半導體元件分揀副轉盤的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體元件生產領域，具體為一種半導體元件分揀副轉盤。
【背景技術】
[0002]現有技術中的半導體元件分揀副轉盤包括支架，支架上安裝有支承座，支撐座設置有上端開口的真空倉，支撐座上端設置有副轉盤，副轉盤與支承座之間形成密閉的真空倉，支架上還安裝有驅動副轉盤轉動的動力機構；該結構的分揀副轉盤的副轉盤在動力機構驅動下轉動過程中要克服真空倉的吸力，旋轉阻力較大，能量消耗較多。
【發明內容】
[0003]本發明的目的是克服上述缺陷，解決上述結構造成副轉盤旋轉阻力較大的問題。
[0004]實現上述目的的技術方案是:半導體元件分揀副轉盤，包括底座，底座上安裝有支架，支架的下方固定有旋轉電機，其特征在于:支架的上方固定有支承座，支承座設置有軸向中心通孔,軸向通孔內通過軸承安裝有轉軸，旋轉電機的輸出端與轉軸連接，轉軸的上端連接有副轉盤，副轉盤的兩端分別對稱設置有一個用于放置半導體元件的導模；所述副轉盤和轉軸的兩側對稱設置有連通對應側導模的吸氣槽，所述支承座的兩側對稱設置有連通對應側吸氣槽的真空槽。
[0005]本發明改變了現有結構，將副轉盤固定在旋轉軸上，在副轉盤、轉軸和支承座的兩側對稱設置有連通的真空通道，減小了副轉盤在旋轉過程中真空對其的影響，減小了旋轉阻力，避免了能源的浪費。
[0006]本發明的導模可拆卸地連接在副轉盤上，適用性廣，只要更換導模，可適用同類型不同尺寸的元器件。
【附圖說明】
[0007]圖1為本發明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0008]如圖1所示，本發明包括底座1，底座I上安裝有支架2，支架2的下方固定有旋轉電機3，支架2的上方固定有支承座4，支承座4設置有軸向中心通孔5，軸向通孔5內通過軸承6安裝有轉軸7，旋轉電機3的輸出端與轉軸7連接，轉軸7的上端連接有副轉盤8，副轉盤8的兩端對稱設置有一個用于放置半導體元件的導模9。
[0009]副轉盤8和轉軸7的兩側對稱設置有連通對應側導模9的吸氣槽10，支承座4的兩側對稱設置有連通對應側吸氣槽10的真空槽11。
【主權項】
1.半導體元件分揀副轉盤，包括底座，底座上安裝有支架，支架的下方固定有旋轉電機，其特征在于:支架的上方固定有支承座，支承座設置有軸向中心通孔，軸向通孔內通過軸承安裝有轉軸，旋轉電機的輸出端與轉軸連接，轉軸的上端連接有副轉盤，副轉盤的兩端分別對稱設置有一個用于放置半導體元件的導模；所述副轉盤和轉軸的兩側對稱設置有連通對應側導模的吸氣槽，所述支承座的兩側對稱設置有連通對應側吸氣槽的真空槽。
【專利摘要】半導體元件分揀副轉盤，涉及半導體元件生產領域。包括底座，底座上安裝有支架，支架的下方固定有旋轉電機，支架的上方固定有支承座，支承座設置有軸向中心通孔，軸向通孔內通過軸承安裝有轉軸，旋轉電機的輸出端與轉軸連接，轉軸的上端連接有副轉盤，副轉盤的兩端分別對稱設置有一個用于放置半導體元件的導模；副轉盤和轉軸的兩側對稱設置有連通對應側導模的吸氣槽，支承座的兩側對稱設置有連通對應側吸氣槽的真空槽。本發明改變了現有結構，將副轉盤固定在旋轉軸上，在副轉盤、轉軸和支承座的兩側對稱設置有連通的真空通道，減小了副轉盤在旋轉過程中真空對其的影響，減小了旋轉阻力。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/683
【公開號】CN105632969
【申請號】CN201410599859
【發明人】李永備, 蔣艷麗, 張磊
【申請人】揚州澤旭電子科技有限責任公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2014年10月31日