夾持裝置、基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置的制造方法

夾持裝置、基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種夾持裝置、基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置。本發明的夾持裝置(100)包括：夾持構件(81)，在對設置于基板收納容器(C)的正面的蓋體(68)進行開閉時，該夾持構件(81)能夠從上方與該基板收納容器接觸而將所述基板收納容器固定于預定位置；驅動機構(86、87)，其用于驅動所述夾持構件；殼體(85)，其用于覆蓋該驅動機構；排氣室(90)，其具有與該殼體連通的吸入口(91)，并設于該殼體的附近；風扇(94)，其設置于該排氣室內。
【專利說明】
夾持裝置、基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置
技術領域
[0001 ]本發明涉及夾持裝置、基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置。
【背景技術】
[0002]以往以來，在制造半導體的半導體制造裝置中，公知有一種蓋體開閉裝置，該蓋體開閉裝置包括:載置臺，以FOUP(前開式晶圓傳送盒:Front Opening Unified Pod)的蓋體的前表面朝向由開閉門進行開閉的輸送口的方式載置FOUP，以防止FOUP的輸送區域的微粒經由FOUP的蓋體混入基板輸送區域;氣體噴出口，其設置于與FOUP相對的相對面部;進退機構，其使載置到載置臺的FOUP相對于相對面部相對地進退(例如，參照日本國特開2012 —204645號公報)。在該日本國特開2012 — 204645號公報所記載的蓋體開閉裝置中，通過在從氣體噴出口到FOUP蓋體的距離為5mm以下時向蓋體供給吹掃氣體，在蓋體和相對面部之間流動的吹掃氣體的流速變高，能夠容易地去除蓋體的微粒。
[0003]另外，公知有一種輸送裝置，輸送裝置具有接地要素，以使得即使在收納有帶電的晶圓的情況下晶圓也不會被存在于內部的微粒污染(例如，參照日本國特開2014 — 67744號公報)。該日本國特開2014 — 67744號公報所記載的輸送裝置構成為，包括:保持臺，其具有用于對被輸送體進行定位的第I定位用銷，用于對收納到被輸送體的被處理體進行交接;臂部，其為了將被輸送體載置于保持臺而把持被輸送體;支承部件，其用于對載置到保持臺的被輸送體進行固定，第I定位用銷、臂部以及支承部件中的至少一者具有接地要素。
[0004]根據該蓋體開閉裝置以及輸送裝置，在將收納到FOUP或被輸送體的基板向基板輸送區域內輸入時，能夠在防止微粒混入基板輸送區域內的方面獲得恒定的效果。

【發明內容】

[0005]本發明的一技術方案的夾持裝置包括:夾持構件，在對設置于基板收納容器的正面的蓋進行開閉時，該夾持構件能夠從上方夾持該基板收納容器而將所述基板收納容器固定于預定位置;驅動機構，其用于驅動所述夾持構件;殼體，其用于覆蓋該驅動機構；排氣室，其具有與該殼體連通的吸入口，且設于該殼體的附近;風扇，其設置于該排氣室內。
[0006]上述的內容僅是用于說明，在任何方式方面都不意在限制。除了上述說明的形態、實施例以及特征之外，追加的形態、實施例以及特征通過參照附圖以及以下的詳細說明而變得清楚。
【附圖說明】
[0007]圖1是本發明的實施方式的基板處理裝置的一個例子的概略結構圖。
[0008]圖2是本發明的實施方式的基板處理裝置的一個例子的概略俯視圖。
[0009]圖3是本發明的實施方式的承載件輸送區域的一個例子的概略立體圖。
[0010]圖4是承載件的一個例子的概略結構圖。
[0011]圖5是表示搭載有本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的FIMS部附近的結構的立體圖。
[0012]圖6是表示搭載有本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的FIMS部附近的結構的主視圖。
[0013]圖7是表示本發明的實施方式的夾持裝置的夾持機構部的一個例子的內部結構的圖。
[0014]圖8是表不殼體的一個例子的結構的主視圖。
[0015]圖9是表示本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的整體結構的正面立體圖。
[0016]圖10是表示將夾持罩去除后的狀態下的本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的圖。
[0017]圖11是表示形成于排氣室的局部排氣吸入口的一個例子的圖。
[0018]圖12是表示第I排氣室的一個例子的側剖視圖的圖。
[0019]圖13是表示本發明的實施方式的夾持裝置的下表面的立體圖。
[0020]圖14是本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的整體立體圖。
[0021]圖15是表示本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的第I排氣室和第2排氣室的內部結構的立體圖。
[0022]圖16是表示本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的排氣室的內部結構的分解立體圖。
[0023]圖17是用于說明本發明的實施方式的夾持裝置的一個例子的排氣室的氣體的流動的圖。
[0024]圖18是表示本發明的實施例的夾持裝置的微粒測定點的圖。
[0025]圖19是表示本實施例的夾持裝置的測定結果的圖。
【具體實施方式】
