具備冷卻共振器部的風扇的激光振蕩器的制造方法
【專利摘要】本發明提供一種激光振蕩器，其具備冷卻共振器部的風扇。本發明的激光振蕩器具備：共振器部，其用于使所輸出的激光進行共振；熱交換器，其與共振器部鄰接地配置，并用于供給冷卻液；風扇，其配置于隔著共振器部及熱交換器的雙方的兩個位置中的至少一方，產生通過共振器部及熱交換器的雙方的一方向的風；共振器溫度測定部，其測定共振器部的溫度；以及風扇控制部，其控制風扇。風扇控制部基于共振器部的溫度，切換兩風扇的送風方向。
【專利說明】
具備冷卻共振器部的風扇的激光振蕩器
技術領域
[0001]本發明涉及采用了利用冷卻水冷卻機箱內的方式的激光振蕩器，尤其涉及冷卻設置在用于激光加工機的激光振蕩器的機箱內的共振器部的風扇的控制。
【背景技術】
[0002]已知通過對金屬照射激光來進行金屬的切削、切斷等的激光加工機，在激光加工機上搭載激光振蕩器。
[0003]激光振蕩器具備通過對激光介質(例如C02、YAG等)進行激發，使激發出的激光介質產生的光在兩張反射鏡之間往復，對該光進行增幅的共振器部。具體地說，共振器部具備對激光介質進行激發且使激光振蕩的軸形的振蕩部(例如放電管、YAG桿)和分別配置在振蕩部的光軸方向的兩端的全反射鏡及半反射鏡。因此，激光振蕩器具備收納及保護共振器部的機箱。
[0004]另外，在激光振蕩器中，需要冷卻共振器部及機箱，已知使用冷卻水冷卻機箱內的方式、即水冷式。
[0005]以往，在水冷式激光振蕩器的機箱內，在上述共振器部與風扇之間配置熱交換器。
[0006]在使由于共振器部的發熱而變熱的機箱內的溫度下降時，利用冷卻裝置、例如冷機將冷卻水控制為一定的溫度并供給至熱交換器。并且，以吸引共振器部的周邊的熱空氣的方式使風扇進行動作，由此，使該熱空氣與熱交換器接觸并冷卻，將冷卻后的空氣輸送到共振器部的周邊。
[0007]上述那樣的冷卻風扇的動作與激光振蕩器的起動同時進行。另外，在共振器部幾乎沒有發熱，不需要冷卻機箱內時，不需要使風扇進行動作。因此，也進行只在機箱內的溫度上升時使風扇進行動作，減少激光振蕩器的消耗電力的動作。
[0008]另外，作為控制水冷式激光振蕩器的機箱內的風扇的現有例，具有專利第2992860號公報及日本特開平8-204263號公報所記載的方法。
[0009]在專利第2992860號公報中記載了為了使冷卻水的溫度下降，根據冷卻水的溫度或供給至激光振蕩器的電力，使風扇的轉數的變化的方法。
[0010]在日本特開平8-204263號公報中記載了設置與半導體激光陣列接觸地配設的冷卻氣體流道、使冷卻氣體在冷卻氣體流道中流動的冷卻氣體流生成機構及半導體激光陣列的溫度檢測機構，基于溫度檢測機構的檢測信號對冷卻氣體流生成機構進行驅動控制的方法。
[0011]順便地，激光加工機不僅如恒溫室那樣溫度恒定的場所，有時還設置在溫度變化的場所、例如氣溫下降的工場的屋內以及屋外。尤其在冬季，在從周圍的溫度低溫的狀態起動激光振蕩器的情況下，需要進行暖機動作直到機箱內的溫度上升，共振器部的溫度成為正常狀態。即，存在在激光振動器起動后，直到激光振蕩器能夠穩定地使用，需要花費時間的問題。
[0012]另外，在現有的水冷式激光振蕩器中，為了使機箱內尤其使共振器部的溫度下降的目的，控制風扇及其送風方向。因此，在將現有的水冷式激光振蕩器采用于激光加工機的情況下，由在上述暖機動作中將機箱內的冷氣輸送到共振器部，共振器部的溫度反而難以上升。其結果，還存在暖機時間變長之類的問題點。
