一種高頻激勵介質放電燈的制作方法
【專利摘要】本發明提出了一種高頻激勵介質放電燈，包括交流電源、上電極引線、下電極引線、上電極、下電極、主腔體、左固定座、右固定座，其特征在于交流電源通過上電極引線、下電極引線分別連接到上電極、下電極上，上電極和下電極通過放電激勵主腔體內的氣體而發光；有益效果是制造成本低，工藝簡單，發光強度高，具有非常廣闊的商業前景，即可以填補相關技術空白，又可產生較大的社會效益與經濟效益。
【專利說明】
一種高頻激勵介質放電燈
技術領域
[0001 ]本發明涉及精密光電領域，特別是涉及一種高頻激勵介質放電燈。
【背景技術】
[0002]放電燈是指電流經由特殊蒸汽或氣體流通因而產生光線或是接近可見光之輻射能的一種電燈。紫外線光源又稱紫外線發生器，即發生生成紫外線的裝置。當出現了適用的新型紫外線光源時，必然可以促進某種行業的發展。光柵是大型精密光學儀器的重要分光元件。世界上有許多國家不能制造精密儀器，與不能制造高分辨率色散率的光柵有關，要使光柵具備很高的分辨率，就必須要掌握高密度刻線技術(如每毫米幾千條等距離平行線)，要刻這么多的線數，就必須有高強度的紫外光源(200?300毫微米)對應的光刻膠進行曝光。同樣在高頻大功率固體器件和大規模集成電路上也與紫外曝光光刻技術的發展分不開。
[0003]目前在光學研究上取得了很大進展，這同紫外線光源的發展也是分不開的。紫外光源作為一個元器件，在各個領域正發揮著它的重要作用。
[0004]現在作用的紫外線光源絕大多數是汞弧燈(即通稱的紫外燈或汞燈)。汞弧燈是封裝有汞的、兩端有電極的透明石英管，通電加熱燈絲時，管內的汞蒸氣受到激發躍迀至激發態，由激發態回到基態時即發射紫外光。
[0005]為了解決目前現有技術中涉及的制造工藝復雜、人工成本高昂、性能不穩定等技術瓶頸，本發明提出了一種高頻激勵介質放電燈，其成本較低，安全可靠，方案獨特，結構新穎，既能滿足企業的實際需求，填補相關技術空白，又可產生較大的社會效益與經濟效益。
【發明內容】
[0006]為了克服上述現有技術的不足，本發明提供了一種高頻激勵介質放電燈，能夠大大降低制造成本，有效提升發光強度，具有廣泛的市場應用前景。
[0007]—種高頻激勵介質放電燈，包括交流電源、上電極引線、下電極引線、上電極、下電極、主腔體、左固定座、右固定座，其特征在于交流電源通過上電極引線、下電極引線分別連接到上電極、下電極上，上電極和下電極通過放電激勵主腔體內的氣體而發光；
[0008]所述主腔體的橫截面為矩形，主腔體由石英組合封閉而成，主腔體的兩端分別安裝在左固定座、右固定座上，主腔體的兩端設置有左排氣口和右排氣口 ；
[0009]所述石英的上方設置有上電極，上電極的外表面涂覆有上電極保護膜，上電極的內表面涂覆有內反射膜；內反射膜表面設置有保護膜，該保護膜由氟化鎂組成，以溶膠狀態涂覆于內反射膜表面并固化成致密薄膜；
[0010]所述石英的下方設置有下電極，下電極的外表面涂覆有下電極保護膜，下電極的內表面沒有涂覆內反射膜;下電極保護膜的熔點高于500°C，化學性質穩定，抗氧化性強，下電極保護膜組成為S12或MgF2,以溶膠狀態涂覆于下電極外表面并固化成致密薄膜；
[0011]所述主腔體的底面為透光面，透光面的下電級為網狀電級，主腔體中充入微量放電氣體作為放電介質，放電介質在高頻高壓交流電源激勵下放電產生可見光，可見光透過合成石英及下電極照射被照物體。
[0012]與現有技術相比，本發明的有益效果如下:制造工藝簡單、成本低廉、發光強度高、應用前景廣，具有非常廣闊的商業前景，即可以填補相關技術空白，又可產生較大的社會效益與經濟效益。
【附圖說明】
[0013]圖1是一種高頻激勵介質放電燈；
[0014]圖2是一種高頻激勵介質放電燈的截面圖。
[0015]圖1-圖 2中:
[0016]1、交流電源；2、上電極引線；3、下電極引線；
[0017]4、左排氣口；5、左固定座；6、上電極；
[0018]7、上電極保護膜； 8、主腔體；9、右排氣口；
[0019]10、右固定座；11、下電極保護膜；12、下電極；
[0020]13、熔融石英；14、合成石英；15、內反射膜。
【具體實施方式】
[0021]參考附圖描述本發明的實施方式，下面結合圖1-圖2對本發明進行具體說明。
[0022]—種高頻激勵介質放電燈，包括交流電源1、上電極引線2、下電極引線3、上電極6、下電極12、主腔體8、左固定座5、右固定座10，其特征在于交流電源I通過上電極引線2、下電極引線3分別連接到上電極6、下電極12上，上電極6和下電極12分別處于主腔體8的上方和下方。