[0026]在以下的詳細說明中，參照形成說明書的一部分的附圖。詳細說明、附圖以及權利要求所記載的說明性的實施例的意圖并不在于限制。在不脫離在此所示的本發明的思想或范圍的情況下，可使用其他實施例，另外，也可進行其他變形。
[0027]近年來，出于抑制半導體制造工廠的投資、謀求降低成本的觀點考慮，將潔凈室內實際上進行基板處理的區域的清潔度保持得較高，但存在輸送FOUP等基板收納容器的區域的清潔度降低、在FOUP、FIMS(前開接口機械標準:Front-opening Interface MechanicalStandard)等的輸送裝置側確保清潔度的要求。
[0028]為了響應這樣的要求，優選的是實現如下構造:在將FOUP等基板收納容器輸入基板輸送區域(基板處理區域)之際防止附著到基板收納容器的蓋等的微粒的混入，并且使對基板收納容器的蓋進行開閉之際在機械機構處產生的微粒也不飛散。
[0029]因此，本發明的目的在于提供如下夾持裝置、使用該夾持裝置的基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置:在用于固定從FOUP等基板收納容器取出基板而向基板輸送區域輸入之際所需的基板收納容器的夾持機械中，能夠減少微粒的飛散。
[0030]本發明的技術方案I的夾持裝置包括:夾持構件，在對設置于基板收納容器的正面的蓋進行開閉時，該夾持構件能夠從上方夾持該基板收納容器而將所述基板收納容器固定于預定位置;驅動機構，其用于驅動所述夾持構件;殼體，其用于覆蓋該驅動機構;排氣室，其具有與該殼體連通的吸入口，鄰近該殼體地設置;風扇，其設置于該排氣室內。
[0031]技術方案2是根據技術方案I所述的夾持裝置，其中，在所述殼體內設置有選擇性地配置在所述驅動機構的附近的局部排氣管道。
[0032]技術方案3是根據技術方案2所述的夾持裝置，其中，所述局部排氣管道與所述吸入口連通。
[0033]技術方案4是根據技術方案2或3所述的夾持裝置，其中，所述殼體和所述排氣室鄰接，所述局部排氣管道的排出口與所述吸入口直接連結。
[0034]技術方案5是根據技術方案4所述的夾持裝置，其中，所述排氣室鄰接地設置于所述殼體的兩側面，在所述殼體的兩側設置有所述風扇。
[0035]技術方案6是根據技術方案5所述的夾持裝置，其中，鄰接地設置于所述殼體的兩側面的所述排氣室彼此連通。
[0036]技術方案7是根據技術方案2?6中任一項所述的夾持裝置，其中，所述殼體包括:可動部，其與所述夾持構件連結，能夠與所述夾持構件一起上下運動；固定部，其用于收容所述驅動機構的至少一部分以及所述局部排氣管道。
[0037]技術方案8是根據技術方案7所述的夾持裝置，其中，所述驅動機構具有產生驅動力的驅動力產生部和在該驅動力的作用下運動的運動部，所述可動部用于收容所述運動部的至少一部分，所述固定部用于收容所述驅動力產生部。
[0038]技術方案9是根據技術方案7或8所述的夾持裝置，其中，所述可動部以插入所述固定部的底部的開口的方式設置，在該開口的周圍的至少一部分形成有與所述可動部的側面平行的壁。
[0039]技術方案10是根據技術方案I?9中任一項所述的夾持裝置，其中，該夾持裝置還具有罩構件，該罩構件具有與所述排氣室連續的一體的形狀，用于覆蓋所述殼體。
[0040]技術方案11是根據技術方案I?10中任一項所述的夾持裝置，其中，所述風扇是多葉片風扇。
[0041]技術方案12是根據技術方案I?11中任一項所述的夾持裝置，其中，在所述排氣室內還設置有清潔過濾器，能夠將從所述吸入口吸入的氣體經由該清潔過濾器向能夠固定所述基板收納容器的所述預定位置供給。
[0042]技術方案13是根據技術方案12所述的夾持裝置，其中，所述清潔過濾器設置于所述排氣室的底面。
[0043]技術方案14是根據技術方案12或13所述的夾持裝置，其中，所述排氣室被劃分成設置有所述風扇的負壓室和設置有所述清潔過濾器的正壓室，利用所述風扇的送風導入到所述負壓室的氣體被送往所述正壓室。
[0044]技術方案15是根據技術方案14所述的夾持裝置，其中，所述負壓室設置于所述排氣室的上表面側，并且在所述負壓室的上表面設置有第2吸入口，所述風扇也從該第2吸入口吸入氣體而送往所述正壓室。
[0045]本發明的技術方案16的基板輸入輸出裝置包括:分隔壁，其劃分出基板輸送區域和基板收納容器輸送區域;輸送口，其設置于該分隔壁;開閉門，其能夠打開或者關閉該輸送口；所述夾持裝置，其位于該輸送口的上方，且安裝于所述分隔壁的所述基板收納容器輸送區域側;側面罩，其位于所述輸送口的水平方向兩側，且設置于所述分隔壁的所述基板收納容器輸送區域側。
[0046]技術方案17是根據技術方案16所述的基板輸入輸出裝置，其中，所述輸送口、所述開閉門、所述夾持裝置以及所述側面罩沿著鉛垂方向以兩層設置于所述分隔壁。
[0047]技術方案18是根據技術方案16或17所述的基板輸入輸出裝置，其中，該基板輸入輸出裝置還具有對設置于所述基板輸送區域內的所述基板收納容器的所述蓋體進行開閉的蓋體開閉裝置。
[0048]本發明的技術方案19的基板處理裝置包括所述基板輸入輸出裝置;輸送機構，其設置于所述基板輸送區域內，用于輸送所述基板；以及處理容器，其設置于所述基板輸送區域內。
[0049]技術方案20是根據技術方案19的基板處理裝置，其中，所述處理容器是對基板進行熱處理的熱處理爐。
[0050]根據本發明，能夠減少微粒從FIMS部中的夾持裝置飛散。
[0051]以下，參照附圖對用于實施本發明的方式進行說明。
[0052]〔基板處理裝置〕
[0053]首先，對使用了本發明的實施方式的夾持裝置的本發明的實施方式的基板處理裝置的結構例進行說明。圖1中示出本發明的實施方式的基板處理裝置的一個例子的概略結構圖。另外，圖2中示出本發明的實施方式的基板處理裝置的一個例子的概略俯視圖。而且，圖3中示出本發明的實施方式的承載件輸送區域的一個例子的概略立體圖。此外，在圖2中，為了說明，示出在圖1的FMS部24和I個裝載部14中沒有載置承載件C的狀態。