[0013]另外，在激光加工機中，為了減少激光振蕩器的消耗電力，在中斷激光加工時，還進行使激光介質的激發動作、風扇的旋轉停止，使激光振蕩器成為待機狀態的動作。但是，若是激光振蕩器的周圍溫度為低溫的狀態時，共振器部的停止時間越長，構成共振器部的部件的溫度也越下降。因此，在使激光振蕩器從待機狀態轉移到能進行激光加工的狀態時，直到共振器部的溫度成為正常狀態，還存在激光振蕩器的動作不穩定之類的問題點。
【發明內容】
[0014]本發明在于提供一種激光振蕩器，其能在低溫環境下，縮短在使激光振蕩器起動或再開后，直到能穩定地使用激光振蕩器的時間。
[0015]根據本發明的第一方案，提供一種激光振蕩器，具備:共振器部，其用于使所輸出的激光進行共振；熱交換器，其與共振器部鄰接地配置，并供給冷卻液；風扇，其配置于隔著共振器部及熱交換器的雙方的兩個位置中的至少一方，產生通過共振器部及熱交換器的雙方的一方向的風；共振器溫度測定部，其測定共振器部的溫度；以及風扇控制部，其控制風扇。在第一方案的激光振蕩器中，風扇控制部基于由共振器溫度測定部測定出的共振器部的溫度，切換風扇的送風方向。
[0016]根據本發明的第二方案，是一種第一方案的激光振蕩器，在測定出的共振器部的溫度比規定的溫度低時，風扇控制部將風扇的送風方向控制為從熱交換器朝向共振器部的方向，在測定出的共振器部的溫度與規定的溫度相同或比規定的溫度高時，風扇控制部將風扇的送風方向控制為從共振器部朝向熱交換器的方向。
[0017]根據本發明的第三方案，是一種第一方案或第二方案的激光振蕩器，多個風扇沿共振器部的長度方向配置，風扇控制部還基于測定出的共振器部的溫度，改變多個上述風扇的至少一個的風量。
[0018]根據本發明的第四方案，是一種第一方案至第三方案中的任一方案的激光振蕩器，多個風扇沿共振器部的長度方向配置，風扇控制部還基于測定出的共振器部的溫度，使多個上述風扇的至少一個停止。
[0019]根據本發明的第五方案，是一種第二方案的激光振蕩器，還具備測定冷卻液的溫度的冷卻液溫度測定部，規定的溫度是由冷卻液溫度測定部測定出的冷卻液的溫度。
[0020]根據本發明的第六方案，是一種第一方案至第五方案中的任一方案的激光振蕩器，還具備用于將=冷卻液控制為恒定的溫度的冷機。
[0021]本發明的效果如下。
[0022]根據本發明的第一方案，由于風扇配置在機箱內的隔著共振器部及熱交換器的雙方的兩個位置中的至少一方，因此，能產生通過共振器部及熱交換器的雙方的一方向的風。另外，能利用風扇控制部基于共振器部的溫度切換風扇的送風方向。例如，在共振器部的溫度比熱交換器的溫度低時，通過將風扇的送風方向改變為從熱交換器朝向共振器部的方向，能將熱交換器的熱量供給到共振器部。因此，能縮短在低溫環境下使激光振蕩器起動或再開始后直到激光振蕩器能穩定地使用的時間。
[0023]根據本發明的第二方案，在共振器部的溫度是熱交換器的溫度以上的情況下，通過將風扇的送風方向改變為從共振器部朝向熱交換器的方向，熱交換器能將共振器部周圍的空氣的熱量奪走。另一方面，在共振器部的溫度比熱交換器的溫度低時，通過將風扇的送風方向改變為從熱交換器朝向共振器部，能將熱交換器的熱量供給至共振器部。
[0024]根據本發明的第三方案，通過沿共振器部的長度方向配置多個風扇，基于共振器部的溫度改變多個風扇的至少一個的風量，使共振器部均勻地升溫。