[0023]所述主腔體8的橫截面為矩形，主腔體8由熔融石英13和合成石英14組合封閉而成，主腔體8的兩端分別安裝在左固定座5、右固定座10上，主腔體8的兩端設置有左排氣口 4和右排氣口 9。
[0024]所述熔融石英13的上方設置有上電極6，上電極6的外表面涂覆有上電極保護膜7，熔融石英13的內表面涂覆有內反射膜15，熔融石英13的底端開口側與合成石英14組合使用。
[0025]所述合成石英14的下方設置有下電極12，下電極12的外表面涂覆有下電極保護膜U，下電極保護膜11的熔點高于500°c，化學性質穩定，抗氧化性強，下電極保護膜11的材料為S12或MgF2，以熔融狀態涂覆于下電極外表面。
[0026]所述主腔體8上使用合成石英14的底面為透光面，主腔體8中充入微量放電氣體作為放電介質，放電介質在高頻高壓交流電源激勵下放電產生可見光，可見光透過合成石英14及下電極12照射被照物體。
[0027]主腔體8的主體部分采用規格為500mmX70mm(長X寬)，壁厚為2mm的熔融石英13，主腔體8的底面平板部分則采用長500_、寬70_、厚度2_的合成石英14。
[0028]主腔體8的封接采用燈工熔制工藝，將切好的各種規格的熔融石英13置于合成石英平14上用氫氧焰加熱至熔融狀態進行封接，主腔體8兩端的左排氣口 4和右排氣口 9則須封接排氣管。
[0029]在完成封接后，制作內反射膜15，先將主腔體8進行熱封接，熱封接完成后對主腔體8進行退火去除應力，主腔體8保留兩個尾管，以利于內反射膜15漿體的灌注。
[0030]內反射膜15的漿體則用二氧化硅及吸氣類金屬(如鉬)及粘結劑、硅烷偶聯劑等組成，鉬粉選擇純度為99.99%，粒度小于3μπι的顆粒。漿料通過注入流平法涂覆于非出光面的內表面，經過1000?1200 0C的高溫燒結，去除硅烷偶聯劑及其它有機物質，使二氧化硅固化于熔融石英13的內壁形成10?20μπι的內反射膜15。
[0031]在完成內反射膜15后，需要對主腔體8進行抽真空，并在氣壓降為IPa以下時，再充入高純度的氙氣(Φ (Xe)>99.999%)。主腔體8內部充入放電氣體氙氣，在常溫下壓力達40kPa時進行尾管封離，封離球徑達3mm以上保持其內有氣泡。
[0032]在上電極6、下電極12印刷前需要用等離子清洗外表面，采用絲網印刷或轉印方式將電極漿料無縫涂覆于石英方管和石英平板的外壁上，金屬電極材料采用對172nm反射率高的銀漿材料，形成0.2mm寬的網格線條，出光面積與網格面積保持在8:2的比率，然后以700?900°C高溫進行固化。
[0033]為保護外電極及防止沿邊放電，對電極表面再進行了保護膜的涂覆(正硅酸乙脂)。電極保護膜經1100°c固化完成后，對電極引線進行焊接，焊接完成即可進行測試。
[0034]以上所述，僅是本發明的較佳實施方式，并非對本發明做任何限制，凡是根據本發明實質對以上實施方式所作的任何修改、變更以及等效變化，均仍屬于本發明技術的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種高頻激勵介質放電燈，包括交流電源、上電極引線、下電極引線、上電極、下電極、主腔體、左固定座、右固定座，其特征在于交流電源通過上電極引線、下電極引線分別連接到上電極、下電極上，上電極和下電極通過放電激勵主腔體內的氣體而發光； 所述主腔體的橫截面為矩形，主腔體由石英組合封閉而成，主腔體的兩端分別安裝在左固定座、右固定座上，主腔體的兩端設置有左排氣口和右排氣口 ； 所述石英的上方設置有上電極，上電極的外表面涂覆有上電極保護膜，上電極的內表面涂覆有內反射膜；內反射膜表面設置有保護膜，該保護膜由氟化鎂組成，以溶膠狀態涂覆于內反射膜表面并固化成致密薄膜； 所述石英的下方設置有下電極，下電極的外表面涂覆有下電極保護膜，下電極的內表面沒有涂覆內反射膜;下電極保護膜的熔點高于500°c，化學性質穩定，抗氧化性強，下電極保護膜組成為S12或MgF2,以溶膠狀態涂覆于下電極外表面并固化成致密薄膜； 所述主腔體的底面為透光面，透光面的下電級為網狀電級，主腔體中充入微量放電氣體作為放電介質，放電介質在高頻高壓交流電源激勵下放電產生可見光，可見光透過合成石英及下電極照射被照物體。
【文檔編號】H01J61/30GK105977131SQ201610455667
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年6月23日
【發明人】卜弘昊
【申請人】卜弘昊