[0054]此外，本發明的實施方式的夾持裝置能夠應用于立式熱處理裝置以外的各種基板處理裝置，但為了容易理解，在本實施方式中，列舉使用立式熱處理裝置作為具體的基板處理裝置之一來實施的例子進行說明。
[0055]如圖1所示，基板處理裝置200構成為收容于構成裝置的外殼體的框體2。在框體2內形成有承載件輸送區域SI和晶圓輸送區域S2，在該承載件輸送區域SI中，將收容有作為被處理體的半導體晶圓W(以后稱為晶圓W)的容器即承載件C相對于裝置輸入、輸出，在該晶圓輸送區域S2中，輸送承載件C內的晶圓W而向隨后論述的熱處理爐26內輸入。
[0056]隨后論述承載件C的結構的詳細內容，為了防止在輸送晶圓W之際異物附著到晶圓W的表面、在晶圓W的表面形成自然氧化膜，將半導體晶圓收容在被稱為F0UP(Front —Opening Unified Pod)的基板收納容器，容器內的清潔度被保持在預定的水平。
[0057]承載件輸送區域SI和晶圓輸送區域S2被分隔壁4分隔開。承載件輸送區域SI是處于大氣氣氛下的區域，是將收納有晶圓W的承載件C在基板處理裝置200內的隨后論述的要素之間輸送的、從外部向基板處理裝置200內輸入或從基板處理裝置向外部輸出的區域。另一方面，晶圓輸送區域S2是從承載件C取出晶圓W而實施各種處理的區域，為了防止在晶圓W形成氧化膜，該晶圓輸送區域S2設為非活性氣體氣氛、例如氮(N2)氣氣氛。在以后的說明中，將承載件輸送區域SI以及晶圓輸送區域S2的排列方向設為前后方向(與隨后論述的第2水平方向相對應)，將承載件輸送區域SI側設為前方，將晶圓輸送區域S2側設為后方。并且，將與該前后方向垂直的水平方向設為左右方向(與隨后論述的第I水平方向相對應)。
[0058]此外，也可以是如下結構:在晶圓輸送區域S2的頂部或側壁部設置有未圖示的HEPA 過濾器(高效空氣過濾器:High Efficiency Particulate Air Fi I ter)或 ULPA 過濾器(超低穿透率空氣過濾器:Ultra Low Penetrat1n Air Filter)等過濾器單元，供給被這些過濾器清潔化后的空氣。
[0059]在分隔壁4上設置有用于在承載件輸送區域SI和晶圓輸送區域S2之間輸送晶圓W的輸送口6。該輸送口6由按照FIMS(Front — Opening Interface Mechanical Standard)標準的門機構8進行開閉。門機構8具有與對輸送口6進行開閉的開閉門9(參照圖6)協同動作而將設置于承載件前表面的蓋體卸下的機構。門機構8具有為了在承載件內和晶圓輸送區域之間交接晶圓W而對蓋體進行開閉的作用和使晶圓輸送區域S2與承載件輸送區域SI分開的作用。
[0060]對承載件輸送區域SI進行說明。承載件輸送區域SI由第I輸送區域10、位于第I輸送區域10的后方側的第2輸送區域12構成。
[0061]如圖1所示，在第I輸送區域10中設置有裝載部14，作為一個例子，裝載部14呈上下兩層，且在各層沿著左右方向設置有兩個(參照圖2)。裝載部14是在將承載件C輸入到基板處理裝置200時接收承載件C的輸入用的載置臺。
[0062]裝載部14設置于框體2的壁被敞開的部位，能夠從外部進入基板處理裝置200。具體而言，能夠利用設置于本實施方式的基板處理裝置200的外部的未圖示的輸送裝置進行承載件C的向裝載部14上的輸入載置和承載件C的從裝載部14向外部的輸出。另外，裝載部14例如存在上下兩層，因此，能夠在兩處進行承載件C的輸入以及輸出。
[0063]另外，也可以在第I輸送區域10的上下兩層的裝載部14的下層設置有儲料器16，以便能夠保管承載件C。
[0064]如圖2所示，在裝載部14的承載件C載置面，例如在三個部位設置有用于對承載件C進行定位的定位銷18。另外，也可以構成為，在承載件C載置到裝載部14上的狀態下，裝載部14能夠沿著如后方向移動ο
[0065]如圖2所示，也可以在裝載部14設置有供給噴嘴20a和排氣噴嘴20b。通常在承載件C的底面設置有進氣口 22a以及排氣口 22b(參照隨后論述的圖4(b))，但裝載部14也可以是，在載置有承載件C時與承載件C的進氣口 22a相對應的位置設置有供給噴嘴20a，在與承載件C的排氣口 22b相對應的位置設置有排氣噴嘴20b。通過設置這樣的供給噴嘴20a、排氣噴嘴20b，能夠在承載件C載置到裝載部14上時向承載件C的內部供給非活性氣體，進行承載件C內部的氮置換。由此，空間內雖然被非活性氣體充滿，但在沒有供給非活性氣體的狀態下輸送來的承載件C能夠在輸入到裝載部14的階段立刻再次開始非活性氣體的供給。
[0066]在第2輸送區域12的下部側配置有沿著上下方向排列的兩個FMS部2LFIMS部24是在將承載件C內的晶圓W相對于晶圓輸送區域S2內的隨后論述的熱處理爐26進行輸入以及輸出時保持承載件C的保持臺。FIMS部24構成為沿著前后方向自由移動。如圖2所示，在FMS部24的載置面上，也與裝載部14同樣地在三個部位設置有用于對承載件C進行定位的定位銷18。
[0067]在F頂S部24的上方設置有用于對承載件C進行固定的夾持裝置100。夾持裝置100起到如下作用:在從承載件C輸出晶圓W時，在承載件C與分隔壁4密合的狀態下，打開承載件C的蓋體68，但在此時，將承載件C固定于與分隔壁4密合的預定位置。本實施方式的夾持裝置100具有如下結構以及功能:防止微粒從夾持裝置100的機械部分飛散，并且防止微粒被從承載件C的蓋體68卷入晶圓輸送區域S2，對這點的詳細內容隨后論述。
[0068]在第2輸送區域12的上部側設置有用于保管承載件C的儲料器16。儲料器16由兩層以上(在圖1所示的例子中為3層)的擱板構成，各個擱板能夠沿著左右方向載置兩個以上的承載件C。另外，也可以是在第2輸送區域12的下部側且是沒有配置有承載件載置臺的區域也配置有儲料器16的結構。
[0069]也可以是如下結構:在儲料器16的底面也以與裝載部14相同的方式設置有前述的供給噴嘴20a以及排氣噴嘴20b，能夠將載置到儲料器16上的承載件C的內部置換成非活性氣體。