[0025]根據本發明的第四方案，通過沿共振器部的長度方向配置多個風扇，基于共振器部的溫度使多個風扇的至少一個停止，能使共振器部均勻地升溫。
[0026]S卩，根據上述第三及第四方案，預先通過實驗獲得共振器部的溫度分布，或者，通過在共振器部整體地配置的多個溫度測定部，獲得共振器部的溫度分布。并且，基于這種溫度分布，能向溫度相對低的共振器部的部分更多地供給溫暖的空氣。其結果，由于能使共振器部均勻地升溫，因此，能使激光振蕩器的動作穩定。
[0027]根據本發明的第五方案，具備測定冷卻液的溫度的冷卻液溫度測定部，并且，將冷卻水的溫度設定為規定的溫度。因此，基于對冷卻液的溫度和共振器部的溫度進行比較所得的結果，能切換風扇的送風方向。
[0028]根據本發明的第六方案，通過具備用于將冷卻液控制為恒定的溫度的冷機，不論周圍的溫度如何，都能將冷卻液的溫度保持為恒定。
【附圖說明】
[0029]根據附圖所表示的本發明的優選的實施方式的詳細的說明，本發明的這些目的、特征及優點及其他目的、特征及優點變得更明確。
[0030]圖1是示意地表示本發明的一實施方式的激光振蕩器的結構的主視圖。
[0031]圖2是示意地表示本發明的一實施方式的激光振蕩器的結構的俯視圖。
[0032]圖3是表示本實施方式的風扇的控制流程的圖。
[0033]圖4A是表示由順方向的風扇的旋轉產生的風的方向的圖。
[0034]圖4B是表示由反方向的風扇的旋轉產生的風的方向的圖。
[0035]圖5A是表示使激光振蕩器從低溫狀態起動的情況下的、與共振器部的溫度對應的風扇的動作的圖。
[0036]圖5B是表示使激光振蕩器從低溫狀態起動的情況下的、與共振器部的溫度對應的風扇的動作的圖。
[0037]圖5C是表示使激光振蕩器從待機狀態復位的情況下的、與共振器部的溫度對應的風扇的動作的圖。
[0038]圖6A是表不本實施方式的風扇的一控制例的第一圖。
[0039]圖6B是表示本實施方式的風扇的一控制例的第二圖。
[0040]圖6C是表不本實施方式的風扇的一控制例的第三圖。
[0041 ]圖7是表示本實施方式的風扇的其他控制例的圖。
【具體實施方式】
[0042]接著，參照【附圖說明】本發明的實施方式。以下，作為激光振蕩器，以高速軸流型氣體激光裝置為例進行說明，但本發明并未限定于此。
[0043]圖1不意地表不本發明的一實施方式的激光振蕩器的主視圖。
[0044]本實施方式的激光振蕩器I具備用于使所輸出的激光進行共振的共振器部2、與共振器部2的一端鄰接地設置的熱交換器3以及分別設置在隔著共振器部2及熱交換器3的雙方的兩個位置的第一風扇4及第二風扇5。
[0045]另外，激光振蕩器I具備收納并保護共振器部2、熱交換器3及風扇4、5的機箱6。在機箱6的外側設有作為將冷卻水一邊控制為恒定的溫度、例如20°C —邊向熱交換器3供給的設備的冷機7。另外，在本實施方式中，使向熱交換器3供給的冷卻用液為水，但本發明并未限定于此。
[0046]在機箱6的內部具備測定共振器部2的溫度的共振器溫度測定部8、控制風扇4、5的風扇控制部9及測定在熱交換器3和冷機7之間流動的冷卻水的溫度的冷卻水溫度測定部10。
[0047]在圖1中，在機箱6的內側圖示了風扇控制部9和冷卻水溫度測定部10，但這些部件未限定在圖示的位置，例如可以位于機箱6的外側。
