿移動。支撐桿沿移動滑桿進行滑動，即相對于第一傳送載臺210、第二傳送載臺230平行移動。支撐桿垂直于移動滑桿移動，即相對于第一傳送載臺210、第二傳送載臺230垂直移動。其中，驅動單元采用氣缸、絲桿組件或其他類型的驅動器件。
[0052]因此，支撐桿在驅動單元、控制器的控制下即能相對于第一傳送載臺210、第二傳送載臺230進行水平或垂直移動。在支撐桿的帶動下，真空吸盤241S卩能進行相應移動，從而實現吸附剝離完成后的柔性基板120中的非器件區域、將剝離完成后的柔性基板120放置于第二傳送載臺230等相關操作。
[0053]可以理解的是，移動機構242的具體結構不限于上述一種情況，只要能夠在控制器的控制下控制真空吸盤241相對于第一傳送載臺210進行平行或垂直移動。
[0054]另外，基于上述的柔性基板剝離裝置，一實施例還提供了一種柔性基板剝離方法。其中，控制器在進行剝離時的執行步驟包括以下內容，如圖4所示。
[0055]步驟S110、控制第一傳送載臺210按照由第一傳送區域211至激光照射區域212的方向傳送待剝離的柔性器件。
[0056]當控制器接收到剝離開啟的相關信號后，即控制第一傳送載臺210開始上述傳送操作。
[0057]步驟S120、當待剝離的柔性器件的設定部位到達激光照射區域212時，控制第一傳送載臺210停止傳送。之后，激光器220在設定時間內發射激光以剝離柔性基板120。
[0058]其中，上述設定部位的寬度等于上述第一傳送載臺210中的間隙的寬度。因此，待剝離的柔性器件每次移動的距離達到上述間隙的寬度后則停止移動，以供激光器220進行激光照射，故在傳送過程中待剝離的柔性器件每次在停止傳送后處于激光照射區域212的部位即為上述設定部位。同時，上述設定時間需保證激光器220發射的激光在該設定時間內足以將照射部位對應的柔性基板120完全剝離。
[0059]步驟S130、經過上述設定時間后判斷待剝離的柔性器件是否仍存在沒有經過激光照射區域212的部位，若是，繼續執行步驟S110，否則結束。
[0060]由于激光器220是通過上述間隙來進行激光照射的，故只有當待剝離的柔性器件的所有部位經過激光照射區域212并被激光器220照射后，才能將該待剝離的柔性器件中的柔性基板120完全剝離。因此，控制器需循環控制第一傳送載臺210經過多次傳送與上述間隙寬度相同的距離、停止傳送的操作，方可完成對該待剝離的柔性器件的剝離。
[0061]綜上所述，上述柔性基板剝離方法同樣能夠保證在對待剝離的柔性器件進行剝離時，柔性基板120中的顯示器件沒有接觸任何剝離設備，從而克服了傳統剝離技術在剝離過程中柔性基板上的顯示器件容易接觸到相關的剝離設備的問題，提高了柔性器件的制造良率。
[0062]以上所述實施例的各技術特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術特征的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的范圍。
[0063]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種柔性基板剝離裝置，用于對待剝離的柔性器件進行剝離，所述待剝離的柔性器件包括襯底基板及形成于所述襯底基板上的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板剝離裝置包括:控制器、第一傳送載臺及激光器； 所述第一傳送載臺用于承載并傳送所述待剝離的柔性器件，且所述襯底基板用于接觸所述第一傳送載臺；所述第一傳送載臺包括第一傳送區域及激光照射區域，且所述第一傳送載臺至少在位于所述激光照射區域的部位設有間隙;所述激光器用于通過所述間隙對所述待剝離的柔性器件進行激光照射;所述控制器與所述第一傳送載臺電連接，且所述控制器用于控制所述第一傳送載臺按照由所述第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送所述待剝離的柔性器件。2.根據權利要求1所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述第一傳送載臺為滾輪傳送裝置。3.根據權利要求1所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述第一傳送載臺還包括第二傳送區域，且所述激光照射區域位于所述第一傳送區域和第二傳送區域之間；所述控制器還用于在所述待剝離的柔性器件被剝離完畢后，控制所述第一傳送載臺按照由所述激光照射區域至第二傳送區域的方向傳送剝離完成后的所述襯底基板及柔性基板。4.根據權利要求3所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述柔性基板剝離裝置還包括第二傳送載臺及吸附組件;所述第二傳送載臺位于所述第二傳送區域上方，且所述第二傳送載臺與所述第一傳送載臺之間的距離大于或等于所述襯底基板的厚度;所述吸附組件與所述控制器電連接； 所述吸附組件用于在所述控制器的控制下通過吸附所述剝離完成后的柔性基板中的非器件區域，將所述剝離完成后的柔性基板放置于所述第二傳送載臺上;所述第二傳送載臺用于在所述控制器的控制下傳送所述剝離完成后的柔性基板;所述第一傳送載臺還用于在所述控制器的控制下傳送所述剝離完成后的襯底基板。5.根據權利要求4所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述第二傳送載臺為滾輪傳送裝置。6.根據權利要求4所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述第一傳送載臺與第二傳送載臺的表面與重力方向垂直。7.根據權利要求4所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述第一傳送載臺與所述第二傳送載臺的傳送速度相同。8.根據權利要求4所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述吸附組件包括相連接的真空吸盤及移動機構；所述真空吸盤用于吸附所述剝離完成后的柔性基板中的非器件區域;所述移動機構用于在所述控制器的控制下控制所述真空吸盤相對于所述第一傳送載臺平行或垂直移動。9.根據權利要求8所述的柔性基板剝離裝置，其特征在于，所述移動機構包括移動滑桿、驅動單元及支撐桿； 所述移動滑桿與所述第一傳送載臺的傳送方向平行；所述支撐桿垂直于所述移動滑桿，且所述支撐桿的一端連接所述真空吸盤，所述支撐桿的另一端連接所述驅動單元;所述驅動單元安裝于所述移動滑桿上并與所述控制器電連接，且所述驅動單元用于在所述控制器的控制下控制所述支撐桿沿所述移動滑桿進行滑動或垂直于所述移動滑桿移動。10.一種柔性基板剝離方法，其特征在于，基于權利要求1所述的柔性基板剝離裝置;其中，所述控制器在進行剝離時的執行步驟包括: 控制所述第一傳送載臺按照由所述第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送所述待剝離的柔性器件； 當所述待剝離的柔性器件的設定部位到達所述激光照射區域時，控制所述第一傳送載臺停止傳送;之后，所述激光器在設定時間內發射激光以剝離所述柔性基板； 經過所述設定時間后判斷所述待剝離的柔性器件是否存在沒有經過所述激光照射區域的部位，若是，繼續執行控制所述第一傳送載臺開始按照由所述第一傳送區域至激光照射區域的方向傳送所述待剝離的柔性器件的步驟;否則，結束。
【文檔編號】H01L51/56GK106098965SQ201610422728
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月15日 公開號201610422728.2, CN 106098965 A, CN 106098965A, CN 201610422728, CN-A-106098965, CN106098965 A, CN106098965A, CN201610422728, CN201610422728.2
【發明人】陳宇新, 張田超, 汪建平
【申請人】昆山國顯光電有限公司