[0070]在第I輸送區域10和第2輸送區域12之間設置有用于將承載件C在裝載部14、FIMS部24和儲料器16之間輸送的承載件輸送機構30。
[0071]如圖2所示，承載件輸送機構30包括:第I引導部32，其沿著上下方向延伸;第2引導部34，其與該第I引導部32連接，沿著左右方向(第I水平方向)延伸;移動部36，其一邊被該第2引導部34引導一邊沿著左右方向移動；(多)關節臂部38(在圖2所示的例子中，具有I個關節的兩個臂部)，其設置于該移動部36。
[0072]另外，如圖1所示，在多關節臂部38的頂端設置有手部44。在手部44中的3個部位設置有用于對承載件C進行定位的定位銷18。
[0073]如前所述，在分隔壁4上設置有用于使承載件輸送區域SI和晶圓輸送區域S2連通的晶圓W的輸送口6。在輸送口6設置有從晶圓輸送區域S2側堵塞輸送口6的門機構8。門機構8與蓋體開閉裝置7的驅動機構連接，門機構8構成為利用驅動機構沿著前后方向以及上下方向自由移動，對輸送口6進行開閉。
[0074]接著，對晶圓輸送區域S2進行說明。
[0075]在晶圓輸送區域S2中設置有下端開口為爐口的立式的熱處理爐26。熱處理爐26是用于將晶圓W收容于內部并對晶圓W進行加熱而進行熱處理的處理容器。此外，在本實施方式中，列舉了處理容器構成為熱處理爐26的例子，但能夠將本實施方式的夾持裝置、使用該夾持裝置的基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置應用于各種基板處理裝置，在應用于熱處理裝置以外的其他基板處理裝置的情況下，構成為適合于由該基板處理裝置實施的基板處理的處理容器。在該熱處理爐26的下方側，將多張晶圓W呈擱板狀保持的晶圓舟皿50隔著保溫筒52載置于蓋54之上。換言之，蓋54在晶圓舟皿50的下方側與晶圓舟皿50設置成一體。
[0076]蓋54被支承于未圖示的升降機構之上，可利用該升降機構進行晶圓舟皿50相對于熱處理爐26的輸入或輸出。
[0077]晶圓舟皿50例如是石英制的，構成為以水平狀態沿著上下方向以預定的間隔搭載大口徑例如直徑450mm或300mm等的晶圓W。通常，收容于晶圓舟皿50的晶圓W的張數并沒有限定，例如是50張?150張左右。
[0078]另外，在晶圓舟皿50和分隔壁4的輸送口6之間設置有晶圓移載機構56。如圖2所示，該晶圓移載機構56用于在保持到F頂S部24上的承載件C和晶圓舟皿50之間進行晶圓W的移載。晶圓移載機構56構成為，沿著左右方向延伸的引導機構58移動，并且在繞鉛垂軸線轉動的移動體60上設置有5張進退自由的叉狀件62(移載板)。
[0079]〔承載件〕
[0080]接著，參照圖4的(a)、圖4的(b)對承載件C的結構進行說明。
[0081]在圖4的(a)中示出承載件C的一個例子的概略立體圖。另外，在圖4的(b)中示出承載件C的底面的一個例子的概略圖。
[0082]承載件C主要具有在一側面形成有開口部64的收納容器主體66和對該開口部64進行密封的蓋體68。
[0083]形成于收納容器主體66的開口部64用于輸入輸出晶圓W，設置于收納容器主體66的側面且是在向F頂S部24載置之際與輸送口 6相對的面。
[0084]在收納容器主體66的內部的左右多層地設置有用于支承晶圓W的背面側的支承部70(齒)。
[0085]在收納容器主體66的開口部64側的內周形成有卡合槽72，通過蓋體68的卡合部74與該卡合槽72卡合，蓋體68被固定于收納容器主體66。
[0086]在承載件C的頂面形成有例如矩形形狀的首部76，在該首部76的上端形成有呈矩形形狀突出的凸緣部40。
[0087]另外，在凸緣部40的上表面形成有卡合凹部41，以能夠利用夾持裝置100固定承載件C。夾持裝置100使用與卡合凹部41卡合的夾持構件來固定承載件C。此外，隨后論述夾持裝置100的結構以及功能的詳細內容。
[0088]如圖4的(b)所示，在承載件C的底面形成有I個或多個定位槽78。如前所述，在裝載部14、儲料器16、FMS部24以及承載件輸送機構30上分別形成有與定位槽78卡合的定位銷18。在利用該定位銷18以及定位槽78將承載件C載置到裝載部14、儲料器16、FIMS部24或承載件輸送機構30的情況下，承載件C被定位于預定的位置。此外，在圖4的(b)中示出了形成有三個定位槽的例子，但其數量并沒有限定。
[0089]〔夾持裝置〕
[0090]接著，對本發明的實施方式的夾持裝置100進行說明。
[0091]圖5是表示搭載有本發明的實施方式的夾持裝置100的一個例子的FMS部24附近的結構的立體圖。另外，圖6是表示搭載有本發明的實施方式的夾持裝置100的一個例子的F頂S部24附近的結構的主視圖。
[0092]如圖6所示，夾持裝置100設置成位于F頂S部24的上方的位置且安裝于分隔壁4。更詳細而言，如圖6所示，夾持裝置100設置于開閉門9的上方。開閉門9是從晶圓輸送區域S2側堵塞輸送口6的門。開閉門9構成為能夠利用門機構8進行移動，與門機構8協同動作而對承載件C的蓋體68進行開閉。如圖6所示，成為如下結構:在夾持裝置100的下表面設置有夾持構件81，在承載件C載置到FMS部24上時，該夾持構件81能夠與形成于承載件C的凸緣部40的上表面的卡合凹部41卡合的同時，按壓固定在卡合凹部41。另外，如圖6所示，以包圍開閉門9的水平方向的兩側邊的方式設置有與分隔壁4垂直地沿著水平方向延伸的側面罩5。成為如下結構:在承載件C載置到F頂S部24上時，能夠用側面罩5覆蓋承載件C的側面的開口附近，能夠用夾持裝置100覆蓋承載件C的上表面的開口附近，能夠防止來自外部的微粒的卷入。