[0048]另外，風扇控制部9使用第一風扇4和第二風扇5雙方產生一方向的風(參照圖4A、圖4B的箭頭)。但是，風扇只要能夠產生一方向的風，則只要配置在隔著共振器部及熱交換器雙方的兩個位置中的至少一方即可。另外，為了使這種一方向的風有效地流向共振器部2及熱交換器3，如圖1所示，優選共振器部2由兩個風扇4、5和兩個板狀部件11包圍。
[0049]另外，參照圖2說明共振器部2的結構。圖2是示意地表示圖1的激光振蕩器I的俯視圖。
[0050]共振器部2具有收納作為激光介質的氣體(例如CO2)，通過放電對氣體進行激發并放出激光的軸形的放電部。該軸形放電部例如串聯地連接四根放電管12，使四根放電管12以兩根為單位折返地配置在機箱6內。在這種放電部的作為光軸方向的兩端的位置分別配置全反射鏡13和半反射鏡14(輸出鏡)。在放電部的中間位置配置折返鏡15。
[0051]另外，放電管12的總根數及所折返的放電管的單位數未限定于上述根數。
[0052]另外，在共振器部2的一側(圖2的圖面下側)，沿共振器部2的長度方向依次配置六個風扇4。另外，在共振器部2的另一側(圖2的圖面上側)，沿共振器部2的長度方向依次配置兩個熱交換器3。另外，與這些熱交換器3鄰接地沿熱交換器3的長度方向依次配置六個風扇5。
[0053]即，在機箱6內，與共振器部2的一端鄰接地配置的熱交換器3配置在共振器部2和第二風扇5之間。另外，與共振器部2的另一端鄰接地配置第一風扇4(參照圖1)。
[0054]另外，熱交換器3及風扇4、5的個數未限定于上述個數。
[0055]接著，說明設置在激光振蕩器I的機箱6內的風扇4、5的控制方法。圖3表示風扇4、5的控制流程。
[0056]參照圖3，首先，利用共振器溫度測定部8測定共振器部2的溫度Ta，利用冷卻水溫度測定部10，測定從冷機7流向熱交換器3的冷卻水的溫度Tb (步驟SI)。
[0057]接著，在步驟S2中，比較共振器部2的溫度Ta與冷卻水的溫度Tb。其結果，在判斷為共振器部2的溫度Ta比冷卻水的溫度Tb低(Ta〈Tb)時，分別使風扇4、5向順方向旋轉(步驟S3)。在圖4A中使用箭頭表示由順方向的風扇4、5的旋轉產生的風的方向。SP，在共振器部2的溫度Ta比冷卻水的溫度Tb低的情況下，利用風扇4、5形成從熱交換器3向共振器部2的風。
[0058]這種步驟SI?S3繼續到共振器部2的溫度Ta為冷卻水的溫度Tb以上。
[0059]另一方面，在步驟S2中，在判斷為共振器部2的溫度Ta是冷卻水的溫度Tb以上(Ta ^ Tb)時，分別使風扇4、5向逆向旋轉(步驟S4)。圖4B使用箭頭表示由逆向的風扇
4、5的旋轉產生的風的方向。在共振器部2的溫度Ta是冷卻水的溫度Tb以上的情況下，利用風扇4、5形成從共振器部2向熱交換器3的風。
[0060]在步驟S4后，在沒有使激光振蕩器I待機的指令時，從激光振蕩器I的起動直到振蕩準備結束，使風扇4、5按照步驟SI?S4進行動作。但是，如果有使激光振蕩器I待機的指令，則使風扇4、5停止(步驟S5、S6)。
[0061]另外，上述控制流程的開始時機不僅是使激光振蕩器I起動時，還包括從使激光振蕩器I待機的狀態再次開始時。
[0062]另外，在圖3中表示對共振器部2的測定溫度和冷卻水的測定溫度進行比較的例子，但本發明未限定于此。