[0093]圖7是表示本發明的實施方式的夾持裝置100的夾持機構部80的一個例子的內部結構的圖。夾持機構部80具有夾持構件81、夾持固定構件82、殼體85、驅動部86、線性引導件87和局部排氣管道88 ο殼體85具有殼體可動部83和殼體固定部84。另外，驅動部86具有驅動力產生部86a、活塞桿86b、空氣管道86c和活塞桿固定構件86d。而且，線性引導件87具有線性引導件固定部87a和線性引導件可動部87b。
[0094]夾持構件81是用于在與承載件C接觸的同時并構成為能夠與承載件C的凸緣部40的卡合凹部41卡合而對承載件C進行固定保持的部件。因而，夾持構件81具有能夠與卡合凹部41卡合的形狀，具體而言，呈在圓盤的下表面安裝具有圓錐臺的形狀的構件而成的結構。夾持構件81通過下降而與卡合凹部41卡合，通過進一步按壓凸緣部40，而固定承載件C。夾持構件81只要能夠固定承載件C，就也可以構成為具有各種形狀或構造。
[0095]夾持固定構件82是用于將夾持構件81固定于殼體可動部83的下表面的構件。夾持固定構件82既可以例如由螺母等緊固構件構成，也可以構成為其他固定構件。另外，夾持固定構件82也可以是能夠調整夾持構件81的高度的固定構件。如圖7所示，夾持構件81從殼體85暴露地設置，被連接固定于殼體可動部83的下表面。
[0096]殼體85是用于包括驅動部86在內地收容夾持構件81以外的夾持機構部80的構成要素的殼體。殼體85具有殼體可動部83和殼體固定部84。
[0097]殼體可動部83是連結有夾持構件81并且能夠與夾持固定構件82—起上下運動的殼體部分。殼體可動部83覆蓋驅動部86的活塞桿86b的大部分和夾持固定構件82。活塞桿86b是驅動部86中的被驅動力驅動而運動的部分，起到將驅動力向驅動對象物傳遞的作用。在圖7中，活塞桿86b被活塞桿固定構件86d固定于殼體可動部83的底面，將上下運動的驅動力向殼體可動部83傳遞。殼體可動部83起到作為支承夾持構件81并將上下運動的驅動力向夾持構件81傳遞的夾持臂的作用，并且覆蓋作為塵埃源的活塞桿86b的大部分，防止從活塞桿86b產生的塵埃即微粒P2的飛散。也就是說、殼體可動部83作為夾持臂兼飛散防止罩發揮功能。
[0098]此外，殼體可動部83的下方具有長方體的形狀，殼體可動部83的上表面由傾斜的平面構成。上表面傾斜的原因在于，設為即使殼體可動部83上升、上表面也不與驅動力產生部86a接觸的結構，擴大殼體可動部83的上下的可動范圍。
[0099]殼體固定部84是覆蓋驅動部86的驅動力產生部86a、活塞桿86b的上部、線性引導件87、局部排氣管道88的殼體部分。殼體固定部84是以靜止的狀態固定地設置于分隔壁4的殼體部分。殼體固定部84基本上收容夾持驅動部80中的、靜止的構成要素。
[0?00]圖8是表不殼體85的一個例子的結構的主視圖。如圖8所不，殼體固定部84構成為，底面開口而具有開口部84a。并且，殼體可動部83以能夠上下運動的方式插入殼體固定部84的開口部84a而構成殼體85。殼體可動部83沿著殼體固定部84的側面84b上下運動，在夾持承載件C時下降而向比開口部84a靠下方的位置突出，在未夾持承載件C時上升而被收容于開口部84a內。
[0101]再次參照圖7可知:夾持固定部84和夾持可動部83是夾持可動部83以能夠上下運動的方式插入夾持固定部84的底面的開口部84a而成的構造。夾持固定部84整體上呈不具有底面的長方體的形狀。
[0102]在殼體固定部84的側面84b設置有開口84c，成為能夠將殼體85內的微粒向殼體85的外部排出的構造。此外，對這點隨后論述。
[0103]驅動部86是用于上下驅動夾持構件81的部件，如上所述，具有驅動力產生部86a、活塞桿86b、空氣管道86c和活塞桿固定構件86d。
[0104]驅動力產生部86a是用于產生上下運動的驅動力的部分。在圖7的例子中，列舉了利用空氣驅動來驅動夾持構件81的例子，因此，驅動力產生部86a構成為氣缸。因而，通過向驅動力產生部86a供給空氣，活塞桿86b被驅動。
[0105]活塞桿86b是在由驅動力產生部86a產生的驅動力的作用下而運動的運動部，通過使該運動與驅動對象物連結，傳遞由驅動力產生部86a產生的驅動力。在圖7的例子中，活塞桿86b的下端使用活塞桿固定構件86d與殼體可動部83，借助活塞桿86b將由驅動力產生部86a產生的驅動力向殼體可動部83傳遞，殼體可動部83進行上下運動。
[0106]空氣管道86c是用于將供給到構成為氣缸的驅動力產生部86a的空氣排出的管道。氣缸是機械式的構造物，因此，有可能由于從空氣管道86c排出的空氣而因空氣泄露產生塵埃。因而，由因空氣泄露產生的塵埃形成的微粒Pl也成為由局部排氣管道88排出的對象。
[0107]線性引導件87是用于對作為夾持臂而上下運動的殼體可動部83的上下運動進行引導的構件。線性引導件87具有線性引導件固定部87a和線性引導件可動部87b，都具有大致長方體的形狀。線性引導件可動部87b以外套于線性引導件固定部87a的方式構成，有助于殼體可動部83沿著線性引導件87直線地上下運動。此外，線性引導件可動部87b安裝固定于殼體可動部83的進深側的外表面，在殼體可動部83進行上下運動時，沿著線性引導件固定部87a進行上下運動，對殼體可動部83的上下運動進行引導。也可以是，線性引導件87為了有效地對殼體可動部83的上下運動的軌道進行引導，左右排列地配置有兩個。在圖7中，示出了設置有兩個線性引導件87的例子。
[0108]此外，驅動部86和線性引導件87都是機械式的構成要素，是協同動作而負責殼體可動部83的上下驅動的作用的驅動機構的一部分。因而，驅動部86和線性引導件87構成使夾持構件81以及殼體可動部83上下運動的驅動機構。
[0109]局部排氣管道88是用于將從驅動部86以及線性引導件87產生的塵埃排出的管道，選擇性地配置于驅動部86以及線性引導件87的附近。如圖7所示，在驅動部86，有可能因空氣泄露產生塵埃而產生微粒Pl，有可能由于活塞桿產生塵埃而產生微粒P2。另外，也有可能由于從線性引導件產生塵埃，而從線性引導件27產生微粒P3。因而，局部排氣管道88起到如下作用:對由從這些驅動機構產生的塵埃形成的微粒Pl?P3進行吸入、排出而不使微粒Pl?P3從夾持機構部80飛散。