[0063]例如，可以代替圖3的步驟S1、S2，是對共振器部2的測定溫度和預定的溫度(例如20°C )進行比較，控制風扇4、5的動作的方法。對該設定溫度，通過成為進行共振器的光軸調整等制造時的調整作業的溫度，則構成共振器的部件能再現調整時的狀態，能最有效地得到激光輸出。
[0064]接著，對從激光振蕩器I的起動到振蕩準備結束期間的風扇4、5的動作進行敘述。
[0065]圖5A、圖5B及圖5C表示與激光振蕩器I的運轉狀態和共振器部2的溫度對應的風扇4、5的動作。特別地，圖5A表示使激光振蕩器I從周圍低溫的狀態起動的場合，圖5B表不使激光振蕩器I從低溫狀態起動的場合，圖5C表不使激光振蕩器I從待機狀態復位的情況。
[0066]當使作為高速軸流形0)2激光裝置的激光振蕩器I從停止狀態起動時，該CO2激光裝置的計算機數值控制裝置(未圖示)從上向下依次實施圖5A的左端欄表示的工序。SP，依次實施1.進行放電管12內的抽真空、2.開始放電管12內的氣壓控制、3.使在放電管12內用于使CO2氣體高速流通的渦輪鼓風機(未圖示)起動、4.開始向放電管12內的放電、
5.結束振蕩準備這一連串的工序。
[0067]但是，即使開始向放電管12內的放電，在共振器部2的溫度比設定值低的情況下，也優選如圖5B及圖5C的各左端欄所示進行暖機動作。在此，“暖機動作”是指在從激光振蕩器I不放出激光的狀態下繼續激光振蕩。通過向放電管12內的氣體供給及放電，能使共振器部2發熱，使機箱6內升溫。
[0068]另外，在使激光加工中斷時，優選使向放電管12內的放電和風扇4、5的旋轉停止，將激光振蕩器I轉移到待機狀態。由此，能減少激光振蕩器I的消耗電力。另外，當再次開始激光加工時，通過使向放電管2內的放電、風扇4、5的動作開始，振蕩準備結束。
[0069]在使進行以上說明的工序的激光振蕩器I從周圍不是低溫的狀態起動的情況下，共振器部2的溫度為冷卻水的溫度以上。因此，相對于圖5A的左端欄所示的各工序，風扇
4、5產生在圖4B中從圖面左向右流的風。S卩，由風扇4、5產生的風從共振器部2向熱交換器3供給。因此，熱交換器3奪去共振器部2周圍的空氣的熱量，使空氣的溫度下降。
[0070]溫度下降后的空氣從第二風扇5排出，沿機箱6的內側面繞入第一風扇4側，由第一風扇4吹向共振器部2。利用這種送風，共振器部2的溫度為正常狀態，激光輸出、光束模式穩定。
[0071]當在寒冷的場所使用激光振蕩器I時，共振器部2及機箱6與周圍的溫度相同地成為低溫，產生使激光振蕩器I從低溫狀態起動的情況。另一方面，供給冷卻水的冷機7以冷卻水不會冷凍的程度的溫度保持冷卻水的溫度。特別地，本實施方式的冷機7具備冷凍防止功能、即包圍送水栗的功能、使冷卻水變暖的加熱器等，將冷卻水的溫度提高到20°C左右并保持。
[0072]在以上的情況下，共振器部2的溫度比冷卻水的溫度低。因此，相對于圖5B的左端欄所示的各工序，風扇4、5產生在圖4A中從圖面右向左流的風。S卩，由風扇4、5產生的風從熱交換器3向共振器部2輸送。因此，通過熱交換器3的空氣從熱交換器3接受熱量，空氣的溫度提高。溫度上升后的空氣吹向共振器部2，因此，能提高共振器部2的溫度。
[0073]如上所述，提高共振器部2的溫度的操作不僅是從暖機動作進行中，從暖機動作之前的工序也能提高共振器部2的溫度。因此，能在低溫環境下，縮短從激光振蕩器I的停止狀態到振蕩準備結束所需的時間。