[0110]局部排氣管道88整體上具有T字形狀，在沿著鉛垂方向延伸的部分的兩側面具有吸入口88a。并且，如圖7所示，吸入口88a靠近由因空氣泄露而產生的塵埃形成的微粒P1、由從活塞桿產生的塵埃形成的微粒P2以及由從線性引導件產生的塵埃形成的微粒P3，因此，能夠高效地吸引由這些產生的塵埃形成的微粒Pl?P3，能夠將殼體85內保持清潔。
[0111]局部排氣管道88的沿著T字的水平方向延伸的部分的兩端成為排出口88b，與殼體固定部84的排出口 84c連結。成為利用該結構能夠將從吸入口 88a吸入的微粒Pl?P3切實地向殼體85的外部排出的構造。
[0112]此外，局部排氣管道88未必是必須的構成要素，也可以根據需要設置。即，即使不設置局部排氣管道88，也能夠直接將微粒Pl?P3從殼體固定部84的排出口 84c向殼體85的外部排出。
[0113]然而，殼體固定部84的排出口84c并不設置于驅動部86以及線性引導件87的產生塵埃較多的部位，即使從殼體固定部84的排出口 84c進行吸引，吸引力也有可能不高效地作用于微粒Pl?P3。另一方面，只要設置有局部排氣管道88，就能夠使吸引力作用于驅動部86以及線性引導件87的產生塵埃較多的部位附近，能夠高效地吸引微粒Pl?P3。因而，出于更高效的排出微粒Pl?P3的觀點考慮，優選設置局部排氣管道88。
[0114]接著，對夾持裝置100的整體的結構進行說明。
[0115]圖9是表示夾持裝置100的一個例子的整體結構的正面立體圖。如圖9所示，夾持裝置100在中央具有在圖7、8中進行了說明的夾持機構部80，在其兩側面具有排氣室90。排氣室90具有設置于正面左側的第I排氣室90a、設置于正面右側的第2排氣室90b和設置于夾持機構部80的進深側并將第I排氣室90a和第2排氣室90b連結起來的第3排氣室90c。此外，夾持機構部80具有與第I排氣室90a和第2排氣室90b同樣的外形，被與第I排氣室90a和第2排氣室90b連續而構成一體的形狀的夾持罩89覆蓋。
[0116]在第I排氣室90a和第2排氣室90b的上表面形成有內置風扇吸入口92。在圖9中并沒有示出，但成為如下結構:在第I排氣室90a和第2排氣室90b內設置有風扇以及清潔過濾器，對包含來自夾持機構部80的微粒Pl?P3的氣體進行抽吸的同時，也從夾持裝置100的外部抽吸氣體并送風，能夠將經由清潔過濾器而被凈化后的氣體向承載件C供給。內部構造的詳細內容隨后論述，但為了也利用內置的風扇從夾持裝置100的外部抽吸氣體，在第I排氣室90a和第2排氣室90b的上表面設置有多個內置風扇吸入口 92。
[0117]另外，在第2排氣室90b的近前側設置有收納部90d，該收納部90d在外形上與第2排氣室90b—體地構成，但不具有作為排氣室的功能，收納有其他零部件。也可以不設置收納部 90d。
[0118]圖10是表示將夾持罩89去除后的狀態下的夾持裝置100的一個例子的圖。如圖10所示，夾持機構部80配置于夾持裝置100的中央進深側。通過利用夾持罩89覆蓋，能夠構成與排氣室90—體的外形。
[0119]圖11是表不形成于排氣室90的局部排氣吸入口91的一個例子的圖。如圖11所不，在第I排氣室90a和第2排氣室90b的側面形成有局部排氣吸入口 91。局部排氣吸入口 91是用于從形成于夾持機構部80的殼體固定部84的側面84b的開口 84c將含有在夾持機構部80的殼體85內產生的塵埃即微粒Pl?P3的氣體吸入的吸入口。此外，于在殼體固定部84內設置有局部排氣管道88的情況下，局部排氣管道88的排出口 88b與局部排氣吸入口 91連結。
[0120]圖12是表示第I排氣室90a的一個例子的側剖視圖的圖。更詳細而言，圖12是表示圖11中的第I排氣室90a的A—A’截面的圖。
[0121]第I排氣室90a具有局部排氣吸入口91、內置風扇吸入口92、負壓室93、風扇94、分隔件95、正壓室96和過濾器97。第I排氣室90a的內部被分隔件95分隔成負壓室93和正壓室96。負壓室93與局部排氣吸入口 91以及內置風扇吸入口 92連通，設置于第I排氣室90a的上部。構成為，在負壓室93內設置有風扇94，能夠利用風扇94從局部排氣吸入口 91抽吸含有微粒Pl?P3的氣體、從內置風扇吸入口92抽吸夾持裝置100的外部的氣體。來自局部排氣吸入口 91的含有微粒Pl?P3的氣體和來自內置風扇吸入口 92的夾持裝置100的外部的氣體在負壓室93內合流。負壓室93的內部被風扇94排氣，從而被保持于壓力比夾持裝置100的外部的壓力低的負壓狀態。風扇94將吸入的來自局部排氣吸入口 91的含有微粒Pl?P3的氣體和來自內置風扇吸入口 92的夾持裝置100的外部的氣體送往正壓室96。
[0122]正壓室96占據第I排氣室90a內的、負壓室93以外的區域，占據負壓室93的下方、包括負壓室93不存在的區域的上部以及下部在內的整個區域。在正壓室96的底面上設置有過濾器97。過濾器97是用于清潔氣體的清潔過濾器，能夠使用例如上述的HEPA過濾器、ULPA過濾器等。被過濾器97清潔后的氣體作為下降流被供給到用于固定承載件C的預定位置的周邊。風扇94從承載件C向FMS部24上載置之前連續地工作，因此，始終以下降流向F頂S部24上供給清潔氣體，在承載件C接近用于打開蓋體68的預定位置而進行移動的期間，從上方受到清潔氣體的噴淋。因而，在打開承載件C的蓋體68之前能夠利用清潔氣體的下降流將附著到承載件C的蓋體68附近的微粒去除，能夠防止在打開蓋體68時蓋體68附近的微粒混入晶圓輸送區域S2內。
[0123]這樣，本實施方式的夾持裝置100不僅能夠防止在夾持機構部80中產生的微粒向外部飛散，也能夠進行承載件C的清潔化，在潔凈室的潔凈度降低了的環境下，也能夠在清潔的狀態下將晶圓W向晶圓輸送區域S2內輸入。