[0074]另外，有時中斷激光加工，使激光振蕩器I待機。此時，當激光振蕩器I的周圍溫度是低溫的狀態時，共振器部2及機箱6與周圍的溫度相同，為低溫，產生使激光振蕩器I從低溫狀態起動的情況。在該情況下，共振器部2的溫度比冷卻水的溫度低。因此，如圖5C的左端欄所示，在使激光振蕩器I從待機的狀態再次開始時，風扇4、5以產生在圖4A中從圖面右向左流的風的方式進行動作。即，通過利用風扇4、5將風從熱交換器3向共振器2輸送，能提高共振器部2的溫度。
[0075]因此，當在低溫環境下從待機狀態再次開始時，能縮短直到激光振蕩器I能穩定地使用的時間。
[0076]如上所述，在本實施方式中，在從激光振蕩器I的起動到振蕩準備結束期間，對共振器部2的測定溫度和冷卻水的測定溫度或共振器部2的設定溫度進行比較，基于其比較結果，切換風扇4、5的動作和風向。此時，在本實施方式中，優選還采用以下那樣的風扇控制。
[0077]圖6A、圖6B及圖6C是表不本實施方式的風扇4、5的一控制例的圖，圖2中表不該風扇的風向。另外，圖6A及圖6B表示共振器部2的測定溫度比冷卻水的測定溫度或共振器部2的設定溫度低的情況的風扇控制例，圖6C表示共振器部2的測定溫度與冷卻水的測定溫度或共振器部2的設定溫度相同或比之高的情況的控制。另外，圖6A、圖6B及圖6C中的箭頭表示在機箱6內由風扇4、5產生的風，其箭頭的長度表示風量的多少。
[0078]在共振器2的測定溫度與冷卻水的測定溫度或共振器部2的設定溫度相同或比之高時，如圖6A所示，使第一風扇4和第二風扇5的各風量為相同的風量。但是，在共振器部2的測定溫度比冷卻水的測定溫度或共振器部2的設定溫度低時，如圖6A所示，將兩風扇
4、5的風向切換為與圖6C時相反的方向，使第二風扇5的轉數比第一風扇4多。換言之，使第二風扇5的風量比第一風扇4多。由此，能盡快使共振器部2周圍的空氣的溫度上升。
[0079]另外，在圖6A的控制例中，共振器溫度測定部8為了把握共振器部2整體的溫度狀況，優選設于離開熱交換器3、放電管12等高溫部的場所。因此，只要能把握共振器部2整體的溫度狀況，則共振器溫度測定部8的場所未限定于圖示的位置。
[0080]另外，如圖6B所示，可以從圖6A所示的控制例，只使配置在共振器部2的兩端部的各附近的兩個第一風扇4的風量比剩下的第一風扇4的風量增加。由此，能向機箱6內有效地產生用于提高共振器部2的溫度的風流。
[0081]當然，用于增加風量的風扇未僅限于配置在共振器部2的兩端部的各附近的兩個第一風扇4。例如，可以增大靠近共振器部2的溫度比其他低的部位的風扇4、5的風量。在該情況下，預先對共振器部2的溫度分布進行動作試驗并存儲在存儲裝置(未圖示)中，基于其溫度分布數據，改變多個風扇4、5的至少一個的風量。或者，可以除了共振器部溫度測定部8之外，分別沿共振器部2的整體配置多個溫度測定部(未圖示)，基于這些溫度測定部的測定值，把握共振器部2的溫度分布并改變多個風扇4、5的至少一個的風量。通過這種控制，由于能夠向溫度相對低的部分更多地供給溫暖的空氣，因此，能均勻地使共振器部2升溫。
[0082]另外，圖7是表不本實施方式的風扇4、5的其他控制例的圖，圖2中表不該風扇的風向。
[0083]在上述的圖6的控制例中，在共振器部2的測定溫度比冷卻水的測定溫度或共振器部2的設定溫度低時，使全部的風扇4和全部的風扇5進行動作，從熱交換器3向共振器部2供給風。但是，如圖7所示的例子，可以使多個風扇4、5中的一部分(風扇4a、5a)的動作停止。即，優選根據能如上那樣得到的共振器2的溫度分布，使多個風扇4、5的全部或一部分進行動作。由此，由于能使利用共振器部2的發熱部分變暖的空氣流向不進行發熱的部分，因此，能均勻地使共振器部2變暖。
[0084]如上所述，通過使風扇4、5的風向和送風的強弱(轉數)分別獨立或進行組合，能縮短在低溫環境下從激光振蕩器I的起動或再開始至振蕩準備結束所需的時間。除此之夕卜，能均勻地使共振器部2及機箱6內變暖。
[0085]以上，以激光高速軸流型氣體激光裝置為例說明了本發明，但本發明未限于氣體激光裝置，也能適用于固體激光或半導體激光。另外，本發明只要是在機箱內對產生熱量的發熱結構部進行密封，通過熱交換器和風扇的協同動作冷卻機箱內，則能適用于任一個。
[0086]另外，以上表示了優選的實施方案，但本發明未限定于上述實施方式，能在不脫離本發明的思想的范圍內將上述實施方式改變為多種形式、結構、材料等。
【主權項】
1.一種激光振蕩器，其特征在于， 具備: 共振器部(2)，其用于使所輸出的激光進行共振； 熱交換器(3)，其與上述共振器部(2)鄰接地配置，并用于供給冷卻液； 風扇(4、5)，其配置于隔著上述共振器部(2)及上述熱交換器(3)的雙方的兩個位置中的至少一方，產生通過上述共振器部(2)及上述熱交換器(3)的雙方的一方向的風； 共振器溫度測定部(8)，其測定上述共振器部⑵的溫度；以及 風扇控制部(9)，其控制上述風扇(4、5)， 上述風扇控制部(9)基于由上述共振器溫度測定部(8)測定出的上述共振器部(2)的溫度，切換上述風扇(4、5)的送風方向。2.根據權利要求1所述的激光振蕩器，其特征在于， 在上述測定出的上述共振器部(2)的溫度比規定的溫度低時，上述風扇控制部(9)將上述風扇(4、5)的送風方向控制為從上述熱交換器(3)朝向上述共振器部(2)的方向， 在上述測定出的上述共振器部(2)的溫度與上述規定的溫度相同或比上述規定的溫度高時，上述風扇控制部(9)將上述風扇(4、5)的送風方向控制為從上述共振器部(2)朝向上述熱交換器(3)的方向。3.根據權利要求1或2所述的激光振蕩器，其特征在于， 多個上述風扇(4、5)沿上述共振器部(2)的長度方向配置， 上述風扇控制部(9)還基于上述測定出的上述共振器部(2)的溫度，改變上述多個上述風扇(4、5)的至少一個的風量。4.根據權利要求1?3任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 多個上述風扇(4、5)沿上述共振器部(2)的長度方向配置， 上述風扇控制部(9)還基于上述測定出的上述共振器部(2)的溫度，使上述多個上述風扇(4、5)的至少一個停止。5.根據權利要求2所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備測定上述冷卻液的溫度的冷卻液溫度測定部(10)， 上述規定的溫度是由上述冷卻液溫度測定部(10)測定出的上述冷卻液的溫度。6.根據權利要求1?5任一項所述的激光振蕩器，其特征在于， 還具備用于將上述冷卻液控制為恒定的溫度的冷機(7)。
【文檔編號】H01S3/042GK105870765SQ201510984745
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2015年12月24日
【發明人】佐藤孝德
【申請人】發那科株式會社