[0124]此外，過濾器97不必須配置于正壓室96的底面上的，只要能夠將經由過濾器97清潔化后的氣體利用下降流向用于載置承載件C的預定位置周邊供給，過濾器97就也可以配置于各種位置。
[0125]另外，在本實施方式中，將第I排氣室90a和第2排氣室90b配置于承載件C的上表面附近，但也可以是配置于承載件C的側面附近、從承載件C的側面供給側流那樣的結構。
[0126]另外，氣體從風扇94送往正壓室96，因此，正壓室96被保持為壓力比夾持裝置100的外部的壓力高的正壓狀態。第2排氣室90b既可以與圖12所示的第I排氣室90a同樣地構成，也可以在第2排氣室90b內單獨地設置風扇94、過濾器97等。另外，將第I排氣室90a和第2排氣室90b連結起來的第3排氣室90c構成為與正壓室96連通的正壓路徑。
[0127]圖13是表示夾持裝置100的下表面的立體圖。夾持裝置100的排氣室90的下表面98構成為潔凈空氣等清潔氣體的吹出面，向該下表面98供給被過濾器97清潔化后的空氣等氣體。另外，如圖13所示，構成為，在夾持機構部80的底面配置有夾持構件81以及殼體可動部83，能夠夾持并固定承載件C。
[0128]圖14是本發明的實施方式的夾持裝置100的一個例子的整體立體圖。在圖14所示的夾持裝置100中，收納部90d被去除，第I排氣室90a和第2排氣室90b具有對稱的形狀。如圖14所示，形成于第I排氣室90a的上表面和第2排氣室90b的上表面的內置風扇吸入口 92形成于第I排氣室90a和第2排氣室90b的上表面的大半個區域。這樣，內置風扇吸入口 92形成有很多為佳，以便風扇94能夠充分地將氣體送往過濾器97。
[0129]圖15是表示本發明的實施方式的夾持裝置100的一個例子的第I排氣室90a和第2排氣室90b的內部結構的立體圖。在圖15中，示出了設置于第I排氣室90a和第2排氣室90b內的風扇94。風扇94只要能夠將從內置風扇吸入口 92吸入的氣體送往正壓室96，就可以使用各種風扇94，例如也可以使用多葉片風扇。多葉片風扇是能夠將從風扇的旋轉軸線方向的上方吸入的氣體沿著旋轉軸線方向的旋轉方向送風的風扇，能夠進行與從風扇的旋轉軸線的一側向另一側送風的軸流風扇不同的方向的送風。如圖12所示那樣，設置有風扇94的負壓室93具有扁平的形狀，另外，如圖1所示那樣，能夠設置夾持裝置100的空間的高度比承載件C的高度小，空間非常小。為了在這樣小的空間設置風扇94來進行局部的排氣，優選使用與扁平的形狀相對應的風扇94。因而，在本實施方式的夾持裝置100中，列舉了使用多葉片風扇作為風扇94的例子。然而，夾持裝置100能夠應用于各種的基板處理裝置，也想到能夠使空間充分的用途，因此，風扇94能夠根據用途而選擇使用恰當的風扇94。
[0130]圖16是表示本發明的實施方式的夾持裝置100的一個例子的排氣室90的內部結構的分解立體圖。如圖16所不，負壓室93和正壓室96被分隔件95分隔開，在正壓室96的底面設置有過濾器97。過濾器97不僅設置于第I排氣室90a和第2排氣室90b，也設置于第3排氣室90c的底面。利用該結構，能夠將清潔氣體以下降流向FMS部24的比較寬的區域供給，能夠切實地使承載件C清潔化。
[0131]圖17是用于對本發明的實施方式的夾持裝置100的一個例子的排氣室90的氣體的流動進行說明的圖。如圖17所示那樣，含有在夾持機構部80產生了的微粒Pl?P3的氣體Fl被從局部排氣吸入口 91吸入，送往第I排氣室90a和第2排氣室90b的負壓室93。另外，從第I排氣室90a和第2排氣室90b的上表面的內置風扇吸入口 92吸入的氣體F2也送往第I排氣室90a和第2排氣室90b的負壓室93。然后，在負壓室93合流的氣體Fl、F2被風扇94從負壓室93送往正壓室96。送到正壓室96的氣體Fl、F2經由過濾器97而被清潔化，清潔化后的氣體F3被從排氣室90的下表面98朝向下方供給。
[0132]這樣，根據本實施方式的夾持裝置100，能夠在防止從夾持機構部80的驅動機構產生的微粒Pl?P3的飛散的同時，能夠以下降流像噴淋那樣向輸送到FMS部24的承載件C供給清潔氣體而去除蓋體68附近的微粒，能夠有效地防止在晶圓W向晶圓輸送區域S2輸入以及晶圓W向承載件輸送區域SI輸出之際微粒向晶圓輸送區域S2混入。
[0133]此外，由本實施方式的夾持裝置100、FMS部24、包括門機構8的蓋體開閉裝置7構成基板輸入輸出裝置。
[0134]〔動作〕
[0135]接著，對使用了包括本發明的實施方式的夾持裝置100的基板輸入輸出裝置、晶圓移載機構56的晶圓W的輸送動作進行說明。
[0136]首先，如圖1、2所示，使載置有承載件C的裝載部14向第2水平方向的FIMS部24側移動預定距離。
[0137]接著，使手部44移動到手部44的定位銷18與承載件C的下表面的定位槽78卡合的位置。
[0138]然后，使手部44上升而將承載件C載置于手部44。
[0139]接著，進一步使手部44上升而將承載件C從裝載部14卸下。
[0140]然后，將載置有承載件C的手部44從裝載部14側向FMS部24輸送。接著，使載置有承載件C的手部44移動到FMS部24的上方，并使手部44下降而將承載件C載置到FMS部24上。
[0141]承載件C朝向分隔壁4的輸送口6滑動移動，到達預定位置后，夾持裝置100的夾持構件81下降并固定承載件C。此時，從夾持裝置100的下表面98像噴淋那樣供給由清潔氣體形成的下降流，承載件C的蓋體68及其周邊被清潔化。
[0142]利用蓋體開閉裝置7并使用門機構8打開蓋體68。即使蓋體68被打開，蓋體68及其周圍也被清潔化，因此，微粒不會混入晶圓輸送區域S2內。另外，在夾持裝置100的夾持機構部80內的驅動機構86、87產生的微粒也不飛散。
[0143]晶圓W被晶圓移載機構56向晶圓舟皿50移載。在預定張數的晶圓W被載置到晶圓舟皿50之后，晶圓舟皿50被輸入熱處理爐62內，進行預定的熱處理。
[0144]在熱處理結束后，處理后的晶圓W被晶圓移載機構56向FIMS部24上的承載件C輸出，但此時也從夾持裝置100向承載件C供給清潔氣體，因此，能夠防止微粒向晶圓輸送區域S2混入。
[0145]這樣，根據本實施方式的夾持裝置100、基板輸入輸出裝置以及基板處理裝置，通過從設置于FMS部24的上方的夾持裝置100以下降流供給清潔氣體，能夠減少在承載件C和晶圓輸送區域S2之間輸送晶圓W之際微粒向晶圓輸送區域S2的混入。
[0146]〔實施例〕
[0147]接著，使用圖18以及圖19對實施了本發明的實施方式的夾持裝置的實施例進行說明。圖18是表示本發明的實施例的夾持裝置的微粒測定點的圖。如圖18所示，在門機構的9個部位，設定了測定點Ml?M9。然后，對本發明的實施例的夾持裝置的動作前和動作后的微粒數進行了測定。
[0148]此外，為了表示本實施例的夾持裝置的效果，不是在潔凈室級別的環境下進行了測定，而是以最接近微粒數較多的通常的房間的級別的狀態進行了測定。
[0149]圖19是表示本實施例的夾持裝置的測定結果的圖。在圖19中，示出了各測定點Ml?M9的夾持裝置動作前(Initial)和動作后(After)的測定結果。
[0150]如圖19所示，在全部測定點Ml?M19中，微粒數從10000個級別減少到幾十個?幾千個級別，能夠將微粒數減少90%左右以上。
[0151]這樣，根據本實施例的夾持裝置，能夠在進行開閉的門機構附近大幅度地減少微粒，因而，能夠顯著地減少微粒向晶圓輸送區域的混入。
[0152]根據上述內容可理解為，本發明的各種實施例是為了說明的目的而記載的，另外，在不脫離本發明的范圍以及思想的情況下能夠進行各種變形。因而，在此記載的各種實施例并不用于對由各項權利要求指定的本質上的范圍以及思想進行限制。
[0153]本申請主張2015年03月20日提出申請的日本申請特愿第2015-058160號為基礎的優先權，將其全部公開內容編入于此。
【主權項】
1.一種夾持裝置，其中， 該夾持裝置包括: 夾持構件，在對設置于基板收納容器的正面的蓋體進行開閉時，該夾持構件能夠從上方與該基板收納容器接觸而將所述基板收納容器固定于預定位置； 驅動機構，其用于驅動所述夾持構件； 殼體，其用于覆蓋該驅動機構； 排氣室，其具有與該殼體連通的吸入口，且設于該殼體的附近； 風扇，其設置于該排氣室內。2.根據權利要求1所述的夾持裝置，其中， 在所述殼體內設置有選擇性地配置于所述驅動機構的附近的局部排氣管道。3.根據權利要求2所述的夾持裝置，其中， 所述局部排氣管道與所述吸入口連通。4.根據權利要求2所述的夾持裝置，其中， 所述殼體和所述排氣室鄰接，所述局部排氣管道的排出口與所述吸入口直接連結。5.根據權利要求4所述的夾持裝置，其中， 所述排氣室鄰接地設置于所述殼體的兩側面，在所述殼體的兩側設置有所述風扇。6.根據權利要求5所述的夾持裝置，其中， 鄰接地設置于所述殼體的兩側面的所述排氣室彼此連通。7.根據權利要求2所述的夾持裝置，其中， 所述殼體包括:可動部，其與所述夾持構件連結，能夠與所述夾持構件一起上下運動；固定部，其用于收容所述驅動機構的至少一部分以及所述局部排氣管道。8.根據權利要求7所述的夾持裝置，其中， 所述驅動機構具有產生驅動力的驅動力產生部和在該驅動力的作用下運動的運動部， 所述可動部用于收容所述運動部的至少一部分， 所述固定部用于收容所述驅動力產生部。9.根據權利要求7所述的夾持裝置，其中， 所述可動部以插入所述固定部的底部的開口的方式設置， 在該開口的周圍的至少一部分形成有與所述可動部的側面平行的壁。10.根據權利要求1所述的夾持裝置，其中， 該夾持裝置還具有罩構件，該罩構件具有與所述排氣室連續的一體的形狀，用于覆蓋所述殼體。11.根據權利要求1所述的夾持裝置，其中， 所述風扇是多葉片風扇。12.根據權利要求1所述的夾持裝置，其中， 在所述排氣室內還設置有清潔過濾器， 能夠將從所述吸入口吸入的氣體經由該清潔過濾器向能夠固定所述基板收納容器的所述預定位置供給。13.根據權利要求12所述的夾持裝置，其中， 所述清潔過濾器設置于所述排氣室的底面。14.根據權利要求12所述的夾持裝置，其中， 所述排氣室被劃分成設置有所述風扇的負壓室和設置有所述清潔過濾器的正壓室， 利用所述風扇的送風導入到所述負壓室的氣體被送往所述正壓室。15.根據權利要求14所述的夾持裝置，其中， 所述負壓室設置于所述排氣室的上表面側，并且，在所述負壓室的上表面設置有第2吸入口， 所述風扇也從該第2吸入口吸入氣體而將該氣體送往所述正壓室。16.—種基板輸入輸出裝置，其中， 該基板輸入輸出裝置包括: 分隔壁，其用于劃分出基板輸送區域和基板收納容器輸送區域； 輸送口，其設置于該分隔壁； 開閉門，其能夠打開或關閉該輸送口 ； 權利要求1所述的夾持裝置，其位于該輸送口的上方，且安裝于所述分隔壁的所述基板收納容器輸送區域側； 側面罩，其位于所述輸送口的水平方向兩側，且設置于所述分隔壁的所述基板收納容器輸送區域側。17.根據權利要求16所述的基板輸入輸出裝置，其中， 所述輸送口、所述開閉門、所述夾持裝置以及所述側面罩沿著鉛垂方向以兩層設置于所述分隔壁。18.根據權利要求16所述的基板輸入輸出裝置，其中， 該基板輸入輸出裝置還具有用于對設置于所述基板輸送區域內的所述基板收納容器的所述蓋體進行開閉的蓋體開閉裝置。19.一種基板處理裝置，其包括: 權利要求16所述的基板輸入輸出裝置； 輸送機構，其設置于所述基板輸送區域內，用于輸送所述基板； 處理容器，其設置于所述基板輸送區域內。20.根據權利要求19所述的基板處理裝置，其中， 所述處理容器是對基板進行熱處理的熱處理爐。
【文檔編號】H01L21/67GK105990196SQ201610157102
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年3月18日
【發明人】小原美鶴, 井上久司, 潮永圭史, 小林正壽, 馬場則夫, 菊池 浩
【申請人】東京毅力科創株式會社